長晶工藝能源回收裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種長晶工藝能源回收裝置。
【背景技術】
[0002]半導體長晶階段，多為單晶在長晶爐內生長好后，直接將廢渣以及含砷廢氣排出，廢渣收集后處理，廢氣直排空氣，從而造成環(huán)境污染。同時廢氣帶有大量的熱能，如不加以收集，造成能源浪費，同時造成環(huán)境熱污染。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是:為克服上述問題，提供一種進行熱量收集及廢氣收集，從而提高能源利用率的長晶工藝能源回收裝置。
[0004]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:
[0005]一種長晶工藝能源回收裝置，包括長晶爐，所述長晶爐內設置有保溫室，所述長晶爐的下側連接有排渣管，所述長晶爐的上側與排氣管的一端連接，所述排氣管的另一端與噴淋單元連接，所述排氣管的外壁上還設置有冷凝單元，所述噴淋單元還設置有排水口。
[0006]優(yōu)選地，所述冷凝單元為連通所述排氣管的冷凝管。
[0007]優(yōu)選地，所述冷凝管長度為2-10m。
[0008]優(yōu)選地，所述噴淋單元包括噴淋室，所述噴淋室內設置有多個噴頭。
[0009]優(yōu)選地，所述保溫室具有加熱功能。
[0010]本實用新型的有益效果是:本實用新型所述保溫室可以分段控制溫度，有利于晶體生長，所述長晶爐的下側連接有排渣管，廢渣由排渣管排出，集中收集處理，所述長晶爐的上側與排氣管的一端連接，含砷廢氣由排氣管排出，所述排氣管的另一端與噴淋單元連接，所述排氣管的外壁上還設置有冷凝單元，含砷廢氣由長晶爐排出時溫度較高，帶有大量熱量，與排氣管外的冷凝單元進行熱交換后，廢氣溫度降低從而降低噴淋塔內的廢水溫度，加熱冷凝水可用于企業(yè)內部供熱系統(tǒng)，降低處理及運營成本，所述噴淋單元還設置有排水口，砷廢氣由排氣管進入噴淋單元之后經(jīng)過液體噴淋吸收，基本無廢氣排出，廢水由底部排出集中收集處理，從而達到含砷氣體零排放。
【附圖說明】
[0011]下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0012]圖1是本實用新型一個實施例的主視圖。
[0013]圖中標記:1_長晶爐，2-保溫室，3-排渣管，4-排氣管，5-冷凝單元，6-噴淋單元，7-排水口。
【具體實施方式】
[0014]現(xiàn)在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
[0015]如圖1所示的本實用新型所述一種長晶工藝能源回收裝置，包括長晶爐1，所述長晶爐I內設置有保溫室2，所述保溫室2具有加熱功能，同時可以分段控制溫度，有利于晶體生長，所述長晶爐I的下側連接有排渣管3，廢渣由排渣管3排出，集中收集處理，所述長晶爐I的上側與排氣管4的一端連接，含砷廢氣由排氣管4排出，所述排氣管4的另一端與噴淋單元6連接，所述排氣管4的外壁上還設置有冷凝單元5，含砷廢氣由長晶爐I排出時溫度較高，帶有大量熱量，與排氣管4外的冷凝單元5進行熱交換后，廢氣溫度降低從而降低噴淋塔內的廢水溫度，加熱冷凝水用于企業(yè)內部供熱系統(tǒng)，降低處理及運營成本，所述噴淋單元6還設置有排水口 7，砷廢氣由排氣管4進入噴淋單元6之后經(jīng)過液體噴淋吸收，基本無廢氣排出，廢水由底部排出集中收集處理，從而達到含砷氣體零排放。
[0016]在優(yōu)選的實施方案中，所述冷凝單元5連通在所述排氣管4的冷凝管，所述冷凝管內可采用冷卻水進行冷卻，冷卻水溫度升高，可用于保溫系統(tǒng)或者用于企業(yè)內加熱單元，從而使能源充分被利用，降低企業(yè)能耗成本，節(jié)約資源，保護環(huán)境。
[0017]在優(yōu)選的實施方案中，所述冷凝管長度為2-10m，具體還可根據(jù)需要進行設置。
[0018]在優(yōu)選的實施方案中，所述噴淋單元6包括噴淋室，所述噴淋室內設置有多個噴頭，噴頭個數(shù)可根據(jù)需要進行設置。
[0019]以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據(jù)權利要求范圍來確定其技術性范圍。
【主權項】
1.一種長晶工藝能源回收裝置，其特征在于，包括長晶爐，所述長晶爐內設置有保溫室，所述長晶爐的下側連接有排渣管，所述長晶爐的上側與排氣管的一端連接，所述排氣管的另一端與噴淋單元連接，所述排氣管的外壁上還設置有冷凝單元，所述噴淋單元還設置有排水口。
2.如權利要求1所述的長晶工藝能源回收裝置，其特征在于，所述冷凝單元為連通所述排氣管的冷凝管。
3.如權利要求2所述的長晶工藝能源回收裝置，其特征在于，所述冷凝管長度為2—1n1
4.如權利要求1所述的長晶工藝能源回收裝置，其特征在于，所述噴淋單元包括噴淋室，所述噴淋室內設置有多個噴頭。
【專利摘要】本實用新型涉及一種長晶工藝能源回收裝置，包括長晶爐，所述長晶爐內設置有保溫室，所述長晶爐的下側連接有排渣管，所述長晶爐的上側與排氣管的一端連接，所述排氣管的另一端與噴淋單元連接，所述排氣管的外壁上還設置有冷凝單元，所述噴淋單元還設置有排水口，砷廢氣由排氣管進入噴淋單元之后經(jīng)過液體噴淋吸收，基本無廢氣排出，廢水由底部排出集中收集處理，從而達到含砷氣體零排放，并且所述冷凝管內采用冷卻水進行冷卻，冷卻水溫度升高，可用于保溫系統(tǒng)或者用于企業(yè)內加熱單元，從而使能源充分被利用，降低企業(yè)能耗成本，節(jié)約資源，保護環(huán)境。
【IPC分類】C30B35-00, B01D53-18
【公開號】CN204265894
【申請?zhí)枴緾N201420735977
【發(fā)明人】易德福, 吳城
【申請人】易德福
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年11月28日