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      一種使用壽命長的單晶爐的制作方法

      文檔序號:9156055閱讀:433來源:國知局
      一種使用壽命長的單晶爐的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及單晶材料制備設(shè)備領(lǐng)域,具體是一種使用壽命長的單晶爐。
      【背景技術(shù)】
      [0002]導(dǎo)模法是從熔體人工制取單晶材料的方法之一,即邊緣限定薄膜供料提拉生長技術(shù)。它是將留有毛細(xì)管狹縫的模具放在熔體中,熔液借毛細(xì)作用上升到模具頂部,形成一層薄膜并向四周擴(kuò)散,同時受種晶誘導(dǎo)結(jié)晶,模具頂部的邊緣可控制晶體呈片狀、管狀或所需的某種幾何形狀產(chǎn)出。這種方法用于定型生長單晶材料。導(dǎo)模法單晶爐就是利用導(dǎo)模法制備單晶材料的裝置。目前市場上的導(dǎo)模法單晶爐使用壽命較短,且生產(chǎn)單晶產(chǎn)品的成品率低。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種使用壽命長的單晶爐,以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問題。
      [0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
      [0005]—種使用壽命長的單晶爐,包括單晶爐主體和氬氣罐;所述氬氣罐放置在單晶爐本體旁,氬氣罐上設(shè)有輸氣管,且輸氣管的另一端連通單晶爐本體的爐腔。
      [0006]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:所述單晶爐主體底端設(shè)有支撐架,單晶爐主體通過支撐架放置在地面上。
      [0007]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述單晶爐主體上端還設(shè)有監(jiān)測單晶爐主體爐腔內(nèi)壓力的壓力表。
      [0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該使用壽命長的單晶爐,增設(shè)氬氣罐,氬氣罐內(nèi)的氬氣經(jīng)輸氣管送入單晶爐本體的爐腔內(nèi),氬氣作為保護(hù)氣體,為單晶爐本體內(nèi)熔體的結(jié)晶過程提供保護(hù),不但能夠延長單晶爐的使用壽命,而且提高產(chǎn)品的成品率。
      【附圖說明】
      [0009]圖1為使用壽命長的單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0010]圖中:1-單晶爐主體、2-支撐架、3-氬氣罐、4-輸氣管、5-壓力表。
      【具體實(shí)施方式】
      [0011]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
      [0012]請參閱圖1,本實(shí)用新型實(shí)施例中,一種使用壽命長的單晶爐,包括單晶爐主體I和氬氣罐3 ;所述單晶爐主體I底端設(shè)有支撐架2,單晶爐主體I通過支撐架2放置在地面上,所述氬氣罐3放置在單晶爐本體I旁,氬氣罐3上設(shè)有輸氣管4,且輸氣管4的另一端連通單晶爐本體I的爐腔,氬氣罐3內(nèi)的氬氣經(jīng)輸氣管4送入單晶爐本體I的爐腔內(nèi),氬氣作為保護(hù)氣體,不但能夠延長單晶爐的使用壽命,而且提高產(chǎn)品的成品率;所述單晶爐主體I上端還設(shè)有監(jiān)測單晶爐主體I爐腔內(nèi)壓力的壓力表5,通過壓力表5監(jiān)測單晶爐主體I爐腔內(nèi)壓力,通過調(diào)節(jié)氬氣罐3的進(jìn)氣流量,來調(diào)節(jié)單晶爐主體I爐腔內(nèi)的壓力,使壓力處于合適范圍。
      [0013]所述使用壽命長的單晶爐,增設(shè)氬氣罐3,氬氣罐3內(nèi)的氬氣經(jīng)輸氣管4送入單晶爐本體I的爐腔內(nèi),氬氣作為保護(hù)氣體,為單晶爐本體I內(nèi)熔體的結(jié)晶過程提供保護(hù),不但能夠延長單晶爐的使用壽命,而且提高產(chǎn)品的成品率。
      [0014]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此,無論從哪一點(diǎn)來看,均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
      [0015]此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個實(shí)施方式僅包含一個獨(dú)立的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種使用壽命長的單晶爐,其特征在于,包括單晶爐主體(I)和氬氣罐(3);所述氬氣罐(3)放置在單晶爐本體(I)旁,氬氣罐(3)上設(shè)有輸氣管(4),且輸氣管(4)的另一端連通單晶爐本體(I)的爐腔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用壽命長的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐主體(I)底端設(shè)有支撐架(2 ),單晶爐主體(I)通過支撐架(2 )放置在地面上。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的使用壽命長的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐主體(I)上端還設(shè)有監(jiān)測單晶爐主體(I)爐腔內(nèi)壓力的壓力表(5 )。
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種使用壽命長的單晶爐,包括單晶爐主體和氬氣罐;所述氬氣罐放置在單晶爐本體旁,氬氣罐上設(shè)有輸氣管,且輸氣管的另一端連通單晶爐本體的爐腔;該使用壽命長的單晶爐,增設(shè)氬氣罐,氬氣罐內(nèi)的氬氣經(jīng)輸氣管送入單晶爐本體的爐腔內(nèi),氬氣作為保護(hù)氣體,為單晶爐本體內(nèi)熔體的結(jié)晶過程提供保護(hù),不但能夠延長單晶爐的使用壽命,而且提高產(chǎn)品的成品率。
      【IPC分類】C30B15/24
      【公開號】CN204825123
      【申請?zhí)枴緾N201520567130
      【發(fā)明人】林志高
      【申請人】福建鑫磊晶體有限公司
      【公開日】2015年12月2日
      【申請日】2015年7月31日
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