一種ald爐臺高效多晶硅熱場改進(jìn)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型設(shè)及多晶娃熱場結(jié)構(gòu)，尤其是一種ALD爐臺高效多晶娃熱場改進(jìn)。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著不可再生的傳統(tǒng)能源日趨減少，光伏新能源日益受到重視，其中多晶娃太陽 電池 W其較高的性價比占據(jù)了大部分的市場份額，提高多晶娃電池轉(zhuǎn)換效率和降低制造成 本仍是光伏行業(yè)亟待解決了兩大瓶頸；
[0003]多晶娃電池片的主體是多晶娃片。目前局效多晶娃片是多晶娃片的主流。制造局 效多晶娃片的關(guān)鍵是多晶娃鑄錠環(huán)節(jié)，即使用高效多晶娃鑄錠技術(shù)制造的多晶娃片。
[0004]作為決定多晶娃鑄錠晶體生長均勻性的熱場保溫結(jié)構(gòu)，在多晶娃鑄錠品質(zhì)提高方 面潛力很大。 【實用新型內(nèi)容】
[000引實用新型目的:針對上述問題，本實用新型的目的提供一種結(jié)構(gòu)簡單，側(cè)壁保溫效 果好，熱場只有縱向溫度梯度的ALD爐臺高效多晶娃熱場改進(jìn)。
[0006] 技術(shù)方案：為了解決W上問題，本實用新型提供一種ALD爐臺高效多晶娃熱場改 進(jìn)，包括設(shè)于相蝸外側(cè)的石墨護(hù)板W及設(shè)于石墨護(hù)板外的熱場，所述的石墨護(hù)板與熱場之 間的空隙內(nèi)填充保溫結(jié)構(gòu)，所述保溫結(jié)構(gòu)由層疊式的保溫層組成;本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，通 過對在相蝸外側(cè)石墨護(hù)板與熱場之間的空隙中設(shè)置保溫結(jié)構(gòu)；可改善側(cè)壁保溫效果，實現(xiàn) 熱場只有縱向溫度梯度。
[0007] 所述的保溫層為石墨硬拉或石墨軟拉的一種或兩種;保溫結(jié)構(gòu)可由石墨硬拉或石 墨軟拉單獨層疊而成;也可由石墨硬拉或石墨軟拉混合層疊而成。
[000引所述的保溫結(jié)構(gòu)的高度為詠胖=壓鵬± 10cm。
[0009] 有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有W下優(yōu)點：
[0010] 1.保溫效果好:通過對在相蝸外側(cè)石墨護(hù)板與熱場之間的空隙中設(shè)置保溫結(jié)構(gòu)； 可改善側(cè)壁保溫效果；
[0011] 2.鑄錠效果好:本實用新型通過設(shè)置保溫結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)熱場只有縱向溫度梯度，有 效提高鑄錠品質(zhì)。
【附圖說明】
[0012] 圖1為ALD普通熱場示意圖；
[001引圖2為ALD熱場改進(jìn)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014] 圖3為保溫結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015] 其中：1.石墨護(hù)板、2.熱場、3.保溫結(jié)構(gòu)、31.保溫層。
【具體實施方式】
[0016] 下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的實施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。W下實施例 用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。"下"、"左"、"右"、"內(nèi)"、"外"、 "前端"、"后端"、"頭部"、"尾部"等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān) 系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須 具有特定的方位、W特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外， 術(shù)語"第一"、"第二"、"第Ξ"等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0017] 在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語"安 裝"、"相連"、"連接"應(yīng)做廣義理解，例如，可W是固定連接，也可W是可拆卸連接，或一體地 連接;可W是機械連接，也可W是電連接;可W是直接相連，也可W通過中間媒介間接相連。 對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可W具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含 義。
[0018] 如圖2-3所示的一種ALD爐臺高效多晶娃熱場2改進(jìn)，包括設(shè)于相蝸外側(cè)的石墨護(hù) 板及設(shè)于石墨護(hù)板1外的熱場2,所述的石墨護(hù)板1與熱場2之間的空隙內(nèi)填充保溫結(jié)構(gòu) 3,所述保溫結(jié)構(gòu)3由層疊式的保溫層31組成;所述的保溫層31為石墨硬拉或石墨軟拉的一 種或兩種;保溫結(jié)構(gòu)3可由石墨硬拉或石墨軟拉單獨層疊而成;也可由石墨硬拉或石墨軟拉 混合層畳而成;所述的保溫結(jié)構(gòu)3的局度為詠腫=圧鵬± 10cm。
[0019] 實施例1
[0020] 如圖2、圖3所示，一種ALD爐臺高效多晶娃熱場2改進(jìn)，包括設(shè)于相蝸外側(cè)的石墨護(hù) 板及設(shè)于石墨護(hù)板1外的熱場2,所述的石墨護(hù)板1與熱場2之間的空隙內(nèi)填充保溫結(jié)構(gòu) 3,所述保溫結(jié)構(gòu)3由層疊式的保溫層31組成，所述的保溫層31由石墨硬拉或石墨軟拉混合 層疊而成;所述的保溫結(jié)構(gòu)3的高度與石英相蝸相等。
[0021] 使用本實用新型與普通爐臺（參見圖1)在相同條件（投料量同為480kg，娃料組成 方案相同）下鑄錠，使用本實用新型的實驗錠與普通鑄錠相比，鑄錠晶體品質(zhì)數(shù)據(jù)較優(yōu)。
[0022] 晶體品質(zhì)數(shù)據(jù)：
[0023]
[0024] 本實用新型的實施例是為了示例和描述起見而給出的，而并不是無遺漏的或者將 本實用新型限于所公開的形式。很多修改和變化對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言是顯而易 見的。選擇和描述實施例是為了更好說明本實用新型的原理和實際應(yīng)用，并且使本領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員能夠理解本實用新型從而設(shè)計適于特定用途的帶有各種修改的各種實施例。
【主權(quán)項】
1. 一種ALD爐臺高效多晶硅熱場（2)改進(jìn)，包括設(shè)于坩堝外側(cè)的石墨護(hù)板（1)以及設(shè)于 石墨護(hù)板（1)外的熱場(2)，其特征在于:所述的石墨護(hù)板（1)與熱場(2)之間的空隙內(nèi)填充 保溫結(jié)構(gòu)(3)，所述保溫結(jié)構(gòu)(3)由層疊式的保溫層(31)組成。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ADL爐臺高效多晶硅熱場(2)改進(jìn)，其特征在于:所述的保 溫層(31)為石墨硬氈或石墨軟氈的一種或兩種。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ALD爐臺高效多晶硅熱場(2)改進(jìn)，其特征在于:所述的保 溫結(jié)構(gòu)（3)的高度為Η?牛=H_±10cm〇
【專利摘要】本實用新型提供一種ALD爐臺高效多晶硅熱場改進(jìn)，包括設(shè)于坩堝外側(cè)的石墨護(hù)板以及設(shè)于石墨護(hù)板外的熱場，所述的石墨護(hù)板與熱場之間的空隙內(nèi)填充保溫結(jié)構(gòu)，所述保溫結(jié)構(gòu)由層疊式的保溫層組成；本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，通過對在坩堝外側(cè)石墨護(hù)板與熱場之間的空隙中設(shè)置保溫結(jié)構(gòu)；可改善側(cè)壁保溫效果，實現(xiàn)熱場只有縱向溫度梯度。
【IPC分類】C30B29/06, C30B28/06
【公開號】CN205241853
【申請?zhí)枴緾N201521023372
【發(fā)明人】宋江, 郭寬新, 張斌
【申請人】奧特斯維能源（太倉）有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年12月11日