感光性樹脂組合物及干膜抗蝕劑的制作方法
【專利摘要】提供了能夠容易地形成可利用堿性水溶液進行顯影、高敏感度，絕緣性、耐熱性等諸特性以及介電性能優(yōu)異的固化膜的感光性樹脂組合物及干膜。該感光性樹脂組合物含有(A)成分、(B)成分及(C)成分，(A)成分：對二乙烯基化合物(a)20～99摩爾%及單乙烯基化合物(b)80～1摩爾%進行共聚所獲得的共聚物，側鏈具有來自于二乙烯基化合物(a)的乙烯基的溶劑可溶性多官能乙烯基共聚物，(B)成分：含有使多元醇化合物與多元羧酸類反應所獲得的含羧基共聚物(b)的堿可溶性樹脂成分，及(C)成分：光引發(fā)劑，相對于(A)成分、(B)成分及(C)成分的總量，(A)成分為1～98.9wt%、(B)成分為98.9～1wt%、(C)成分為0.1～10wt%。
【專利說明】感光性樹脂組合物及干膜抗蝕劑
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及高敏感度、高絕緣、介電性能、耐熱性等優(yōu)異的感光性樹脂組合物及使用了該感光性樹脂組合物的干膜抗蝕劑。
【背景技術】
[0002]近年來，電子機器領域的安裝方法朝向小型化、高密度化的傾向顯著，與此同時，在材料方面也要求更為優(yōu)異的特性。例如，在印刷電路板中使用的絕緣樹脂材料中，也要求耐熱、微細加工性、電特性等。作為絕緣樹脂材料的微細加工的有效手段，已知通過曝光、顯影進行圖案化的方法，在其中可以使用感光性樹脂組合物，但越來越要求高敏感度、對于基板的密合性、電特性、耐鍍覆性、耐熱性、尺寸穩(wěn)定性等諸多特性。特別是，就電特性而言，具有高頻率區(qū)域內(nèi)的介電性能差的缺點，作為搭載高頻率電路的多層印刷電路板的材料變得無法應對。
[0003]另一方面，在這些領域中使用的感光性樹脂組合物通常以具有不飽和雙鍵的聚合性低聚物、聚合性單體及光聚合引發(fā)劑作為必須成分。作為感光性成分主要使用的上述聚合性低聚物有聚酯丙烯酸酯、丙烯酸氨基甲酸酯及環(huán)氧丙烯酸酯等，這些聚合性低聚物由于具有聚合性的不飽和基團，因此利用由光聚合引發(fā)劑產(chǎn)生的自由基，與其他聚合性單體一起進行反應、交聯(lián)，從而變成固化物。
[0004]這些聚合性化合物一般來說由于分子量小、通過光照射瞬間地發(fā)生固化，因此具有在涂膜中產(chǎn)生殘留應力，相對于基材的密合性、機械特性降低的問題。為了解決該問題，還研究了聚合性化合物的高分子量化，但為了調整成能夠進行涂布的粘度，需要大量的溶劑或反應性稀釋劑，因而這種感光性樹脂組合物缺乏機械強度、耐藥品性等。進而，通過高分子量化，還具有相對于堿顯影液的溶解性降低、無法進行顯影等問題。另外，在涂布干燥了這些感光性樹脂組合物的干膜中，在貼附于基材之前的狀態(tài)下，沒有斷裂、褶縫等，在貼附時要求相對于基材的隨動性、平坦性。
[0005]專利文獻I中，嘗試了通過使用堿顯影性的感光性多官能的乙烯基化合物，來改善介電性能。另外，專利文獻2、3中公開了溶劑可溶性的多官能乙烯基共聚物，但沒有堿顯影性。
[0006]現(xiàn)有技術文獻
[0007]專利文獻1:日本特開2004-27145號公報
[0008]專利文獻2:日本特開2004-123873號公報
[0009]專利文獻3:日本特開2005-213443號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的目的在于提供能夠容易地形成可用堿性水溶液進行顯影、高敏感度，且絕緣性、耐熱性等諸特性以及以往難以與這些特性同時實現(xiàn)的介電性能優(yōu)異的圖案狀薄膜的感光性樹脂組合物及干膜抗蝕劑。[0011]本發(fā)明涉及一種能夠堿顯影的感光性樹脂組合物，其為含有(A)成分、(B)成分及(C)成分的感光性樹脂組合物，其中
[0012]⑷成分:對二乙烯基化合物(a) 20~99摩爾％及單乙烯基化合物(b) 80~I摩爾％進行共聚所獲得的共聚物，來自于二乙烯基化合物(a)的由下述式(al)所示的含有未反應的乙烯基的結構單元的含量為10~90摩爾％的溶劑可溶性多官能乙烯基共聚物；
[0013](B)成分:含有使多元醇化合物與多元羧酸類反應所獲得的含羧基共聚物(b)、酸值為50~200mgK0H/g的堿可溶性樹脂成分；及
[0014](C)成分:光引發(fā)劑，
[0015]其特征在于，相對于(A)成分、(B)成分及(C)成分的總量，(A)成分的配合量為I~98.9wt%、(B)成分的配合量為98.9~lwt%、(C)成分的配合量為0.1~10wt%。
[0016]
【權利要求】
1.一種能夠堿顯影的感光性樹脂組合物，其為含有㈧成分、⑶成分及(C)成分的感光性樹脂組合物，其中 (A)成分:對二乙烯基化合物(a)20~99摩爾％及單乙烯基化合物(b) 80~I摩爾％進行共聚所獲得的共聚物，來自于二乙烯基化合物(a)的由下述式(al)所示的含有未反應的乙烯基的結構單元的含量為10~90摩爾％的溶劑可溶性多官能乙烯基共聚物，

2.根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，溶劑可溶性多官能乙烯基共聚物在末端具有酚性羥基，其導入量為2.2個/分子以上。
3.根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，溶劑可溶性多官能乙烯基共聚物在末端具有由下述式(a2)所示的含有不飽和鍵的端基，

4.根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含羧基共聚物(b)是使具有I個以上乙烯基的多元醇化合物與多元羧酸類反應所獲得的含羧基共聚物，重均分子量為 3，000 ~40，000、酸值為 50 ~200mgK0H/g。
5.一種干膜抗蝕劑，其為在能夠剝離的支撐基材上設有感光性樹脂層的干膜抗蝕劑，其特征在于，感光性樹脂層包含權利要求1~4任一項所述的感光性樹脂組合物。
【文檔編號】C08F291/06GK103842908SQ201280046740
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2012年9月20日 優(yōu)先權日:2011年9月26日
【發(fā)明者】片山久史, 稻葉真司, 川邊正直 申請人:新日鐵住金化學株式會社