專利名稱：狹縫噴嘴的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在玻璃襯底、半導體晶片等被處理物表面上以規(guī)定寬度涂布如光致抗蝕劑液和成為濾色器的涂布液的狹縫噴嘴。
背景技術：
圖4是表示現(xiàn)有的狹縫噴嘴的重要部分的視圖，在現(xiàn)有的狹縫噴嘴中，使墊片13介于左右的半體11、12的對接面上并用螺栓接合。在這種情況下，狹縫狀噴出口14的寬度尺寸W取決于墊片13的厚度。但是，準確加工墊片13是有限的，所以很難正確設定噴出口14的寬度尺寸。
因此，可以考慮不用墊片的狹縫噴嘴，但墊片是為了防止從側面漏液，所以，需要在噴嘴的兩側端安裝用于防止漏液的側板。這種構造公開在專利文獻1～6上。
在專利文獻1 ～3所示的狹縫噴嘴中，在噴嘴本體側面直接安裝著側板。而在專利文獻4、5所示的狹縫噴嘴中，在側板與噴嘴本體側面之間設有密封片或襯墊。
而且，在專利文獻6中公開了這樣的噴嘴，即在噴嘴本體的集合管開口側面上嵌入小型栓，在其外側安裝側板，進而，噴嘴的開口寬度用氟樹脂制造的隔片(墊片)進行調整。
專利文獻1日本專利公開P-31051專利文獻2日本專利申請公開JP-2000-3331專利文獻3日本專利申請公開JP-2000-7081專利文獻4日本專利申請公開JP-2002-8604專利文獻1日本專利公開JP-29818專利文獻1日本專利申請公開JP-2002-361150在現(xiàn)有技術1～5所述的狹縫噴嘴中，因與設于側板或側板內側的密封片(襯墊)連接的部分降低了涂布液的流速，因此，從狹縫狀噴出口噴出的涂布液量沿噴嘴的長度方向變得不均勻，在兩端部的噴液量容易變得不足。
并且，在現(xiàn)有技術6中，由于墊片由疏水性氟樹脂制造，因而在與該墊片接觸的部分處的涂布液流速降低得到抑制，但是，其上游側的集合管端部和狹縫端部是用不同部件堵塞的，因此在噴嘴長度方向改變時，必須調節(jié)各自的部件，這是很費事的。
并且，出現(xiàn)了隨側板厚度不同而向襯底噴出的涂布液的噴出分布也不同的現(xiàn)象。

發(fā)明內容
要解決上述課題的本發(fā)明狹縫噴嘴由左右半體接合而成并具有這樣的結構，即在左右半體中的至少一個半體的對接面上形成決定狹縫狀噴出口寬度尺寸的凹部，并且在狹縫噴嘴的兩端上安裝側板，該側板封閉由上述凹部形成的側面開口，而且，該側板為疏水性材料或以疏水性材料覆蓋靠近蓋側板的至少上述側面開口部分。
在閉塞狹縫狀噴出口的側板噴出側近旁的側板的厚度被加工到這樣的程度，即噴出分布沒有差異。
根據(jù)本發(fā)明，狹縫狀噴出流路的兩端部被制成是疏水性的，由此能夠抑制流路兩端部的涂布液流速降低，因而能獲得均勻涂布和厚度均勻的涂膜。


圖1表示應用有關第1說明狹縫噴嘴的涂布裝置側視圖；圖2表示該狹縫噴嘴的立體圖；圖3表示該狹縫噴嘴的分解立體圖；圖4表示現(xiàn)有的狹縫噴嘴重要部分放大圖；圖5表示有關第2發(fā)明狹縫噴嘴的側視圖；圖6表示圖5中所示狹縫噴嘴的側板重要部分放大圖；圖7表示用本發(fā)明側板的狹縫噴嘴噴出分布和用現(xiàn)有側板的狹縫噴嘴噴出分布圖。
具體實施例方式
下面按照附圖來說明本發(fā)明的實施例。圖1是采用根據(jù)本發(fā)明的狹縫噴嘴的涂布裝置的側視圖，圖2是該狹縫噴嘴的立體圖，圖3是該狹縫噴嘴的分解立體圖，狹縫噴嘴1由能水平運動和升降運動的框架20支持，在框架20的一端的上面設有送液泵21，涂布液從涂布液槽經過供給管22被送向該送液泵并從送液泵21通過供給管23被送給狹縫噴嘴1。此外，在狹縫噴嘴1的側面上安裝有縫隙傳感器24。
狹縫噴嘴1由左右半體2、3構成，一個半體2的對接面設定為平面，同時，在另一個半體3的中間位置上形成有沿長度方向延伸的集合管4，在集合管4上方的部分5形成與半體2接合的接合面，在集合管4下方的部分6比上方部分5更多地被磨削而后退，并在與半體2的對接面之間形成間隙，該間隙成為狹縫噴嘴的噴出口7的寬度尺寸W。
此外，在接合左右半體2、3的狀態(tài)下，在左右側面上，集合管4和噴出口7的側端部有開口，所以，用側板8、9不透液地封閉所述開口。
在本發(fā)明中，由樹脂等疏水性材料構成側板8、9，或者在與側板8、9的同半體2、3接合的內側面上涂覆疏水層。側板8、9是這樣加工的，即在狹縫噴嘴的噴出口7附近的厚度為0.1～1.0mm(較好為0.5mm以下，更好為0.1～0.3mm)。
這樣，由于用疏水性部件堵塞朝向狹縫噴嘴的噴出口7側的開口，所以不會顯著降低兩端部的涂布液流速，所以能進行均勻涂布。具體地說，粘度為5cp的光致抗蝕劑在溫度23℃下按照涂布量1000μl/sec形成1.5μm厚的涂膜。這時的兩側膜厚的減小在采用本發(fā)明的狹縫噴嘴的情況下至少改善到0.1μm的程度，而采用現(xiàn)有的狹縫噴嘴時是0.3μm。
通過把測板8、9的厚度加工成0.1～1.0mm(較好為0.5mm以下，更好為0.1～0.3mm)，在襯底端部的噴出分布得到改善。雖然整個側板厚度被加工成0.1～1.0mm(較好為0.5mm以下，更好為0.1～0.3mm)不能保證強度，但只加工噴出口附近使之成為0.1～1.0mm(較好為0.5mm以下，更好為0.1～0.3mm)，由此一來，在作為側板也保證強度的同時，噴出分布也如圖7所示地變好了。
本發(fā)明的狹縫噴嘴可被用于按規(guī)定寬度對玻璃襯底和半導體晶片的表面涂布光致抗蝕劑、SOG溶液或濾色器用涂布液的裝置。
權利要求
1.一種按規(guī)定寬度在被處理物的表面上涂布涂布液的狹縫噴嘴，其特征是，該狹縫噴嘴由左右半體接合而成，在所述左右半體中的至少一個半體的對接面上形成決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部，并且在蓋狹縫噴嘴的兩端上安裝側板，所述側板封閉由上述凹部形成的側面開口，而且該側板是疏水性材料，或者該側板的至少靠近上述側面開口的部分用疏水性材料覆蓋。
2.一種按規(guī)定寬度在被處理物的表面上涂布涂布液的狹縫噴嘴，其特征是，該狹縫噴嘴由左右半體接合而成，在所述左右半體中的至少一蓋半體的對接面上形成決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部，并且在該狹縫噴嘴的兩端上安裝側板，所述側板封閉由上述凹部形成的側面開口，而且該側板在該狹縫狀噴出口的頂端部近旁具有0.1～1.0mm的寬度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在兩端部的涂布液流量難以降低的狹縫噴嘴。狹縫噴嘴由左右半體(2、3)構成，一個半體(2)的對接面設為平面，同時，在另一個半體(3)的中間位置上形成沿長度方向延伸的集合管(4)，在集合管(4)上方的部分(5)形成與半體(2)接合的接合面，在集合管(4)下方的部分(6)比上方部分(5)被更多地研磨而后退，在與半體(2)對接的對接面之間形成間隙，該間隙成為狹縫噴嘴的噴出口(7)的寬度尺寸(W)，進而，該狹縫噴嘴(1)的兩側端通過側板(8、9)被不透液地封閉。側板(8、9)由樹脂等疏水性材料構成，或者在側板(8、9)的同半體(2、3)接合的內側面上涂覆疏水涂層。
文檔編號B05C5/02GK1611304SQ20041009519
公開日2005年5月4日 申請日期2004年10月27日 優(yōu)先權日2003年10月27日
發(fā)明者大淵一人, 升芳明 申請人:東京応化工業(yè)株式會社