專利名稱：涂布方法和涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)電解質(zhì)膜等工件實(shí)施涂裝的涂布(涂敷)方法和涂布裝置。
背景技術(shù)：
以往，在電解質(zhì)膜上涂布催化劑墨水時(shí)用噴槍進(jìn)行噴射涂布已為公眾所知(參照專利文獻(xiàn)1)。 另一方面，在含有由噴槍噴出的涂料的氣氛中配置工件時(shí)，由于在涂料方面使用具有可燃性的原料，因此，在將驅(qū)動(dòng)噴槍的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和馬達(dá)(motor,電動(dòng)機(jī))等驅(qū)動(dòng)源與工件一起收容在外殼(casing)內(nèi)時(shí)，作為驅(qū)動(dòng)源需要使用防爆規(guī)格的結(jié)構(gòu)。但是，若將驅(qū)動(dòng)源做成防爆規(guī)格的結(jié)構(gòu)則會(huì)使成本上升。 因此，作為對(duì)汽車等的工件實(shí)施涂裝的涂裝裝置提出了如下裝置將涂裝槍和驅(qū)動(dòng)涂裝槍的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)收容在防爆結(jié)構(gòu)的外殼中，在外殼的外部配置對(duì)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)源，讓連接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)軸穿過被形成在外殼的孔部，使得不需要防爆型的驅(qū)動(dòng)源，從而使得涂裝裝置的價(jià)格低廉化(參照專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)1 :日本特開2003-211063號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 :日本特開平11-57554號(hào)公報(bào) 在以往的技術(shù)中，在外殼的外部配置驅(qū)動(dòng)源，使得不需要防爆型的驅(qū)動(dòng)源，因此，可使涂裝裝置的價(jià)格低廉化。 但是，在以往技術(shù)中，作為用于將左右往復(fù)式馬達(dá)和搖動(dòng)式馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍的機(jī)構(gòu)、分別使用具有一對(duì)錐齒輪的傳遞機(jī)構(gòu)、具有一對(duì)錐齒輪的左右往復(fù)動(dòng)作機(jī)構(gòu)，因此構(gòu)成變得復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可以簡(jiǎn)化將馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍等涂布器的機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的涂布方法和涂布裝置。 本發(fā)明的技術(shù)方案(權(quán)利要求)1的涂布方法的特征在于在工件收容室內(nèi)在下部設(shè)置工件載置用板、并在工件收容室內(nèi)在該工件載置用板上方設(shè)置具有涂布器的涂布器組件； 在該工件收容室內(nèi)，由第l移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述涂布器組件沿第l直線方向移動(dòng)，且由第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿與上述第1直線方向正交的第2直線方向移動(dòng)；
從所述工件收容室外，由第1馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)、而由第2馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述涂布器相對(duì)于載置在所述工件載置用板的被涂工件進(jìn)行定位而進(jìn)行涂布。 技術(shù)方案(權(quán)利要求)2的涂布方法，在技術(shù)方案l所述的涂布方法中，其特征在于，所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)將所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)傳遞到第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸、由該第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸使所述涂布器組件沿所述第1直線方向移動(dòng)，而且，
所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過第2旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)將所述第2馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)傳遞到第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸，通過該第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸使所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿所述第2直線方向移動(dòng)。
技術(shù)方案(權(quán)利要求)3的涂布方法，在技術(shù)方案l所述的涂布方法中，其特征在于，所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)含有將通過與所述第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸平行且可自由旋轉(zhuǎn)地支承在所述工件收容室的花鍵軸傳遞的所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)變換90度方向而傳遞到所述第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的旋轉(zhuǎn)方向變換機(jī)構(gòu)。 技術(shù)方案(權(quán)利要求)4的涂布方法，在技術(shù)方案1-3中任一項(xiàng)所述的涂布方法中，其特征在于，所述工件收容室由防爆結(jié)構(gòu)構(gòu)成。 技術(shù)方案(權(quán)利要求)5的涂布方法，在技術(shù)方案1 4的任何一項(xiàng)所述的涂布方
法中，其特征在于， 所述工件為片狀， 驅(qū)動(dòng)所述第1馬達(dá)或第2馬達(dá)以從所述片狀工件的一端到另一端地使所述涂布器沿所述第1直線方向或第2直線方向移動(dòng)，局部涂布所述片狀工件，接著，在驅(qū)動(dòng)所述第2馬達(dá)或第1馬達(dá)使所述涂布器移動(dòng)到了所述片狀工件的未涂布部分之后，驅(qū)動(dòng)所述第1馬達(dá)或第2馬達(dá)以從所述一端到所述另一端地進(jìn)行涂布，反復(fù)進(jìn)行所述操作，對(duì)所述片狀工件的整個(gè)面進(jìn)行涂布。
本發(fā)明的技術(shù)方案(權(quán)利要求)6的涂布裝置的特征在于包括
設(shè)置在工件收容室內(nèi)下部的工件載置板； 在所述工件收容室內(nèi)配置在工件載置板的上方的具有涂布器的涂布器組件；
設(shè)置在所述工件收容室內(nèi)、用于使所述涂布器組件沿第1直線方向移動(dòng)的第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)； 設(shè)置在所述工件收容室內(nèi)、用于使該第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿與所述第1直線方向正交的第2直線方向移動(dòng)的第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)； 設(shè)置在所述工件收容室外、驅(qū)動(dòng)所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第1馬達(dá)；禾口 設(shè)置在所述工件收容室外、驅(qū)動(dòng)所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第2馬達(dá)。 技術(shù)方案(權(quán)利要求)7的涂布裝置，在技術(shù)方案6所述的涂布裝置中，其特征在
于， 所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括在所述第1直線方向延伸且螺紋連接于所述涂布器組件的支承體的第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸、支承該第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的支承部件、和將所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)傳遞到所述第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)； 所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括可自由旋轉(zhuǎn)地被支承于所述工件收容室、在所述第2直線延伸且與所述支承部件螺紋連接的第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸、和將所述第2馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)傳遞到所述第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸的第2旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)。 技術(shù)方案(權(quán)利要求)8的涂布裝置的特征在于，在實(shí)施方式7所述的涂布裝置中， 所述第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)含有與所述第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸平行且可自由旋轉(zhuǎn)地被支承在所述工件收容室內(nèi)的花鍵軸、將所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)傳遞到花鍵軸的聯(lián)軸器、與花鍵軸花鍵連接的旋轉(zhuǎn)部件、和將該旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)變換90度方向傳遞到所述第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的旋轉(zhuǎn)方向變換機(jī)構(gòu)。
5
技術(shù)方案(權(quán)利要求)9的裝置，在技術(shù)方案6 8中任意一項(xiàng)所述的涂布裝置中，所述工件收容室由防爆結(jié)構(gòu)構(gòu)成。 根據(jù)本發(fā)明，可以由配置在工件收容室的外部的第1馬達(dá)和第2馬達(dá)通過配置在工件收容室內(nèi)的第1和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)使涂布器組件移動(dòng)，并用涂布器對(duì)工件的整個(gè)面進(jìn)行涂布。 另外，根據(jù)本發(fā)明，在將工件收容室做成防爆結(jié)構(gòu)時(shí)，將第1馬達(dá)和第2馬達(dá)配置在工件收容室的外部，因此，使得不再需要用防爆規(guī)格的結(jié)構(gòu)構(gòu)成第1馬達(dá)和第2馬達(dá)，可以簡(jiǎn)化整個(gè)涂布裝置的構(gòu)成。 根據(jù)本發(fā)明，可以簡(jiǎn)化將各馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍等涂布器的機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的涂布裝置的要部剖視俯視圖。
圖2是涂布裝置的要部剖視側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，基于附圖對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的涂布裝置的要部剖視俯視圖，圖2是涂布裝置的要部剖視側(cè)視圖。 在圖1中，涂布裝置10具有工件收容室12。該工件收容室12其內(nèi)部處于充滿可燃性的涂裝液的氣氛下，因此，例如由密封的防爆結(jié)構(gòu)構(gòu)成。在工件收容室12的內(nèi)部配置有用于固定工件的加熱板(hot plate) 14。 加熱板14形成為大致箱體形狀，并用螺栓和螺母固定在工件收容室12的底面。從熱介質(zhì)供給源(未圖示)向加熱板14的內(nèi)部供給熱介質(zhì)，在加熱板14的上部固定作為工件的例如用于燃料電池的電極的電解質(zhì)膜片16(sheet)。在這種情況下，加熱板14接收來(lái)自熱介質(zhì)供給源的熱介質(zhì)的供給，其表面溫度例如保持在60 ll(TC，并使該熱量傳導(dǎo)到電解質(zhì)膜片16。 在工件收容室12中的加熱板14的周圍配置有Y軸用滾珠絲杠18，并且在與Y軸用滾珠絲杠18大致正交的方向配置有支承部件20。 在Y軸用滾珠絲杠18的外周側(cè)形成螺紋部(公螺紋)，在該螺紋部螺紋連接(接合)有支承部件20的螺紋部(母螺紋)。Y軸用滾珠絲杠18在軸向一端側(cè)連接聯(lián)軸器22，在軸向另一方側(cè)可自由旋轉(zhuǎn)地軸支承在軸承24。在聯(lián)軸器22連接有Y軸用伺服馬達(dá)26 (servo motor)的旋轉(zhuǎn)軸28。 Y軸用伺服馬達(dá)26配置在工件收容室12的外部，連接有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)。若由來(lái)自馬達(dá)驅(qū)動(dòng)裝置的脈沖信號(hào)使Y軸用伺服馬達(dá)26正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，Y軸用伺服馬達(dá)26的旋轉(zhuǎn)力通過聯(lián)軸器22傳遞到Y(jié)軸用滾珠絲杠18，使Y軸用滾珠絲杠18正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。若Y軸用滾珠絲杠18正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，則與Y軸用滾珠絲杠18的螺紋部螺紋連接的支承部件20沿Y軸用滾珠絲杠18的軸向(箭頭Y方向)移動(dòng)。 另外，在工件收容室12中與Y軸用滾珠絲杠18平行地配置有花鍵軸(軸)30。
在花鍵軸30除了其軸向一端側(cè)端部之外形成有由多個(gè)齒形成的外花鍵(方形花鍵)，在該外花鍵安裝有圓環(huán)形的螺母(支承部件)32。螺母32在內(nèi)周側(cè)設(shè)置有可與外花鍵接合的內(nèi)花鍵(方形花鍵)，可自由旋轉(zhuǎn)地軸支承在被固定在支承部件20的軸承34，并且，內(nèi)花鍵與花鍵軸30的外花鍵花鍵連接。 花鍵軸30的軸向一端側(cè)被連接到聯(lián)軸器36，軸向另一端側(cè)可自由旋轉(zhuǎn)地軸支承在軸承38。在聯(lián)軸器36連接有X軸用伺服馬達(dá)40的旋轉(zhuǎn)軸42。 該X軸用伺服馬達(dá)40配置在工件收容室12的外部，被連接到馬達(dá)驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)。若由來(lái)自馬達(dá)驅(qū)動(dòng)裝置的脈沖信號(hào)使X軸用伺服馬達(dá)40正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，則X軸用伺服馬達(dá)40的旋轉(zhuǎn)力(驅(qū)動(dòng)力)通過聯(lián)軸器36傳遞到花鍵軸30，使花鍵軸30正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。若花鍵軸30正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，則與花鍵軸30的外花鍵花鍵連接的螺母32與花鍵軸30 —起正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。 此時(shí)，螺母32在軸支承于支承部件20的軸承34的狀態(tài)下正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，另一方面在Y軸用伺服馬達(dá)26正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，伴隨Y軸用滾珠絲杠18的正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，支承部件20沿Y軸用滾珠絲杠18的軸向(箭頭Y方向)移動(dòng)時(shí)，螺母32在軸支承在支承部件20的軸承34的狀態(tài)下，與支承部件20的移動(dòng)相配合，沿花鍵軸30的軸向(箭頭Y方向)移動(dòng)。
另外，在螺母32外周面沿花鍵軸30的徑向固定有圓環(huán)狀的帶輪44。與該帶輪44相對(duì)向地配置有帶輪46，在帶輪44、46分別安裝有同步帶48。 S卩，使得花鍵軸30的旋轉(zhuǎn)力通過螺母32、帶輪44、同步帶48被傳遞到帶輪46。 帶輪46被固定在與花鍵軸30平行地配置的旋轉(zhuǎn)軸50的外周面。旋轉(zhuǎn)軸50其一部分與錐齒輪52、54 —起被收容在正交軸齒輪箱56內(nèi)，正交軸齒輪箱56被固定在支承部件20。錐齒輪52、54被配置在相互正交的方向上，其齒部相互嚙合。錐齒輪52被固定在旋轉(zhuǎn)軸50外周面，錐齒輪54被固定在X軸用滾珠絲杠(第2螺旋軸(螺桿軸，絲杠軸))58的軸向另一端部外周。X軸用滾珠絲杠(第2螺旋軸)58的軸向另一端部可自由旋轉(zhuǎn)地被軸支承在固定在支承部件20的軸承60。 即，若花鍵軸30正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，花鍵軸30的旋轉(zhuǎn)力通過螺母32、帶輪44、同步帶48、帶輪46、旋轉(zhuǎn)軸50被傳遞到錐齒輪52，其后，將該錐齒輪52的旋轉(zhuǎn)方向通過錐齒輪54變換90度地傳遞到X軸用滾珠絲杠58。 在這種情況下，帶輪44、同步帶48、帶輪46、旋轉(zhuǎn)軸50、錐齒輪52、54構(gòu)成將螺母32的旋轉(zhuǎn)力以將其旋轉(zhuǎn)方向變換90度的方式傳遞到X軸用滾珠絲杠58的旋轉(zhuǎn)方向變換機(jī)構(gòu)。 在X軸用滾珠絲杠58的外周側(cè)形成有螺紋部(公螺紋)，在該螺紋部螺紋連接有涂裝槍組件62的螺紋部(母螺紋)。 涂裝槍組件62具有沿X軸用滾珠絲杠58的軸向配置的涂布噴嘴64、66、68 (spraynozzle)、和支承各涂布噴嘴64、66、68的殼體70 (case)，在殼體70形成與X軸用滾珠絲杠58的螺紋部(公螺紋)螺紋連接的螺紋部(母螺紋)，在殼體70內(nèi)收容有用于向各涂布噴嘴64、66、68供給涂裝液的箱(tank)(未圖示)。 若在X軸用滾珠絲杠58正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，則該涂裝槍組件62可以在與X軸用滾珠絲杠58的螺紋部螺紋連接的殼體70沿X軸用滾珠絲杠58的軸向(箭頭X方向)移動(dòng)的同時(shí)，從各涂布噴嘴64、66、68向片16上噴射涂裝液、對(duì)片16表面實(shí)施涂裝。
此時(shí)，為了對(duì)片16的整個(gè)面實(shí)施涂裝，涂裝槍組件62可在片16的整個(gè)面上移動(dòng)。
S卩，涂裝槍組件62的移動(dòng)區(qū)域設(shè)定為比片16寬廣的范圍。具體來(lái)說，支承部件20
7和涂裝槍組件62的在Y軸用滾珠絲杠18的軸向的移動(dòng)距離設(shè)定為比片16的在Y軸方向的長(zhǎng)度長(zhǎng)，涂裝槍組件62的在X軸用滾珠絲杠58的軸向的移動(dòng)距離設(shè)定為比片16的在X軸方向的長(zhǎng)度長(zhǎng)。 在此，將片16中的靠近花鍵軸30的一方設(shè)為右端、遠(yuǎn)離花鍵軸30的一方設(shè)為左端，靠近X軸用滾珠絲杠58的一方設(shè)為前側(cè)，遠(yuǎn)離X軸用滾珠絲杠58的一方設(shè)為后側(cè)；在從片16的右端向左端進(jìn)行涂裝并且從片16的前側(cè)向后側(cè)進(jìn)行涂裝的情況下，首先，在涂布之前、為了將涂裝槍組件62定位于第1起始位置，分別使Y軸用伺服馬達(dá)26和X軸用伺服馬達(dá)40旋轉(zhuǎn)，將涂裝槍組件62配置在正交軸齒輪箱56附近，并且，將支承部件20配置在Y軸用伺服馬達(dá)26、X軸用伺服馬達(dá)40附近，并且，將涂裝槍組件62定位在片16的右端前側(cè)的上方。 在將涂裝槍組件62定位在第1起始位置之后，若使Y軸用伺服馬達(dá)26正轉(zhuǎn)，則Y軸用滾珠絲杠18正轉(zhuǎn)，支承部件20沿Y軸用滾珠絲杠18的軸向向后側(cè)移動(dòng)。此時(shí)，若從各涂布噴嘴64、66、68向片16上噴射涂裝液，則可在片16中的右端側(cè)的第1區(qū)域從前側(cè)到后側(cè)地實(shí)施涂裝。 涂裝槍組件62從第1起始位置移動(dòng)到了后側(cè)時(shí)，在暫時(shí)停止了Y軸用伺服馬達(dá)26的驅(qū)動(dòng)之后，若使Y軸用伺服馬達(dá)26反轉(zhuǎn)，則支承部件20沿Y軸用滾珠絲杠18的軸向向前側(cè)移動(dòng)，涂裝槍組件62回歸第1起始位置。 此后，若使X軸用伺服馬達(dá)40僅以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)，則花鍵軸30以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)，
花鍵軸30的旋轉(zhuǎn)力通過螺母32、帶輪44、同步帶48、帶輪46、旋轉(zhuǎn)軸50、錐齒輪52、錐齒輪
54傳遞到X軸用滾珠絲杠58，使X軸用滾珠絲杠58以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)。 若X軸用滾珠絲杠58以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)，則涂裝槍組件62沿X軸用滾珠絲杠58的
軸向(X軸方向)向從正交軸齒輪箱56離開的方向移動(dòng)，將涂裝槍組件62定位于從第1起
始位置沿X軸方向距離規(guī)定間距(相當(dāng)于涂布噴嘴64、66、68整體的長(zhǎng)度(幅寬)的距離)
的第2起始位置。 其后，若使Y軸用伺服馬達(dá)26正轉(zhuǎn)，則Y軸用滾珠絲杠18正轉(zhuǎn)，支承部件20沿Y軸用滾珠絲杠18的軸向向后側(cè)移動(dòng)。此時(shí)，若從各涂布噴嘴64、66、68向片16上噴射涂裝液，則可以對(duì)片16中的右端側(cè)的第2區(qū)域從前側(cè)到后側(cè)實(shí)施涂裝。 在涂裝槍組件62從第2起始位置移動(dòng)到了后側(cè)之時(shí)，在暫時(shí)停止Y軸用伺服馬達(dá)26的驅(qū)動(dòng)之后，若使Y軸用伺服馬達(dá)26反轉(zhuǎn)，則支承部件20沿Y軸用滾珠絲杠18的軸方向向前側(cè)移動(dòng)，涂裝槍組件62回到第2起始位置。 此后，使X軸用伺服馬達(dá)40僅以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)，則花鍵軸30以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)，花鍵軸30的旋轉(zhuǎn)力通過螺母32、帶輪44、同步帶48、帶輪46、旋轉(zhuǎn)軸50、錐齒輪52、錐齒輪54傳遞到X軸用滾珠絲杠58，使X軸用滾珠絲杠58以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)。 若X軸用滾珠絲杠58以恒定轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)，則涂裝槍組件62沿X軸用滾珠絲杠58的軸向(X軸方向)向從正交軸齒輪箱56離開的方向移動(dòng)，將涂裝槍組件62定位于從第2起始位置沿X軸方向距離規(guī)定間距(相當(dāng)于涂布噴嘴64、66、68整體的長(zhǎng)度(幅寬)的距離)的第3起始位置。 其后，同樣將涂裝槍組件62定位于第3起始位置之后，使涂裝槍組件62移動(dòng)到后側(cè)，在將涂裝槍組件62定位于第3起始位置之后，依次將涂裝槍組件62定位于第4，第5，......，第n起始位置(左端的起始位置)，并且，通過使涂裝槍組件62從第4，第
5，......，第n起始位置移動(dòng)到后側(cè)，可對(duì)片16的整個(gè)面實(shí)施涂裝。 另外，在使涂裝槍組件62移動(dòng)時(shí)，可以使涂裝槍組件62從片16的左端上方向右端上方移動(dòng)、并且使涂裝槍組件62從后側(cè)上方向前側(cè)上方移動(dòng)，另外，也可在使X軸用伺服馬達(dá)40旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下使Y軸用伺服馬達(dá)26旋轉(zhuǎn)。 在本實(shí)施例中，將配置在工件收容室12的外部的Y軸用伺服馬達(dá)26的驅(qū)動(dòng)力(旋轉(zhuǎn)力)通過Y軸用滾珠絲杠18傳遞到支承部件20，將配置在工件收容室12的外部的X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)力(旋轉(zhuǎn)力)通過花鍵軸30、螺母32、帶輪44、同步帶48、帶輪46、旋轉(zhuǎn)軸50、錐齒輪52、54傳遞到X軸用滾珠絲杠58，由Y軸用伺服馬達(dá)26的驅(qū)動(dòng)使支承部件20和涂裝槍組件62沿Y軸移動(dòng)，由X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)使涂裝槍組件62沿X軸移動(dòng)，在涂裝槍組件62沿Y軸或X軸移動(dòng)的過程中，可對(duì)由涂裝槍組件62片16的整個(gè)面實(shí)施涂裝。 此時(shí)，用Y軸用滾珠絲杠18、支承部件20和X軸用滾珠絲杠58構(gòu)成將Y軸用伺服馬達(dá)26的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍組件62的Y軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)；并且用花鍵軸30、螺母32、帶輪44、同步齒形輪48、帶輪46、旋轉(zhuǎn)軸50、錐齒輪52、54、X軸用滾珠絲杠58構(gòu)成將X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍組件62的X軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)；因此，可以簡(jiǎn)化Y軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)和X軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。 另外，用一對(duì)錐齒輪52、54構(gòu)成屬于X軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)方向變換機(jī)構(gòu)，做成將伴隨X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)的花鍵軸30和螺母32的旋轉(zhuǎn)力以將其旋轉(zhuǎn)方向變換90度的方式傳遞到X軸用滾珠絲杠58，因此，可以進(jìn)一步簡(jiǎn)化旋轉(zhuǎn)方向變換機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。
而且，將Y軸用伺服馬達(dá)26和X軸用伺服馬達(dá)40配置在工件收容室12的外部，因此，使得不需要用防爆規(guī)格的結(jié)構(gòu)構(gòu)成Y軸用伺服馬達(dá)26和X軸用伺服馬達(dá)40，可以簡(jiǎn)化整個(gè)涂裝裝置10的構(gòu)成。 采用本實(shí)施例，可以簡(jiǎn)化將Y軸用伺服馬達(dá)26的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍組件62的Y軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)和將X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍組件62的X軸用驅(qū)動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。 另外，在構(gòu)成屬于將X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍組件62的機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)方向變換機(jī)構(gòu)時(shí)，使用在螺母32的外周面直接固定錐齒輪52的構(gòu)成代替使用帶輪44、46、同步帶48、旋轉(zhuǎn)軸50，因此可進(jìn)一步簡(jiǎn)化構(gòu)成。 在上述實(shí)施例中，以涂裝電解質(zhì)膜等的涂裝槍或噴嘴為例進(jìn)行了說明，但工件不限于上述實(shí)施例中的物品，包含與半導(dǎo)體相關(guān)、與電子設(shè)備相關(guān)等的所有被涂物都可作為加工對(duì)象。 另外，對(duì)于涂布器來(lái)說，不限于上述實(shí)施例中所示的內(nèi)容，可以包含噴嘴、超聲波霧化裝置、分送器(dispenser)、噴墨器、簾式涂料器等。
權(quán)利要求
一種涂布方法，其特征在于，在工件收容室內(nèi)下部設(shè)置工件載置用板、并在工件收容室內(nèi)在該工件載置用板上方設(shè)置具有涂布器的涂布器組件；在該工件收容室內(nèi)，由第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述涂布器組件沿第1直線方向移動(dòng)，且由第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿與上述第1直線方向正交的第2直線方向移動(dòng)；從所述工件收容室外，由第1馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)、而由第2馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述涂布器相對(duì)于載置于所述工件載置用板的被涂工件進(jìn)行定位而進(jìn)行涂布。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的涂布方法，其特征在于，所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)將所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)傳遞到第1旋轉(zhuǎn)螺旋 軸、由該第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸使所述涂布器組件沿所述第1直線方向移動(dòng)，而且，所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過第2旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)將所述第2馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)傳遞到第2旋轉(zhuǎn) 螺旋軸，通過該第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸使所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿所述第2直線方向移動(dòng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布方法，其特征在于，所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述第1旋轉(zhuǎn)傳 遞機(jī)構(gòu)含有將通過與所述第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸平行且可自由旋轉(zhuǎn)地支承在所述工件收容室的 花鍵軸傳遞的所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)變換90度方向而傳遞到所述第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的旋轉(zhuǎn)方 向變換機(jī)構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于，所述工件收容室由防 爆結(jié)構(gòu)構(gòu)成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于， 所述工件為片狀，驅(qū)動(dòng)所述第1馬達(dá)或第2馬達(dá)以從所述片狀工件的一端到另一端地使所述涂布器沿所 述第1直線方向或第2直線方向移動(dòng)，局部涂布所述片狀工件，接著，在驅(qū)動(dòng)所述第2馬達(dá) 或第1馬達(dá)使所述涂布器移動(dòng)到了所述片狀工件的未涂布部分之后，驅(qū)動(dòng)所述第1馬達(dá)或 第2馬達(dá)以從所述一端到所述另一端地進(jìn)行涂布，反復(fù)進(jìn)行所述操作，對(duì)所述片狀工件的 整個(gè)面進(jìn)行涂布。
6. —種涂布裝置，其特征在于，包括 設(shè)置在工件收容室內(nèi)下部的工件載置板；在所述工件收容室內(nèi)配置在工件載置板的上方的具有涂布器的涂布器組件； 設(shè)置在所述工件收容室內(nèi)、用于使所述涂布器組件沿第1直線方向移動(dòng)的第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)；設(shè)置在所述工件收容室內(nèi)、用于使該第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿與所述第1直線方向正交的第2 直線方向移動(dòng)的第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)；設(shè)置在所述工件收容室外、驅(qū)動(dòng)所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第1馬達(dá)；禾口 設(shè)置在所述工件收容室外、驅(qū)動(dòng)所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第2馬達(dá)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布裝置，其特征在于，所述第1移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括在所述第1直線方向上延伸且螺紋連接于所述涂布器組件的 支承體的第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸、支承該第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的支承部件、和將所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動(dòng)傳遞到所述第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)；所述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括可自由旋轉(zhuǎn)地被支承于所述工件收容室、在所述第2直線延伸且與所述支承部件螺紋連接的第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸、和將所述第2馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)傳遞到所述 第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸的第2旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布裝置，其特征在于，所述第1旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)含有與所述第2旋轉(zhuǎn)螺旋軸平行且可自由旋轉(zhuǎn)地被支承在所 述工件收容室內(nèi)的花鍵軸、將所述第1馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)傳遞到花鍵軸的聯(lián)軸器、與花鍵軸花鍵 連接的旋轉(zhuǎn)部件、和將該旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)變換90度方向傳遞到所述第1旋轉(zhuǎn)螺旋軸的旋轉(zhuǎn) 方向變換機(jī)構(gòu)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6 8中任意一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于，所述工件收容室由防 爆結(jié)構(gòu)構(gòu)成。
全文摘要
一種涂布方法和涂布裝置，將Y軸用伺服馬達(dá)(26)的驅(qū)動(dòng)力通過Y軸用滾珠絲杠(18)傳遞到支承部件(20)，將X軸用伺服馬達(dá)(40)的驅(qū)動(dòng)力通過花鍵軸(30)、螺母(32)、帶輪(44)、同步帶(48)、帶輪(46)、旋轉(zhuǎn)軸(50)、錐齒輪(52、54)傳遞到X軸用滾珠絲杠(58)，由Y軸用伺服馬達(dá)(26)的驅(qū)動(dòng)使支承部件(20)和涂裝槍組件(62)沿Y軸移動(dòng)，由X軸用伺服馬達(dá)40的驅(qū)動(dòng)使涂裝槍組件(62)沿X軸移動(dòng)，在該過程中，由涂裝槍組件(62)在片(16)上實(shí)施涂裝。此時(shí)，用錐齒輪(52、54)將螺母(32)的旋轉(zhuǎn)(方向)變換90度傳遞到X軸用滾珠絲杠(58)，由此可簡(jiǎn)化將X軸用伺服馬達(dá)(40)的驅(qū)動(dòng)力傳遞到涂裝槍組件(62)的機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。
文檔編號(hào)B05C15/00GK101758011SQ20091022440
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2009年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月19日
發(fā)明者宮野健, 小林實(shí) 申請(qǐng)人:瑪太克司馬特股份有限公司