除膜方法、除膜用噴嘴和除膜裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】高效地溶解除去干狀態(tài)的膜。本發(fā)明的除膜方法使噴嘴頭(10B)接近在基板(200)上形成的溶解性的膜(201)，從噴嘴頭(10B)連續(xù)地噴出藥液(300)并同時(shí)吸入藥液(300)，從而在噴嘴頭(10B)與膜(201)之間形成藥液的積液(302)，并且在噴嘴頭(10B)與膜(201)表面為非接觸的狀態(tài)下使基板(100)水平移動(dòng)，從而使藥液的積液(302)在基板(100)上相對(duì)地移動(dòng)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】除膜方法、除膜用噴嘴和除膜裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及除去在基板上形成的膜的方法、用于該用途的除膜用噴嘴和除膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了下述方法:在使吸入噴嘴的吸入口與在基板上形成的濕狀態(tài)的涂膜接觸并吸入涂膜的同時(shí)，使載置基板的載物臺(tái)相對(duì)移動(dòng)，由此以預(yù)期的圖案除去涂膜。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2008-18301號(hào)公報(bào)(參照?qǐng)D1、圖3)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)I的方法為接觸式的，因此存在著對(duì)形成的膜或基板自身產(chǎn)生損傷等的可能性。而且，無(wú)法應(yīng)用于干狀態(tài)的膜。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，作為變形實(shí)施例，記載了對(duì)濕狀態(tài)的涂膜噴射濕狀態(tài)促進(jìn)液以促進(jìn)濕狀態(tài)的內(nèi)容，然而對(duì)于能夠應(yīng)用于干狀態(tài)的膜沒(méi)有記載或啟示。而且，即使應(yīng)用于干狀態(tài)的膜，顯然也無(wú)法以能夠跟上要求的處理速度的程度簡(jiǎn)單地制出濕狀態(tài)的膜。
[0008]而且，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I的方法中，當(dāng)載物臺(tái)的移動(dòng)速度過(guò)快時(shí)，存在著涂膜未被順利吸取而殘留的問(wèn)題。而且，涂膜的吸入速度過(guò)快的話，也存在著吸取過(guò)多的涂膜的問(wèn)題。因此，處理的效率較差。
[0009]本發(fā)明正是為了解決上述技術(shù)課題而完成的，其目的在于提供一種能夠高效地溶解除去干狀態(tài)的膜的除膜方法、除膜用噴嘴和除膜裝置。
[0010]用于解決課題的方案
[0011]本發(fā)明的除膜方法，使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續(xù)地噴出藥液并同時(shí)吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態(tài)下使所述基板水平移動(dòng)，從而使所述藥液的積液在所述基板上相對(duì)地移動(dòng)。
[0012]或者，使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續(xù)地噴出藥液并同時(shí)吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態(tài)下使所述噴嘴頭在所述基板上水平移動(dòng)，從而使所述藥液的積液在所述基板上移動(dòng)。
[0013]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在接近膜表面的噴嘴頭與溶解性的膜之間通過(guò)表面張力形成藥液的積液，將與該積液接觸的部分的膜溶解。該積液通過(guò)連續(xù)地噴出的藥液和吸入的藥液而總是替換為新的藥液并繼續(xù)形成。并且，通過(guò)吸入溶解了膜的藥液來(lái)除去膜。并且，通過(guò)基板或噴嘴頭水平移動(dòng)使積液也在基板上移動(dòng)，從而能夠隨著基板或噴嘴頭的移動(dòng)軌跡除去膜。
[0014]而且，當(dāng)將空氣注入所述噴嘴頭的藥液噴出路徑時(shí)，利用空氣使在噴嘴頭的藥液噴出路徑流動(dòng)的藥液的流速加速，從藥液噴出路徑的噴出口噴出(噴射)藥液。由此，對(duì)膜施加機(jī)械性沖擊，促進(jìn)積液對(duì)膜的溶解、除去。
[0015]在所述膜是由溶解液、分散液形成的膜的情況下，溶解所述膜的藥液優(yōu)選使用構(gòu)成所述溶解液、分散液的藥液。另外，如果所述膜為水溶性的話，能夠使用水作為所述藥液，有利于削減處理成本。
[0016]而且，本發(fā)明的除膜用噴嘴在噴嘴頭通過(guò)空洞形成藥液噴出路徑和藥液吸入路徑。該除膜用噴嘴在所述噴嘴頭的前端面形成直線狀的槽，在該槽的兩端分別開(kāi)口有所述藥液噴出路徑的噴出口和所述藥液吸入路徑的吸入口。
[0017]在所述噴嘴頭的周?chē)O(shè)置液滴飛散抑制壁的話，能夠抑制因從噴嘴頭噴出的沖擊而使得藥液的飛沫飛散到膜表面的較廣范圍。在該情況下，若對(duì)由藥液抑制壁包圍的空間進(jìn)行抽吸則更為有效。
[0018]另外，優(yōu)選本發(fā)明的除膜用噴嘴構(gòu)成為，在上述結(jié)構(gòu)中，向所述藥液噴出路徑注入空氣的空氣注入路徑與所述藥液噴出路徑連結(jié)。
[0019]而且，本發(fā)明的除膜裝置具備上述除膜噴嘴。該除膜裝置具備:藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；以及藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液。
[0020]另外，在除膜用噴嘴為將向所述藥液噴出路徑注入空氣的空氣注入路徑與所述藥液噴出路徑連結(jié)的結(jié)構(gòu)的情況下，本發(fā)明的除膜裝置還具備向所述空氣注入路徑供給空氣的空氣供給構(gòu)件。
[0021]并且，本發(fā)明的除膜裝置將所述載物臺(tái)構(gòu)成為能夠沿水平方向移動(dòng)的可動(dòng)載物臺(tái)，或者具備使除膜用噴嘴水平移動(dòng)的噴嘴移動(dòng)構(gòu)件。
[0022]發(fā)明效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明能夠高效地溶解除去干狀態(tài)的膜。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的除膜裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖2(A)是示出除膜用噴嘴的局部剖開(kāi)側(cè)視圖。圖2(B)是示出除膜用噴嘴的仰視圖。圖2(C)是圖2(A)的箭頭I1-1I線剖視圖。圖2(D)是圖2(C)的噴嘴頭前端部的放大圖。
[0026]圖3(A)?圖3(C)是示意性地示出本發(fā)明的除膜方法的各工序的說(shuō)明圖。
[0027]圖4是圖3(B)的箭頭IV-1V線剖視圖。
[0028]圖5是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式的除膜裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0029]圖6是示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式的除膜裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖7是表示向除膜用噴嘴供給的藥液供給流量過(guò)小時(shí)、適當(dāng)時(shí)、過(guò)大時(shí)各自的除膜特性的表。
[0031]圖8 (A)、圖8 (B)和圖8 (C)是說(shuō)明向除膜用噴嘴供給的藥液供給流量分別為過(guò)小、適當(dāng)和過(guò)大時(shí)在噴嘴頭與基板之間流過(guò)的藥液的流動(dòng)方式的示意圖。
[0032]圖9(A)?圖9(C)分別為圖8(A)?圖8(C)中的IX-1X線剖視圖。
[0033]圖10 (A)、圖10 (B)和圖10 (C)是說(shuō)明向除膜用噴嘴供給的藥液供給流量分別為過(guò)小、適當(dāng)和過(guò)大時(shí)形成的除膜區(qū)域剖面的狀態(tài)的示意圖。
[0034]圖1l(A)是示出在除膜用噴嘴設(shè)置的藥液飛散防止機(jī)構(gòu)的示意圖。圖11⑶是具備液滴飛散抑制壁的除膜用噴嘴的仰視圖。
[0035]圖12是示出藥液加熱機(jī)構(gòu)的示意圖。
[0036]圖13是說(shuō)明在向除膜用噴嘴供給常溫的藥液時(shí)和供給加熱過(guò)的藥液時(shí)形成的除膜區(qū)域剖面的狀態(tài)的圖。
[0037]圖14(A)、圖14(B)是說(shuō)明除膜裝置的不同目的的運(yùn)用方法的示意圖。
[0038]圖15是說(shuō)明通過(guò)除膜裝置的運(yùn)用方法形成的除膜區(qū)域剖面的狀態(tài)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]<第I實(shí)施方式>
[0040]使用圖1、圖2，說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的除膜裝置的概要結(jié)構(gòu)。如圖1所示，除膜裝置I具備噴嘴10、空氣瓶20、配管30?37、調(diào)節(jié)器41?43、切換閥51?54、加壓瓶60、廢液瓶70、真空排出器80、流量控制器90以及可動(dòng)載物臺(tái)100。
[0041]如圖2所示，噴嘴10由噴嘴基體IOA和噴嘴頭IOB構(gòu)成。作為噴嘴10的材質(zhì)，優(yōu)選采用不銹鋼等對(duì)藥液具有耐腐蝕性的金屬。噴嘴基體IOA呈四棱柱狀，噴嘴頭IOB呈四棱錐臺(tái)狀，并且兩者一體形成。
[0042]如圖2㈧所示，在噴嘴頭IOB的長(zhǎng)度方向隔開(kāi)間隔地設(shè)有上下貫通噴嘴基體IOA和噴嘴頭IOB的剖面為圓形的一對(duì)空洞(即，參照由下游側(cè)藥液噴出路徑112和空氣注入路徑14構(gòu)成的縱空洞以及由藥液吸入路徑12構(gòu)成的縱孔)。這些空洞的上端在噴嘴基體IOA的上表面開(kāi)口(參照連接口 14A、12B)。這些空洞的下端在噴嘴頭IOB的下表面開(kāi)口(參照噴出口 IIA和吸入口 12A)。
[0043]在圖2(A)中觀察到左側(cè)的空洞的中途在正交的方向連接有其他空洞(參照由上游側(cè)藥液噴出路徑111構(gòu)成的橫孔)。該空洞在噴嘴基體IOA的端面開(kāi)口(參照連接口11B)。在連接口 11B、12B、14A分別連接有配管。
[0044]藥液噴出路徑11由上游側(cè)藥液噴出路徑111和下游側(cè)藥液噴出路徑112構(gòu)成。在兩個(gè)噴出路徑111、112的連結(jié)部如圖所示地連接有空氣注入路徑14，從而能夠向在藥液噴出路徑11流動(dòng)的藥液注入空氣。
[0045]下游側(cè)藥液噴出路徑112與藥液吸入路徑12之間的距離(參照?qǐng)D2㈧中的“P”)并不限定，例如設(shè)定為I?15mm左右。藥液吸入路徑12的直徑被設(shè)定為與藥液噴出路徑11的直徑相等或者比藥液噴出路徑11的直徑大。例如，將藥液噴出路徑11的直徑設(shè)定為1mm，將藥液吸入路徑12的直徑設(shè)定為2mm。
[0046]如圖2(B)所示，在噴嘴頭IOB前端面(底面)沿噴嘴頭IOB的長(zhǎng)度方向設(shè)有直線狀的槽13。在本實(shí)施方式中，如圖2(D)所示，槽13的剖面形狀呈半圓形。槽13的寬度和深度并不限定，例如設(shè)定為0.1?1.0mm左右。在槽13的兩端分別開(kāi)口有所述藥液噴出路徑11的噴出口 IlA和所述藥液吸入路徑12的吸入口 12A。[0047]如圖1所示，噴嘴10在可動(dòng)載物臺(tái)100的上方通過(guò)螺釘固定等固定于在水平方向搭設(shè)的支承部件2，從而裝配在除膜裝置I。
[0048]在圖1中，以空心的箭頭示出的配管30?33、36、37為供氣體流過(guò)的配管，以實(shí)心的箭頭示出的配管34、35、36為供藥液流過(guò)的配管。對(duì)于這些配管的材質(zhì)，優(yōu)選使用具有耐壓性的管。
[0049]空氣瓶20收納壓縮空氣。在該空氣瓶20連接配管30，并且在該配管30并列連接三個(gè)配管31?33。在各配管31?32分別設(shè)有調(diào)節(jié)器41?43和切換閥51?53。調(diào)節(jié)器41?43控制在配管31?33流動(dòng)的空氣的流量。切換閥51?53對(duì)在配管31?33流動(dòng)的空氣的流通進(jìn)行接通/斷開(kāi)切換。
[0050]配管31的下游端與上述噴嘴10的空氣注入路徑14連接，從而能夠向噴嘴10供給空氣。配管32的下游端被導(dǎo)入加壓瓶60內(nèi)。加壓瓶60是收納藥液300的密閉容器。
[0051]配管34的上游端被插入到加壓瓶60內(nèi)的藥液300的液面下。在配管34設(shè)有切換閥54和流量控制器90。切換閥54對(duì)在配管34流動(dòng)的藥液的流通進(jìn)行接通/斷開(kāi)切換。流量控制器90控制在配管流動(dòng)的藥液的流量。配管34的下游端與噴嘴10的藥液噴出路徑11的連接口 IlB連接。
[0052]作為藥液，優(yōu)選采用使基板200上的膜201溶解的液體。特別是，如果膜201為水溶性的話，能夠采用取得和處理都容易的水作為溶解液，從而能夠削減處理成本。
[0053]配管35的上游端與噴嘴10的藥液吸入路徑12的連接口 12B連接。配管35的下游端被導(dǎo)入廢液瓶70內(nèi)。廢液瓶70是儲(chǔ)存溶解了膜201的藥液301的密閉容器。
[0054]配管33的下游端與真空排出器80的空氣送入口連接。配管36的上游端被插入廢液瓶70內(nèi)。配管36的下游端與真空排出器80的吸氣口連接。配管37的上游端與真空排出器80的排氣口連接。配管37的下游端向車(chē)間排氣敞開(kāi)。配管33、36、37由真空管線構(gòu)成。
[0055]可動(dòng)載物臺(tái)100構(gòu)成為能夠在XY方向水平移動(dòng)。在可動(dòng)載物臺(tái)100上載置有基板200。可動(dòng)載物臺(tái)100的移動(dòng)速度并不限定，例如設(shè)定為50mm/s。
[0056]在基板200上形成有干狀態(tài)的膜201。膜201是以相對(duì)于藥液300具有溶解性的物質(zhì)201A為成分的膜。膜201的厚度并不限定，不過(guò)優(yōu)選在I μπι以下。另外，通過(guò)預(yù)先以等離子、UV(紫外線)等使膜201的膜強(qiáng)度降低，能夠高效地進(jìn)行以下說(shuō)明的除膜。
[0057]接著，利用圖1、圖3、圖4說(shuō)明使用如上構(gòu)成的除膜裝置I的除膜方法。
[0058]首先，使噴嘴10的噴嘴頭IOB接近溶解性的膜201。此時(shí)，噴嘴頭IOB前端與基板200表面之間的距離(參照?qǐng)D1中的“L”)并不限定，例如設(shè)定為50μπι左右。由于膜201的厚度被設(shè)定為I μ m以下，因此這樣的距離L適于在使噴嘴頭IOB前端與膜201表面的距離盡量小的同時(shí)維持非接觸狀態(tài)。而且，由于噴嘴頭IOB前端與膜201、基板200非接觸，因此本發(fā)明的除膜方法可以說(shuō)是對(duì)膜201、基板200的表面的平面性沒(méi)有嚴(yán)格要求的處理，或者說(shuō)是不會(huì)對(duì)圖案形成后的剩余的膜、基板自身產(chǎn)生損傷等的處理。
[0059]接著，將空氣瓶20敞開(kāi)，并且適當(dāng)控制調(diào)節(jié)器41?43、切換閥51?54以及流量控制器90。由此，通過(guò)配管31向噴嘴10的空氣注入路徑14供給空氣。而且，經(jīng)由配管32向加壓瓶60的密閉空間供給空氣，將藥液300推出到配管34，經(jīng)由配管34向噴嘴10的藥液噴出路徑11供給藥液300。通過(guò)調(diào)節(jié)器54將所供給的藥液300的壓力調(diào)整為例如0.05MPa。而且，通過(guò)流量控制器90調(diào)整最終的液量。由此，如圖3(A)所示，從噴嘴10的藥液噴出路徑11的噴出口 IlA朝向噴嘴頭IOB前端面和基板200之間的空間噴出藥液300。
[0060]并且，通過(guò)配管33向真空排出器80壓入空氣。該空氣被從配管37的排氣口擴(kuò)散排出，經(jīng)由配管37放出到車(chē)間排氣。其結(jié)果是，真空排出器80的吸氣口成為負(fù)壓，經(jīng)由配管36抽吸廢液瓶70內(nèi)的密閉空間的空氣。其結(jié)果是，廢液瓶70內(nèi)成為負(fù)壓，經(jīng)由配管35對(duì)噴嘴10的藥液吸入路徑12進(jìn)行吸氣。通過(guò)該吸氣，如圖3(A)所示，向噴嘴頭IOB前端面與基板200之間的空間噴出的藥液300被從藥液吸入路徑12的吸入口 12A吸入。
[0061]由此，在噴嘴頭IOB前端面與膜201 (基板200)之間，以噴嘴頭IOB前端面的直線狀的槽13作為引導(dǎo)而使藥液300從藥液噴出路徑11的噴出口 IlA朝向藥液吸入路徑12的吸入口 12A流動(dòng)，通過(guò)表面張力形成積液302。如圖4所示，槽13抑制了積液302的擴(kuò)張，因此藥液不易滴到噴嘴頭IOB的外側(cè)，有利于除膜精度的提高。
[0062]如上所述，藥液吸入路徑12的直徑被設(shè)定為比藥液噴出路徑11的直徑大，因此在藥液吸入路徑12流動(dòng)的藥液的流量相對(duì)較多。其結(jié)果是，藥液沿跨于藥液噴出路徑11、槽13和藥液吸入路徑12的U字狀的通路順暢地流動(dòng)。
[0063]如圖3 (B)所示，與積液302接觸的部分的膜201被藥液溶解。積液302通過(guò)連續(xù)地噴出的藥液300和吸入的藥液301而總是替換為新的藥液并繼續(xù)形成。并且，通過(guò)吸入溶解了膜201的藥液301來(lái)除去膜201。藥液301在藥液吸入路徑12流動(dòng)，經(jīng)由配管35最終排出并儲(chǔ)存到廢液瓶70。
[0064]經(jīng)本申請(qǐng)發(fā)明人等的銳意研究，通過(guò)流量控制器90使向噴嘴10供給的藥液供給流量可變，從而積液302的狀態(tài)變化，為了進(jìn)行有效的除膜，存在適當(dāng)?shù)牧髁康姆秶髁繜o(wú)論是比該范圍小還是大都會(huì)導(dǎo)致除膜品質(zhì)劣化。
[0065]圖7是示出藥液供給流量與除膜特性的關(guān)系的圖。如圖7所示，當(dāng)藥液供給流量過(guò)小(小于流量Rl)時(shí)，優(yōu)先進(jìn)行抽吸，無(wú)法進(jìn)行除膜。當(dāng)藥液供給流量適當(dāng)(在流量Rl以上小于R2)時(shí)，通過(guò)脈沖式的沖擊能夠進(jìn)行有效的除膜。當(dāng)藥液供給流量過(guò)大(在R2以上)時(shí)，積液302肥大化，除膜品質(zhì)降低。另外，流量的閾值R1、R2(R1〈R2)的值隨著噴嘴10的規(guī)格和藥液的粘性等而變化。
[0066]以下，參照?qǐng)D8?圖10說(shuō)明除膜特性如此變化的理由。圖8、圖9是說(shuō)明根據(jù)藥液供給流量而在噴嘴頭與基板之間流動(dòng)的藥液的流動(dòng)方式如何變化的示意圖。圖10是以除膜區(qū)域剖面的形狀來(lái)說(shuō)明根據(jù)藥液供給流量而除膜特性如何變化的圖。
[0067]圖8 (A)、圖9 (A)示出了向噴嘴10供給的藥液供給流量過(guò)小時(shí)的情況，此時(shí)藥液如圖中的箭頭的大小所示，抽吸相比噴出變得過(guò)多，一直不與基板200(膜201)接觸。因此，即使掃描過(guò)基板200，如圖10(A)所示，膜201也未被除膜。
[0068]圖8 (B)、圖9 (B)示出了向噴嘴10供給的藥液供給流量適當(dāng)時(shí)的情況，此時(shí)藥液如圖中的箭頭的大小所示，噴出與抽吸取得平衡，通過(guò)相對(duì)于基板200(膜201)高速地重復(fù)非接觸狀態(tài)和接觸狀態(tài)，對(duì)膜201通過(guò)積液302施加脈沖式的沖擊。如圖10(B)所示，通過(guò)利用可動(dòng)載物臺(tái)100掃描基板200而在膜201形成的除膜區(qū)域的剖面形狀為，除膜寬度為
1.2mm、兩端的傾斜部為約0.2mm寬。
[0069]圖8 (C)、圖9 (C)示出了向噴嘴10供給的藥液供給流量過(guò)大時(shí)的情況，此時(shí)藥液如圖中的箭頭的大小所示，噴出相比抽吸變得過(guò)多，一直相對(duì)于基板200(膜201)產(chǎn)生積液302，存在藥液溢出的傾向。如圖10(C)所示，通過(guò)利用可動(dòng)載物臺(tái)100掃描基板200而在膜201形成的除膜區(qū)域的剖面形狀為，除膜寬度為2_、傾斜部為約0.7_寬。由于藥液供給流量較多，因此除膜寬度變寬，邊緣也變寬，從而除膜區(qū)域的品質(zhì)降低。
[0070]如上所述，在噴嘴供給流量適當(dāng)時(shí)，藥液相對(duì)于基板200 (膜201)反復(fù)接觸和離開(kāi)，從而由于該沖擊而使藥液的飛沫在較大范圍飛散，存在著遠(yuǎn)離所希望的除膜區(qū)域的部位的膜201溶解而產(chǎn)生缺陷的危險(xiǎn)。
[0071]因此，需要采取抑制飛沫飛散的對(duì)策。具體來(lái)說(shuō)，如圖11所示，在噴嘴頭IOB的周?chē)O(shè)置液滴飛散抑制壁15，在設(shè)于液滴飛散抑制壁15的一個(gè)部位的排氣孔15A連接排氣用的配管33。由液滴飛散抑制壁15包圍的空間通過(guò)排氣而達(dá)到負(fù)壓。因而，因脈沖式的沖擊而飛散的藥液的飛沫被抽吸到空間內(nèi)，從而能夠抑制其擴(kuò)散到遠(yuǎn)離除膜區(qū)域的部位。
[0072]作為用于提高除膜效率的方式，也可以對(duì)供給到噴嘴10的藥液加熱。具體來(lái)說(shuō)，如圖12所示，可以采用以下結(jié)構(gòu):將熱水線91和排水線92與具備Teflon (特氟龍)(注冊(cè)商標(biāo))制的螺旋管95的熱交換器93連接，在藥液供液用的配管34的中途連結(jié)所述螺旋管95。作為在熱水線91流動(dòng)的熱水的溫度的一例，設(shè)定為80°C。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在配管34流動(dòng)并供給至噴嘴10的藥液例如被加熱至40°C。
[0073]當(dāng)利用可動(dòng)載物臺(tái)100掃描基板200來(lái)進(jìn)行膜201的除膜時(shí)，如圖13所示，若在相同掃描速度(在本例中為80mm/s)、相同掃描次數(shù)(在本例中為I次)下比較，則使用加熱過(guò)的藥液的情況與使用常溫的藥液的情況相比，除膜效率顯著提高。認(rèn)為其原因是通過(guò)加熱藥液而使構(gòu)成膜201的粘合劑樹(shù)脂的溶解加速，從而能夠更有效地進(jìn)行除膜。
[0074]而且，經(jīng)由空氣注入路徑14向在藥液噴出路徑11流動(dòng)的藥液300注入空氣，從而使在藥液噴出路徑11流動(dòng)的藥液300的流速加速，從藥液噴出路徑11的噴出口 IlA噴出(噴射)藥液300。由此，以藥液的液壓對(duì)膜201作用機(jī)械性沖擊力，促進(jìn)積液302對(duì)膜201的溶解。
[0075]并且，如圖3(B)、(C)所示，可動(dòng)載物臺(tái)100沿XY方向水平移動(dòng)，從而積液302也相對(duì)于基板200相對(duì)移動(dòng)，從而能夠隨著可動(dòng)載物臺(tái)100的移動(dòng)軌跡除去膜201。通過(guò)將本發(fā)明方法應(yīng)用于在基板200上形成的約IOOnm的膜201，能夠以2mm寬度直線地對(duì)膜201進(jìn)行除膜。
[0076]根據(jù)本實(shí)施方式，能夠高效地溶解除去干狀態(tài)的膜201。而且，通過(guò)控制藥液的流量、壓力、載物臺(tái)的移動(dòng)速度，還能夠除去不易溶解的膜。另行設(shè)置加熱器等加熱藥液的構(gòu)件也是有效的。
[0077]<第二實(shí)施方式>
[0078]圖5說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式的除膜裝置的概要結(jié)構(gòu)。在第一實(shí)施方式中，噴嘴10不動(dòng)，通過(guò)使可動(dòng)載物臺(tái)100水平移動(dòng)來(lái)使藥液的積液302在基板200上相對(duì)移動(dòng)，但是也可以如圖5所示，在第二實(shí)施方式中，將噴嘴10支承在可動(dòng)支承部件2’，通過(guò)使噴嘴頭IOB在載置于不動(dòng)的載物臺(tái)100’的基板200上水平移動(dòng)，而使藥液的積液302在基板200上移動(dòng)。另外，使可動(dòng)支承部件2’不僅能夠在水平方向移動(dòng)而且也能夠在上下方向移動(dòng)，以使噴嘴10能夠離開(kāi)基板200。
[0079]觀察噴嘴10的一次掃描，無(wú)論掃描速度是快是慢，除膜區(qū)域的除膜寬度都大致相同，而掃描速度較快的話，除膜區(qū)域的兩端的傾斜部平緩且邊緣變得圓滑，另一方面，掃描速度較慢的話，除膜區(qū)域的兩端的傾斜部較陡且邊緣變得銳利。
[0080]在本實(shí)施方式中，通過(guò)采用比基板掃描機(jī)動(dòng)性高的噴嘴掃描，能夠利用上述那樣的掃描速度引起的除膜特性的不同，根據(jù)除膜目的的不同來(lái)改變除膜裝置I的運(yùn)用方法。
[0081]例如，在某種運(yùn)用方法中，如圖14㈧所示，在一邊進(jìn)行對(duì)噴嘴10的藥液的供給/抽吸、一邊以緩慢的掃描速度(在本例中為10mm/s。)向左方掃描后，在終點(diǎn)處停止藥液的供給/抽吸并暫時(shí)離開(kāi)基板200，向右方移動(dòng)回到初始地點(diǎn)，再次一邊進(jìn)行藥液的供給/抽吸一邊向左方掃描。
[0082]通過(guò)該運(yùn)用方法，在膜201形成的除膜區(qū)域的剖面形狀如圖15中以實(shí)線所示，除膜寬度為1.2mm，傾斜部為約0.2mm寬。因此，這是雖然節(jié)拍時(shí)間變長(zhǎng)但適于對(duì)除膜區(qū)域兩端的邊緣精度有要求的目的(邊緣精度優(yōu)先)的運(yùn)用方法。
[0083]而且，在其他運(yùn)用方法中，如圖14(B)所示，在一邊進(jìn)行對(duì)噴嘴10的藥液的供給/抽吸、一邊在膜201上左右往復(fù)移動(dòng)地掃描。也可以在左移動(dòng)(去往移動(dòng))和右移動(dòng)(復(fù)還移動(dòng))中使掃描速度不同。在本例中，左移動(dòng)的掃描速度為20mm/s，右移動(dòng)的掃描速度為80mm/s。使左移動(dòng)和右移動(dòng)具有這樣的掃描速度差的原因是:左掃描是使膜201的除膜區(qū)域預(yù)先在藥液下濕潤(rùn)，通過(guò)右掃描將變得濕潤(rùn)的膜一下子除去，如此通過(guò)右掃描和左掃描將除膜處理的步驟明確地分開(kāi)。除膜的重現(xiàn)性提高。
[0084]通過(guò)該運(yùn)用方法，在膜201形成的除膜區(qū)域的剖面形狀如圖15中以虛線所示，除膜寬度為1.7mm，傾斜部為0.3?0.4mm寬。因此，這是雖然除膜區(qū)域的兩端的邊緣精度降低但適于只要能夠確保由除膜區(qū)域分割的膜201的兩個(gè)區(qū)域之間絕緣即可的目的(除膜速度優(yōu)先)的運(yùn)用方法。根據(jù)該運(yùn)用方法，實(shí)現(xiàn)了節(jié)拍時(shí)間的縮短。與先前的運(yùn)用方法相比除膜寬度變寬是因?yàn)閷⒛?01在潤(rùn)濕過(guò)一次后除去。
[0085]無(wú)論是哪一種運(yùn)用方法，噴嘴10的往復(fù)并不限定為一次往復(fù)，可以根據(jù)膜201的性質(zhì)適當(dāng)增加往復(fù)次數(shù)。
[0086]<第三實(shí)施方式>
[0087]圖6是示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式的除膜裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。在第三實(shí)施方式中，使噴嘴10的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化，省略了向在藥液噴出路徑11流動(dòng)的藥液注入空氣的結(jié)構(gòu)。即，如圖6所示，在噴嘴10沒(méi)有空氣注入路徑，在噴嘴頭IOB的長(zhǎng)度方向隔開(kāi)間隔地僅具備上下貫通噴嘴基體IOA和噴嘴頭IOB的藥液噴出路徑11和藥液吸入路徑12。
[0088]根據(jù)該實(shí)施方式，雖然因?yàn)闆](méi)有向噴嘴10的空氣注入而無(wú)法將藥液從噴出口 IlA噴出，不過(guò)如上所述地通過(guò)流量控制器90適當(dāng)調(diào)整藥液供給流量的話，能夠利用在噴嘴頭IOB前端面與基板200之間形成的積液302對(duì)膜201施加脈沖式的沖擊來(lái)高效地溶解除去膜 201。
[0089]應(yīng)當(dāng)認(rèn)為上述實(shí)施方式的說(shuō)明中所有的內(nèi)容均為例示，并非限制性的描述。本發(fā)明的范圍并非上述實(shí)施方式，而是由權(quán)利要求書(shū)示出。并且，在本發(fā)明的范圍內(nèi)包含有與權(quán)利要求書(shū)均等的意義和范圍內(nèi)的所有的變更。
[0090]產(chǎn)業(yè)利用性
[0091]本發(fā)明能夠利用于有機(jī)EL、有機(jī)半導(dǎo)體等領(lǐng)域、對(duì)在基板上形成的膜形成圖案或者從在一張基板均勻地形成的膜多次圖案成形時(shí)除去交界部的膜之類(lèi)的用途。
[0092]標(biāo)號(hào)說(shuō)明[0093]1:除膜裝置；
[0094]2:支承部件；
[0095]2’:可動(dòng)支承部件(噴嘴移動(dòng)構(gòu)件);
[0096]10:除膜用噴嘴；
[0097]11:藥液噴出路徑；
[0098]12:藥液吸入路徑；
[0099]13:槽；
[0100]14:空氣注入路徑；
[0101]20:空氣瓶；
[0102]30 ?37:配管；
[0103]41?43:調(diào)節(jié)器；
[0104]51?54:切換閥；
[0105]60:加壓瓶；
[0106]70:廢液瓶；
[0107]80:真空排出器；
[0108]90:流量控制器；
[0109]100:可動(dòng)載物臺(tái)；
[0110]100’:載物臺(tái)；
[0111]20、30、32、42、52、54、60、34、54、90:藥液供給構(gòu)件；
[0112]20、33、35、37、43、53、70、80:藥液抽吸構(gòu)件；
[0113]20、30、31、41、51:空氣供給構(gòu)件；
[0114]300、301:藥液;
[0115]302:積液。
【權(quán)利要求】
1.一種除膜方法，其中， 使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續(xù)地噴出藥液并同時(shí)吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態(tài)下使所述基板水平移動(dòng)，從而使所述藥液的積液在所述基板上相對(duì)地移動(dòng)來(lái)除去所述膜。
2.一種除膜方法，其中， 使噴嘴頭接近在基板上形成的溶解性的膜，從該噴嘴頭連續(xù)地噴出藥液并同時(shí)吸入藥液，從而在所述噴嘴頭與所述膜之間形成所述藥液的積液，并且在所述噴嘴頭與所述膜表面為非接觸的狀態(tài)下使所述噴嘴頭在所述基板上水平移動(dòng)，從而使所述藥液的積液在所述基板上移動(dòng)來(lái)除去所述膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的除膜方法，其中， 向所述噴嘴頭的藥液噴出路徑注入空氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的除膜方法，其中， 使用溶解所述膜的藥液。
5.一種除膜用噴嘴，在噴嘴頭通過(guò)空洞形成藥液噴出路徑和藥液吸入路徑，其中， 在所述噴嘴頭的前端面形成直線狀的槽，在該槽分別開(kāi)口有所述藥液噴出路徑的噴出口和所述藥液吸入路徑的吸入口。
6.根據(jù)權(quán)利要`求5所述的除膜用噴嘴，其中， 在所述噴嘴頭的周?chē)O(shè)有液滴飛散抑制壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的除膜用噴嘴，其中， 在所述液滴飛散抑制壁形成有用于對(duì)由該液滴飛散抑制壁包圍的空間進(jìn)行抽吸的排氣孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的除膜用噴嘴，其中， 注入空氣的空氣注入路徑與所述藥液噴出路徑連結(jié)。
9.一種除膜裝置，具備權(quán)利要求5所述的除膜用噴嘴，其中， 該除膜裝置具備: 載物臺(tái)，其載置基板； 藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；以及 藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的除膜裝置，其中， 所述藥液供給構(gòu)件具備調(diào)整所述藥液的供給流量的流量調(diào)整裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的除膜裝置，其中， 所述藥液供給構(gòu)件還具備對(duì)所述藥液加熱的加熱裝置。
12.一種除膜裝置，具備權(quán)利要求7所述的除膜用噴嘴，其中， 該除膜裝置具備: 載物臺(tái)，其載置基板； 藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液； 藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液；以及 空氣抽吸構(gòu)件，其從所述抽吸孔抽吸空氣。
13.一種除膜裝置，具備權(quán)利要求8所述的除膜用噴嘴，其中，該除膜裝置具備:載物臺(tái)，其載置基板；藥液供給構(gòu)件，其向所述藥液噴出路徑供給所述藥液；藥液抽吸構(gòu)件，其從所述藥液吸入路徑抽吸所述藥液；以及空氣供給構(gòu)件，其向所述空氣注入路徑供給空氣。
14.根據(jù)權(quán)利要求9~13的任意一項(xiàng)所述的除膜裝置，其中，所述載物臺(tái)為能夠沿水平方向移動(dòng)的可動(dòng)載物臺(tái)。
15.根據(jù)權(quán)利要求9~13的任意一項(xiàng)所述的除膜裝置，其中，所述除膜裝置還具備噴嘴移動(dòng)構(gòu)件，所述噴嘴移動(dòng)構(gòu)件使所述除膜用噴嘴水平移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】B05C11/10GK103492089SQ201280020525
【公開(kāi)日】2014年1月1日 申請(qǐng)日期:2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2011年4月26日
【發(fā)明者】五十川良則 申請(qǐng)人:龍?jiān)浦晔綍?huì)社