一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，包括：硅片承片臺(tái)、真空吸片結(jié)構(gòu)和傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)；所述硅片承片臺(tái)包括：硅片承載平面、儲(chǔ)膠槽和凸臺(tái)，并且所述儲(chǔ)膠槽的槽壁為向內(nèi)凹進(jìn)的圓弧形；所述真空吸片結(jié)構(gòu)包括：上端和真空吸片口；所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)安裝在所述凸臺(tái)的頂部，位于所述儲(chǔ)膠槽內(nèi)。通過上述方式，本實(shí)用新型具有大容量?jī)?chǔ)膠槽，能夠儲(chǔ)存較多被甩出的光刻膠，并防止流入儲(chǔ)膠槽內(nèi)的光刻膠再次被甩出，避免了對(duì)勻膠臺(tái)的損傷；同時(shí)設(shè)有傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)，一方面保護(hù)真空吸片口，徹底防止膠滴滴入，另一方面改變氣流方向，使儲(chǔ)膠槽和硅片背面形成的真空腔體內(nèi)形成一定的氣壓差，有效防止儲(chǔ)膠槽中的光刻膠在運(yùn)動(dòng)過程中回流至硅片背面。
【專利說明】一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及勻膠機(jī)設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的光刻膠勻膠臺(tái)采用真空吸片的方式吸住硅片，但現(xiàn)有的硅片承片臺(tái)無法有效的阻擋光刻膠在甩動(dòng)過程中滲入真空吸片口中，如圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)，硅片與真空吸片口直接接觸，勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)過程中，光刻膠受旋轉(zhuǎn)離心力和表面張力的聯(lián)合作用，被展開成一層薄膜，其中甩動(dòng)過程中被甩出至硅片邊緣的膠滴，由于硅片邊緣與承片臺(tái)吸片口的壓力差和膠體的表面張力的作用，部分硅片邊緣的膠滴會(huì)沿著硅片的背面被吸入真空吸片口中，從而堵塞真空吸片口，造成真空吸片口吸力不足，從而造成光刻膠薄膜的均勻性變差，同時(shí)會(huì)對(duì)勻膠臺(tái)造成損傷。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，具有大容量?jī)?chǔ)膠槽，能夠儲(chǔ)存較多被甩出的光刻膠，并防止流入儲(chǔ)膠槽內(nèi)的光刻膠再次被甩出，避免了對(duì)勻膠臺(tái)的損傷；同時(shí)設(shè)有傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)，一方面保護(hù)真空吸片口，徹底防止膠滴滴入，另一方面改變氣流方向，使儲(chǔ)膠槽和硅片背面形成的真空腔體內(nèi)形成一定的氣壓差，有效防止儲(chǔ)膠槽中的光刻膠在運(yùn)動(dòng)過程中回流至硅片背面。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，包括:娃片承片臺(tái)、真空吸片結(jié)構(gòu)和傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)；所述娃片承片臺(tái)包括:娃片承載平面、儲(chǔ)膠槽和凸臺(tái)，所述硅片承載平面位于所述硅片承片臺(tái)的上端，所述硅片承載平面為一圓形水平面，所述儲(chǔ)膠槽為沿著所述硅片承載平面的圓心向內(nèi)開設(shè)的凹槽，并且所述儲(chǔ)膠槽的槽壁為向內(nèi)凹進(jìn)的圓弧形，所述凸臺(tái)位于所述儲(chǔ)膠槽的中間；所述真空吸片結(jié)構(gòu)包括:上端和真空吸片口，所述上端位于所述凸臺(tái)內(nèi)，所述真空吸片口位于所述上端的頂部，并且所述真空吸片口與所述硅片承載平面間的垂直距離大于3mm ;所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)安裝在所述凸臺(tái)的頂部，并位于所述儲(chǔ)膠槽內(nèi)。
[0005]在本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述儲(chǔ)膠槽呈圓形碗體結(jié)構(gòu)。
[0006]在本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述凸臺(tái)呈圓臺(tái)型結(jié)構(gòu)，并且所述凸臺(tái)的頂端設(shè)有安裝孔。
[0007]在本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)包括:安裝軸和保護(hù)傘體，所述安裝軸的下端安裝在所述安裝孔中，所述保護(hù)傘體位于所述安裝軸的上端。
[0008]在本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述真空吸片口的圓心與所述硅片承載平面的圓心在同一垂直線上。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，沿著硅片承片臺(tái)的圓心向內(nèi)開設(shè)一圓形碗體結(jié)構(gòu)的儲(chǔ)膠槽，其槽壁為向內(nèi)凹進(jìn)的圓弧形，使光刻膠在甩動(dòng)過程中被甩出至硅片背面的膠水在重力的作用下首先流入到儲(chǔ)膠槽中，并且該儲(chǔ)膠槽具有儲(chǔ)膠量大的特點(diǎn)，能儲(chǔ)存較多的光刻膠，同時(shí)圓弧形槽壁能防止光刻膠在離心力作用下再次被甩出，從而能夠有效地阻擋光刻膠被吸入真空吸片口內(nèi)，避免了真空吸片口因吸入光刻膠而導(dǎo)致的吸力不足或堵塞；并且在凸臺(tái)的頂部安裝有傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)，一方面保護(hù)真空吸片口，徹底防止膠滴滴入，另一方面改變氣流方向，空氣從側(cè)下方往中間抽，使儲(chǔ)膠槽和硅片背面形成的真空腔體內(nèi)形成一定的氣壓差，有效防止儲(chǔ)膠槽中的光刻膠在運(yùn)動(dòng)過程中回流至硅片背面。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是現(xiàn)有勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實(shí)用新型一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3是圖2所示處于工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖中各部件的標(biāo)記如下:1、硅片承片臺(tái)，2、真空吸片結(jié)構(gòu)，3、傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)，4、硅片，10、硅片承載平面，11、儲(chǔ)膠槽，12、凸臺(tái)，20、上端，21、真空吸片口，30、安裝軸，31、保護(hù)體，110、槽壁，120、安裝孔，H、真空吸片口與硅片承載平面間的垂直距離。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0015]請(qǐng)參閱圖2和圖3，本實(shí)用新型實(shí)施例包括:
[0016]一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，包括:硅片承片臺(tái)1、真空吸片結(jié)構(gòu)2和傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)3 ;所述硅片承片臺(tái)I包括:硅片承載平面10、儲(chǔ)膠槽11和凸臺(tái)12，所述硅片承載平面10位于所述硅片承片臺(tái)I的上端，所述硅片承載平面10為一圓形水平面，所述儲(chǔ)膠槽11為沿著所述硅片承載平面10的圓心向內(nèi)開設(shè)的凹槽，并且所述儲(chǔ)膠槽11的槽壁110為向內(nèi)凹進(jìn)的圓弧形，所述凸臺(tái)12位于所述儲(chǔ)膠槽11的中間；所述真空吸片結(jié)構(gòu)2包括:上端20和真空吸片口 21，所述上端20位于所述凸臺(tái)12內(nèi)，所述真空吸片口 21位于所述上端20的頂部，并且所述真空吸片口 21與所述硅片承載平面10間的垂直距離H大于3mm，兩者間留有一定的間隙，從而使光刻膠在甩動(dòng)過程中被甩出至硅片4背面的膠水在重力的作用下首先流入到儲(chǔ)膠槽11中，從而能夠有效地阻擋光刻膠被吸入真空吸片口 21內(nèi)，儲(chǔ)膠槽11的槽壁110為向內(nèi)凹進(jìn)的圓弧形，增大了儲(chǔ)膠槽11的容量，同時(shí)能夠避免儲(chǔ)存在槽內(nèi)的光刻膠受離心力作用再次被甩出；所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)3安裝在所述凸臺(tái)12的頂部，并位于所述儲(chǔ)膠槽11內(nèi)，能夠改變氣流方向，空氣從側(cè)下方往中間抽，避免了垂直向下抽氣易損傷真空吸片口 21，具有保護(hù)真空吸片口 21的作用。
[0017]其中，所述儲(chǔ)膠槽11呈圓形碗體結(jié)構(gòu)，具有儲(chǔ)膠量大的特點(diǎn)，能夠儲(chǔ)存較多的光刻膠，可以減少清理儲(chǔ)膠槽11的次數(shù)。
[0018]所述凸臺(tái)12呈圓臺(tái)型結(jié)構(gòu)，并且所述凸臺(tái)12的頂端設(shè)有安裝孔120，所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)3包括:安裝軸30和保護(hù)傘體31，所述安裝軸30的下端安裝在所述安裝孔120中，所述保護(hù)傘體31位于所述安裝軸30的上端，傘狀保護(hù)體31能避免位于儲(chǔ)膠槽11內(nèi)的光刻膠受離心力作用向四周甩動(dòng)過程中再次被吸入真空吸片口 21內(nèi)，具有進(jìn)一步保護(hù)真空吸片口 21的作用。
[0019]所述真空吸片口 21的圓心與所述硅片承載平面10的圓心在同一垂直線上，
[0020]即圓心對(duì)齊，以實(shí)現(xiàn)滴在硅片表面上的光刻膠在旋轉(zhuǎn)離心力和表面張力的聯(lián)合作用下的均勻涂覆并展成一層均勻的薄膜。
[0021]工作過程如下:如圖3所示，首先把硅片4放置在硅片承載平面10上，并使兩者的圓心對(duì)齊，然后打開真空吸片結(jié)構(gòu)2，真空吸片口 21開始抽氣，使硅片4的背面及儲(chǔ)膠槽11形成一個(gè)真空腔體，從而大氣壓力差把硅片4牢牢吸附在硅片承載平面10上，然后在硅片4靜止或低速旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠，滴膠量根據(jù)光刻膠的粘度和硅片的大小來確定，滴膠結(jié)束后，勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn)使光刻膠層變薄達(dá)到最終要求的膜厚。其中光刻膠在甩動(dòng)過程中被甩出至硅片4背面的膠水在到達(dá)所述儲(chǔ)膠槽11時(shí)，由于光刻膠滴所受儲(chǔ)膠槽11內(nèi)外氣壓壓力差、以及光刻膠滴的重力大于其表面張力，故膠滴會(huì)下滴至儲(chǔ)膠槽11中并儲(chǔ)存在其中，但是由于勻膠臺(tái)高速旋轉(zhuǎn)過程中，在儲(chǔ)膠槽11中的膠滴受離心力的作用，仍然會(huì)向四周甩動(dòng)，圓弧形的儲(chǔ)膠槽壁110及傘狀保護(hù)體31能避免膠滴甩動(dòng)時(shí)再次被吸入到真空吸片口 21內(nèi)，從而避免了真空吸片口 21吸入光刻膠造成堵塞，同時(shí)圓形碗體結(jié)構(gòu)的儲(chǔ)膠槽11具有儲(chǔ)膠量大的特點(diǎn)，可以減少清理儲(chǔ)膠槽11的次數(shù)，減輕了工作量；安裝在凸臺(tái)12頂部的傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)3，一方面保護(hù)真空吸片口 21，徹底防止膠滴滴入，另一方面改變氣流方向，空氣從側(cè)下方往中間抽，使儲(chǔ)膠槽11和硅片4背面形成的真空腔體內(nèi)形成一定的氣壓差，有效防止儲(chǔ)膠槽11中的光刻膠在運(yùn)動(dòng)過程中回流至硅片4的背面。
[0022]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的【技術(shù)領(lǐng)域】，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括:硅片承片臺(tái)、真空吸片結(jié)構(gòu)和傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)；所述硅片承片臺(tái)包括:硅片承載平面、儲(chǔ)膠槽和凸臺(tái)，所述硅片承載平面位于所述硅片承片臺(tái)的上端，所述硅片承載平面為一圓形水平面，所述儲(chǔ)膠槽為沿著所述硅片承載平面的圓心向內(nèi)開設(shè)的凹槽，并且所述儲(chǔ)膠槽的槽壁為向內(nèi)凹進(jìn)的圓弧形，所述凸臺(tái)位于所述儲(chǔ)膠槽的中間；所述真空吸片結(jié)構(gòu)包括:上端和真空吸片口，所述上端位于所述凸臺(tái)內(nèi)，所述真空吸片口位于所述上端的頂部，并且所述真空吸片口與所述硅片承載平面間的垂直距離大于3_ ;所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)安裝在所述凸臺(tái)的頂部，并位于所述儲(chǔ)膠槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述儲(chǔ)膠槽呈圓形碗體結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凸臺(tái)呈圓臺(tái)型結(jié)構(gòu)，并且所述凸臺(tái)的頂端設(shè)有安裝孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傘狀保護(hù)結(jié)構(gòu)包括:安裝軸和保護(hù)傘體，所述安裝軸的下端安裝在所述安裝孔中，所述保護(hù)傘體位于所述安裝軸的上端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述真空吸片口的圓心與所述硅片承載平面的圓心在同一垂直線上。
【文檔編號(hào)】B05C11/10GK203725341SQ201320831163
【公開日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2013年12月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月17日
【發(fā)明者】施險(xiǎn)峰, 王磊, 徐明宇, 李晟杰 申請(qǐng)人:南通大學(xué)