涂布單元、使用該涂布單元的涂布裝置及涂布方法
【專利摘要】一種涂布單元，能準(zhǔn)確地將液狀材料涂布于較大面積的被涂布區(qū)域，且涂布作業(yè)的效率較好。該涂布單元(2)將多根涂布針(3)的基端(3b)固定于針座構(gòu)件(19)的針支承面(19a)，并與被涂布區(qū)域的形狀相對應(yīng)地排列多根涂布針(3)的前端(3a)。通過調(diào)節(jié)涂布針的形狀、尺寸及排列的間距，能以期望的膜厚、較少的涂布次數(shù)準(zhǔn)確地將修正墨水(11)涂布成被涂布區(qū)域的形狀。
【專利說明】涂布單元、使用該涂布單元的涂布裝置及涂布方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及涂布單元、使用該涂布單元的涂布方法及涂布裝置，特別地，涉及用于液晶畫面用濾色器基板的RGB像素修正、電極糊料朝電極圖案基板、半導(dǎo)體元件的涂布或外涂層材料的涂布等的涂布單元、使用該涂布單元的涂布裝置及涂布方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，因FPD (平板顯示器)的大畫面化而使濾色器基板的像素尺寸大形化，需要通過液狀材料即修正墨水的涂布進(jìn)行修正的像素缺陷的面積也有擴(kuò)大的傾向。
[0003]現(xiàn)在，需要將修正墨水涂布于直徑為數(shù)百μ m的面積。另外，在朝電極圖案、元件零件的涂布用途中，有時(shí)也需要將修正墨水涂布于直徑為數(shù)mm的面積。
[0004]作為現(xiàn)有的涂布裝置，存在一種通過改變一根涂布針的形狀、大小或改變粘度等修正墨水的性質(zhì)，從而與缺陷部分相適應(yīng)地調(diào)節(jié)涂布形狀或膜厚等的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0005]另外，也已知有一種使涂布針的前端面的形狀與需要修正的被涂布區(qū)域的形狀相一致地設(shè)為長方形、正方形等矩形的修正方法(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2007-94341號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2002-258025號公報(bào)
[0010]然而，在如專利文獻(xiàn)I那樣使用一根涂布針涂布修正墨水以進(jìn)行缺陷的修正的裝置中，限制了一次所能涂布的修正墨水的分量。因此，在根據(jù)缺陷使被涂布區(qū)域形成為較大面積的情況、或膜厚需處于一定尺寸以上的情況下，必須使涂布針往復(fù)移動(dòng)來反復(fù)地涂布修正墨水。當(dāng)上述涂布次數(shù)增加時(shí)，為修正一處部位的被涂布區(qū)域所需的耗時(shí)變長，涂布作業(yè)的效率變差。
[0011]另外，在被涂布區(qū)域的面積變大，并與之相應(yīng)地設(shè)定一根涂布針的前端面的形狀的情況下，該前端面的形狀因修正墨水的特性或被涂布區(qū)域的形狀而不同，但存在修正墨水被涂布成比作為目標(biāo)的厚度厚的傾向，有時(shí)無法涂布成目標(biāo)的厚度。另外，在被涂布區(qū)域?yàn)榉叫蔚那闆r下，即便使涂布針的前端面的形狀維持圓形地增大，有時(shí)也不易使從涂布針的前端涂布的修正墨水流入被涂布區(qū)域的角部等，從而無法到達(dá)。
[0012]另外，在如專利文獻(xiàn)2那樣將涂布針的前端面的形狀與被涂布區(qū)域的形狀相一致地設(shè)為正方形或長方形的涂布方法中，存在因修正墨水的特性、涂布面積而無法涂布成正方形或長方形，涂布的修正墨水?dāng)U展而變?yōu)閳A形或橢圓形這樣的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能準(zhǔn)確地將液狀材料涂布于較大面積的被涂布區(qū)域、且涂布作業(yè)的效率較佳的涂布單元，使用該涂布單元的涂布裝置及涂布方法。[0014]本發(fā)明的涂布單元將液狀材料涂布于規(guī)定形狀的被涂布區(qū)域，包括:多根涂布針，這多根涂布針將附著于它們前端部的液狀材料涂布于被涂布區(qū)域；以及針座構(gòu)件，該針座構(gòu)件對多個(gè)涂布針進(jìn)行保持。多個(gè)涂布針的前端被排列成與被涂布區(qū)域相對應(yīng)的形狀，多個(gè)涂布針的基端固定于針座構(gòu)件。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的涂布單元，多根涂布針的基端固定于針座構(gòu)件，多根涂布針的前端被排列成與被涂布區(qū)域相對應(yīng)的形狀。因此，能增大可同時(shí)對被涂布區(qū)域進(jìn)行涂布的液狀材料的分量，即便被涂布區(qū)域是比較大的面積，也能以一次或較少的次數(shù)進(jìn)行均質(zhì)的涂布以縮短耗時(shí)，從而能提高涂布作業(yè)的效率。
[0016]另外，將多根涂布針排列成與被涂布區(qū)域相對應(yīng)的形狀，因此，無需將涂布針單體的前端的尺寸設(shè)定得較大或改變形狀。此外，也無需改變液狀材料的粘性等特性，即便對于目前難以涂布的被涂布區(qū)域的角部等，也能直接從涂布針涂布液狀材料，能容易地對膜厚進(jìn)行控制。因此，能準(zhǔn)確地將液狀材料涂布于較大面積的被涂布區(qū)域。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式一的涂布裝置的整體結(jié)構(gòu)和涂布單元的主要部分的圖。
[0018]圖2是表示圖1所示的涂布單元的結(jié)構(gòu)的圖。
[0019]圖3是用于說明涂布單元在被涂布區(qū)域傾斜的情況下的動(dòng)作的圖。
[0020]圖4是表示使用圖2所示的涂布單元將修正墨水涂布于工件表面的工序的圖。
[0021]圖5是表示實(shí)施方式一的比較例一的圖。
[0022]圖6是表示實(shí)施方式一的比較例二的圖。
[0023]圖7是表示實(shí)施方式一的比較例三的圖。
[0024]圖8是表示實(shí)施方式一的比較例四的圖。
[0025]圖9是表示本發(fā)明實(shí)施方式二的涂布單元的主要部分的側(cè)視圖。
[0026]圖10是從下方觀察圖9所示的涂布單元的圖。
[0027]圖11是表示本發(fā)明實(shí)施方式三的涂布單元的主要部分的側(cè)視圖。
[0028]圖12是從下方觀察圖11所示的涂布單元的圖。
[0029]圖13是表示本發(fā)明實(shí)施方式四的涂布單元的主要部分的圖。
[0030]圖14是表示本發(fā)明實(shí)施方式五的涂布單元的主要部分的圖。
[0031]圖15是表示本發(fā)明實(shí)施方式六的涂布單元的主要部分的圖。
[0032]圖16是表示本發(fā)明實(shí)施方式七的涂布單元的主要部分的圖。
[0033]圖17是表示實(shí)施方式八的比較例的圖。
[0034]圖18是表示使用圖17所示的涂布單元而被涂布的修正墨水的形狀的俯視圖。
[0035]圖19是表示本發(fā)明實(shí)施方式八的涂布單元的主要部分的圖。
[0036]圖20是表示使用圖19所示的涂布單元而被涂布的修正墨水的形狀的俯視圖。
[0037]圖21是表示本發(fā)明實(shí)施方式九的涂布方法中使用的兩個(gè)涂布單元的主要部分的圖。
[0038]圖22是表示使用圖21所示的兩個(gè)涂布單元的涂布方法的圖。
[0039]圖23是表示本發(fā)明實(shí)施方式十的涂布方法中使用的涂布單元的主要部分的圖。[0040]圖24是表示使用圖23所示的涂布單元的涂布方法的圖。
[0041]圖25是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式十一的涂布單元的目的的圖。
[0042]圖26是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式十一的涂布單元的目的的另一圖。
[0043]圖27是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式十一的涂布單元的目的的又一圖。
[0044]圖28是表示本發(fā)明實(shí)施方式十一的涂布單元的主要部分的圖。
[0045]圖29是表示圖28所示的涂布單元的動(dòng)作的圖。
[0046]圖30是表示本發(fā)明實(shí)施方式十二的涂布單元的主要部分的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作的圖。
[0047]圖31是表示本發(fā)明實(shí)施方式十三的涂布單元的主要部分的圖。
[0048](符號說明)
[0049]I 涂布裝置
[0050]2、2A、2B 涂布單元
[0051]3、13、23、33 涂布針
[0052]3a 前端
[0053]3b 基端
[0054]4 墨水供給機(jī)構(gòu)
[0055]5 底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0056]10 線性臺
[0057]11 修正墨水
[0058]12 墨盒
[0059]14 刮板
[0060]15 導(dǎo)軌部
[0061]16 滑動(dòng)構(gòu)件
[0062]17U7A 可動(dòng)底座構(gòu)件
[0063]18 彈性支承部
[0064]19 針座構(gòu)件
[0065]19a 針支承面
[0066]20 切割用激光部
[0067]30 主計(jì)算機(jī)
[0068]31 操作面板
[0069]40 XY 工作臺
[0070]43 輔助針
[0071]50 CCD 攝像頭
[0072]60 Z工作臺
[0073]70 觀察光學(xué)系統(tǒng)
[0074]80、90 涂布針連接體
[0075]81,91 連接部
[0076]82、92、93 凹部
[0077]100 鍍層
[0078]111、IllA XY 導(dǎo)向部[0079]112、112A、114、114A 導(dǎo)軌部
[0080]113、115 滑動(dòng)部
[0081]120 致動(dòng)器
[0082]121 臂
【具體實(shí)施方式】
[0083]以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對于相同的零件標(biāo)注相同的符號。它們的名稱及功能也是相同的。因此，不重復(fù)對它們的詳細(xì)說明。
[0084](實(shí)施方式一)
[0085]如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施方式一的涂布裝置I包括:涂布單元2，該涂布單元2使用多個(gè)涂布針3而將修正墨水11涂布于缺陷；觀察光學(xué)系統(tǒng)70，該觀察光學(xué)系統(tǒng)70對濾色器基板(以下稱為工件W)的表面進(jìn)行觀察；切割用激光部20，該切割用激光部20通過觀察光學(xué)系統(tǒng)70對工件W的表面的缺陷進(jìn)行激光切割；主計(jì)算機(jī)30，該主計(jì)算機(jī)30對裝置整體進(jìn)行控制；XY工作臺40，在該XY工作臺40上裝載具有缺陷的工件W ;以及Z工作臺60，該Z工作臺60與涂布單元2 —起在上下方向上對觀察光學(xué)系統(tǒng)70、CXD攝像頭50進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
[0086]XY工作臺40使工件W的表面上需要進(jìn)行涂布修正的位置移動(dòng)至涂布單元2的下方，或使工件W的表面上欲觀察的位置移動(dòng)至觀察光學(xué)系統(tǒng)70的下方。該XY工作臺40采用使工件W這個(gè)構(gòu)件移動(dòng)的方式。然而，伴隨著工件W的尺寸大形化而較多的采用以下方式:將工件W保持于作為非可動(dòng)部的固定著的卡盤部上，并使被稱為龍門型的XY工作臺在固定的卡盤部上移動(dòng)。龍門型采用門型形狀的Y工作臺被設(shè)成橫跨卡盤部的形狀，在門型上部裝載X軸，并在該X軸工作臺上裝載沿著Z軸驅(qū)動(dòng)的Z工作臺的結(jié)構(gòu)。XY工作臺40和Z工作臺60的結(jié)構(gòu)并未被限定，XY工作臺40和Z工作臺60也被定義為能使觀察光學(xué)系統(tǒng)70、涂布單元2相對于工件W進(jìn)行相對移動(dòng)的構(gòu)件。
[0087]這些涂布單元2、XY工作臺40及Z工作臺60等的動(dòng)作被作為控制部的主計(jì)算機(jī)30控制。
[0088]該主計(jì)算機(jī)30與作為輸入驅(qū)動(dòng)指令的輸入部的操作面板31等連接，從而能進(jìn)行期望工序的驅(qū)動(dòng)動(dòng)作。
[0089]圖2是表示涂布單元2的結(jié)構(gòu)的圖。在圖2中，涂布單元2使作為液體狀材料的修正墨水11附著于多個(gè)涂布針3的前端3a，并將該修正墨水11涂布于作為被涂布物的濾色器基板(以下記為工件W)的被涂布區(qū)域。安裝于本實(shí)施方式一的涂布裝置I的涂布單元2將工件W的白色缺陷等缺陷部分作為被涂布區(qū)域，并通過將修正墨水11涂布于該被涂布區(qū)域來對缺陷部分進(jìn)行修正。
[0090]涂布單元2包括:墨水供給機(jī)構(gòu)4 ;設(shè)有多個(gè)涂布針3的針座構(gòu)件19 ；以及使針座構(gòu)件19在靠近、遠(yuǎn)離工件W的方向(Z方向)上移動(dòng)的底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5。
[0091]墨水供給機(jī)構(gòu)4具有:線性臺10:以及載置于線性臺10的上表面并收容修正墨水11的墨盒12。
[0092]線性臺11能相對于針座構(gòu)件19相對地在左右方向(以下記為X方向)及前后方向(以下記為Y方向)中的至少任一方的水平方向(以下記為XY方向)上移動(dòng)。除了墨盒12之外，在線性臺10上也可裝載洗凈裝置、空氣凈化裝置等，作為伴隨著上述構(gòu)件的更換的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，也可裝載以轉(zhuǎn)軸為中心而被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺。
[0093]墨盒12形成為對修正墨水11進(jìn)行貯存、保持的平盤狀，包括朝上表面?zhèn)却蜷_的開口部。該開口部形成與針座構(gòu)件19的面積相對應(yīng)的大小，能使固定于針座構(gòu)件19的多個(gè)涂布針3同時(shí)出入。此外，還能同時(shí)使墨盒12內(nèi)的修正墨水11附著于多個(gè)涂布針3的前端3a ο
[0094]底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使滑動(dòng)構(gòu)件16沿著導(dǎo)軌部15滑動(dòng)，該導(dǎo)軌部15沿著Z方向延伸。在滑動(dòng)構(gòu)件16的側(cè)面固定著可動(dòng)底座構(gòu)件17。
[0095]在可動(dòng)底座構(gòu)件17的下表面固定著由能彈性變形的橡膠構(gòu)件等構(gòu)成的彈性支承部18的上表面。此外，在該彈性支承部18的與上表面相反一側(cè)的下表面固定著針座構(gòu)件19的上表面。在該針座構(gòu)件19的針支承面19a —側(cè)以一定的間隔排列著多個(gè)涂布針3。
[0096]因此，多個(gè)涂布針3以使各個(gè)前端3a從通過彈性支承部18懸掛著的針座構(gòu)件19的針支承面19a朝向下方的狀態(tài)突出設(shè)置。此外，多個(gè)涂布針3伴隨著供可動(dòng)底座構(gòu)件17固接的滑動(dòng)構(gòu)件16在Z方向上的滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)而在Z方向上移動(dòng)，從而能靠近、遠(yuǎn)離墨盒12或被涂布物。
[0097]線性臺10構(gòu)成為能在可供給修正墨水11和退避位置之間沿XY方向直線狀地移動(dòng)。此外，通過線性臺10在XY方向上的直線狀的移動(dòng)，使墨盒12的開口部移動(dòng)至多個(gè)涂布針3的下方位置。然后，多個(gè)涂布針3被底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5驅(qū)動(dòng)，并與針座構(gòu)件19 一起下降，以朝各個(gè)前端3a附著、供給修正墨水11。
[0098]如圖1所示，從形成于針座構(gòu)件19的下表面?zhèn)鹊尼樦С忻?9a以與對象工件(被涂布物)W相對的方式朝下方突出設(shè)置有多根涂布針3。各涂布針3的基端3b固定于針支承面19a。以多根涂布針3的前端3a位于從針支承面19a遠(yuǎn)離規(guī)定尺寸的位置的同一平面上的方式突出設(shè)置各涂布針3。因此，排列在針支承面19a上的多根涂布針3的前端3a以工件W的表面為基準(zhǔn)而排列在相同的高度。
[0099]針座構(gòu)件19通過由彈性構(gòu)件構(gòu)成的彈性支承部18支持于可動(dòng)底座構(gòu)件17，該可動(dòng)底座構(gòu)件17固接于滑動(dòng)構(gòu)件16。此外，當(dāng)該滑動(dòng)構(gòu)件16因底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5的驅(qū)動(dòng)而在上下方向上滑動(dòng)移動(dòng)時(shí)，排列在針支承面19a上的多個(gè)涂布針3的前端3a能一邊保持到工件W為止的距離為等距離，一邊靠近、遠(yuǎn)離工件W。當(dāng)利用底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使多個(gè)涂布針3朝工件W下降時(shí)，附著于多個(gè)涂布針3的前端的修正墨水11進(jìn)行涂布，以涂布出與作為對象的工件W的被涂布部形狀相同的形狀即大致矩形形狀。
[0100]圖3是表示涂布單元2在被涂布區(qū)域WV傾斜的情況下的動(dòng)作的圖。設(shè)于針座構(gòu)件19下表面?zhèn)鹊亩喔坎坚?的前端3a中的一部分前端3a比其它前端3a先與被涂布區(qū)域WV的表面抵接時(shí)，來自先與前端3a抵接的涂布針3的按壓力經(jīng)由針座構(gòu)件19而傳遞至彈性支承部18。傳遞來的按壓力對先抵接的涂布針3的正上方的彈性支承部18的周緣進(jìn)行按壓以使其彈性變形。由此，針座構(gòu)件19相對于可動(dòng)底座構(gòu)件17沿著被涂布區(qū)域WV傾斜，并與被涂布區(qū)域WV的表面平行。因此，包括先抵接的涂布針3的前端3a和其它涂布針3的前端3a在內(nèi)的所有涂布針3的前端3a與被涂布區(qū)域WV的表面均等地抵接。
[0101]因此，即便被涂布區(qū)域WV的表面傾斜了，所有涂布針3的前端3a也都均等、且因彈性支承部18的彈性而以具有期望的緩沖性的方式彈性接觸。[0102]另外，作為彈性支承部18，只要是橡膠制、板簧制等以多個(gè)涂布針3的前端3a能與被涂布區(qū)域的表面均等地抵接的方式發(fā)生彈性變形的構(gòu)件即可，構(gòu)成彈性支承部18的構(gòu)件的形狀、數(shù)量及材質(zhì)并未被特別限定。
[0103]圖4(al)?圖4 (d2)是表示涂布裝置I的涂布動(dòng)作的圖。如圖4 (al)、圖4 (a2)所示，在針座構(gòu)件19的針支承面19a上排列地安裝有多根涂布針3。首先，多根涂布針3的前端3a固定于與墨盒12的修正墨水11的液面相對的位置。
[0104]接著，驅(qū)動(dòng)底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使針座構(gòu)件19及多根涂布針3下降，如圖4(al)所示，將多根涂布針3的前端3a浸在墨盒12內(nèi)的修正墨水11中。此時(shí)，各涂布針3的前端3a以規(guī)定的深度浸在修正墨水11中。
[0105]接著，驅(qū)動(dòng)底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使針座構(gòu)件19及多根涂布針3上升，以將各涂布針3的前端3a移動(dòng)至墨盒12的上方。如圖4(bl)所示，在從墨盒12內(nèi)提升的各涂布針3的前端3a的周圍附著有期望量的修正墨水11。各涂布針3的前端3a的修正墨水11保持與其它涂布針3的前端3a的修正墨水11獨(dú)立的狀態(tài)。
[0106]如圖4(b2)所示，在從墨盒12內(nèi)提升的各涂布針3的前端3a上附著有大致球形的修正墨水11。
[0107]接著，如圖4 (Cl)所示，使用由主計(jì)算機(jī)30控制的XY工作臺40，使工件W的被涂布區(qū)域相對移動(dòng)至針座構(gòu)件19的針支承面19a的下方。然后，當(dāng)驅(qū)動(dòng)底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使固定于針座構(gòu)件19的涂布針3下降時(shí)，各涂布針3的前端3a與工件W的表面抵接，以將修正墨水11涂布于被涂布區(qū)域。
[0108]此時(shí)，如圖3所示，插入針座構(gòu)件19與可動(dòng)底座構(gòu)件17之間的彈性支承部18通過彈性變形來吸收施加于涂布針3的前端的力。由此，能降低因偏負(fù)載而使涂布針3的前端變形等的可能性。
[0109]即，在實(shí)施方式一的涂布單元2中，如圖3所示，即便在工件W傾斜的情況下，也能因彈性支承部18的彈性變形使針座構(gòu)件19追隨著工件W的傾斜而傾斜。因此，涂布針3的前端3a分別與工件W的被涂布區(qū)域的表面大致均等地抵接。另外，在圖3中，用雙點(diǎn)劃線示出了處于正常的水平狀態(tài)下的工件W，用實(shí)線示出了相對于水平面傾斜的工件W。
[0110]由此，多根涂布針3的前端3a的按壓力變得均等，從而不會對一部分涂布針3的前端3a施加不均的負(fù)載。因此，能從多根涂布針3的前端3a朝工件W的表面的被涂布區(qū)域均質(zhì)地涂布修正墨水11。
[0111]在剛涂布之后，當(dāng)驅(qū)動(dòng)底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使涂布針3上升時(shí)，如圖4(c2)所示，修正墨水11呈點(diǎn)狀地殘留于工件W的表面。
[0112]如圖4 (dl)、圖4 (d2)所示，當(dāng)從涂布起經(jīng)過規(guī)定時(shí)間時(shí)，涂布于工件W的表面的修正墨水11流動(dòng)，相鄰的修正墨水11彼此合體、混合而成為一體，并成為具有均勻厚度的膜狀的墨水層。最后，使該墨水層干燥、固化，并結(jié)束缺陷部分的修正。
[0113][比較例一]
[0114]圖5是表不實(shí)施方式一的比較例一的俯視圖。
[0115]在該比較例一中，如圖5所示，使用一根涂布針3對工件W的表面的被涂布區(qū)域Wl整體進(jìn)行涂布。在利用涂布針3涂布修正墨水11的涂布直徑比被涂布區(qū)域Wl小的情況下，必須反復(fù)進(jìn)行多次涂布動(dòng)作。[0116]因此，存在為進(jìn)行涂布修正所需的耗時(shí)增大這樣的問題。
[0117][比較例二]
[0118]圖6是表不實(shí)施方式一的比較例二的俯視圖。
[0119]在該比較例二中，如圖6所示，為了使涂布一次修正墨水11的面積比工件W的表面的被涂布區(qū)域Wl大，將涂布針3的前端面積設(shè)定得較大。
[0120]這樣，當(dāng)使涂布直徑變得較大時(shí)，涂布膜厚具有增厚的傾向，有時(shí)不能涂布成目標(biāo)厚度。因此，難以就這樣使用目前使用的修正用墨水，必須要改變墨水的特性。
[0121]另外，如圖6所示，在工件W的表面的被涂布區(qū)域Wl為矩形的情況下，修正墨水11難以流入角部WC1、涂布有修正墨水11的部分之間的間隙部分。
[0122]為了使墨水流入角部WC1、涂布的部分的間隙，利用了墨水的流動(dòng)性、毛細(xì)管現(xiàn)象產(chǎn)生的流入，但當(dāng)將涂布針的前端面積設(shè)定得較大時(shí)，角部WC1、間隙部分WC2的面積變大，難以使墨水到達(dá)全部區(qū)域。
[0123][比較例三]
[0124]圖7是表示實(shí)施方式一的比較例三的圖，其是表示四棱柱狀的涂布針13形成為正方形形狀的前端和附著于該前端的墨水的端面圖。
[0125]在該比較例三中，示出了與被涂布區(qū)域的角部等的形狀相一致地，將涂布針13的前端部的形狀形成為正方形或長方形等的情況。
[0126]這種涂布針13以能通過一次涂布就能將修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布區(qū)域Wl的方式，使前端的形狀與工件W的表面的被涂布區(qū)域Wl—致。然而，存在因修正墨水11的粘性等特性而使附著于涂布針13的前端的修正墨水11的外形形狀呈圓形或橢圓形等，而與角部等不相適合這樣的問題。
[0127]S卩，當(dāng)以易流入被涂布區(qū)域Wl的角部的方式改變修正墨水11的特性來提高流動(dòng)性時(shí)，即便將涂布針13的前端形狀設(shè)為矩形形狀，修正墨水11所涂布的形狀也不呈期望的長方形或正方形，而是呈圓形、橢圓形形狀，因而此時(shí)產(chǎn)生不易確定涂布形狀這樣的問題。
[0128][比較例四]
[0129]圖8是表示實(shí)施方式一的比較例四的圖，其是表示四棱柱狀的涂布針23的圓形狀的前端和附著于該前端的修正墨水11的端面圖。
[0130]在該比較例四中，修正墨水11的附著形狀呈與圖8所示的涂布針23的外形形狀大致相同的圓形，修正墨水11在該圓形的狀態(tài)下、另外還因被涂布區(qū)域的表面的保液性而以與該圓形相似的形狀一邊朝外側(cè)擴(kuò)展一邊涂布。當(dāng)將上述比較例三的涂布針13與比較例四的涂布針23進(jìn)行比較時(shí)，即便前端面的形狀被從圓形改變?yōu)榉叫蔚龋街谇岸说男拚?1的外形形狀也呈圓形，因而與被涂布區(qū)域的角部等不相適合。
[0131 ] 接著，對本實(shí)施方式一的涂布單元、使用該涂布單元的涂布裝置及涂布方法的效果進(jìn)行說明。如圖2所示，根據(jù)該涂布裝置I的涂布單元2，多根涂布針3的基端3b分別固定于針座構(gòu)件19的針支承面19a，并與被涂布區(qū)域WV的形狀相對應(yīng)地將多根涂布針3的前端3a排列成規(guī)定的形狀。
[0132]因此，通過調(diào)節(jié)多根涂布針3的形狀、尺寸及排列的間距，能容易地對應(yīng)于工件W表面的被涂布區(qū)域的形狀。例如，在對于需要修正的缺陷形成薄膜層的情況下，通過使用與缺陷的大小及形狀相一致地排列的多根涂布針3，能一次將期望分量的修正墨水11涂布于缺陷，并能以較少的涂布次數(shù)準(zhǔn)確地形成期望膜厚的薄膜。
[0133]另外，使修正墨水11附著于多根涂布針3的前端3a。因此，與如現(xiàn)有技術(shù)那樣使用一根涂布針來涂布修正墨水11的情況相比，能增大一次涂布可以附著并涂布的修正墨水11的分量。
[0134]由此，即便是比較大的面積的修正部位，也能以一次或較少的次數(shù)涂布成期望的膜厚，從而能縮短耗時(shí)。另外，在隔開等間隔地沿XY方向排列多根、例如3X8 = 24根涂布針3，將24根涂布針3的前端3a的外形形狀設(shè)為長方形的情況下，無需如現(xiàn)有技術(shù)那樣將一根涂布針的前端的面積與涂布區(qū)域相一致地設(shè)定得較大，即便使涂布針13位于不易涂布的角部等，也能直接接觸以進(jìn)行涂布。因此，無需以易流入的方式改變修正墨水11的粘度等特性，能利用目前所使用的修正墨水11進(jìn)行涂布作業(yè)，并能提高修正工序的效率。
[0135](實(shí)施方式二)
[0136]圖9是從正面觀察本發(fā)明實(shí)施方式二的涂布單元的主要部分的圖，圖10是從下方觀察涂布單元的圖。另外，對于其它結(jié)構(gòu)及作用效果，標(biāo)注與實(shí)施方式一相同的符號而不重復(fù)說明。在該涂布單元中，使用圓柱形狀的涂布針23，例如3X8 = 24根涂布針23隔開等間隔地沿XY方向排列于針座構(gòu)件19的下表面的針支承面19a。24根涂布針23具有相同的長度方向尺寸，并從前端到基端形成為相同的粗細(xì)(徑向尺寸)。涂布針23的粗細(xì)、涂布針23的間隔根據(jù)修正墨水的粘度、特性、涂布時(shí)所需的膜厚而被恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定。
[0137](實(shí)施方式三)
[0138]圖11是從正面觀察本發(fā)明實(shí)施方式三的涂布單元的主要部分的圖，圖12是從下方觀察涂布單元的圖。另外，對于其它結(jié)構(gòu)及作用效果，標(biāo)注與實(shí)施方式一、二相同的符號而不重復(fù)說明。該涂布單元的涂布針33形成得比實(shí)施方式二所示的圓柱形狀的涂布針23粗，其前端部形成為錐狀(隨著從基端側(cè)朝向前端而變細(xì)的形狀)。
[0139]在該涂布單元上，例如3X8 = 24根涂布針33沿XY方向排列于針座構(gòu)件19的針支承面19a。在涂布針33的前端33a形成有圓形的平坦面。24根涂布針33具有相同的長度方向尺寸，并從前端的錐形狀的結(jié)束部分到基端形成為相同的粗細(xì)(徑向尺寸)。另外，24根涂布針33的錐部以相同的傾斜角度形成相同的長度。另外，24根涂布針33的前端33a的平坦面形成為相同的面積。
[0140]涂布針33的粗細(xì)、相鄰配置的涂布針33與涂布針33的間隔或形狀、數(shù)量及材質(zhì)根據(jù)修正墨水的粘度、特性、涂布時(shí)所需的膜厚來設(shè)定。
[0141]另外，涂布針33的前端33a的平坦面的形狀并不限于圓形，也可以是包括正方形、長方形、平行四邊形、梯形的方形形狀、三角形或五邊形以上的其它多邊形形狀等。
[0142](實(shí)施方式四)
[0143]圖13(a)是從正面觀察本發(fā)明實(shí)施方式四的涂布單元的主要部分的圖，圖13 (b)是從下方觀察涂布單元的圖。在圖13 (a)、圖13(b)中，在該涂布單元的針座構(gòu)件19的下表面設(shè)有三個(gè)涂布針連接體80。各涂布針連接體80包括等間隔地排列于針座構(gòu)件19的下表面的多個(gè)涂布針23。在各涂布針連接體80中，各相鄰配置的兩根涂布針23之間被連接部81連接。
[0144]在各連接部81的兩側(cè)面分別形成有凹部82、82，如圖13(b)所示，將與被涂布區(qū)域相對的端面的形狀設(shè)為以規(guī)則地收縮變窄的方式形成的線狀。[0145]在該實(shí)施方式四中，與涂布針23 —根根獨(dú)立固定的實(shí)施方式二相比，相鄰配置的兩根涂布針23之間由連接部81連接而被相互加強(qiáng)。另外，若將連接部81的各個(gè)基端部與涂布針23的基部一起固定于針座構(gòu)件19的下表面，則被進(jìn)一步加強(qiáng)。因此，能增大涂布單兀的強(qiáng)度，并提聞耐久性。
[0146]此外，在連接部81的兩側(cè)面形成有凹部82、82。因此，能通過利用凹部82、82調(diào)節(jié)修正墨水11的量來對膜厚進(jìn)行控制。另外，對于其它結(jié)構(gòu)及作用效果，標(biāo)注與實(shí)施方式二的涂布針23相同的符號而不重復(fù)說明。
[0147](實(shí)施方式五)
[0148]圖14(a)是從正面觀察本發(fā)明實(shí)施方式四的涂布單元的主要部分的圖，圖14(b)是從下方觀察涂布單元的圖。在圖14(a)、圖14(b)中，在該涂布單元的針座構(gòu)件19的下表面設(shè)有三個(gè)涂布針連接體90。各涂布針連接體90包括等間隔地排列于針座構(gòu)件19的下表面的多個(gè)涂布針13。各涂布針13形成為四棱柱狀。在各涂布針連接體90中,各相鄰配直的兩根涂布針13之間被連接部91連接。
[0149]在各連接部91的兩側(cè)面分別形成有凹部92、92。另外，在各連接部91的與被涂布區(qū)域相對的下表面?zhèn)鹊亩嗣嫘纬捎邪疾?3。
[0150]在該實(shí)施方式五中，利用連接部91連接各相鄰的兩根涂布針13來提高強(qiáng)度，并提高了耐久性。
[0151]此外，能利用形成于連接部91的兩側(cè)面的凹部92和形成于下表面?zhèn)鹊陌疾?3調(diào)節(jié)修正墨水11的量，并對膜厚進(jìn)行控制。另外，對于其它結(jié)構(gòu)及作用效果，由于與實(shí)施方式一的涂布針13及實(shí)施方式四的涂布針連接體80相同，因此，標(biāo)注相同的符號而不重復(fù)說明。
[0152](實(shí)施方式六)
[0153]圖15 (a)、圖15(b)是表示本發(fā)明實(shí)施方式六的涂布單元中包括的墨水供給機(jī)構(gòu)4的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作的圖。
[0154]在圖15(a)、圖15(b)中，將修正墨水11供給至多個(gè)涂布針3等的墨水供給機(jī)構(gòu)4作為對修正墨水11朝涂布針3供給的供給量進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)部，包括:將底面部12a設(shè)為平面狀并敞開上表面的墨盒12 ;以及使收容于墨盒12內(nèi)的修正墨水11的表面Ilf變?yōu)槠教梗牡酌娌?2a到表面Ilf為止的膜厚的尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié)以變得均勻的刮板14。
[0155]如圖15 (a)、圖15(b)所示，使用刮板14，將修正墨水11的表面Ilf變得平坦，并使從墨盒12的底面部12a到修正墨水11的表面Ilf為止的膜厚變?yōu)榫鹊某叽纭?br> [0156]因此，當(dāng)將多根涂布針3從上方插入墨盒12內(nèi)并附著修正墨水11時(shí)，通過使多根涂布針3的前端3a與底面部12a抵接，能使浸入修正墨水11的長度尺寸變得均等。藉此，通過一次附著作業(yè)，就能使相同量的修正墨水11附著于多根涂布針3的前端3a。其它結(jié)構(gòu)及作用效果與實(shí)施方式一至實(shí)施方式五相同，因此，不重復(fù)相同的說明。
[0157](實(shí)施方式七)
[0158]圖16(bl)、圖16(b2)是表示本發(fā)明實(shí)施方式七的涂布單元的主要部分的圖。圖16 (bl)是涂布單元的側(cè)視圖，圖16 (b2)是從下方觀察涂布單元的圖。另外，對于使用與圖9所示的實(shí)施方式二的涂布針23及針座構(gòu)件19相同的結(jié)構(gòu)的部分，標(biāo)注相同的符號并不重復(fù)說明。[0159]在圖16(al)、圖16(a2)所示的實(shí)施方式二的涂布單元中，由在針座構(gòu)件19上固定有基端的多根涂布針23附著的修正墨水11的分量有時(shí)比期望的分量少。
[0160]在這種情況下，通過增大涂布針23的前端23a的面積，或利用附著修正墨水11的能力較高、即提高了所謂保液性的材質(zhì)來構(gòu)成涂布針23的前端23a，從而能增加修正墨水11附著于涂布針23的前端23a的分量。
[0161]在該實(shí)施方式七中，如圖16(bl)、圖16 (b2)所示，在各涂布針23的前端部23a上形成有規(guī)定厚度的鍍層100。
[0162]另外，以各涂布針23在基端側(cè)露出的部分的保液性比較低的方式預(yù)先由具有斥液性的材質(zhì)形成涂布針23，或以在涂布針23的外表面發(fā)揮出斥液性的方式進(jìn)行斥液處理。
[0163]另外，提高了涂布針23的前端部23a形成鍍層100的部分的保液性(濕潤性)。因此，各涂布針23的前端部23a的保液性被設(shè)定得比其基端部的保液性高。
[0164]在該實(shí)施方式七中，在涂布針23的前端部23a形成有規(guī)定厚度的鍍層100。能利用該鍍層100的厚度增大前端部23a的表面積，從而能增加一次涂布的修正墨水11的分量。
[0165]此外，涂布針23的前端部23a的保液性被設(shè)定成比不施加鍍層100而露出的基端部的保液性高。因此，能增大附著于前端部23a的修正墨水11的量，并能防止多余的修正墨水11附著于基端部。
[0166]因此，當(dāng)朝被涂布區(qū)域涂布修正墨水11時(shí)，能使附著于涂布針23而殘留的修正墨水11的量減少，并能有效地將適量的修正墨水11涂布于被涂布區(qū)域。
[0167](實(shí)施方式八)
[0168]圖17(a)是表示作為本發(fā)明實(shí)施方式八的比較例的涂布單元的主要部分的側(cè)視圖，圖17(b)是從下表面?zhèn)扔^察涂布單元的圖。
[0169]在該比較例中，如圖17(a)所示，以多根涂布針13的長度保持為一定的方式將各個(gè)的基端13b固定于針支承面19a。藉此，在同一平面內(nèi)存在多根涂布針13的前端13a。
[0170]在該涂布單元中，如圖17(a)所示，以當(dāng)使修正墨水11附著于多根涂布針13的前端13a時(shí)、保持于相鄰的兩根涂布針13的前端13a的修正墨水11連接的方式，設(shè)定修正墨水11的粘性，并將各涂布針13間的尺寸設(shè)定為規(guī)定的大小。
[0171]如圖17(b)所示，在修正墨水11附著于多根涂布針13的前端13a的狀態(tài)下，修正墨水11集中在中央，位于外周緣的涂布針13的前端13a露出一半。
[0172]另外，圖18是表示使用比較例的涂布單元而涂布于具有被涂布區(qū)域WV的由玻璃基板構(gòu)成的工件W的修正墨水11的形狀的俯視圖。
[0173]附著于圖17(a)、圖17(b)所示的多根涂布針13的前端13a的修正墨水11匯集在一起而涂布于工件W的被涂布區(qū)域WV。
[0174]在該比較例中，保持于多根涂布針13的前端13a的修正墨水11連接、成為一塊而被涂布。因此，能增大一次涂布的修正墨水11的總量。
[0175]然而，在該比較例中，位于外周緣的多根涂布針13被排列成與期望的被涂布區(qū)域WV的外周緣大致一致。在這種情況下，如圖17(a)、圖17(b)所示，附著于多根涂布針13的前端13a的修正墨水11集中在中央，位于外周緣的修正墨水11露出一半。當(dāng)在該狀態(tài)下進(jìn)行涂布時(shí)，如圖18中的實(shí)線所示，修正墨水11涂布在比期望的被涂布區(qū)域WV的面積小一圈的涂布面積上。
[0176]圖19(al)?圖19(b2)是表示本發(fā)明實(shí)施方式八的涂布單元的主要部分的圖，特別地，圖19(al)、圖19 (a2)是該涂布單元的側(cè)視圖，圖19(bl)、圖19 (b2)是從下方觀察該涂布單元的圖。
[0177]在該涂布單元中，如圖19(al)、圖19(bl)所示，包括多根輔助針43，這多根輔助針43在比位于外側(cè)的多根涂布針13更靠外側(cè)的位置，以隔開規(guī)定間隔并圍住多根涂布針13的外側(cè)的方式整周排列，這多根輔助針43的基端43b固定于針座構(gòu)件19的針支承面19a。多根輔助針43各自的長度被設(shè)定成比多根涂布針13各自的長度短。
[0178]如圖19(a2)、圖19(b2)所示，在修正墨水11附著于全部涂布針13的前端13及全部輔助針43的前端43a的狀態(tài)下，修正墨水11集中在中央，各涂布針13的前端13a被修正墨水11完全覆蓋，各輔助針43的前端43a露出一半。另外，輔助針43比涂布針13短，因此，即便在涂布針13的前端13a與被涂布區(qū)域WV的表面抵接的狀態(tài)下，輔助針43的前端43a也不與被涂布區(qū)域WV的表面直接抵接。
[0179]在該狀態(tài)下，如圖20所示，當(dāng)將修正墨水11涂布于具有被涂布區(qū)域WV的由玻璃基板構(gòu)成的工件W時(shí)，實(shí)線所示的修正墨水11的形狀與期望的被涂布區(qū)域WV的形狀大致—致。
[0180]在該實(shí)施方式八中，與被涂布區(qū)域WV —致地排列多根涂布針13，并繞著多根涂布針13排列多根輔助針43，因此，能用修正墨水11覆蓋全部涂布針13的前端13，并能將修正墨水11準(zhǔn)確地涂布于被涂布區(qū)域WV。
[0181](實(shí)施方式九)
[0182]圖21 (al)?圖21 (b2)是表示本發(fā)明實(shí)施方式九的涂布方法的圖。在該涂布方法中，使用兩個(gè)涂布單元2A、2B。圖21(al)是表示涂布單元2A的主要部分的側(cè)視圖，圖21 (bl)是從下方觀察該涂布單元2A的圖。另外，圖21(a2)是表示涂布單元2B的主要部分的側(cè)視圖，圖21 (b2)是從下方觀察該涂布單元2B的圖。
[0183]兩個(gè)涂布單元2A、2B均在針座構(gòu)件19的下表面隔開規(guī)定的間隔將多根涂布針13排列成鋸齒狀。然而，涂布單元2A、2B的涂布針13的排列圖案彼此錯(cuò)開二分之一的周期。
[0184]圖22 (Cl)?圖22 (c3)是表示使用涂布單元2A、2B的涂布方法的圖。當(dāng)按照涂布工序的順序進(jìn)行說明時(shí)，首先，使修正墨水11附著于一方涂布單元2A的多根涂布針13的前端部，并將該修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布區(qū)域。藉此，如圖22 (Cl)所示，修正墨水11的液滴Ila以與涂布針13的排列圖案相同的圖案呈點(diǎn)狀或斑狀地涂布于工件W的被涂布區(qū)域。
[0185]接著，使修正墨水11附著于另一方涂布單元2B的多根涂布針13的前端部，并將該修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布區(qū)域。藉此，如圖22 (C2)所示，在除了由一方涂布單元2A涂布于被涂布區(qū)域內(nèi)的部分之外的未涂布部分，以與涂布針13的排列圖案相同的圖案呈點(diǎn)狀或斑狀地涂布有修正墨水11的液滴lib。
[0186]然后，在圖22(c3)所示的最終的涂布狀態(tài)下，涂布的修正墨水11沿著工件W的表面擴(kuò)展，各相鄰的兩個(gè)液滴IlaUlb變?yōu)橐惑w，從而形成薄膜狀的修正墨水11c。
[0187]在該實(shí)施方式九中，在使用一方涂布單元2A將修正墨水11的液滴Ila呈點(diǎn)狀或斑狀地涂布于被涂布區(qū)域之后，使用另一方涂布單元2B，將修正墨水11的液滴Ilb呈點(diǎn)狀或斑狀地涂布于被涂布區(qū)域中的未涂布有液滴Ila的部分。因此，能準(zhǔn)確地將修正墨水11涂布于被涂布區(qū)域WV。
[0188](實(shí)施方式十)
[0189]圖23(al)~圖23 (b2)是表示本發(fā)明實(shí)施方式十的涂布方法的圖。在該涂布方法中，在使用涂布單元2A進(jìn)行涂布之后，使涂布單元2A僅偏移涂布針13的排列圖案的二分之一周期以再次進(jìn)行涂布。圖23 (al)是表示涂布單元2A的主要部分的側(cè)視圖，圖23 (bl)是從下方觀察該涂布單元2A的圖。另外，圖23(a2)是表示偏移二分之一周期后的涂布單元2A的主要部分的側(cè)視圖，圖23 (b2)是從下方觀察該涂布單元2A的圖。
[0190]在該涂布單元2A中，如圖23 (al)、圖23 (bl)所示，多根涂布針13隔著規(guī)定的間隔呈鋸齒狀地排列于針座構(gòu)件19的針支承面19a(下表面)。
[0191]在該涂布方法中，使涂布單元2A的相對于被涂布區(qū)域的相對位置從圖23(a2)、圖
23(b2)的雙點(diǎn)劃線所示的位置移動(dòng)至實(shí)線所示的位置，并在該雙點(diǎn)劃線所示的位置和實(shí)線所示的位置這兩個(gè)位置處將修正墨水11涂布于被涂布區(qū)域。
[0192]圖24(cl)~圖24(c3)是表示使用涂布單元2A的涂布方法的圖。當(dāng)按照涂布工序的順序進(jìn)行說明時(shí)，首先，使修正墨水11附著于涂布單元2A的多根涂布針13的前端部，并將該修正墨水11涂布于 工件W的表面的被涂布區(qū)域。藉此，如圖24(cl)所示，修正墨水11的液滴Ila以與涂布針13的排列圖案相同的圖案呈點(diǎn)狀或斑狀地涂布于工件W的被涂布區(qū)域。
[0193]接著，使修正墨水11附著于涂布單元2A的多根涂布針13的前端部，并使涂布單元2A移動(dòng)二分之一周期，以將修正墨水11涂布于工件W的表面的被涂布區(qū)域。藉此，如圖
24(c2)所示，在最初由涂布單元2A涂布于被涂布區(qū)域內(nèi)的部分之外的未涂布部分，呈點(diǎn)狀或斑狀地涂布有修正墨水11的液滴lib。
[0194]然后，在圖24(c3)所示的最終的涂布狀態(tài)下，涂布的修正墨水11的液滴IlaUlb沿著工件W的表面擴(kuò)展，各相鄰的兩個(gè)液滴I la、I Ib變?yōu)橐惑w，從而形成薄膜狀的修正墨水lid。
[0195]在該實(shí)施方式十中，與實(shí)施方式九那樣需要兩個(gè)涂布單元2A、2B的情況相比，不用增加涂布單元2A的數(shù)量及種類，用一個(gè)涂布單元2A就能將膜厚較薄的層狀的修正墨水Ild準(zhǔn)確地涂布于工件W的被涂布區(qū)域WV。
[0196](實(shí)施方式十一)
[0197]在實(shí)施方式一的涂布單元2中，在多根涂布針3的前端3a所沿著的平面與被涂布區(qū)域WV不平行的情況下，利用彈性支承部18的彈性變形來吸收傾斜，以使多根涂布針3的前端3a與被涂布區(qū)域WV的表面均等地抵接。
[0198]然而，嚴(yán)格地說，為了吸收傾斜，需使涂布針3的前端3a以相對于被涂布區(qū)域WV滑動(dòng)的方式移動(dòng)，或使涂布針3的基端3b在水平方向上移動(dòng)。
[0199]例如，如圖25所示，假設(shè)彈性支承部18的變形僅吸收傾斜，并假設(shè)在彈性支承部18的上部中心存在支點(diǎn)P。另外，在圖25中，為了簡化附圖和說明，省略了針座構(gòu)件19的圖示，并用一個(gè)四邊形表示多個(gè)涂布針3。在該情況下，當(dāng)使彈性支承部18及涂布針3朝向傾斜的工件W垂直下降時(shí)，根據(jù)工件W的傾斜使彈性支承部18及涂布針3的傾斜變動(dòng)。此時(shí)，如圖25所示，涂布針3的前端3a與工件W的表面接觸的接觸位置從涂布前到涂布時(shí)移動(dòng)某一距離dl。另外，若涂布針3的前端3a不移動(dòng)，則無法吸收工件W的傾斜。
[0200]然而，當(dāng)涂布針3的前端3a的接觸位置移動(dòng)時(shí)，涂布位置的精度降低，產(chǎn)生涂布形狀變?yōu)闄E圓等不良影響。為了改善涂布精度的降低、涂布形狀的變動(dòng)，如圖26所示，需使彈性支承部18以最初接觸的涂布針3的前端3a為支點(diǎn)移動(dòng)某一距離。
[0201]也可考慮通過由能吸收工件W的傾斜、涂布針3的基端3b的移動(dòng)的材料、例如橡膠、壓縮彈簧等那樣柔軟且較長的材料構(gòu)成彈性支承部18，來吸收工件W的傾斜、涂布針3的基端3b的移動(dòng)。
[0202]然而，如圖27 (a)、圖27 (b)所示，從工件W對涂布針3的前端3a施加的反作用力Fl被分為能用于吸收傾斜的力F2和能用于吸收位置移動(dòng)的力F3，與F2相比，F(xiàn)3極小。因此，需使用能以較小的力對位置移動(dòng)進(jìn)行吸收的彈性支承部18，但存在以下缺點(diǎn):這種彈性支承部18容易受到涂布動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)影響，另外，彈性力較弱難以返回至原來的位置。
[0203]另外，也可考慮通過使用難以受到振動(dòng)影響程度的硬度的彈性支承部18來增強(qiáng)按壓力，從而增強(qiáng)吸收位置移動(dòng)的力，但若在涂布針3的前端3a傾斜的狀態(tài)大力按壓時(shí)，工件W可能會破損。
[0204]因此，在本實(shí)施方式十一中，提供了一種能以較輕的按壓力穩(wěn)定且高精度地涂布修正墨水11的涂布單元。 [0205]圖28是表示本發(fā)明實(shí)施方式十一的涂布單元的主要部分的圖，其是與圖2進(jìn)行對比的圖。參照圖28，該涂布單元與圖2的涂布單元的不同點(diǎn)在于，在可動(dòng)底座構(gòu)件17與彈性支承部18之間追加了 XY導(dǎo)向部111這點(diǎn)。
[0206]XY導(dǎo)向部111包括導(dǎo)軌部112、114和滑動(dòng)部113、115。導(dǎo)軌部112朝向Y方形(前后方向)固定于可動(dòng)底座構(gòu)件17的下表面?；瑒?dòng)部113安裝于導(dǎo)軌部112，并被設(shè)成能沿著導(dǎo)軌部112的下表面在Y方向上滑動(dòng)。導(dǎo)軌部114朝向X方形(左右方向)固定于滑動(dòng)部113的下表面。滑動(dòng)部115安裝于導(dǎo)軌部114，并被設(shè)成能沿著導(dǎo)軌部114的下表面在X方向上滑動(dòng)。
[0207]圖29 (a)、圖29 (b)是表示該涂布單元的動(dòng)作的圖。在圖29 (a)、圖29 (b)中，工件W相對于水平面稍許傾斜。在圖中，示出了工件W的右側(cè)比左側(cè)稍高的情況。在該情況下，當(dāng)利用底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使可動(dòng)底座構(gòu)件17下降時(shí)，如圖29(a)所示，首先，右端的涂布針3的前端3a與工件W的表面接觸。當(dāng)進(jìn)一步下降時(shí)，滑動(dòng)部115以右端的涂布針3的前端3a為支點(diǎn)P朝圖中的左方向(箭頭的方向)移動(dòng)，并且彈性支承部18變形，全部涂布針3的前端3a與工件W的表面接觸。
[0208]另外，在圖29 (a)、圖29 (b)中，對工件W僅朝X方向傾斜的情況進(jìn)行了說明，但在工件W僅朝Y方向傾斜的情況下，滑動(dòng)部113移動(dòng)，在工件W朝X方向及Y方向傾斜的情況下，滑動(dòng)部113、115這兩個(gè)滑動(dòng)部都移動(dòng)。
[0209]在該實(shí)施方式十一中，設(shè)有將彈性支承部18支承成能在XY方向上移動(dòng)的XY導(dǎo)向部111，因此，能防止因涂布針3的前端3a與被涂布區(qū)域WV接觸地移動(dòng)而導(dǎo)致的涂布位置精度降低。另外，針座構(gòu)件19能容易地傾斜，能減弱施加于先抵接的涂布針3的前端3a的按壓力。
[0210](實(shí)施方式十二)
[0211]圖30(a)~圖30(d)是表示本發(fā)明實(shí)施方式十二的涂布單元的主要部分及其動(dòng)作的圖，其是與圖29 (a)、圖29 (b)進(jìn)行對比的圖。參照圖30 (a)?圖30 (d)，該涂布單元與圖29(a)、圖29(b)的涂布單元的不同點(diǎn)在于，追加了四組致動(dòng)器120及臂121這點(diǎn)。
[0212]四組致動(dòng)器120及臂121構(gòu)成將涂布針30復(fù)位至基準(zhǔn)位置的復(fù)位部。另外，在圖30(a)?圖30(d)中，為了簡化附圖及說明，僅示出了排列在X方向(左右方向)上的兩組致動(dòng)器120及臂121，省略了排列在Y方向(前后方向)上的兩組致動(dòng)器120及臂121的圖
/Jn ο
[0213]S卩，可動(dòng)底座構(gòu)件17、彈性支承部18及針座構(gòu)件19分別形成為長方體狀。在可動(dòng)底座構(gòu)件17的圖中的左右側(cè)面，分別以能沿X方向伸縮的方式固定有致動(dòng)器120。在各致動(dòng)器120的前端部的下端固定有L字型的臂121的一端，臂121的另一端與彈性支承部18的側(cè)面相對。
[0214]當(dāng)各致動(dòng)器120收縮時(shí)，滑動(dòng)部113、115各自的位置被復(fù)位至原點(diǎn)，當(dāng)各致動(dòng)器120伸長時(shí)，滑動(dòng)部113、115分別能在兩個(gè)臂121間移動(dòng)?；瑒?dòng)部113、115的原點(diǎn)分別是導(dǎo)軌部112、114的長度方向的中心。當(dāng)滑動(dòng)部113、115各自位于原點(diǎn)時(shí)，彈性支承部18配置
于基準(zhǔn)位置。
[0215]接著，對該涂布單元的動(dòng)作進(jìn)行說明。在圖30 (a)、圖30(b)中，工件W相對于水平面稍許傾斜。在圖中，示出了工件W的右側(cè)比左側(cè)稍高的情況。如圖30(a)所示，在涂布前，各致動(dòng)器120伸長而使滑動(dòng)部112、115可移動(dòng)。另外，彈性支承部18配置于基準(zhǔn)位置。當(dāng)利用底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使可動(dòng)底座構(gòu)件17下降時(shí)，首先，右端的涂布針3的前端3a與工件W的表面接觸。
[0216]當(dāng)進(jìn)一步使可動(dòng)底座構(gòu)件17下降時(shí)，如圖30(b)所示，滑動(dòng)部115以右端的涂布針3的前端3a為支點(diǎn)P朝圖中的左方向移動(dòng)，并且彈性支承部18變形，全部涂布針3的前端3a與工件W的表面接觸。
[0217]如圖30(c)所示，在涂布后，利用底座移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使可動(dòng)底座構(gòu)件17上升。此時(shí)，滑動(dòng)部115從原點(diǎn)(導(dǎo)軌部114的中心)朝左側(cè)偏移，彈性支承部18從基準(zhǔn)位置朝左側(cè)偏移。在該狀態(tài)下進(jìn)行下次涂布時(shí)，涂布位置從目標(biāo)位置偏移。
[0218]因此，如圖30(d)所示，在涂布結(jié)束之后，使四個(gè)致動(dòng)器120收縮。藉此，四根臂121的間隔縮小，滑動(dòng)部113、115各自的位置復(fù)位至原點(diǎn)，彈性支承部18返回至基準(zhǔn)位置。藉此，可防止在下次涂布中涂布位置從目標(biāo)位置偏移。
[0219]另外，在圖30(a)?圖30(d)中，對工件W僅朝X方向傾斜的情況進(jìn)行了說明，但在工件W僅朝Y方向傾斜的情況下，滑動(dòng)部113移動(dòng)，在工件W朝X方向及Y方向移動(dòng)的情況下，滑動(dòng)部113、115這兩個(gè)滑動(dòng)部都移動(dòng)。
[0220]在該實(shí)施方式十二中，在涂布結(jié)束之后，將滑動(dòng)部113、115各自的位置復(fù)位至原點(diǎn)并使彈性支承部18返回至基準(zhǔn)位置，因此，能防止涂布位置偏移。
[0221](實(shí)施方式十三)
[0222]圖31是表示本發(fā)明實(shí)施方式十三的涂布單元的主要部分的圖，其是與圖29(a)、圖29(b)進(jìn)行對比的圖。參照圖31，該涂布單元與圖29(a)、圖29(b)的涂布單元的不同點(diǎn)在于，可動(dòng)底座構(gòu)件17被可動(dòng)底座構(gòu)件17A替換、XY導(dǎo)向部111被XY導(dǎo)向部IllA替換這點(diǎn)。
[0223]可動(dòng)底座構(gòu)件17A呈將長方體狀的可動(dòng)底座構(gòu)件17的下端部斜向切削后的形狀。即，可動(dòng)底座構(gòu)件17A的下端面的一角比其它三個(gè)角低。另外，在圖31中，為了簡化附圖，示出了可動(dòng)底座構(gòu)件17A的下表面僅在X方向上傾斜、下表面的右端比左端低的狀態(tài)。
[0224]另外，XY導(dǎo)向部IllA是用導(dǎo)軌部112A、114A替換XY導(dǎo)向部111的導(dǎo)軌部112、114之后獲得的導(dǎo)向部。導(dǎo)軌部112A是在導(dǎo)軌部112的兩端設(shè)有限位件(未圖示)的構(gòu)件。導(dǎo)軌部114A是在導(dǎo)軌部114的兩端設(shè)有限位件(標(biāo)注了斜線的部分)的構(gòu)件。
[0225]因此，在可動(dòng)底座構(gòu)件17A配置于工件W的上方的情況下，利用重力使滑動(dòng)部113的位置復(fù)位至導(dǎo)軌部112A的一端部即原點(diǎn)，并利用重力使滑動(dòng)部115的位置復(fù)位至導(dǎo)軌部114A的一端部即原點(diǎn)。當(dāng)滑動(dòng)部113、115各自位于原點(diǎn)時(shí)，彈性支承部18配置于基準(zhǔn)位置。其它結(jié)構(gòu)及動(dòng)作與實(shí)施方式十一的涂布單元相同，因此，不重復(fù)其說明。
[0226]在該實(shí)施方式十二中，在涂布結(jié)束之后，將滑動(dòng)部113、115各自的位置復(fù)位至原點(diǎn)并使彈性支承部18返回至基準(zhǔn)位置，因此，能防止涂布位置偏移。
[0227]另外，在滑動(dòng)部113、115僅因自重而無法返回至原點(diǎn)的情況下，也可設(shè)置將滑動(dòng)部113、115按壓至原點(diǎn)的彈簧等。
[0228]最后，再次參照附圖，對以上說明的實(shí)施方式進(jìn)行總結(jié)。
[0229]如圖1及圖2所示，在該涂布裝置I的涂布單元2中，多根涂布針3的基端3b分別固定于針座構(gòu)件19的針支承面19a，并與被涂布區(qū)域的形狀相對應(yīng)地將多根涂布針3的前端3a排列成期望的形狀。
[0230]因此，通過調(diào)節(jié)涂布針3的形狀、尺寸及排列的間距，能容易地對應(yīng)于被涂布區(qū)域的形狀。例如，能用期望的膜厚且以較少的涂布次數(shù)將薄膜層涂布于需要修正的缺陷部位。
[0231]另外，使修正墨水11附著于多根涂布針3等，因此，與現(xiàn)有技術(shù)那樣使用一根涂布針涂布修正墨水11的情況相比，能增大通過一次涂布可涂布的修正墨水11的分量。
[0232]由此，即便是比較大的面積的修正部位，也能以一次或較少的次數(shù)將涂布成期望的膜厚，并能縮短耗時(shí)。另外，無需以與被涂布區(qū)域相一致的方式，將排列的多個(gè)涂布針13設(shè)定成將各涂布針13的前端加工得較大等形狀。因此，也能由涂布針13直接對目前難以涂布的角部等進(jìn)行涂布，無需以易流入的方式改變修正墨水11的粘度等特性，從而能提高涂布作業(yè)的效率。
[0233]另外，如圖19所示，還包括多根輔助針43，這多根輔助針43被排列成圍住多個(gè)涂布針13的外側(cè)，并且這多根輔助針43的基端43b固定于針座構(gòu)件19。多根輔助針43各自的長度被設(shè)定成比多根涂布針13各自的長度短。藉此，不會使涂布針13的前端13a露出，能與期望的被涂布區(qū)域WV的形狀相一致地維持修正墨水11。
[0234]此外，如圖1及圖2所示，包括對針座構(gòu)件19進(jìn)行支承的彈性支承部18。如圖3所示，當(dāng)多根涂布針3的前端3a與被涂布區(qū)域WV抵接時(shí)，彈性支承部18通過彈性變形而對存在于針座構(gòu)件19與被涂布區(qū)域的表面之間的傾斜進(jìn)行吸收。
[0235]因此，即便構(gòu)成被涂布區(qū)域WV的零件傾斜地載置，涂布針3的前端3a也均等地與被涂布區(qū)域的表面抵接，從而能進(jìn)行均等的涂布。
[0236]此外，如圖28所示，還包括XY導(dǎo)向部111，該XY導(dǎo)向部111將彈性支承部18支承成能在與多個(gè)涂布針3延伸的方向正交的方向上移動(dòng)。XY導(dǎo)向部111通過使彈性支承部18在與多根涂布針3延伸的方向正交的方向上移動(dòng)，來使多根涂布針3的前端與被涂布區(qū)域抵接。[0237]此外，如圖30(a)?圖30(d)所示，還包括復(fù)位部，該復(fù)位部在多根涂布針3的前端3a遠(yuǎn)離被涂布區(qū)域的情況下，使彈性支承部18返回至基準(zhǔn)位置。在該情況下，能防止涂布位置偏離目標(biāo)位置。
[0238]此外，在圖13及圖14中，構(gòu)成涂布針連接體80 (或90)的多根涂布針13 (或23)呈行列狀地排列于針座構(gòu)件19，并且各相鄰的兩根涂布針13、13 (或23、23)之間被連接部81 (或91)連接。在該情況下，能利用連接部81 (或91)加強(qiáng)涂布針13、13(或23、23)，以提高涂布針13、13(或23、23)的強(qiáng)度及耐久性。
[0239]此外，通過在連接部81 (或91)的端面或下表面中的至少任一方形成凹部82 (或92、93)，能調(diào)節(jié)修正墨水11的涂布量。在實(shí)施方式四(或五)中，涂布針連接體80 (或90)以等間隔地形成為三列的線狀的方式排列在針座構(gòu)件19的下表面，但并不特別限定于此，也可以是三角形、正方形、長方形等多邊形形狀、像素的形狀或C字狀、L字狀。涂布針連接體80 (或90)只要是連接多根涂布針3(或13)的構(gòu)件即可，數(shù)量、形狀及材質(zhì)并未被特別限定。
[0240]此外，如圖13(a)所示，該涂布針連接體80以相鄰配置的涂布針23之間大致呈長方體狀的方式通過連接部81按列連接。
[0241]在各連接部81的兩側(cè)面分別形成有凹部82、82，如圖13(b)所示，將與被涂布區(qū)域相對的端面的形狀設(shè)為以規(guī)則地收縮變窄的方式形成的線狀。
[0242]此外，如圖16(bl)、圖16 (b2)所示，在涂布針23的前端部23a上形成有規(guī)定厚度的鍍層100。能利用鍍層100增大前端部23a的表面積，從而能增加一次可涂布的修正墨水11的量。
[0243]此外，涂布針23的前端部23a的保液性被設(shè)定得比其基端部的保液性高。因此，增大了附著于前端部23a的修正墨水11的量，并且多余的修正墨水11不會附著于基端部。
[0244]此外，圖2所示的涂布單元2包括將修正墨水11供給至涂布針3、13等的作為液狀材料供給機(jī)構(gòu)的墨盒12。墨盒12包括對修正墨水11朝涂布針3供給的供給量進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)部。利用該調(diào)節(jié)部對附著于多個(gè)涂布針3的修正墨水11的供給量進(jìn)行調(diào)節(jié)以使其均等。在實(shí)施方式中，利用作為調(diào)節(jié)部的一例的刮板14來調(diào)節(jié)修正墨水11的膜厚。
[0245]另外，圖1所示的涂布裝置I主要由涂布單元2、觀察光學(xué)系統(tǒng)70、切割用激光部20及主計(jì)算機(jī)30構(gòu)成，其中，上述涂布單元2使用多個(gè)涂布針3將修正墨水11涂布于缺陷，上述觀察光學(xué)系統(tǒng)70對工件W的表面進(jìn)行觀察，上述切割用激光部20通過觀察光學(xué)系統(tǒng)70對基板表面的缺陷進(jìn)行激光切割，上述主計(jì)算機(jī)30對裝置整體進(jìn)行控制。另外，在該實(shí)施方式一中，涂布裝置I包括將涂布單元2等定位于工件W的缺陷的作為定位部的XY工作臺40及Z工作臺60。
[0246]此外，當(dāng)利用觀察光學(xué)系統(tǒng)70觀察被涂布區(qū)域的缺陷形狀時(shí)，根據(jù)由CCD攝像頭50拍攝到的圖像來進(jìn)行基于激光切割的缺陷的去除、被涂布區(qū)域的周緣形狀的整形。此時(shí)，通過利用XY工作臺40進(jìn)行定位動(dòng)作，能容易地對激光切割位置和涂布單元2的涂布位置進(jìn)行對位。
[0247]本次公開的實(shí)施方式在所有點(diǎn)上均為例示，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為不對本發(fā)明作出限制。本發(fā)明的范圍是由權(quán)利要求書來表示的而不是由上述說明來表示的，本發(fā)明包括與權(quán)利要求書等同的意思和范圍內(nèi)的所有變更。
【權(quán)利要求】
1.一種涂布單元，將液狀材料涂布于規(guī)定形狀的被涂布區(qū)域，其特征在于，包括: 多根涂布針，這多根涂布針將附著于前端部的所述液狀材料涂布于所述被涂布區(qū)域；以及 針座構(gòu)件，該針座構(gòu)件對所述多根涂布針進(jìn)行保持， 所述多根涂布針的前端被排列成與所述被涂布區(qū)域相對應(yīng)的形狀，所述多根涂布針的基端固定于所述針座構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1所述的涂布單元，其特征在于， 所述涂布單元還包括多根輔助針，這多根輔助針被排列成圍住所述多根涂布針的外側(cè)，所述多根輔助針的基端固定于所述針座構(gòu)件， 所述多根輔助針各自的長度被設(shè)定成比所述多根涂布針各自的長度短。
3.如權(quán)利要求1所述的涂布單元，其特征在于， 所述涂布單元還包括驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部通過所述針座構(gòu)件使所述多根涂布針移動(dòng)，以將附著于所述多根涂布針的前端的所述液狀材料涂布于所述涂布區(qū)域。
4.如權(quán)利要求3所述的涂布單元，其特征在于， 所述涂布單元還包括對所述針座構(gòu)件進(jìn)行支承的彈性支承部， 所述驅(qū)動(dòng)部通過所述彈性支承部使所述多根涂布針移動(dòng)， 所述彈性支承部通過彈性變形而使所述多根涂布針的前端與所述被涂布區(qū)域抵接。
5.如權(quán)利要求4所述的涂布單元，其特征在于， 所述涂布單元還包括XY導(dǎo)向部，該XY導(dǎo)向部將所述彈性支承部支承成能在與所述多根涂布針延伸的方向正交的方向上移動(dòng)， 所述驅(qū)動(dòng)部通過所述XY導(dǎo)向部使所述多根涂布針移動(dòng)， 所述XY導(dǎo)向部使所述彈性支承部在與所述多根涂布針延伸的方向正交的方向上移動(dòng)，以使所述多根涂布針的前端與所述被涂布區(qū)域抵接。
6.如權(quán)利要求5所述的涂布單元，其特征在于， 所述涂布單元還包括復(fù)位部，該復(fù)位部在所述多根涂布針的前端遠(yuǎn)離所述被涂布區(qū)域的情況下，使所述彈性支承部返回至基準(zhǔn)位置。
7.如權(quán)利要求5所述的涂布單元，其特征在于， 所述XY導(dǎo)向部包括: 第一導(dǎo)軌部，該 第一導(dǎo)軌部與所述驅(qū)動(dòng)部結(jié)合，且一端部配置于比另一端部低的位置； 第一滑動(dòng)部，該第一滑動(dòng)部沿著所述第一導(dǎo)軌部移動(dòng)； 第二導(dǎo)軌部，該第二導(dǎo)軌部固定于所述第一滑動(dòng)部，且一端部配置于比另一端部低的位置；以及 第二滑動(dòng)部，該第二滑動(dòng)部保持所述彈性支承部，并沿著所述第二導(dǎo)軌部移動(dòng)， 在所述多根涂布針的前端遠(yuǎn)離所述被涂布區(qū)域的情況下，利用重力使所述第一滑動(dòng)部及所述第二滑動(dòng)部分別移動(dòng)至所述第一導(dǎo)軌部及所述第二導(dǎo)軌部的一端部，并使所述彈性支承部返回至基準(zhǔn)位置。
8.如權(quán)利要求1所述的涂布單元，其特征在于， 所述多根涂布針呈行列狀地排列于所述針座構(gòu)件，所述涂布單元還包括連接部，該連接部將各相鄰的兩根涂布針之間連接。
9.如權(quán)利要求8所述的涂布單元，其特征在于， 在所述連接部的側(cè)面或端面中的至少任一方形成有凹部。
10.如權(quán)利要求1所述的涂布單元，其特征在于， 在各涂布針的前端部形成有規(guī)定厚度的鍍層。
11.如權(quán)利要求1所述的涂布單元，其特征在于， 各涂布針的如端部的保液性比各涂布針的基端部的保液性聞。
12.如權(quán)利要求1所述的涂布單元，其特征在于， 所述涂布單元還包括液狀材料供給機(jī)構(gòu)，該液狀材料供給機(jī)構(gòu)將所述液狀材料供給至所述涂布針， 所述液狀材料供給機(jī)構(gòu)包括調(diào)節(jié)部，該調(diào)節(jié)部對所述液狀材料朝所述涂布針供給的供給量進(jìn)行調(diào)節(jié)。
13.如權(quán)利要求12所述的涂布單元，其特征在于， 所述調(diào)節(jié)部具有對所述 液狀材料的膜厚進(jìn)行調(diào)節(jié)的刮板。
14.一種涂布方法，其特征在于， 設(shè)置兩組權(quán)利要求1所述的涂布單元， 所述涂布方法包括: 兩組所述涂布單元中的所述多根涂布針的排列圖案彼此不同，使用一方的所述涂布單元將所述液狀材料涂布于所述被涂布區(qū)域的步驟；以及 使用另一方的所述涂布單元將所述液狀材料涂布于所述被涂布區(qū)域的未涂布部分的步驟。
15.—種涂布方法，其特征在于， 設(shè)置權(quán)利要求1所述的涂布單元， 將所述多根涂布針隔開規(guī)定的間隔排列， 所述涂布方法包括: 使用所述涂布單元將所述液狀材料涂布于所述被涂布區(qū)域的步驟；以及使所述涂布單元的位置移動(dòng)，以將所述液狀材料涂布于所述被涂布區(qū)域的未涂布部分的步驟。
16.一種涂布裝置，其特征在于，包括: 權(quán)利要求1至權(quán)利要求13中任一項(xiàng)所述的涂布單元； 觀察光學(xué)部，該觀察光學(xué)部用于對所述被涂布區(qū)域的表面進(jìn)行觀察；以及 定位部，該定位部將所述涂布單元定位于所述被涂布區(qū)域。
【文檔編號】B05D1/30GK103962275SQ201410045271
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年1月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月1日
【發(fā)明者】清水茂夫 申請人:Ntn株式會社