国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      處理液排出裝置制造方法

      文檔序號:3712188閱讀:97來源:國知局
      處理液排出裝置制造方法
      【專利摘要】本發(fā)明提供處理液排出裝置,為了有效去除殘留于噴頭的噴嘴面的微量液晶,在清洗噴頭的噴嘴面的噴頭清洗單元中,設(shè)有一個或多個噴嘴,所述噴嘴以噴射氣體的方式將殘留于吸嘴上部的液晶推向吸嘴方向。所述處理液排出裝置還包括水平驅(qū)動部件,用于調(diào)節(jié)噴嘴和吸嘴之間間距;和升降部件,用于調(diào)節(jié)噴嘴的排出口的高度;和壓力調(diào)節(jié)裝置,用于調(diào)節(jié)噴嘴的排出口的噴射壓力。
      【專利說明】處理液排出裝置
      [0001]本申請是申請日為2011年8月I日、申請?zhí)枮镹0.201110217897.X的發(fā)明創(chuàng)造名稱為“處理液排出裝置”的中國專利申請的分案申請。

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0002]本發(fā)明涉及處理液排出裝置,尤其涉及以排出液滴(droplet)的噴墨方式向基板排出處理液的裝置。

      【背景技術(shù)】
      [0003]近年來,液晶顯示裝置被廣泛地應(yīng)用于手機、便攜式計算機等電子產(chǎn)品的顯示裝置中。
      [0004]液晶顯示裝置通過具有黑矩陣、共同電極及配向膜的彩膜基板與具有薄膜晶體管(TFT)象素電極及配向膜的陣列基板之間注入液晶,根據(jù)液晶的異向性而產(chǎn)生的光的折射率的差異獲得影像。
      [0005]彩膜基板和陣列基板上涂布液晶或配向液的裝置有噴墨式涂布裝置。其缺點在于,在基板上涂布液晶后殘留在噴頭的液晶不易被洗凈,噴頭上會殘留有微量的液晶,導(dǎo)致涂布在基板上的液晶膜密度的均勻性下降。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0006]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠有效去除殘留于噴頭的噴嘴面的微量液晶的處理液排出裝置。
      [0007]本發(fā)明的目的不限于此,本領(lǐng)域技術(shù)人員可通過如下說明應(yīng)當(dāng)理解未提及的其他目的。為了達到上述目的,本發(fā)明實施例的處理液排出裝置包括:
      [0008]底座;
      [0009]基板支撐單元,所述基板支撐單元設(shè)置于所述底座中,用于支撐基板;
      [0010]龍門,設(shè)置于所述基板支撐單元的移動路徑上部,所述龍門上結(jié)合有以噴墨式向所述基板排出處理液的噴頭;
      [0011]清洗單元,設(shè)置于所述底座上,用于清洗所述噴頭的噴嘴面,所述清洗單元包括吸嘴,所述吸嘴具有吸孔,所述吸孔指向所述噴頭;
      [0012]氣體噴射單元,所述氣體噴射單元具有一個或多個噴嘴,所述噴嘴具有指向位于所述吸嘴上部的噴頭的排出口。
      [0013]所述處理液排出裝置還包括:將所述噴嘴向水平方向移動的水平驅(qū)動部件;所述水平驅(qū)動部件包括:結(jié)合于所述底座上面的導(dǎo)引部件、沿所述導(dǎo)引部件直線移動的滑動件及驅(qū)動所述滑動件的驅(qū)動器。
      [0014]所述噴嘴為多個,所述水平驅(qū)動部件分別與所述噴嘴結(jié)合并獨立驅(qū)動。
      [0015]所述噴嘴為多個,所述噴嘴的排出口的末端高度各不相同。
      [0016]所述處理液排出裝置還包括:分別與所述噴嘴相結(jié)合的升降部件,以獨立調(diào)節(jié)所述噴嘴的排出口末端的高度。
      [0017]所述處理液排出裝置還包括:分別與所述噴嘴相結(jié)合的壓力調(diào)節(jié)裝置,以獨立調(diào)節(jié)所述噴嘴的排出口的噴射壓力。
      [0018]為了達到上述目的,本發(fā)明實施例的清洗處理液的清洗單元包括:
      [0019]吸嘴,所述吸嘴具有指向所述上部的吸孔;
      [0020]氣體噴射單元,所述氣體噴射單元具有至少一個以上噴嘴,所述噴嘴具有指向所述吸嘴上部的噴頭的排出口。
      [0021]所述噴嘴包括:第一噴嘴和第二噴嘴,所述第一噴嘴和所述第二噴嘴向著所述吸嘴與所述吸嘴排成一列,而所述第一噴嘴的排出口末端高度和第二噴嘴的排出口末端高度各不相同。
      [0022]所述處理液排出裝置還包括:將所述第一噴嘴和所述第二噴嘴水平方向移動的水平驅(qū)動部件。
      [0023]所述處理液排出裝置還包括:將第一噴嘴水平方向移動的第一水平部件和將第二噴嘴水平方向移動的第二水平部件。所述第一水平部件和所述第二水平部件被獨立控制。
      [0024]所述處理液排出裝置還包括:調(diào)節(jié)所述第一噴嘴的排出口的高度的第一升降部件和調(diào)節(jié)第二噴嘴的排出口的高度的第二升降部件;所述第一升降部件和所述第二升降部件被獨立控制。
      [0025]所述處理液排出裝置還包括:用于調(diào)節(jié)所述第一噴嘴的噴射壓力的第一壓力調(diào)節(jié)裝置和用于調(diào)節(jié)所述第二噴嘴的噴射壓力的第二壓力調(diào)節(jié)裝置;而所述第一壓力調(diào)節(jié)裝置和所述第二壓力調(diào)節(jié)裝置被獨立控制。
      [0026]為了達到上述目的,本發(fā)明實施例的處理液排出裝置的清洗方法為,在多個噴嘴中與吸嘴較近的噴嘴向殘留于處理液噴嘴的液晶噴射氣體,將液晶推向吸嘴方向之后,在多個噴嘴中與吸嘴較遠的噴嘴向殘留的液晶再次噴射氣體,將液晶推向吸嘴方向并由吸嘴吸入。
      [0027]所述多個噴嘴中,與吸嘴較近的噴嘴的排出口高度比所述多個噴嘴中與吸嘴較遠的噴嘴的排出口高度低。
      [0028]本發(fā)明能夠有效去除殘留于噴頭噴嘴面的微量液晶。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0029]如下附圖的目的為具體示例而非限制本發(fā)明的范圍。
      [0030]圖1為噴墨式液晶涂布設(shè)備結(jié)構(gòu)圖;
      [0031]圖2為圖1的液晶排出部斜視圖;
      [0032]圖3為圖1的液晶排出部平面圖;
      [0033]圖4為圖3的第一驅(qū)動單元示意圖;
      [0034]圖5為圖3的第二驅(qū)動單元示意圖;
      [0035]圖6為龍門的直線移動及旋轉(zhuǎn)過程示意圖;
      [0036]圖7為圖2及圖3的噴頭移動單元的側(cè)視圖;
      [0037]圖8為圖7的第一移動單元的正面圖;
      [0038]圖9為噴嘴檢查單元示意圖;
      [0039]圖10為噴頭清洗單元的一實施例概略示意圖;
      [0040]圖11為噴頭清洗單元的另一實施例概略示意圖;
      [0041]圖12為圖11的噴頭清洗單元部分概略示意圖;
      [0042]圖13為噴頭清洗單元的另一實施例概略示意圖;
      [0043]圖14為圖13的噴頭清洗單元的部分放大剖面圖;
      [0044]圖15為對噴頭清洗單元的另一實施例放大剖面圖。
      [0045]附圖標(biāo)記
      [0046]B:底座100:基板支撐單元
      [0047]200:龍門300:龍門移動單元
      [0048]400:噴頭500:噴頭移動單元
      [0049]600:液晶供應(yīng)單元700:噴頭控制單元
      [0050]800:液晶排出量測量單元900:噴嘴檢查單元
      [0051]1000:噴頭清洗單元1100:吸嘴
      [0052]1200:氣體噴射單元1300:支撐部件
      [0053]1210:噴嘴1220:水平驅(qū)動部件
      [0054]1230:升降部件1240:壓力調(diào)節(jié)裝置

      【具體實施方式】
      [0055]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明較佳實施例進行詳細說明。本發(fā)明所要解決的課題、課題的解決方法及效果,將通過附圖和相關(guān)實施例容易理解。為了更好地進行說明,各附圖或簡略或擴大表示。圖中的附圖標(biāo)記中,對于不同附圖中的同一部件采用相同的附圖標(biāo)記。另夕卜,在對本發(fā)明進行說明的過程中,認為可能混淆本發(fā)明的重點時,省略相關(guān)的已公開結(jié)構(gòu)或功能的具體說明。
      [0056]以下對排出液滴的噴墨式向?qū)ο笪锿坎继幚硪旱脑O(shè)備及利用所述設(shè)備向?qū)ο笪锿坎继幚硪旱姆椒ㄟM行詳細說明。
      [0057]例如,對象物可以為液晶顯示面板的彩膜(CF)基板或薄膜晶體管(TFT)基板,而處理液可以為在液晶(Liquid Crystal)、配向液、溶劑中混有顏料粒子的紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)墨水。配向液可使用聚酰亞胺(polyimide)。
      [0058]配向液可涂布于彩膜(CF)基板和薄膜晶體管(TFT)基板的整個面,而液晶可涂布于彩膜(CF)基板或薄膜晶體管(TFT)基板的整個面,墨水可涂布于在彩膜(CF)基板中以格子形狀的圖案排列的黑矩陣的內(nèi)部區(qū)域。
      [0059]本實施例對以液晶作為處理液的設(shè)備進行了說明,但本發(fā)明的技術(shù)思想不限于此。
      [0060]圖1為噴墨式液晶涂布設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。圖1中液晶涂布設(shè)備I為排出液滴的以噴墨式向基板涂布液晶(Liquid Crystal)的設(shè)備。
      [0061]基板可以為彩膜(CF)基板或薄膜晶體管(TFT)基板,液晶可涂布于彩膜(CF)基板或薄膜晶體管(TFT)基板的整個面。
      [0062]如圖1所示,液晶涂布設(shè)備I包括:液晶排出部10、基板移送部20、裝載部30、卸載部40、液晶供應(yīng)部50及主控制部90。液晶排出部10和基板移送部20沿第一方向(I)排成一列,且相互間可相鄰而設(shè)。以液晶排出部10為中心,在與基板移送部20相對的位置,設(shè)有液晶供應(yīng)部50和主控制部90。液晶供應(yīng)部50和主控制部90可沿第二方向(II)排成一列。以基板移送部20為中心,在與液晶排出部10相對的位置,設(shè)有裝載部30和卸載部40。裝載部30和卸載部40可沿第二方向(II)排成一列。
      [0063]其中,第一方向⑴為液晶排出部10和基板移送部20的排列方向,第二方向(II)為在水平面上與第一方向(I)垂直的方向,第三方向(III)為與第一方向(I)和第二方向(II)垂直的方向。
      [0064]需要涂布液晶的基板搬入裝載部30。基板移送部20將搬入至裝載部30的基板移送至液晶排出部10。液晶排出部10從液晶供應(yīng)部50獲得液晶的供應(yīng),并以排出液滴的噴墨方式向基板上排出液晶。液晶排出結(jié)束后,基板移送部20將基板從液晶排出部10移送至卸載部40。涂布液晶的基板從卸載部40搬出。主控制部90控制液晶排出部10、基板移送部20、裝載部30、卸載部40及液晶供應(yīng)部50的整體運行。
      [0065]圖2為圖1的液晶排出部斜視圖,圖3為圖1的液晶排出部平面圖。如圖2及圖3所示,液晶排出部10包括底座B、基板支撐單元100、龍門200、龍門移動單元300、噴墨式噴頭單元400、噴頭移動單元500、液晶供應(yīng)單元600、個別噴頭控制單元700、液晶排出量測量單元800、噴嘴檢查單元900及噴頭清洗單元1000。
      [0066]以下對液晶排出部的各結(jié)構(gòu)進行詳細的說明。
      [0067]底座B可以為具備一定厚度的直六面體。在底座B的上面,設(shè)有基板支撐單元100?;逯螁卧?00具有支撐基板S的支撐板110。支撐板110可以為四角形形狀的板。支撐板110的下面連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120可以為旋轉(zhuǎn)馬達。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120以垂直于支撐板100的旋轉(zhuǎn)中心軸為中心旋轉(zhuǎn)支撐板110。
      [0068]若支撐板110被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120驅(qū)動,則基板S可通過支撐板110的旋轉(zhuǎn)進行旋轉(zhuǎn)。若形成于需要涂布液晶的基板上的單元格的長邊方向向第二方向(II),則旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120旋轉(zhuǎn)基板使單兀格的長邊方向向第一方向(I)。
      [0069]支撐板110和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120可通過直線驅(qū)動部件130直線移動至第一方向
      (I)。直線驅(qū)動部件130包括滑動件132和導(dǎo)引部件134。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件120設(shè)置于滑動件132上面。導(dǎo)引部件134從底座B的上面的中心部沿第一方向(I)延長較長?;瑒蛹?32內(nèi)可內(nèi)置線性馬達(未圖示),而滑動件132通過線性馬達(未圖示)沿導(dǎo)引部件134向第一方向(I)直線移動。
      [0070]龍門200設(shè)置于支撐板110移動的路徑的上部。龍門200從底座B的上面向上部方向相間而設(shè),而龍門200的長度方向向第二方向(II)。噴頭單元400通過噴頭移動單元500結(jié)合于龍門200。噴頭單元400通過噴頭移動單元500向龍門長度方向,即第二方向
      (II)直線移動,或向第三方向(III)直線移動。
      [0071]龍門移動單元300將龍門200向第一方向(I)直線移動,或旋轉(zhuǎn)龍門200使得龍門200的長度方向向相對于第一方向(I)傾斜的方向。通過龍門200的旋轉(zhuǎn),噴頭單元400的噴嘴(未圖不)向相對于第一方向(I)傾斜的方向整齊排列。
      [0072]如下所述,龍門移動單元300以龍門200的一端為旋轉(zhuǎn)中心,旋轉(zhuǎn)龍門200的另一端。與此不同,龍門移動單元300也可設(shè)計成以龍門200的中心為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)龍門200
      的結(jié)構(gòu)。
      [0073]龍門移動單元300包括第一驅(qū)動單元310和第二驅(qū)動單元320。第二驅(qū)動單元320設(shè)置于作為旋轉(zhuǎn)中心的龍門200的一端,而第一驅(qū)動單元310設(shè)置于龍門200的另一端。
      [0074]圖4為圖3的第一驅(qū)動單元示意圖。如圖4所示,第一驅(qū)動單元310包括滑動件312、第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314及第一直線驅(qū)動部件318。在龍門200的下端設(shè)有沿龍門200的長度方向的導(dǎo)軌210,而滑動件312受導(dǎo)軌210的導(dǎo)引直線移動。在滑動件312的下端,結(jié)合有第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314。第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314可以為能夠進行上部和下部的相對旋轉(zhuǎn)的軸承。在第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314的下面,結(jié)合有第一直線驅(qū)動部件318。第一直線驅(qū)動部件318向第一方向(I)直線移動第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314。
      [0075]第一直線驅(qū)動部件318包括導(dǎo)軌315和滑動件317。導(dǎo)軌315的長度方向向第一方向(I),并以基板支撐單元100的導(dǎo)引部件134為中心,設(shè)置于底座B上面的另一側(cè)邊緣部。在導(dǎo)軌315上結(jié)合有可移動的滑動件317。在滑動件317的上面,結(jié)合有第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314?;瑒蛹?17內(nèi)可內(nèi)置線性馬達(未圖示)?;瑒蛹?17利用線性馬達(未圖不)的驅(qū)動力沿導(dǎo)軌315向第一方向(I)直線移動。
      [0076]圖5為圖3的第二驅(qū)動單元示意圖。如圖5所示,第二驅(qū)動單元320在龍門200直線移動時,將龍門200的一端向第一方向(I)直線移動,并在龍門200旋轉(zhuǎn)時,作為龍門200的旋轉(zhuǎn)中心。
      [0077]第二驅(qū)動單元320包括第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324和第二直線驅(qū)動部件328。在龍門200的一端下面,結(jié)合有連接部件322,而在連接部件322的下面,結(jié)合有第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324。第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324可以為能夠進行上部和下部的相對旋轉(zhuǎn)的軸承。在第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324的下面,結(jié)合有第二直線驅(qū)動部件328。第二直線驅(qū)動部件328將第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324向第一方向(I)直線移動。通過第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324的直線移動,使依次設(shè)置于其上部的連接部件322和龍門200的一端直線移動。
      [0078]第二直線驅(qū)動部件328包括導(dǎo)軌325和滑動件327。導(dǎo)軌325的長度方向向第一方向(I),并以基板支撐單元100的導(dǎo)引部件134為中心設(shè)置于底座B上面的一側(cè)邊緣部。在導(dǎo)軌325上結(jié)合有可移動的滑動件327。在滑動件327的上面,結(jié)合有第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324?;瑒蛹?27內(nèi)可內(nèi)置線性馬達(未圖示)?;瑒蛹?27通過線性馬達(未圖示)的驅(qū)動力沿導(dǎo)軌325向第一方向(I)直線移動。
      [0079]圖6為龍門的旋轉(zhuǎn)及直線移動過程示意圖。在圖3及圖6中,為了說明的便利,省略了液晶供應(yīng)單元。
      [0080]如圖4、圖5及圖6所示,龍門200通過第一驅(qū)動單元310和第二驅(qū)動單元320向相對于第一方向(I)傾斜的方向旋轉(zhuǎn),還可以向第一方向(I)直線移動。
      [0081]在第二驅(qū)動單元320的第二直線驅(qū)動部件328被固定的狀態(tài)下,第一驅(qū)動單元310的第一直線驅(qū)動部件318向第一方向(I)直線移動,則龍門200被旋轉(zhuǎn)。下面,對此進行詳細說明。
      [0082]首先,第一直線驅(qū)動部件318的滑動件317通過線性馬達(未圖示)的驅(qū)動力沿導(dǎo)軌315向第一方向(I)移動。此時,因第二直線驅(qū)動部件328未被驅(qū)動,龍門200的一端通過第二旋轉(zhuǎn)支撐部件324被旋轉(zhuǎn)而不會向第一方向(I)移動。
      [0083]隨著第一直線驅(qū)動部件318的滑動件317向第一方向(I)移動,設(shè)置于其上部的第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314沿導(dǎo)軌315向第一方向(I)直線移動。與此同時,結(jié)合于第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314上端的滑動件312,通過第一旋轉(zhuǎn)支撐部件314的上部和下部之間的相對旋轉(zhuǎn)進行旋轉(zhuǎn)的同時,沿設(shè)置于龍門200的導(dǎo)軌210向龍門200的下端一側(cè)移動。結(jié)果,龍門200以第二驅(qū)動單元320的支撐位置為中心進行旋轉(zhuǎn),而第一驅(qū)動單元310的龍門200的支撐位置則向另一端的外側(cè)移動。通過這樣的運行,龍門200可向相對于第一方向(I)傾斜的方向旋轉(zhuǎn),由此噴頭單元400向相對于第一方向(I)傾斜的方向整齊排列。
      [0084]這樣,噴頭單元400向相對于第一方向(I)傾斜的方向整齊排列,則根據(jù)需要涂布液晶的基板S的像素間距的變化,靈活調(diào)節(jié)液晶排出間距,由此能夠提高涂布于基板的液晶膜的均勻性。
      [0085]龍門200可通過上述方法進行旋轉(zhuǎn),而龍門200在旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,可通過第一直線驅(qū)動部件318的滑動件317和第二直線驅(qū)動部件328的滑動件327,進一步向第一方向(I)直線移動。龍門200的一端通過第二直線驅(qū)動部件328的滑動件327的移動向第一方向
      (I)直線移動,而龍門200的另一端則通過第一直線驅(qū)動部件318的滑動件317的移動,向第一方向(I)直線移動。
      [0086]龍門200被固定且基板向第一方向(I)移動的情況下,基板需從龍門200的一側(cè)移向另一側(cè),會增加設(shè)備的印痕(Footprint)。但是,本發(fā)明可在基板固定或基板直線移動的同時,可將龍門200向第一方向(I)直線移動,從而可減少設(shè)備的印痕。
      [0087]噴頭移動單元500可分別設(shè)置于噴頭單元400。本實施例中,以設(shè)置三個噴頭單元400a、400b、400c的情況為例進行說明,因此,噴頭移動單元500的噴頭數(shù)量也是與之對應(yīng)的三個。與此不同,可設(shè)有一個噴頭移動單元500,而此時,噴頭單元400要統(tǒng)一移動而不是個別移動。
      [0088]圖7為圖2及圖3的噴頭移動單元側(cè)面圖,圖8為圖7的第一移動單元正面圖。
      [0089]如圖7及圖8所示,噴頭移動單元500包括第一移動單元520和第二移動單元540。第一移動單元520將噴頭單元400a向龍門的長度方向,即第二方向(II)直線移動,而第二移動單元540將噴頭單元400a向第三方向(III)直線移動。
      [0090]第一移動單元520包括導(dǎo)軌522a、522b、滑動件524a、524b及移動板526。導(dǎo)軌522a、522b向第二方向(II)延長較長,在龍門200的前面向第三方向(III)相間而設(shè)。在導(dǎo)軌522a、522b上結(jié)合有可移動的滑動件524a、524b,而在滑動件524a、524b內(nèi)可內(nèi)置直線驅(qū)動器,例如線性馬達(未圖不)。移動板526結(jié)合于滑動件524a、524b。移動板526的上部區(qū)域結(jié)合在位于上部的滑動件524a,而移動板526的下部區(qū)域結(jié)合在位于下部的滑動件524b。如圖8所示,移動板526通過線性馬達(未圖示)的驅(qū)動力沿導(dǎo)軌522a、522b向第二方向(II)直線移動。這樣,隨噴頭單元400a、400b、400c向第二方向(II)個別移動,可調(diào)節(jié)噴頭單元400a、400b、400c之間的間距。
      [0091]第二移動單元540包括導(dǎo)引部件542、滑動件544、檢測儀546及控制器548。導(dǎo)引部件542結(jié)合于第一移動單元520的移動板526,并導(dǎo)引滑動件544向第三方向(III)的直線移動?;瑒蛹?44結(jié)合于導(dǎo)引部件542且可直線移動,而在滑動件544內(nèi)可內(nèi)置直線驅(qū)動器,例如線性馬達(未圖示)。噴頭單元400a結(jié)合于滑動件544,并通過滑動件544的向第三方向(III)的直線移動而向第三方向(III)移動。
      [0092]檢測儀546可設(shè)置于龍門200,檢測噴頭單元400a和基板S之間的間隔。檢測儀546可以為(視頻攝像頭),用來確認位置及玻璃印刷(glass printing)狀態(tài)。控制器548生成與檢測儀546檢測信號相對應(yīng)的控制信號并向內(nèi)置于滑動件544的線性馬達傳遞控制信號,以控制線性馬達的驅(qū)動。若檢測儀546的檢測結(jié)果為噴頭單元400a和基板S之間的間隔超過預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值,則控制器548控制線性馬達(未圖示)的驅(qū)動,調(diào)節(jié)噴頭單元400a和基板S之間的間隔。
      [0093]噴頭單元400向基板排出液晶的液滴。噴頭單元400可以為多個。本實施例以具有三個噴頭單元400a、400b、400c的情況為例進行說明但不限于此。
      [0094]噴頭單元400可向第二方向(II)整齊地排成一列并結(jié)合于龍門200。
      [0095]在噴頭單元400的底面,設(shè)有多個用以排出液晶的液滴的噴嘴(未圖示)。例如,在各噴頭設(shè)置128個或256個噴嘴(未圖示)。噴嘴(未圖示)可以以一定間距排成一列。噴嘴(未圖示)可以以μ g的單位的量排出液晶。
      [0096]現(xiàn)有技術(shù)的利用灌注器(Syringe)的點式(Point Dotting)方式,因液晶的排出間距大,排出的液晶的量以mg為單位,存在液晶的粘性流動阻力,因此液晶難以在基板上均勻鋪開。但是,本發(fā)明利用具有較窄間距的多個噴嘴(未圖示),以Ug單位排出液晶,因此,即使存在液晶的粘性流動阻力,也能將液晶均勻地涂布于基板上。
      [0097]在各個噴頭單兀400設(shè)置與噴嘴(未圖不)數(shù)量相對應(yīng)數(shù)量的壓電兀件,而噴嘴(未圖示)的液滴排出量可通過控制施加于壓電元件的電壓分別被獨立調(diào)節(jié)。
      [0098]液晶供應(yīng)單元600包括液晶供應(yīng)模塊620和壓力調(diào)節(jié)模塊640。液晶供應(yīng)模塊620和壓力調(diào)節(jié)模塊640可結(jié)合于龍門200。液晶供應(yīng)模塊620從液晶供應(yīng)部(圖1的附圖標(biāo)記50)獲得液晶并將液晶供應(yīng)至各個噴頭410、420、430。壓力調(diào)節(jié)模塊640向液晶供應(yīng)模塊620提供正壓或負壓來調(diào)節(jié)液晶供應(yīng)模塊620的壓力。
      [0099]噴頭控制單元700控制各個噴頭410、420、430的液晶的排出。噴頭控制單元700可與噴頭410、420、430相鄰并設(shè)置于液晶排出部10內(nèi)。例如,噴頭控制單元700可設(shè)置于龍門200的一端。在本實施例中,以噴頭控制單元700設(shè)置于龍門200的一端的情況為例進行說明,但噴頭控制單元700的位置并不限于此。
      [0100]嗔頭控制單兀700電連接于各嗔頭410、420、430 (未圖不)并分別向嗔頭410、420,430施加控制信號。噴頭410、420、430中分別設(shè)置與噴嘴(未圖示)數(shù)量相對應(yīng)的數(shù)量的壓電元件(未圖示),而噴頭控制單元700通過控制施加于壓電元件的電壓來控制噴嘴(未圖示)的液滴排出量。
      [0101]液晶排出量測量單兀800測量個別噴頭410、420、430的液晶排出量。具體而言,液晶排出量測量單元800測量個別噴頭410、420、430的全部噴嘴(未圖示)排出的液晶量。通過測量個別噴頭410、420、430的液晶排出量,利用肉眼確認個別噴頭410、420、430的噴嘴(未圖示)的異常與否。即,若個別噴頭410、420、430的液晶排出量超過標(biāo)準(zhǔn)值,則可判定噴嘴(未圖示)中至少有一個出現(xiàn)異常。液晶排出量測量單元800可設(shè)置于底座B上的基板支撐單元100的一側(cè)。液晶排出量測量單元800可包括第一至第三液晶排出量測量單兀 800a、800b、800c。
      [0102]噴嘴檢查單元900通過光學(xué)檢查確認設(shè)于噴頭410、420、430的個別噴嘴的異常與否。通過肉眼確認液晶排出量測量單元800的噴嘴的異常與否時,當(dāng)不能確定哪個噴嘴中出現(xiàn)異常時,則噴嘴檢查單元900對全部的噴嘴分別進行檢查。噴嘴檢查單元900可設(shè)置于底座B上的基板支撐單元100的一側(cè)。噴頭410、420、430通過龍門移動單元300和噴頭移動單元500向第一方向(I)和第二方向(II)移動,從而位于噴嘴檢查裝置900的上部。噴頭移動單元500將噴頭410、420、430向第三方向(III)移動,來調(diào)節(jié)噴頭410、420、430與噴嘴檢查單元900的上下方向距離。
      [0103]圖9為噴嘴檢查單元示意圖。
      [0104]如圖9所示,噴嘴檢查單元900包括第一噴嘴檢查部件920、第一驅(qū)動部件940、第二噴嘴檢查部件960、第二驅(qū)動部件980及回收部件990。第一噴嘴檢查部件920用來檢查噴頭410、420、430的噴嘴的液晶排出與否,即噴嘴的堵塞與否。第一驅(qū)動部件940將第一噴嘴檢查部件920移動至噴嘴的對齊方向。第二噴嘴檢查部件960用于檢查噴嘴的對齊與否。第二驅(qū)動部件980將第二噴嘴檢查部件960移動至噴嘴的對齊方向。在圖9中,噴嘴向第二方向(II)對齊。
      [0105]第一噴嘴檢查部件920包括浴器922、發(fā)光部924及受光部926。浴器922呈具有開放的上部的桶形狀,用于收容從噴頭410、420、430的噴嘴(未圖示)排出并滴落的液晶。發(fā)光部924設(shè)置于浴器922上部的一側(cè),而受光部926設(shè)置于浴器922上部的另一側(cè)并與發(fā)光部924相對而設(shè)。發(fā)光部924發(fā)出光信號,而受光部926接收發(fā)光部924發(fā)出的光信號。從噴頭410、420、430的噴嘴(未圖示)排出的液晶,經(jīng)過發(fā)光部924和受光部926之間的區(qū)域,根據(jù)受光部926接收的光量的差異檢測液晶的滴落與否。當(dāng)液晶正常滴落時,則判定噴頭410、420、430的噴頭(未圖示)無堵塞。
      [0106]第一驅(qū)動部件940包括導(dǎo)引部件942、滑動件944及驅(qū)動器946。導(dǎo)引部件942在底座B的上面沿第二方向(I)延長。滑動件944內(nèi)可內(nèi)置如線性馬達等驅(qū)動器946?;瑒蛹?44通過驅(qū)動器946被驅(qū)動,并沿導(dǎo)引部件942向第二方向(II)直線移動?;瑒蛹?44上設(shè)有浴器922,而浴器922隨滑動件944向第二方向(II)直線移動而向第二方向(II)直線移動。
      [0107]第二噴嘴檢查部件960包括框架962、照明器964及攝像機966??蚣?62沿第二方向(II)與第一噴嘴檢查部件920的浴器922相鄰而設(shè)??蚣?62上設(shè)有照明器964和攝像機966。照明器964向待檢查的噴頭410、420、430的噴嘴面照射光,而攝影機966拍攝照明器964的光照射的噴頭410、420、430的噴嘴面,以獲得噴嘴的圖像。從所獲得的圖像判斷噴嘴是否對齊在正確的位置。
      [0108]第二驅(qū)動部件980包括滑動件984和驅(qū)動器986?;瑒蛹?84內(nèi)內(nèi)置如線性馬達等驅(qū)動器986?;瑒蛹?84通過驅(qū)動器986被驅(qū)動,并隨導(dǎo)引部件942向第二方向(II)直線移動?;瑒蛹?84上設(shè)有第二噴嘴檢查部件960的框架962,框架962、照明器964及攝像機966隨滑動件984向第二方向(II)的直線移動而向第二方向(II)直線移動。
      [0109]回收部件990從浴器922回收所排出的液晶?;厥詹考?90包括外殼992和回收桶994。外殼992設(shè)置于浴器922的下部,并提供容置回收桶994的空間?;厥胀?94在外殼992的空間內(nèi)以滑動方式移動得以被分離及插入并回收從浴器922排出的液晶。回收的液晶可再生使用。
      [0110]圖10為噴頭清洗單元的一實施例的概略示意圖。
      [0111]如圖9及圖10所示,噴頭清洗單元1000進行清洗(Purging)工序和吸入(Suct1n)工序。清洗(Purging)工序是用高壓噴射收容于噴頭410、420、430內(nèi)部的部分液晶的的工序。吸入(Suct1n)工序是在清洗(Purging)工序之后,吸入殘留于噴頭410、420,430的噴嘴面的液晶得以去除的工序。
      [0112]噴頭清洗單元1000吸入殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶并排出至浴器922。噴頭清洗單元1000、噴嘴檢查單元900的第一噴嘴檢查部件940可共同使用或分別使用一個浴器922。浴器922可收容在噴頭410、420、430的清洗工序中排出的液晶,而且,還可收容檢查噴頭410、420、430的噴嘴的液晶排出與否,即檢查噴嘴堵塞與否時排出的液晶。
      [0113]噴頭清洗單元1000包括吸嘴1100、氣體噴射單元1200及支撐部件1300。支撐部件1300用于支撐吸嘴1100和氣體噴射單元1200。
      [0114]吸嘴1100沿噴頭410、420、430的移動方向而設(shè)。吸嘴1100在其中央設(shè)有吸入管線1112,用于吸入殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的藥液;及吸入孔1114,指向形成于吸入管線末端部的噴頭410、420、430的噴嘴面。吸嘴1100在噴頭410、420、430的噴嘴面相間而設(shè)。吸嘴1100沿噴頭410、420、430的噴嘴面吸入殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶。
      [0115]氣體噴射單元1200向殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶噴射氣體,將殘留的液晶推向吸嘴1100,使得吸嘴1100容易吸入殘留的藥液。
      [0116]氣體噴射單元1200包括噴嘴1210、水平驅(qū)動部件1220、垂直驅(qū)動部件1230及壓力調(diào)節(jié)裝置1240。
      [0117]噴嘴1210與吸嘴1100排成一列。噴嘴1210的向位于吸嘴1210的上部的噴頭410,420,430處設(shè)有排出口 1214,用來向殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面噴射氣體。
      [0118]噴嘴1210至少為一個以上。噴嘴1210可以以吸嘴1100為中心進行各種排列。噴嘴1210的排出口 1214指向位于吸嘴1100的上部的噴頭410、420、430。噴嘴1210為多個時,在吸嘴1100的前后可設(shè)有多個噴嘴,也可以以吸嘴1100為中心相對而設(shè)。
      [0119]水平驅(qū)動部件1220向水平方向移動噴嘴1210,以調(diào)節(jié)吸嘴1100和噴嘴1210之間的間距或噴嘴1210之間的間距。這是為了應(yīng)對殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶的量和大小的變化。
      [0120]例如,若殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶的量和大小較大,則縮小噴嘴1210與吸嘴1100之間的間距并噴射氣體,而若殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶的量和大小較小,則放大噴嘴1210與吸嘴1100之間的間距并噴射氣體。
      [0121]水平驅(qū)動部件1220包括導(dǎo)引部件1222、滑動件1224及水平驅(qū)動器1226。導(dǎo)引部件1222在支撐部件1300的上面沿第二方向(II)延長。滑動件1224內(nèi)可內(nèi)置如線性馬達等水平驅(qū)動器1226?;瑒蛹?224被水平驅(qū)動器1226所驅(qū)動,并跟隨導(dǎo)引部件1222向第二方向(II)直線移動。
      [0122]水平驅(qū)動部件1220可以分別結(jié)合于多個噴嘴1210,此時噴嘴1210被獨立驅(qū)動,還可以結(jié)合在一起,此時多個噴嘴1210被同時向水平驅(qū)動。
      [0123]升降部件1230將噴嘴1210沿上下方向直線移動。升降部件1230用于調(diào)節(jié)噴嘴1210的排出口 1214的高度。即,在向殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶噴射氣體時,噴嘴1210相對于噴頭410、420、430的噴嘴面的相對高度隨噴嘴1210上下移動而發(fā)生改變。
      [0124]升降部件1230包括移動軸1232及升降驅(qū)動器1234。升降部件1230在噴嘴1210的外壁,分別通過升降驅(qū)動器1234上下移動的移動軸1232固定結(jié)合。升降部件1230分別對噴嘴1210的各個高度進行獨立調(diào)節(jié)。
      [0125]升降部件1230結(jié)合于吸嘴1100,以根據(jù)殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶的量和大小的變化,調(diào)節(jié)噴嘴1210的末端部的高度。
      [0126]壓力調(diào)節(jié)裝置1240用于改變噴嘴1210的排出口 1214的噴射壓力。壓力調(diào)節(jié)裝置1240分別結(jié)合于噴嘴1210,分別調(diào)節(jié)排出口 1214的噴射壓力。為了能夠測量殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶的殘留量的變化,設(shè)定互不相同的壓力值,分別調(diào)節(jié)噴嘴1210的噴射壓力。
      [0127]為了將殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶的大小相對較大的液晶推向吸嘴,在噴頭410、420、430的噴嘴面和噴嘴1210之間的間距較大的噴嘴1210a的情況下,設(shè)置較大的吸入壓力值。第一次噴射氣體之后,為了將剩余的微量液晶推向吸嘴1100方向,在噴頭410、420、430的噴嘴面和噴嘴1210之間的間距較小的噴嘴1210b的情況下,則設(shè)置相對較小的吸入壓力值。
      [0128]圖11為噴頭清洗單元的另一實施例概略示意圖。
      [0129]圖12為圖11的噴頭清洗單元部分概略示意圖。
      [0130]如圖11及圖12所示,噴嘴1210包括第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b沿噴頭410、420、430的移動方向在吸嘴1100的前面排成一列。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b結(jié)合于同一個水平驅(qū)動部件1220,且同時被水平驅(qū)動。升降部件1230和壓力調(diào)節(jié)裝置1240分別結(jié)合于第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b且獨立運行。根據(jù)殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶,調(diào)節(jié)吸嘴1100和噴嘴1210之間的間距、各噴嘴1210的排出口 1214之間的間距及各噴嘴1210的排出口 1214的噴射壓力。第一噴嘴1210a的排出口 1214a的高度和吸入壓力可調(diào)節(jié)成與第二噴嘴1210b的排出口1214b的高度和吸入壓力不同,因此,如果第一噴嘴1210a噴射的氣體不能完全將殘留于噴頭410、420、430的液晶推向吸嘴1100方向,則在第二噴嘴1210b,利用高于第一噴嘴1210a的排出口高度和吸入壓力,將殘留的微量液晶推向吸嘴1100方向。
      [0131]在另一實施例中,噴嘴1210包括第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b向噴頭410、420、430的移動方向在吸嘴1100的前面排成一列。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b分別結(jié)合于水平驅(qū)動部件1220,且獨立水平驅(qū)動。升降部件1230和壓力調(diào)節(jié)裝置1240分別結(jié)合于第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b且獨立運行。根據(jù)殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶,調(diào)節(jié)吸嘴1100和噴嘴1210a、1210b之間的間距、各噴嘴1210a、1210b的排出口 1214a、1214b之間的間距及各噴嘴1210a、1210b的排出口 1214a、1214b的噴射壓力。另外,因被獨立驅(qū)動的第一噴嘴1210a的第一水平驅(qū)動部件1220a和第二噴嘴1210b的第二水平驅(qū)動部件1220b,第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b之間的間距,也可根據(jù)殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶進行調(diào)節(jié)。
      [0132]圖13為噴頭清洗單元的又一實施例概略示意圖。
      [0133]圖14為圖13的噴頭清洗單元部分放大剖面圖。
      [0134]本實施例,如圖13及圖14所示,噴嘴1210包括第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b以吸嘴1100為準(zhǔn)排成相對的一列。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b分別結(jié)合于水平驅(qū)動部件1220a、1220b,且獨立水平驅(qū)動。升降部件1230a、1230b和壓力調(diào)節(jié)裝置1240a、1240b分別結(jié)合于第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b且獨立運行。根據(jù)殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶,調(diào)節(jié)吸嘴1100和噴嘴1210a、1210b之間的間距、各噴嘴1210a、1210b的排出口 1214a、1214b之間的間距及各噴嘴1210a、1210b的排出口 1214a、1214b的噴射壓力。如果第一噴嘴1210a噴射的氣體不能將殘留于噴頭410,420,430的液晶全部推向吸嘴1100方向,則以吸嘴1100為準(zhǔn),在與第一噴嘴1210a反向而設(shè)的第二噴嘴1210b中,利用高于第一噴嘴1210a的排出口 1214b高度和吸入壓力,將殘留的微量液晶推向吸嘴1100方向。
      [0135]圖15為噴頭清洗單元的另一實施例放大剖面圖。
      [0136]噴嘴1210包括第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b向噴頭410、420、430的移動方向在吸嘴1100的后面排成一列。第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b可分別結(jié)合于水平驅(qū)動部件1220,且獨立水平驅(qū)動,或?qū)⒌谝粐娮?210a和第二噴嘴1210b結(jié)合于同一個水平驅(qū)動部件1220,且同時水平驅(qū)動。升降部件1230和壓力調(diào)節(jié)裝置1240分別結(jié)合于第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b,且獨立運行。根據(jù)殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的液晶,調(diào)節(jié)吸嘴1100和噴嘴1210a、1210b之間的間距、各噴嘴1210a、1210b的排出口 1214a、1214b之間的間距及各噴嘴1210a、1210b的排出口 1214a、1214b的噴射壓力。
      [0137]這樣,通過調(diào)節(jié)噴嘴1210和吸嘴1100之間的間距或噴嘴1210a、1210b之間的間距及噴嘴1210a、1210b的噴射壓力和高度,在噴頭410、420、430的清洗工序中,迅速完全能夠地去除殘留于噴頭410、420、430的噴嘴面的微量液晶。
      [0138]在上述實施例中,噴頭清洗單元1000包括第一噴嘴1210a和第二噴嘴1210b即包括多個噴嘴1210。本發(fā)明中,噴頭清洗單元可以包括一個噴嘴1210。
      [0139]另外,在上述實施例的噴頭清洗單元1000中,噴頭410、420、430在移動的同時對噴嘴面進行清洗。本發(fā)明的中噴頭清洗單元1000還可以為,噴嘴清洗單元1000移動的同時對噴嘴進行清洗。另外,在上述實施例的水平驅(qū)動部件1220包括導(dǎo)引部件1222、滑動件1224及水平驅(qū)動器1226。但非限制于此,本發(fā)明中的水平驅(qū)動部件1220還可以為如齒條與小齒輪傳動裝置或鏈輪等能夠水平驅(qū)動的驅(qū)動裝置的水平驅(qū)動部件1220。
      [0140]另外,在上述實施例的裝置中,包括清洗噴頭410、420、430的噴嘴面的噴頭清洗單元1000。但并非限制于此,也可適用于清洗排出處理液的噴嘴的清洗單元。
      [0141]上述實施例僅用以說明本發(fā)明而非限制,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對本發(fā)明進行修改、變形或者等同替換。因此,本發(fā)明的實施例不限制本發(fā)明的技術(shù)思想,本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍不受上述實施例的限制。而不脫離本發(fā)明的精神和范圍,其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
      【權(quán)利要求】
      1.一種噴墨式處理液排出裝置,包括: 底座; 基板支撐單元,設(shè)置于所述底座,用于支撐基板; 龍門(gentry),設(shè)置于所述基板支撐單元的移動路徑上部并結(jié)合有以噴墨方式向所述基板上排出藥液的噴頭 '及 清洗單元,設(shè)置于所述底座,用于清洗所述噴頭的噴嘴面; 所述清洗單元包括:吸嘴,所述吸嘴具有指向所述噴頭而形成的吸孔;及氣體噴射單元,所述氣體噴射單元具有一個或多個噴嘴,所述噴嘴具有指向位于所述吸嘴上部的噴頭的排出口; 所述噴嘴為多個,所述噴嘴的排出口的末端的高度各不相同。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨式處理液排出裝置,其特征在于:還包括將所述噴嘴向水平方向移動的水平驅(qū)動部件。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴墨式處理液排出裝置,其特征在于: 所述水平驅(qū)動部件包括: 結(jié)合于所述底座上面的導(dǎo)引部件; 沿所述導(dǎo)引部件直線移動的滑動件;及 驅(qū)動所述滑動件的驅(qū)動器。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的噴墨式處理液排出裝置,其特征在于:所述噴嘴為多個,所述水平驅(qū)動部件分別與所述噴嘴結(jié)合并獨立驅(qū)動。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任一項所述的噴墨式處理液排出裝置,其特征在于:還包括分別與所述噴嘴相結(jié)合的升降部件,以獨立調(diào)節(jié)所述噴嘴的排出口末端的高度。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任一項所述的噴墨式處理液排出裝置,其特征在于:分別與所述噴嘴相結(jié)合的壓力調(diào)節(jié)裝置,以獨立調(diào)節(jié)所述噴嘴的排出口的噴射壓力。
      7.一種用于清洗噴嘴的清洗單元,包括: 吸嘴,所述吸嘴具有指向所述上部的吸孔; 氣體噴射單元,所述氣體噴射單元具有至少一個以上噴嘴,所述噴嘴具有指向所述吸嘴上部的噴頭的排出口; 所述噴嘴包括第一噴嘴和第二噴嘴,所述第一噴嘴和所述第二噴嘴向著所述吸嘴與所述吸嘴排成一列,而所述第一噴嘴的排出口末端高度和第二噴嘴的排出口末端高度各不相同。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的清洗單元,其特征在于:還包括將所述第一噴嘴和所述第二噴嘴水平方向移動的水平驅(qū)動部件。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的清洗單元,其特征在于:還包括將第一噴嘴水平方向移動的第一水平部件和將第二噴嘴水平方向移動的第二水平部件,而所述第一水平部件和所述第二水平部件被獨立控制。
      10.根據(jù)權(quán)利要求7至9的任一項所述的清洗單元,其特征在于:還包括調(diào)節(jié)所述第一噴嘴的排出口的高度的第一升降部件和調(diào)節(jié)第二噴嘴的排出口的高度的第二升降部件,而所述第一升降部件和所述第二升降部件被獨立控制。
      11.根據(jù)權(quán)利要求7至9的任一項所述的清洗單元,其特征在于:還包括用于調(diào)節(jié)所述第一噴嘴的噴射壓力的第一壓力調(diào)節(jié)裝置和用于調(diào)節(jié)所述第二噴嘴的噴射壓力的第二壓力調(diào)節(jié)裝置,而所述第一壓力調(diào)節(jié)裝置和所述第二壓力調(diào)節(jié)裝置被獨立控制。
      12.一種處理液排出裝置的清洗方法,其特征在于:在多個噴嘴中與吸嘴較近的噴嘴向殘留于處理液噴嘴的液晶噴射氣體,將所述液晶推向吸嘴方向之后,在所述多個噴嘴中與所述吸嘴較遠的噴嘴向殘留的液晶再次噴射氣體,將所述液晶推向吸嘴方向并由所述吸嘴吸入。
      13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的清洗方法,其特征在于:所述多個噴嘴中,與所述吸嘴較近的噴嘴的排出口高度比所述多個噴嘴中與所述吸嘴較遠的噴嘴的排出口高度低。
      【文檔編號】B05B15/06GK104226525SQ201410384413
      【公開日】2014年12月24日 申請日期:2011年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2010年8月24日
      【發(fā)明者】金大星, 李晟熙 申請人:細美事有限公司
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
      1