晶片盒緩沖儲存臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了使用于天車運輸系統的晶片盒緩沖儲存臺，包括支撐部、載臺和多個活動桿。其中，支撐部會被固定于吊軌，載臺會懸吊于支撐部下方，活動桿會被設置于支撐部和載臺之間。各活動桿的一末端會固定于載臺，使得載臺可以在吊軌的下方升降。
【專利說明】
晶片盒緩沖儲存臺
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及一種晶片盒緩沖儲存臺，尤其是涉及一種整合于天車運輸系統的晶片盒緩沖儲存臺。
【背景技術】
[0002]隨著半導體工業(yè)持續(xù)的進展，超大型集成電路(ultra large scale integratedcircuits, ULSI)需經過多道的處理工藝，例如，蝕刻、拋光、擴散、沉積等等步驟，才能生產出來。對同一批次的晶片來說，由投片開始至出貨，必須在數個機臺間重復的傳遞運送并進行各站點的工藝。目前，無論是在區(qū)域間(interbay)或區(qū)域內(intrabay)，大部分是利用自動化物料搬運系統(automatic material handling system, AMHS)的天車運輸系統(overhead transport system)以搬運晶片。天車運輸系統可夾起裝載有晶片的晶片盒，并沿著吊軌在各個機臺間傳送，使得晶片進入各機臺而進行各種半導體工藝。此外，自動化物料搬運系統內另外可以設置有多個懸吊于廠房天花板上的緩沖承載臺，或稱晶片盒儲存臺，用來暫時承載前開式晶片盒。
[0003]但是，上述現有技術中的緩沖承載臺具有許多缺陷。舉例來說，因為緩沖承載臺一般是被固定在廠房天花板，其底面通常會略低于機臺的頂部高度，因此當遇到要將機臺在廠房內移動的情況時，就必須先通過人力，將機臺預定移動路徑內的緩沖承載臺拆卸下來。之后等到機臺移至定點后，再通過人力將緩沖承載臺裝設回去，此作法一般會耗費許多時間和人力成本。此外，因為緩沖承載臺會被固定于一定點，因此當發(fā)生前開式晶片盒誤置在緩沖承載臺上的情形時，也必須借由人力和階梯輔助才能取下誤置的前開式晶片盒，此作法不利于生產效能。
[0004]因此，必須提出一種改良的晶片盒緩沖儲存臺，以克服現有技術中存在的缺陷。

【發(fā)明內容】

[0005]為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供一種改良的晶片盒緩沖儲存臺，以解決現有技術中存在的缺陷。
[0006]本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例提供了一種使用于天車運輸系統的晶片盒緩沖儲存臺。晶片盒緩沖儲存臺包括支撐部、載臺和多個活動桿。其中，支撐部是固定于吊軌，載臺是懸吊于支撐部下方，活動桿是設置于支撐部和載臺之間。各活動桿的一末端是固定于載臺，使得載臺可以在吊軌的下方升降。
[0007]為讓本發(fā)明的特征及優(yōu)點能更明顯易懂，下文公開了多種優(yōu)選實施例和附圖。但是，以下的優(yōu)選實施例和附圖只是當作參照與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【附圖說明】
[0008]圖1是高架天車運輸系統的局部俯視示意圖。
[0009]圖2到圖5是第一優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺的結構示意圖。
[0010]圖6是第一優(yōu)選實施例的支撐機構的結構示意圖。
[0011]圖7和圖8是第二優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺的結構示意圖。
[0012]圖9和圖10是第三優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺的結構示意圖。
[0013]其中，附圖標記說明如下:
[0014]天車運輸系統2
[0015]跨區(qū)域吊軌4
[0016]區(qū)域內吊軌6、8
[0017]天車10
[0018]晶片盒緩沖儲存臺14、14’、24
[0019]支撐機構16
[0020]可動部16a
[0021]凸塊16b
[0022]頂抵部16c
[0023]工藝機臺20
[0024]負載;t阜24
[0025]供電系統28
[0026]晶片盒40
[0027]支撐部142、142’、242
[0028]活動桿144、144，、244
[0029]末端1441、1442
[0030]缸體144a、144b、144c、144a’
[0031]活塞桿144b’
[0032]載臺146、146，、246
[0033]通孔2421
【具體實施方式】
[0034]雖然本發(fā)明以優(yōu)選實施例公開如下，然而其并非用來限定本發(fā)明，任何本領域的技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍以權利要求書所界定的為標準，為了不使本發(fā)明的精神難懂，部分公知結構和工藝步驟的細節(jié)將不在此揭露。
[0035]同樣地，附圖所表示為優(yōu)選實施例中的裝置示意圖，但并非用來限定裝置的尺寸，特別是，為使本發(fā)明可更清晰地呈現，部分元件的尺寸可能放大呈現在圖中。而且，多個優(yōu)選實施例中所公開相同的元件將標示相同或相似的符號，以使說明更容易且清晰。
[0036]圖1是天車運輸系統局部區(qū)域的平面示意圖。參照圖1，天車運輸系統2是自動化物料搬運系統(automatic material handling system, AMHS)的一部分，其至少包括天車10、跨區(qū)域(interbay)吊軌4、區(qū)域內(intrabay)吊軌6、區(qū)域內吊軌8、晶片盒緩沖儲存臺14和供電系統28。其中，天車10可以夾持、運送裝載有晶片的晶片盒，例如前開式晶片盒(front open united pod, FOUP)或標準機械介面盒(standard mechanicalinterfaces, SMIFs)，使得晶片盒可以被移入或移出于預定工藝機臺20的負載焊(loadport) 24ο跨區(qū)域吊軌4和區(qū)域內吊軌6、8是天車10的運行路徑，使得天車10可以沿著跨區(qū)域吊軌4和/或區(qū)域內吊軌6、8運行。晶片盒緩沖儲存臺14是至少固定于跨區(qū)域吊軌4及區(qū)域內吊軌6，以作為暫時存放晶片盒的空間，而供電系統28是提供運行天車10所需的電力。
[0037]圖2是第一優(yōu)選實施例晶片盒緩沖儲存臺處于常規(guī)模式的結構示意圖。進一步來說，上述的晶片盒緩沖儲存臺14至少具有支撐部142、載臺146和多個活動桿144。其中，支撐部142會固定于跨區(qū)域吊軌4，載臺146會懸吊于支撐部142下方，用來暫時存放晶片盒40，而活動桿144是設置于支撐部142和載臺146間。各活動桿144的兩末端1441、1442會分別固定于支撐部142和載臺146，使得載臺146可以在跨區(qū)域吊軌4的下方升降。
[0038]本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的技術特征在于，因為晶片盒緩沖儲存臺14的載臺146可以在跨區(qū)域吊軌4的下方升降，因此當遇到要將工藝機臺在廠房內移動的情況時，只需要通過自動化設備抬升載臺146，使載臺146底面的高度高于工藝機臺20的頂部高度，而不需通過人力將晶片盒緩沖儲存臺14自跨區(qū)域吊軌4拆卸下來。因此相較于現有技術，本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺14可以節(jié)省時間和人力成本。
[0039]為了使本技術領域的技術人員可以實施本發(fā)明，以下進一步具體描述本發(fā)明晶片盒緩沖儲存臺14結構和運作方法。
[0040]圖3是第一優(yōu)選實施例晶片盒緩沖儲存臺處于常規(guī)模式的剖面結構示意圖，其中圖3是沿著圖2中Α-Α’剖線所繪示的剖面結構。根據本優(yōu)選實施例，活動桿144是具有可變長度的可伸縮桿，其包括多個依序疊套在一起的套筒，或稱缸體144a、144b、144c。通過外加的驅動裝置，可使得各缸體144a、144b、144c沿著其長軸方向移動，從而帶動載臺146升降。舉例來說，驅動裝置可以是對應各活動桿144而設置的卷索裝置，各卷索裝置可包括基座、軸設于基座上的卷索輪、固定于基座上的伺服馬達和纜索。纜索的一端會固定于載臺146或缸體的底部，而另一端則會纏繞于卷索輪。當伺服馬達驅動卷索輪正/反轉時，便可帶動纜索而驅使載臺146沿著特定方向移動。
[0041]除了上述部件之外，缸體144a和載臺146的側邊還可以包括由可動部16a、凸塊16b和頂抵部(圖未示)所構成的支撐機構16。當晶片盒緩沖儲存臺14處于收縮模式時，便可利用支撐機構16輔助固定載臺146。此外，上述的活動桿144不僅限于是由缸體144a、144b、144c所組成的可伸縮桿，其也可以是氣壓伸縮桿或是液壓伸縮桿，但不限定于此。
[0042]圖4和圖5是第一優(yōu)選實施例晶片盒緩沖儲存臺處于收縮模式的結構示意圖。當晶片盒緩沖儲存臺14由上述的常規(guī)模式轉換成收縮模式時，晶片盒緩沖儲存臺14的載臺146會沿著缸體144a、144b、144c的長軸方向而往跨區(qū)域吊軌4的方向移動，使得缸體144c最終后收縮至缸體144a的內部。在此收縮模式之下，載臺146幾乎會和跨區(qū)域吊軌4的底面齊平，從而不會妨礙機臺的移動。
[0043]圖6是第一優(yōu)選實施例支撐機構的結構示意圖。當晶片盒緩沖儲存臺14處于收縮模式時，也可以利用支撐機構16以輔助固定住載臺146。具體來說，當晶片盒緩沖儲存臺14處于常規(guī)模式時，支撐機構16的可動部16a會由頂抵部16c頂抵住，從而處于一固定狀態(tài)。之后，當晶片盒緩沖儲存臺14由常規(guī)模式轉換成收縮模式時，可動部16a會以其樞接部為中心旋轉，而轉換至一可動狀態(tài)。因為可動部16a鄰近凸塊16b的一端具有圓弧的底面，因此當凸塊16b逐漸往上移動并接觸至可動部16a時，可動部16a便會自動地卡住凸塊16b，從而輔助固定載臺146。
[0044]本發(fā)明除了上述第一優(yōu)選實施例外，還可以包括其他的優(yōu)選實施例。為了簡化說明，以下主要針對各優(yōu)選實施例不同之處進行描述。此外，本發(fā)明的各優(yōu)選實施例中相同的元件會用相同的附圖標記，以方便各優(yōu)選實施例間互相對照。
[0045]圖7和圖8是第二優(yōu)選實施例晶片盒緩沖儲存臺的結構示意圖。其中，圖7是晶片盒緩沖儲存臺處于常規(guī)模式的示意圖，圖8是晶片盒緩沖儲存臺處于延伸模式的示意圖。類似上述第一優(yōu)選實施例，第二優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺14’同樣具有支撐部 142’、載臺146’和多個活動桿144’。其中，支撐部142’是固定于跨區(qū)域吊軌4,載臺146’ 是懸吊于支撐部142’下方，活動桿144’是設置于支撐部142’和載臺146’之間。
[0046]但是，第二優(yōu)選實施例和第一優(yōu)選實施例的主要差別在于，第二優(yōu)選實施例的活動桿144’是氣壓伸縮桿或液壓伸縮桿，也就是說，活動桿144’包括至少一缸體144a’和活塞桿144b’，其中活塞桿144b’是可滑動地插設于缸體144a’中，使得活塞桿144b’沿著其方向而移動。
[0047]進一步來說，當發(fā)生晶片盒40誤置在晶片盒緩沖儲存臺14’的情況時，可以將晶片盒緩沖儲存臺14’由圖7所示的常規(guī)模式轉換成圖8所示的延伸模式。也就是說，可將活塞桿144b’從缸體144a’中滑動出，使得載臺146’往地面移動，直至鄰近或接觸地面。之后，便可以進一步取下誤置于載臺146’上的晶片盒40。本優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺 14’除了改變活動桿144’的結構外，其余各部件的特征和設置位置與上述第一優(yōu)選實施例相似，所以在此不再描述。
[0048]圖9和圖10是第二優(yōu)選實施例晶片盒緩沖儲存臺的結構不意圖。其中，圖9是晶片盒緩沖儲存臺處于常規(guī)模式的示意圖，圖10是晶片盒緩沖儲存臺處于收縮模式的示意圖。類似上述第一優(yōu)選實施例，第三優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺24同樣具有支撐部 242、載臺246和多個活動桿244。其中，支撐部242是固定于跨區(qū)域吊軌4,載臺246是懸吊于支撐部242下方，活動桿244是設置于支撐部242和載臺246之間。但是，第三優(yōu)選實施例和第一優(yōu)選實施例的主要差別在于，活動桿244會具有一固定長度，而且是可滑動地連接至支撐部242,而非固定于支撐部242。具體來說，支撐部242可以具有可以讓各活動桿244移動的通孔2421，使得各活動桿244可以沿著其長軸方向進行升降。
[0049]因此，當遇到要將機臺在廠房內移動的情況時，可將各活動桿244沿著其長軸方向往上移動，使得晶片盒緩沖儲存臺24由圖9所示的常規(guī)模式轉換成圖10所示的收縮模式。也就是說，不需將晶片盒緩沖儲存臺24從跨區(qū)域吊軌4拆卸下來。因此相較于現有技術，本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺24可以節(jié)省時間和人力成本。本優(yōu)選實施例的晶片盒緩沖儲存臺24除了改變活動桿244的結構外，其余各部件的特征和設置位置與上述第一優(yōu)選實施例相似，所以在此并不再描述。
[0050]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領域的技術人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種晶片盒緩沖儲存臺，被整合于天車運輸系統之中，其中所述天車運輸系統包括一吊軌和沿著所述吊軌下方運行的一天車，其特征在于，所述晶片盒緩沖儲存臺包括: 一支撐部，固定于所述吊軌； 一載臺，懸吊于所述支撐部下方；和 多個活動桿，設置于所述支撐部和所述載臺之間，其中各所述活動桿的一個末端固定于所述載臺，使得所述載臺可以在所述吊軌的下方升降。2.根據權利要求1所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述活動桿的另一末端是固定于所述于支撐部。3.根據權利要求2所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述活動桿具有一可變長度。4.根據權利要求1或3所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述活動桿是一可伸縮桿。5.根據權利要求4所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述可伸縮桿包括: 至少一缸體；和 一活塞桿，可滑動地插設于所述缸體中。6.根據權利要求4所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述可伸縮桿包括多個依序疊套的缸體。7.根據權利要求4所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，所述晶片盒儲存裝置還包括多個用來控制所述載臺升降的卷索裝置，分別對應各所述可伸縮桿設置，各所述卷索裝置包括: 一基座； 一卷索輪，軸設于所述基座上； 一伺服馬達，固定于所述基座上，用來驅動所述卷索輪正/反轉；和 一纜索，纏繞所述卷索輪。8.根據權利要求1所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述活動桿可滑動地連接至所述支撐部。9.根據權利要求8所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，所述支撐部還包括多個通孔，對應各所述活動桿設置，其中各所述活動桿可滑動地插設于各所述通孔中。10.根據權利要求1或8所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，各所述活動桿具有一固定長度。11.根據權利要求1所述的晶片盒緩沖儲存臺，其特征在于，所述載臺是用來承載一前開式晶片盒。
【文檔編號】B66C1/22GK106032242SQ201510124671
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2015年3月20日
【發(fā)明人】陳燦議, 陳佑昆
【申請人】華亞科技股份有限公司