本發(fā)明涉及一種真空泵的轉子葉片的制造方法、真空泵的轉子葉片及真空泵。

背景技術：

1、在真空泵中有包括設于被旋轉驅(qū)動的轉子的轉子葉片的真空泵(例如，參照專利文獻1)。在所述真空泵中，通過轉子的旋轉而使轉子葉片旋轉來對排氣對象裝置的內(nèi)部進行抽吸，將所抽吸的氣體排出到外部。所述轉子葉片具有作為旋轉中心的中心部與從中心部呈放射狀延伸的葉片。

2、[現(xiàn)有技術文獻]

3、[專利文獻]

4、[專利文獻1]日本專利特開2021-139361號公報

技術實現(xiàn)思路

1、[發(fā)明所要解決的問題]

2、以前，真空泵的轉子葉片是通過對金屬塊(例如，鍛造材)進行切削加工(削出)來制造。在基于切削加工的轉子葉片的制造中，有產(chǎn)生切屑、為了實現(xiàn)轉子葉片的復雜形狀而加工時間變長的問題。為了解決這些問題，考慮使用基于材料的層疊的造形法(例如，層疊造形法)來制造轉子葉片。在基于材料的層疊的造形法中，通過將材料的層依次層疊，可高速形成任意形狀的對象物。

3、另一方面，真空泵的轉子葉片由于高速旋轉，因此在轉子葉片產(chǎn)生大的應力。通過基于材料的層疊的造形法而形成的轉子葉片有可能無法耐受所述應力。原因在于：在基于材料的層疊的造形法中，將粉末材料等的層層疊來形成對象物，因此通過所述方法而形成的轉子葉片與通過對金屬塊的切削加工而形成的轉子葉片相比，有強度變?nèi)醯膬A向。

4、因此，本發(fā)明的目的在于使用基于材料的層疊的方法來制造耐受高速旋轉時所產(chǎn)生的應力的轉子葉片。

5、[解決問題的技術手段]

6、本發(fā)明的一形態(tài)的轉子葉片的制造方法為制造具有中心部與從中心部呈放射狀延伸的葉片的轉子葉片的方法。轉子葉片的制造方法具有以下的工序。

7、◎使用第一材料來形成中心部與第一部分的工序。第一部分為葉片中從與中心部的連接部分到規(guī)定長度的部分。

8、◎使用在第一材料上層疊形成的第二材料來形成從第一部分的前端到葉片的前端的第二部分的工序。

9、[發(fā)明的效果]

10、在真空泵中所使用的轉子葉片中，特別是在中心部與葉片的連接部分產(chǎn)生大的應力。因此，在所述本發(fā)明的一形態(tài)的轉子葉片的制造方法中，使用相同的第一材料來形成轉子葉片的中心部與第一部分。即，使用相同的第一材料來形成中心部、中心部與葉片的連接部分、以及從連接部分起的葉片的第一部分。另一方面，使用在第一材料上層疊形成的第二材料來形成葉片的剩余部分，即從第一部分的前端到葉片的前端的第二部分。因此，在基于所述制造方法所得的轉子葉片中，在由第二材料形成的第二部分不包含產(chǎn)生特別大的應力的中心部與葉片的連接部分。如上所述，不由通過基于材料的層疊的方法而形成的第二材料形成產(chǎn)生特別大的應力的部位，由此可使用基于材料的層疊的方法來制造也耐受高速旋轉時所產(chǎn)生的應力的轉子葉片。其結果，可在發(fā)揮基于材料的層疊的方法的優(yōu)點的同時實現(xiàn)具有充分強度的轉子葉片的制造。

技術特征：

1.一種轉子葉片的制造方法，其特征在于，制造轉子葉片，所述轉子葉片設于真空泵，且具有中心部與從所述中心部呈放射狀延伸的葉片，所述轉子葉片的制造方法包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的轉子葉片的制造方法，其中，包括：

3.根據(jù)權利要求1所述的轉子葉片的制造方法，其中，包括：

4.根據(jù)權利要求1所述的轉子葉片的制造方法，其中，所述第一部分的規(guī)定長度是基于在所述連接部分產(chǎn)生規(guī)定大小以上的應力的范圍的大小來決定。

5.根據(jù)權利要求1所述的轉子葉片的制造方法，其中，所述第二材料是通過層疊造形法而層疊于所述第一材料上。

6.一種真空泵的轉子葉片，其特征在于，包括中心部及從所述中心部呈放射狀延伸的葉片，

7.一種真空泵的轉子葉片，其特征在于，包括中心部及從所述中心部呈放射狀延伸的葉片，

8.一種真空泵，其特征在于，包括如權利要求6或7所述的真空泵的轉子葉片。

技術總結
本發(fā)明的轉子葉片的制造方法、真空泵的轉子葉片、真空泵，使用基于材料的層疊的方法來制造耐受高速旋轉時所產(chǎn)生的應力的轉子葉片。轉子葉片(22)的制造方法包括：使用第一材料(M1)來形成中心部(22a)及葉片(22b)中從與中心部(22a)的連接部分(225)到規(guī)定長度(d)的第一部分(221)的工序；以及使用在第一材料(M1)上層疊形成的第二材料(M2)來形成從第一部分(221)的前端到葉片(22b)的前端的第二部分(223)的工序。

技術研發(fā)人員：木村裕章
受保護的技術使用者：株式會社島津制作所
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/11/26