化性樹(shù)脂。作為樹(shù)脂,可以舉出丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂。如果是熱或光固化性,就可以在圖案形成后容易地固化,因此處置十分容易。
[0040]樹(shù)脂組合物22優(yōu)選含有剝離成分的樹(shù)脂(以下簡(jiǎn)稱為“剝離性樹(shù)脂”)。這是因?yàn)?,如果使用剝離性樹(shù)脂,則即使在樹(shù)脂組合物22中形成反轉(zhuǎn)圖案后沒(méi)有形成剝離層,也可以在凹凸圖案向轉(zhuǎn)印材料的壓印時(shí)防止轉(zhuǎn)印材料的附著。作為剝離性樹(shù)脂,可以舉出所述的熱或光固化性樹(shù)脂與剝離劑的混合物、聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮樹(shù)脂、丙烯酸系單體與硅酮系單體(包括大分子單體)的共聚物、丙烯酸系單體與氟系單體(包括大分子單體)的共聚物等,優(yōu)選熱或光固化性樹(shù)脂與剝離劑的混合物及硅酮樹(shù)脂。如果是這些樹(shù)脂,則可以廉價(jià)且容易地獲得,并且對(duì)于利用卷對(duì)卷工藝轉(zhuǎn)印凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印材料可以充分地發(fā)揮剝離性。另外,如果是光或熱固化性,就可以在圖案形成后容易地固化,因此處置十分容易。而且,作為剝離劑,可以舉出硅酮化合物、氟化合物、醇酸樹(shù)脂、長(zhǎng)鏈烷基化合物、石蠟等。
[0041]所填充的樹(shù)脂組合物22的上面優(yōu)選與反轉(zhuǎn)圖案3的上面相同或比之更高。這是因?yàn)?,如果?shù)脂組合物22的填充量過(guò)少,則在后續(xù)工序中,很難在樹(shù)脂組合物22中形成與反轉(zhuǎn)圖案3實(shí)質(zhì)上相同的圖案。
[0042]1- 3.圖案形成工序
該工序中,在樹(shù)脂組合物22中,形成與反轉(zhuǎn)圖案3實(shí)質(zhì)上相同的圖案3a。具體來(lái)說(shuō),在樹(shù)脂組合物22是光固化性樹(shù)脂的情況下,如圖7所示,通過(guò)在將具有與凹凸圖案實(shí)質(zhì)上相同的圖案的圖案追加用模具24推壓在樹(shù)脂組合物22上的狀態(tài)下,使用光照射器26對(duì)樹(shù)脂組合物22照射光,就會(huì)如圖8所示,在樹(shù)脂組合物22中形成與反轉(zhuǎn)圖案3實(shí)質(zhì)上相同的圖案3a。圖案追加用模具24優(yōu)選相對(duì)于使樹(shù)脂組合物22固化的光具有透過(guò)性,該情況下,可以穿過(guò)圖案追加用模具24對(duì)樹(shù)脂組合物22照射光。圖案追加用模具24例如可以用樹(shù)脂、石英來(lái)形成。
[0043]圖案追加用模具24的圖案面(轉(zhuǎn)印輥12側(cè)的面)優(yōu)選具有與轉(zhuǎn)印輥12實(shí)質(zhì)上相等的曲率。該情況下,所形成的圖案3a就會(huì)成為與轉(zhuǎn)印輥12的外周更加吻合的形狀。另夕卜,圖案追加用模具24優(yōu)選為具有像薄膜模具那樣的柔軟性的模具。該情況下,通過(guò)在使圖案追加用模具24沿著轉(zhuǎn)印輥12的外周的形狀變形的狀態(tài)下使樹(shù)脂組合物22固化,就可以形成與轉(zhuǎn)印輥12的外周更加吻合的形狀的圖案3a。
[0044]在將圖案追加用模具24推靠在樹(shù)脂組合物22上時(shí),會(huì)有剩余樹(shù)脂溢出而附著于反轉(zhuǎn)圖案3上的情況,然而通過(guò)對(duì)反轉(zhuǎn)圖案3的表面預(yù)先實(shí)施剝離處理、或?qū)﹂g隙G的外周實(shí)施防露光處理,就可以容易地將附著的剩余樹(shù)脂除去。
[0045]對(duì)于圖案3a,在樹(shù)脂組合物22并非剝離性樹(shù)脂的情況下,優(yōu)選實(shí)施與上述的剝離處理相同的剝離處理。
[0046]利用以上的工序,得到遍及轉(zhuǎn)印輥12的全周地具有沒(méi)有中斷的反轉(zhuǎn)圖案3的壓印用模具。
[0047]如果使用該壓印用模具,則可以在轉(zhuǎn)印材料中連續(xù)地形成凹凸圖案。具體來(lái)說(shuō),例如通過(guò)在使圖3所示的壓印裝置的各輥旋轉(zhuǎn)而搬送搬送薄膜F的同時(shí),從涂布機(jī)18中噴出轉(zhuǎn)印材料(例如光固化性樹(shù)脂),而在搬送薄膜F上涂布轉(zhuǎn)印材料,通過(guò)向該轉(zhuǎn)印材料推壓卷繞在轉(zhuǎn)印輥12上的無(wú)縫的壓印用模具,在該狀態(tài)下從光照射器20向轉(zhuǎn)印材料照射使轉(zhuǎn)印材料固化的光而使轉(zhuǎn)印材料固化,就可以在轉(zhuǎn)印材料中連續(xù)地形成凹凸圖案。
[0048]2.第二實(shí)施方式
本發(fā)明的第二實(shí)施方式與第一實(shí)施方式類(lèi)似,然而本實(shí)施方式中,如圖9所示,在薄膜模具2的卷繞方向的一端,設(shè)有未設(shè)置反轉(zhuǎn)圖案3的無(wú)圖案區(qū)域5,在這一點(diǎn)上不同。
[0049]此種構(gòu)成的薄膜模具2中,也可以將薄膜模具2的長(zhǎng)度(也就是樹(shù)脂基材4的長(zhǎng)度)設(shè)為與卷繞薄膜模具2的轉(zhuǎn)印輥12的外周相同的程度。該情況下,在將薄膜模具2卷繞在轉(zhuǎn)印輥12上后的狀態(tài)下,如圖10所示,變成在樹(shù)脂基材4的兩端的對(duì)接部4a中實(shí)質(zhì)上沒(méi)有間隙的狀態(tài),當(dāng)在該狀態(tài)下將樹(shù)脂組合物22填充到間隙G中時(shí),就會(huì)如圖11所示,將樹(shù)脂組合物22填充到樹(shù)脂基材4上。
[0050]然后,當(dāng)利用與第一實(shí)施方式相同的方法在樹(shù)脂組合物22中形成與反轉(zhuǎn)圖案3實(shí)質(zhì)上相同的圖案3a時(shí),即得到圖12所示的構(gòu)成。
[0051]利用以上的工序,得到遍及轉(zhuǎn)印輥22的全周地具有沒(méi)有中斷的反轉(zhuǎn)圖案3的壓印用模具。
[0052]從圖6與圖11的比較可以清楚地看到,本實(shí)施方式中,樹(shù)脂組合物22被填充在樹(shù)脂基材4上,因此如圖6所示,與向雙面粘貼膠帶8上填充樹(shù)脂組合物22的情況相比,可以減少樹(shù)脂組合物22的量,從而可以實(shí)現(xiàn)制造的效率提尚。
【符號(hào)說(shuō)明】
[0053]2:薄膜模具、3:反轉(zhuǎn)圖案、4:樹(shù)脂基材、4a:樹(shù)脂基材的兩端的對(duì)接部、6:樹(shù)脂層、8:雙面粘貼膠帶、8a:雙面粘貼膠帶的兩端的對(duì)接部、10:隔膜、12:轉(zhuǎn)印輥、14:上游側(cè)輥、16:下流側(cè)輥、18:涂布機(jī)、20:光照射器、22:樹(shù)脂組合物、24:圖案追加用模具、F:搬送薄膜、G:間隙。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓印用模具的制造方法,其具備: 卷繞工序,將形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹(shù)脂制的薄膜模具以在兩端的對(duì)接部中形成不存在所述反轉(zhuǎn)圖案的間隙的方式,卷繞在圓柱狀的轉(zhuǎn)印輥上; 樹(shù)脂填充工序,向所述間隙中填充樹(shù)脂組合物; 圖案形成工序,在所述樹(shù)脂組合物中,形成與所述反轉(zhuǎn)圖案實(shí)質(zhì)上相同的圖案。2.如權(quán)利要求1所述的制造方法,其中, 所述樹(shù)脂組合物是光固化性樹(shù)脂, 所述圖案形成工序中,通過(guò)在將具有與所述凹凸圖案實(shí)質(zhì)上相同的圖案的圖案追加用模具推壓在所述樹(shù)脂組合物上的狀態(tài)下,對(duì)所述樹(shù)脂組合物照射光,而形成所述圖案。3.如權(quán)利要求2所述的制造方法,其中, 所述圖案追加用模具相對(duì)于所述光具有透過(guò)性,穿過(guò)所述圖案追加用模具對(duì)所述樹(shù)脂組合物照射所述光。4.如權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的制造方法,其中, 所述卷繞工序是通過(guò)向所述薄膜模具上貼附雙面粘貼膠帶的一側(cè)的面,將所述雙面粘貼膠帶的另一側(cè)的面貼附在所述轉(zhuǎn)印輥上而進(jìn)行。5.如權(quán)利要求4所述的制造方法,其中, 所述雙面粘貼膠帶與所述薄膜模具的所述卷繞方向的端部的位置是錯(cuò)開(kāi)的。6.如權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的制造方法,其中, 所述樹(shù)脂組合物是剝離性樹(shù)脂。7.—種壓印用模具,其具備: 圓柱狀的轉(zhuǎn)印輥,和 卷繞在所述轉(zhuǎn)印輥上并且形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹(shù)脂制的薄膜模具, 所述薄膜模具被以在兩端的對(duì)接部中形成不存在所述反轉(zhuǎn)圖案的間隙的方式卷繞, 在所述間隙中填充有具有與所述反轉(zhuǎn)圖案實(shí)質(zhì)上相同的圖案的樹(shù)脂組合物。8.一種壓印用模具制造組件,其具備: 形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹(shù)脂制的薄膜模具; 填充在將所述薄膜模具卷繞在圓柱狀的轉(zhuǎn)印輥上時(shí)的、兩端的對(duì)接部的不存在所述反轉(zhuǎn)圖案的間隙中的樹(shù)脂組合物; 用于在所述樹(shù)脂組合物中形成與所述反轉(zhuǎn)圖案實(shí)質(zhì)上相同的圖案的圖案追加用模具。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種可以防止轉(zhuǎn)印樹(shù)脂向薄膜模具的接合部上的堆積的壓印用模具的制造方法。根據(jù)本發(fā)明,可以提供一種壓印用模具的制造方法,其具備:卷繞工序,將形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹(shù)脂制的薄膜模具以在兩端的對(duì)接部中形成不存在所述反轉(zhuǎn)圖案的間隙的方式,卷繞在圓柱狀的轉(zhuǎn)印輥上;樹(shù)脂填充工序,向所述間隙中填充樹(shù)脂組合物;圖案形成工序,在所述樹(shù)脂組合物中,形成與所述反轉(zhuǎn)圖案實(shí)質(zhì)上相同的圖案。
【IPC分類(lèi)】B29C59/04, B29C33/38, H01L21/027
【公開(kāi)號(hào)】CN104903072
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380060898
【發(fā)明人】三澤毅秀, 坂田郁美
【申請(qǐng)人】綜研化學(xué)株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年9月9日
【申請(qǐng)日】2013年11月18日
【公告號(hào)】EP2923817A1, US20150290847, WO2014080857A1