迷宮加熱池的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種迷宮加熱池，包括由氟塑料制成或具有氟塑料層的加熱池，加熱池設(shè)有池蓋和導(dǎo)流板，導(dǎo)流板將加熱池的空腔分隔成沿加熱池中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道，加熱池上設(shè)有與液體流道相通的進(jìn)液接口和出液接口。本實(shí)用新型增加了熱交換面積，在熱交換的接觸面上限定了液體的流動(dòng)方向，可以使液體受熱更加充分和均勻，螺旋形的迷宮通道減小了液體流動(dòng)的阻力，使液體在流動(dòng)的過(guò)程中完成熱交換，溫升時(shí)間短，能提高熱效率。
【專利說(shuō)明】迷宮加熱池
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種迷宮加熱池，屬于液體加熱【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]用于加熱腐蝕性液體的電加熱器是將電熱材料設(shè)置在不銹鋼套管內(nèi)，不銹鋼套管與電熱絲之間設(shè)有金屬氧化鎂，在不銹鋼套管外壁涂上聚四氟乙烯，雖然電加熱器具有耐腐蝕性的特點(diǎn)，但也存在加熱功率不高和維護(hù)保養(yǎng)不方便的缺陷。
[0003]半導(dǎo)體器件的化學(xué)腐蝕和清洗工藝中采用腐蝕性液體，清洗工藝需要將腐蝕性液體進(jìn)行加熱，但目前的加熱器大都采用間歇式加熱，短時(shí)間內(nèi)不能使液體快速升溫達(dá)到所需溫度，而且維護(hù)保養(yǎng)不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種液體受熱充分，溫升時(shí)間短的迷宮加熱池。
[0005]本實(shí)用新型進(jìn)一步的目的是提供一種維護(hù)性好的的迷宮加熱池。
[0006]本實(shí)用新型為達(dá)到上述目的的技術(shù)方案是:一種迷宮加熱池，其特征在于:包括由氟塑料制成或具有氟塑料層的加熱池，加熱池設(shè)有池蓋和導(dǎo)流板，導(dǎo)流板將加熱池的空腔分隔成沿加熱池中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道，加熱池上設(shè)有與液體流道相通的進(jìn)液接口和出液接口。
[0007]本實(shí)用新型為達(dá)到上述進(jìn)一步目的的技術(shù)方案是:還具有由氟塑料制成或具有氟塑料層的隔盤，隔盤上設(shè)有用于安裝發(fā)熱盤的安裝腔，安裝腔頂部具有端板，安裝在隔盤上部的加熱池其導(dǎo)流板貼合在隔盤的端板上。
[0008]其中:所述隔盤上其端板的厚度控制在0.5?5mm之間。
[0009]所述加熱池設(shè)有的臺(tái)階安裝面與隔盤對(duì)應(yīng)的臺(tái)階面相配，加熱池通過(guò)緊固件安裝在隔盤上，或加熱池和隔盤上設(shè)有安裝孔，加熱池和隔盤設(shè)置在上連接件和下連接件之間并通過(guò)緊固件連接，加熱池上的導(dǎo)流板貼合在隔盤的端板上。
[0010]所述隔盤上設(shè)有限位槽，加熱池上的限位凸塊設(shè)置在隔盤的限位槽內(nèi)。
[0011]所述加熱池在出液接口的一側(cè)安裝有用于檢測(cè)出液溫度的溫度傳感器。
[0012]所述加熱池上設(shè)有內(nèi)小外大臺(tái)階形的傳感器安裝孔，漲套設(shè)置在加熱池的傳感器安裝孔內(nèi)，鎖緊螺母旋接在傳感器安裝孔的大孔處并頂在漲套上，溫度傳感器穿在鎖緊螺母的通孔和漲套的通孔內(nèi)，且溫度傳感器的檢測(cè)端設(shè)置在液體流道內(nèi)，漲套的外錐面頂在傳感器安裝孔的臺(tái)階處，漲套夾緊溫度傳感器而密封。
[0013]本實(shí)用新型加熱池上的導(dǎo)流板將加熱池的空腔分隔成螺旋狀的液體流道，增加了熱交換面積，并在熱交換的接觸面上限定了液體的流動(dòng)方向，可以使液體受熱更加充分和均勻，螺旋形的液體流道減小了液體流動(dòng)的阻力，使液體在流動(dòng)的過(guò)程中完成熱交換，溫升時(shí)間短，提高熱效率。本實(shí)用新型在加熱池下部設(shè)有隔盤，使加熱池的導(dǎo)流板能貼合在隔盤的端板上，因此使加熱池具有較好維護(hù)性能，本實(shí)用新型加熱池和隔盤采用抗酸、抗堿和耐高溫的氟塑材料，可以用于強(qiáng)酸強(qiáng)堿之類腐蝕性液體的加熱。本實(shí)用新型可通過(guò)設(shè)置在加熱池上的溫度傳感器在線檢測(cè)出液溫度，通過(guò)溫度傳感器輸出的信號(hào)能在線方便調(diào)節(jié)發(fā)熱盤的功率，以精確控制被加熱液體的溫度。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0015]圖1是本實(shí)用新型的迷宮加熱池的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是圖1的A-A剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]其中:I一加熱池，1-1 一導(dǎo)流板，1-2—液體流道，1-3—進(jìn)液接口，1_4一傳感器安裝孔，1-5—出液接口，1-6一池蓋,1-7一限位凸塊,2一漲套,3一溫度傳感器，4一鎖緊螺母，5—隔盤，5-1—端板，5-2—安裝腔，5-3—限位槽。
【具體實(shí)施方式】
[0018]見圖1、2所示，本實(shí)用新型的迷宮加熱池，包括由氟塑料制成或具有氟塑料層的加熱池1，加熱池I上的氟塑料層設(shè)置在外周，使加熱池I具有較好的耐腐蝕性能。見圖2所示，本實(shí)用新型加熱池I設(shè)有池蓋1-6和導(dǎo)流板1-1，導(dǎo)流板1-1將加熱池I的空腔分隔成沿加熱池中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道1-2，加熱池I上設(shè)有與液體流道1-2相通的進(jìn)液接口 1-3和出液接口 1-5，本實(shí)用新型通過(guò)在熱交換接觸面上限定了液體的流動(dòng)方向，可以使液體受熱更加充分和均勻，并能減小了液體流動(dòng)的阻力，通過(guò)螺旋狀的液體流道1-2對(duì)液體進(jìn)行即時(shí)加熱，提高加熱效率，液體在流動(dòng)的過(guò)程中完成熱交換，能達(dá)到短時(shí)間溫升的效果。
[0019]見圖1、2所示，本實(shí)用新型還具有由氟塑料制成或具有氟塑料層的隔盤5，隔盤5上的氟塑料層設(shè)置在隔盤5的外周，使隔盤5具有較好的耐腐蝕性能，隔盤5上設(shè)有用于安裝發(fā)熱盤的安裝腔5-2，安裝腔5-2頂部具有端板5-1，隔盤5上的端板5-1厚度控制在
0.5?5mm之間,最好在0.8?2mm之間,加熱盤安裝在隔盤5的安裝腔5_2內(nèi)，安裝在隔盤5上部的加熱池I其導(dǎo)流板1-1貼合在隔盤5的端板5-1上，見圖2所示，本實(shí)用新型加熱池I設(shè)有的臺(tái)階安裝面與隔盤5上對(duì)應(yīng)的臺(tái)階面相配，使液體與加熱盤分隔，具有較好的維護(hù)性能，本實(shí)用新型可通過(guò)緊固件加熱池I安裝在隔盤5上，或加熱池I和隔盤3上設(shè)有安裝孔，加熱池I和隔盤3設(shè)置在上連接件和下連接件之間并通過(guò)緊固件連接，將加熱池I與隔盤5連接。為便于安裝、定位，隔盤5上設(shè)有限位槽5-3，池蓋1-6上的限位凸塊1-7設(shè)置在隔盤5的限位槽5-3內(nèi)。
[0020]見圖1所示，本實(shí)用新型加熱池I在出液接口 1-5的一側(cè)安裝有用于檢測(cè)出液溫度的溫度傳感器3，溫度傳感器3的檢測(cè)端設(shè)置在液體流道1-2內(nèi)，通過(guò)溫度傳感器3準(zhǔn)確檢測(cè)出液溫度，以方便控制發(fā)熱盤的功率，調(diào)節(jié)液體的加熱溫度。見圖1所示，本實(shí)用新型加熱池I上設(shè)有內(nèi)小外大臺(tái)階形的傳感器安裝孔1-4，漲套2設(shè)置在加熱池I的傳感器安裝孔1-4內(nèi)，鎖緊螺母4旋接在傳感器安裝孔1-4的大孔處并頂在漲套2上，溫度傳感器3穿在鎖緊螺母4的通孔和漲套2的通孔內(nèi)，使溫度傳感器3的檢測(cè)端位于液體流道1-2，漲套2的外錐面頂在傳感器安裝孔1-4的臺(tái)階處，漲套2夾緊溫度傳感器而密封，在鎖緊螺母4旋接在傳感器安裝孔1-4上時(shí)，可使?jié)q套2軸向移動(dòng)，由于漲套2上的外錐面頂在傳感器安裝孔1-4的臺(tái)階處，能將鎖緊螺母4作用在漲套2上的軸向力轉(zhuǎn)為徑向力，由于漲套2的變形，從而消除漲套2與溫度傳感器3之間的縫隙而夾緊溫度傳感器3，同時(shí)漲套2的外錐面也與傳感器安裝孔1-4的臺(tái)階處的密封，達(dá)到長(zhǎng)期密封防滲漏的效果。
【權(quán)利要求】
1.一種迷宮加熱池，其特征在于:包括由氟塑料制成或具有氟塑料層的加熱池(1)，加熱池(I)設(shè)有池蓋(1-6)和導(dǎo)流板(1-1 )，導(dǎo)流板(1-1)將加熱池(I)的空腔分隔成沿加熱池中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道(1-2)，加熱池(I)上設(shè)有與液體流道(1-2)相通的進(jìn)液接口( 1-3 )和出液接口( 1-5 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的迷宮加熱池，其特征在于:還具有由氟塑料制成或具有氟塑料層的隔盤(5 )，隔盤(5 )上設(shè)有用于安裝發(fā)熱盤的安裝腔(5-2 )，安裝腔(5-2 )頂部具有端板(5-1)，安裝在隔盤(5)上部的加熱池(I)其導(dǎo)流板(1-1)貼合在隔盤(5)的端板(5-1)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的迷宮加熱池，其特征在于:所述隔盤(5)上其端板(5-1)的厚度控制在0.5?5mm之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的迷宮加熱池，其特征在于:所述加熱池(I)設(shè)有的臺(tái)階安裝面與隔盤(3)對(duì)應(yīng)的臺(tái)階面相配，加熱池(I)通過(guò)緊固件安裝在隔盤(3)上，或加熱池(I)和隔盤(3)上設(shè)有安裝孔，加熱池(I)和隔盤(3)設(shè)置在上連接件和下連接件之間并通過(guò)緊固件連接，加熱池(I)上的導(dǎo)流板(1-1)貼合在隔盤(5)的端板(5-1)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的迷宮加熱池，其特征在于:所述隔盤(5)上設(shè)有限位槽(5-3)，加熱池(I)上的限位凸塊(1-7)設(shè)置在隔盤的限位槽(5-3)內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的迷宮加熱池，其特征在于:所述加熱池(I)在出液接口(1-5)的一側(cè)安裝有用于檢測(cè)出液溫度的溫度傳感器(3 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的迷宮加熱池，其特征在于:所述加熱池(I)上設(shè)有內(nèi)小外大臺(tái)階形的傳感器安裝孔(1-4)，漲套(2)設(shè)置在加熱池(I)的傳感器安裝孔(1-4)內(nèi)，鎖緊螺母(4)旋接在傳感器安裝孔(1-4)的大孔處并頂在漲套(2)上，溫度傳感器(3)穿在鎖緊螺母(4)的通孔和漲套(2)的通孔內(nèi)，且溫度傳感器(3)的檢測(cè)端設(shè)置在液體流道(1-2)內(nèi)，漲套(2)的外錐面頂在傳感器安裝孔(1-4)的臺(tái)階處，漲套(2)夾緊溫度傳感器(3)而密封。
【文檔編號(hào)】F24H9/20GK203771663SQ201420087668
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年2月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月27日
【發(fā)明者】鄔治國(guó), 于莉 申請(qǐng)人:常州瑞擇微電子科技有限公司