一種液體供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，所述液體供應(yīng)系統(tǒng)包含第一連通管、第二連通管、第一開關(guān)閥、第二開關(guān)閥、供應(yīng)槽、補給槽、第一供液管、第二供液管、傳感器控制閥、浮球控制閥、氮氣管、支管、第一傳感器和第二傳感器。所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有兩根供液管，保證了即使有一個控制閥出現(xiàn)異常時，仍能為補給槽及時補充液體；所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)置相互連通的供應(yīng)槽和補給槽，且將設(shè)有傳感器的支管設(shè)置于的補給槽一側(cè)，供應(yīng)槽內(nèi)通入氮氣時，不會對傳感器造成影響；所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有兩個緩沖槽，可以同時為供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體進行加熱，確保補給槽內(nèi)的液體進入供應(yīng)槽之前已經(jīng)達到了需要的溫度，大大節(jié)省了時間，提高了工作效率。
【專利說明】一種液體供應(yīng)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種液體供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，硅片的直徑在不斷增大，而集成電路的線寬在不斷減小，由此來增加圖形密度。因此對硅片表面的清潔度要求越來越高。在典型的集成電路生產(chǎn)中要經(jīng)過幾十道的清洗工藝，硅片表面的顆粒、有機物、金屬、微粗糙度、自然氧化層等會嚴重影響器件性能，據(jù)統(tǒng)計，清洗不佳引起的器件失效超過集成電路制造中總損失的一半。因此，硅片清洗技術(shù)的發(fā)展在整個超大規(guī)模集成電路的制造中至關(guān)重要。而在硅片清洗技術(shù)中，硅片的干燥又尤為重要，因為硅片干燥通常為整個清洗過程的最后一步，如果處理不當(dāng)，將會前功盡棄。
[0003]在目前使用的硅片干燥法中，較為先進的是IPA (Isopropanol，異丙醇)干燥法，即利用異丙醇易揮發(fā)的特性，將異丙醇加熱至一定的溫度后通入干燥槽內(nèi)，實現(xiàn)對所述干燥槽內(nèi)的硅片進行干燥。在該干燥法中，IPA的供應(yīng)為其核心技術(shù)，如何持續(xù)、穩(wěn)定、適量的將IPA供應(yīng)到干燥槽中至關(guān)重要。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，IPA供應(yīng)系統(tǒng)如圖1所示，所述IPA供應(yīng)系統(tǒng)包含供應(yīng)槽110、緩沖槽111、支管112、第一傳感器113、第二傳感器114、第三傳感器115、第四傳感器116、傳感器控制閥117、供液管118、氮氣管119、輸液管120和排液管121。供應(yīng)槽110置于緩沖槽111內(nèi)，緩沖槽111內(nèi)盛放有保持恒溫為70°C的水，用于為供應(yīng)槽110內(nèi)的IPA122進行加熱；支管112兩端分別連接于供應(yīng)槽110中液面的上部和供應(yīng)槽的下部；所述支管112內(nèi)自下而上依次設(shè)置有所述第三傳感器115、第一傳感器113、第二傳感器114和所述第四傳感器116，其中，所述第一傳感器113和第二傳感器114均與傳感器控制閥117電連接；供液管118位于供應(yīng)槽110的上方，供液管118靠近供應(yīng)槽110的一端設(shè)有傳感器控制閥117 ；氮氣管119 一端置于供應(yīng)槽110內(nèi)部上方；輸液管120將供應(yīng)槽110與一干燥槽相連通；排液管121位于供應(yīng)槽110的底部。
[0005]在使用的過程中，所述IPA供應(yīng)系統(tǒng)中的所述第一傳感器113和第二傳感器114根據(jù)供應(yīng)槽110內(nèi)液面情況控制傳感器控制閥117為供應(yīng)槽110注入所需IPA122，待供應(yīng)槽110內(nèi)的IPA122被緩沖槽111內(nèi)的水加熱到所需溫度后，通過氮氣管119通入氮氣，IPA122容易揮發(fā)，其揮發(fā)氣體在氮氣的協(xié)助下通過輸液管120進入干燥槽內(nèi)為待干燥硅片進行干燥。
[0006]但現(xiàn)有的IPA供應(yīng)系統(tǒng)存在如下問題:1.供應(yīng)槽只有一條供液管，供應(yīng)槽依靠第一傳感器113和第二傳感器114的作動進行IPA的補給,如果第一傳感器113和第二傳感器114損壞，IPA將不能得到及時的補充。2.當(dāng)?shù)獨獯等牍?yīng)槽時，供應(yīng)槽內(nèi)的IPA在氮氣的吹動下會產(chǎn)生劇烈的浮動，由于各傳感器是根據(jù)IPA液面情況進行控制工作的，IPA的浮動會造成傳感器發(fā)出誤報警，進而影響整個干燥工藝的進行。3.供應(yīng)槽在完成一次干燥工藝后，一次性注入IPA的量太多，將新注入的IPA加熱到所需的溫度耗時太久，影響工作的效率。
[0007]鑒于此，有必要設(shè)計一種新的液體供應(yīng)系統(tǒng)用以解決上述技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0008]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于供應(yīng)系統(tǒng)中只有一條供液管，當(dāng)控制所述供液管閥門的傳感器損壞時，不能為供應(yīng)槽及時補充液體；氮氣管位于供應(yīng)槽內(nèi)，通入氮氣時供應(yīng)槽內(nèi)液體產(chǎn)生劇烈浮動，導(dǎo)致傳感器誤報警；以及供應(yīng)槽一次性注入液體太多，將新注入液體加熱至所需溫度耗時太久，影響工作效率的問題。
[0009]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，所述液體供應(yīng)系統(tǒng)至少包含第一連通管、第二連通管、第一開關(guān)閥、第二開關(guān)閥、供應(yīng)槽、補給槽、第一供液管、傳感器控制閥、氮氣管、支管、第一傳感器和第二傳感器；其中，所述補給槽上部通過所述第一連通管與所述供應(yīng)槽上部相連通，所述補給槽底部通過所述第二連通管與所述供應(yīng)槽底部相連通；所述第一連通管和所述第二連通管上分別設(shè)有所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥；所述第一供液管位于所述補給槽的上方；所述第一供液管靠近所述補給槽的一端設(shè)有所述傳感器控制閥；所述氮氣管的一端置于所述供應(yīng)槽內(nèi)部上方；所述支管兩端分別連接于所述補給槽中液面的上部和所述補給槽的下部；且所述支管內(nèi)自下而上依次設(shè)置有所述第一傳感器和所述第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器均與所述傳感器控制閥電連接。
[0010]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述液體供應(yīng)系統(tǒng)還包含第二供液管和浮球控制閥；所述第二供液管位于所述補給槽的上方；所述浮球控制閥設(shè)置于所述第二供液管靠近所述補給槽的一端。
[0011]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，在所述支管內(nèi)所述第一傳感器的下方設(shè)置有第三傳感器；在所述支管內(nèi)所述第二傳感器的上方設(shè)置有第四傳感器。
[0012]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述浮球閥為壓鑄不銹鋼浮球閥。
[0013]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述氮氣管上設(shè)置一第三開關(guān)閥。
[0014]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體為異丙醇。
[0015]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，還包含兩個緩沖槽，分別置于所述供應(yīng)槽和補給槽的外圍；所述緩沖槽內(nèi)注入有水，適于為所述供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體加熱。
[0016]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述緩沖槽內(nèi)水的溫度為60。。?80。。。
[0017]作為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述緩沖槽內(nèi)水的溫度為70。。。
[0018]如上所述，本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)，具有以下有益效果:所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中除了設(shè)有受傳感器控制閥控制的第一供液管外，還設(shè)置有一個受浮球控制閥控制的第二供液管，兩根供液管的設(shè)置，保證了即使有一個控制閥出現(xiàn)異常時，仍能為補給槽及時補充液體；所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)置相互連通的供應(yīng)槽和補給槽，且將設(shè)有傳感器的支管設(shè)置于沒有氮氣管的補給槽一側(cè)，供應(yīng)槽內(nèi)通入氮氣時，不會對傳感器造成影響；所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有兩個緩沖槽，可以同時分別為供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體進行加熱，確保補給槽內(nèi)的液體進入供應(yīng)槽之前已經(jīng)達到了需要的溫度，不需要再進行加熱，大大節(jié)省了時間，提高了工作效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中IPA供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖2顯示為本實用新型的液體供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]元件標號說明
[0022]110、210供應(yīng)槽
[0023]111,211緩沖槽
[0024]112、212支管
[0025]113,213第一傳感器
[0026]114,214第二傳感器
[0027]115、215第三傳感器
[0028]116、216第四傳感器
[0029]117、217傳感器控制閥
[0030]118供液管
[0031]119,219氮氣管
[0032]120、220輸液管
[0033]121、221排液管
[0034]122,222IPA
[0035]218第一供液管
[0036]223補給槽
[0037]224浮球閥
[0038]225第二供液管
[0039]226第一連通管
[0040]227第二連通管
[0041]228第一開關(guān)閥
[0042]229第二開關(guān)閥
[0043]230第三開關(guān)閥
【具體實施方式】
[0044]以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0045]請參閱圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0046]請參閱圖2，本實用新型提供一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，所述液體供應(yīng)系統(tǒng)至少包含第一連通管226、第二連通管227、第一開關(guān)閥228、第二開關(guān)閥229、供應(yīng)槽210、補給槽223、第一供液管218、傳感器控制閥217、氮氣管219、支管212、第一傳感器213和第二傳感器214 ；其中，所述補給槽223上部通過所述第一連通管226與所述供應(yīng)槽210上部相連通，所述補給槽223底部通過所述第二連通管227與所述供應(yīng)槽210底部相連通；所述第一連通管226和所述第二連通管227上分別設(shè)有所述第一開關(guān)閥228和所述第二開關(guān)閥229 ;所述第一供液管218位于所述補給槽223的上方；所述第一供液管218靠近所述補給槽223的一端設(shè)有所述傳感器控制閥217 ;所述第二供液管225位于所述補給槽223的上方；所述第二供液管225靠近所述補給槽223的出口端設(shè)有所述浮球控制閥224 ;所述氮氣管219的一端置于所述供應(yīng)槽210內(nèi)部上方；所述支管212兩端分別連接于所述補給槽223中液面的上部和所述補給槽223的下部；且所述支管212內(nèi)自下而上依次設(shè)置有所述第一傳感器213和所述第二傳感器214，所述第一傳感器213和所述第二傳感器214均與所述傳感器控制閥217電連接。
[0047]具體的，所述液體供應(yīng)系統(tǒng)還包含第二供液管225和浮球控制閥224 ;所述第二供液管225位于所述補給槽223的上方；所述浮球控制閥224設(shè)置于所述第二供液管225靠近所述補給槽223的一端。
[0048]具體的，在所述支管212內(nèi)所述第一傳感器213的下方設(shè)置有第三傳感器215 ;在所述支管212內(nèi)第二傳感器214的上方設(shè)置有第四傳感器216。在所述補給槽223內(nèi)的液體過少時，補給槽223內(nèi)液面低于所述第三傳感器215的位置時，所述第三傳感器215發(fā)出液面過低報警；在所述補給槽223內(nèi)的液體過多時，補給槽223內(nèi)液面達到所述第四傳感器215的位置時，所述第四傳感器215發(fā)出液體溢出報警。
[0049]具體的，所述浮球閥224為壓鑄不銹鋼浮球閥。浮球閥224為壓鑄不銹鋼浮球閥，通過剛壓鑄工藝，可以使得浮球閥224各部件間精良配合，不存在腐蝕松脫或緊卡現(xiàn)象，確保所述浮球閥224可以長時間穩(wěn)定工作；同時，不銹鋼構(gòu)件設(shè)計使得所述浮球閥224在高濕環(huán)境中工作不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，可以確保不會給所述補給槽223內(nèi)的液體帶來污染。
[0050]具體的，所述氮氣管219上還應(yīng)設(shè)有一第三開關(guān)閥230，用于控制為所述供應(yīng)槽210內(nèi)適時地通入氮氣。
[0051]具體的，所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)的液體均為IPA222，即所述液體供應(yīng)系統(tǒng)為IPA供應(yīng)系統(tǒng)。
[0052]具體的,所述液體供應(yīng)系統(tǒng)還應(yīng)包含兩個緩沖槽211,所述兩個緩沖槽211分別置于所述供應(yīng)槽210和補給槽223的外圍；所述緩沖槽211內(nèi)注入有保持恒溫的水，用于為所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)的液體加熱。
[0053]具體的，當(dāng)所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)的液體均為IPA222時，所述緩沖槽211內(nèi)水的溫度為60V?80°C。優(yōu)選地，本實施例中，所述緩沖槽211內(nèi)水的溫度為70°C。
[0054]所述液體供應(yīng)系統(tǒng)的工作原理為:在所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)都注入有液體為起始，當(dāng)所述供應(yīng)槽210需要通過輸液管220為干燥槽供應(yīng)IPA222時，所述第一開關(guān)閥228和第二開關(guān)閥229關(guān)閉，所述第三開關(guān)閥230打開，所述氮氣管219通入氮氣至所述供應(yīng)槽210，所述IPA在氮氣的攜帶下被輸送至干燥槽內(nèi)。當(dāng)供應(yīng)槽210工作完畢后，所述供應(yīng)槽210內(nèi)液體減少，打開所述第一開關(guān)閥228和第二開關(guān)閥229，所述第一開關(guān)閥228打開之后，所述第一連接管226將所述供應(yīng)槽210和補給槽223上部連通，保證了所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)的壓強一致，此時，所述補給槽223內(nèi)預(yù)熱好的IPA通過所述第二連通管227注入至所述供應(yīng)槽210內(nèi)。當(dāng)所述補給槽223內(nèi)液面到達所述第一傳感器213的位置，所述傳感器控制閥217打開，所述第一供液管218開始為所述補給槽注入IPA，當(dāng)所述補給槽223內(nèi)液面達到所述第二傳感器214的位置，所述傳感器控制閥217關(guān)閉，停止為所述補給槽223注入IPA ;或所述補給槽223內(nèi)液面低至一定的范圍，所述浮球閥224打開，所述第二供液管225開始為所述補給槽注入IPA222，當(dāng)所述補給槽223內(nèi)液面達到一定的高度，所述浮球閥224關(guān)閉，停止為所示補給槽223注入IPA222。在所述第一供液管218或第二供液管225停止為所述補給槽223注入IPA222的同時，所述第一開關(guān)閥228和第二開關(guān)閥229關(guān)閉，所述補給槽223停止為所述供應(yīng)槽210注入IPA222。
[0055]具體的，所述供應(yīng)槽210和補給槽223底部還應(yīng)設(shè)置與所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)部相連通的排液管221，以便在所述供應(yīng)槽210和補給槽223內(nèi)有殘液存在時可以及時排出，實現(xiàn)多所述供應(yīng)槽210和補給槽223的清洗。
[0056]綜上所述，本實用新型提供一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中除了設(shè)有受傳感器控制閥控制的第一供液管外，還設(shè)置有一個受浮球控制閥控制的第二供液管，兩根供液管的設(shè)置，保證了即使有一個控制閥出現(xiàn)異常時，仍能為補給槽及時補充液體；所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)置相互連通的供應(yīng)槽和補給槽，且將設(shè)有傳感器的支管設(shè)置于沒有氮氣管的補給槽一側(cè)，供應(yīng)槽內(nèi)通入氮氣時，不會對傳感器造成影響；所述液體供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有兩個緩沖槽，可以同時分別為供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體進行加熱，確保補給槽內(nèi)的液體進入供應(yīng)槽之前已經(jīng)達到了需要的溫度，不需要再進行加熱，大大節(jié)省了時間，提高了工作效率。
[0057]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，至少包含: 第一連通管、第二連通管、第一開關(guān)閥、第二開關(guān)閥、供應(yīng)槽、補給槽、第一供液管、傳感器控制閥、氮氣管、支管、第一傳感器和第二傳感器； 其中，所述補給槽上部通過所述第一連通管與所述供應(yīng)槽上部相連通，所述補給槽底部通過所述第二連通管與所述供應(yīng)槽底部相連通；所述第一連通管和所述第二連通管上分別設(shè)有所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥； 所述第一供液管位于所述補給槽的上方；所述第一供液管靠近所述補給槽的一端設(shè)有所述傳感器控制閥； 所述氮氣管的一端置于所述供應(yīng)槽內(nèi)部上方； 所述支管兩端分別連接于所述補給槽中液面的上部和所述補給槽的下部；且所述支管內(nèi)自下而上依次設(shè)置有所述第一傳感器和所述第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器均與所述傳感器控制閥電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述液體供應(yīng)系統(tǒng)還包含第二供液管和浮球控制閥；所述第二供液管位于所述補給槽的上方；所述浮球控制閥設(shè)置于所述第二供液管靠近所述補給槽的一端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:在所述支管內(nèi)所述第一傳感器的下方設(shè)置有第三傳感器；在所述支管內(nèi)所述第二傳感器的上方設(shè)置有第四傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述浮球閥為壓鑄不銹鋼浮球閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述氮氣管上設(shè)置一第三開關(guān)閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體供應(yīng)系統(tǒng),其特征在于:所述供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體為異丙醇。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:還包含兩個緩沖槽，分別置于所述供應(yīng)槽和補給槽的外圍；所述緩沖槽內(nèi)注入有水，適于為所述供應(yīng)槽和補給槽內(nèi)的液體加熱。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述緩沖槽內(nèi)水的溫度為60。。?80。。。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述緩沖槽內(nèi)水的溫度為70°C。
【文檔編號】F26B21/14GK204007056SQ201420470070
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月20日
【發(fā)明者】董明, 肖方 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司