20以相互分離的方式配置。具體而言,如圖11所示,在處理槽210的內(nèi)部的上側(cè)的區(qū)域與下側(cè)的區(qū)域分別每兩個地設(shè)置有紫外線照射部件20。這樣每兩個地設(shè)置的紫外線照射部件20沿X方向隔開間隔地配置。
[0073]這里,在第2實施方式中,在處理槽210的上部213設(shè)有紫外線監(jiān)視器70和具有與上述第2變形例相同的構(gòu)成的空氣排出部280。此外,紫外線監(jiān)視器70不僅設(shè)于處理槽210的上部213,也設(shè)于處理槽210的下部214。
[0074]以與處理槽210的內(nèi)部的各紫外線照射部件20對應(yīng)的方式設(shè)有多個紫外線監(jiān)視器70(在第2實施方式中為四個)。具體而言,如圖11所示,設(shè)于處理槽210的上部213的兩個紫外線監(jiān)視器70以分別與配置于處理槽210的內(nèi)部的上側(cè)的區(qū)域的兩個紫外線照射部件20對應(yīng)的方式設(shè)置。另外,設(shè)于處理槽210的下部214的兩個紫外線監(jiān)視器70以分別與配置于處理槽210的內(nèi)部的下側(cè)的區(qū)域的兩個紫外線照射部件20對應(yīng)的方式設(shè)置。此外,設(shè)于處理槽210的上部213的兩個紫外線監(jiān)視器70被設(shè)置為,在相互交叉的方向延伸。同樣,設(shè)于處理槽210的下部214的兩個紫外線監(jiān)視器70也被設(shè)置為,在相互交叉的方向延伸。
[0075]詳細地說,在圖11中配置于右上方的紫外線監(jiān)視器70被設(shè)為,朝向圖11中的配置于左上方的紫外線照射部件20,從處理槽210的上部213向左下方向延伸。另外,在圖11中配置于左上方的紫外線監(jiān)視器70被設(shè)為,朝向圖11中的配置于右上方的紫外線照射部件20,從處理槽210的上部213向右下方向延伸。另外,在圖11中配置于右下方的紫外線監(jiān)視器70被設(shè)為,朝向圖11中的配置于左下方的紫外線照射部件20,從處理槽210的下部214向左上方向延伸。另外,在圖11中配置于左下方的紫外線監(jiān)視器70被設(shè)為,朝向圖11中的配置于右下方的紫外線照射部件20,從處理槽210的下部214向右上方向延伸。
[0076]此外,如圖11所示,在第2實施方式中,也與上述第1實施方式以及第1?第4變形例相同,連接有空氣排出部280的空氣排出孔281a設(shè)于比水平面P2(參照圖11的雙點劃線)高的位置,該水平面P2通過在處理槽210的上部213設(shè)置的紫外線監(jiān)視器70的紫外線傳感器71的紫外線受光面(下端部)。另外,空氣排出孔281a設(shè)于比供水口 211的上端211a高的位置,并且設(shè)于比排水口 212的上端212a高的位置。
[0077]如以上說明那樣,在第2實施方式中,也與上述第1實施方式以及第1?第4變形例相同,在高于通過紫外線傳感器71的水平面P2的位置設(shè)有空氣排出孔281a,在該空氣排出孔281a連接有空氣排出部280,該空氣排出部280用于使處理水W經(jīng)過處理槽210的內(nèi)部時積存于處理槽210的上部的空氣(空氣層S)向處理槽210的外部逸出。由此,在第2實施方式中,也能夠抑制在設(shè)于處理槽210的上部213的紫外線傳感器71和與該紫外線傳感器71對應(yīng)的紫外線照射部件20之間積存空氣的情況,因此能夠抑制紫外線傳感器71的測量精度降低的情況。
[0078]以上,說明了本發(fā)明的實施方式以及變形例,上述實施方式以及變形例僅是一個例子,并不意圖限定發(fā)明的范圍。上述實施方式以及變形例能夠通過各種方式實施,并能夠在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行各種省略、替換、變更。這些省略、替換、變更包含于發(fā)明的范圍、主旨中,并且包含于權(quán)利要求書記載的發(fā)明及其等同的范圍中。
[0079]例如,上述實施方式以及變形例的各構(gòu)成要素的形狀、個數(shù)等能夠適當(dāng)?shù)刈兏鴮嵤?。即,在上述實施方式以及變形例中,示出了處理槽形成為箱形狀或者圓筒形狀的例子,但也可以將處理槽形成為除箱形狀以及圓筒形狀以外的形狀。另外,在上述實施方式以及變形例中,示出了空氣排出部由筒狀部件與閥部件構(gòu)成的例子,但只要能夠使積存于處理槽的上部的空氣逸出,則空氣排出部也可以具有除上述以外的構(gòu)造。
[0080]另外,在上述實施方式以及變形例中,示出了紫外線照射部件以及紫外線監(jiān)視器的個數(shù)為6個或者4個的例子,但紫外線照射部件以及紫外線監(jiān)視器的個數(shù)既可以是7個以上,也可以是5個,還可以是3個以下。另外,紫外線照射部件以及紫外線監(jiān)視器的個數(shù)也可以不是相同數(shù)目。另外,在上述實施方式以及變形例中,示出了空氣排出部的個數(shù)為一個的例子,但空氣排出部的個數(shù)也可以是兩個以上。
【主權(quán)項】
1.一種紫外線照射裝置,其中,具備: 處理槽,包括用于供給處理對象的處理水的供水口和用于排出上述處理水的排水口; 紫外線照射部件,設(shè)于上述處理槽的內(nèi)部,對經(jīng)過上述處理槽的內(nèi)部的上述處理水照射紫外線; 紫外線傳感器,設(shè)于上述處理槽的內(nèi)部,并且測量來自上述紫外線照射部件的紫外線照射量;以及 空氣排出部,與空氣排出孔連接,該空氣排出孔設(shè)于比通過上述紫外線傳感器的水平面高的位置,上述空氣排出部用于使上述處理水經(jīng)過上述處理槽的內(nèi)部時積存于上述處理槽的內(nèi)部的空氣經(jīng)由上述空氣排出孔向上述處理槽的外部逸出。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置,其中, 上述供水口以及上述排水口具有互不相同的內(nèi)徑,并且設(shè)于在水平方向上相互對置的位置, 上述空氣排出孔設(shè)于比上述供水口的上端高的位置,并且設(shè)于比上述排水口的上端高的位置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置,其中, 上述空氣排出部包括:筒狀部件,具有構(gòu)成上述空氣排出孔的內(nèi)周面;以及閥部件,以能夠開閉的方式封堵上述空氣排出孔。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外線照射裝置,其中, 還具備: 閥驅(qū)動部,驅(qū)動上述閥部件;以及 控制部,控制上述閥驅(qū)動部,以使上述閥部件定期地開閉上述空氣排出孔。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外線照射裝置,其中, 還具備: 閥驅(qū)動部,驅(qū)動上述閥部件; 測量部件,對經(jīng)過上述處理槽的內(nèi)部的上述處理水的水面的高度位置進行測量;以及 控制部,基于上述測量部件的測量結(jié)果控制上述閥驅(qū)動部,使得在上述處理水的水面下降至比通過上述紫外線傳感器的水平面低的位置之前由上述閥部件將上述空氣排出孔打開。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置,其中, 還具備緩沖槽,該緩沖槽設(shè)于比上述處理槽的上端部高的位置,并且設(shè)于上述空氣排出孔的中途,接收積存于上述處理槽的內(nèi)部的空氣。
【專利摘要】實施方式的紫外線照射裝置具備處理槽、紫外線照射部件、紫外線傳感器、以及空氣排出部。處理槽包括用于供給處理對象的處理水的供水口和用于排出處理水的排水口。紫外線照射部件設(shè)于處理槽的內(nèi)部,對經(jīng)過處理槽的內(nèi)部的處理水照射紫外線。紫外線傳感器設(shè)于處理槽的內(nèi)部,并且測量來自紫外線照射部件的紫外線照射量??諝馀懦霾颗c空氣排出孔連接,該空氣排出孔設(shè)于比通過紫外線傳感器的水平面高的位置,上述空氣排出部被設(shè)為用于使處理水經(jīng)過處理槽的內(nèi)部時積存于處理槽的內(nèi)部的空氣經(jīng)由空氣排出孔向處理槽的外部逸出。
【IPC分類】C02F1/32
【公開號】CN105473511
【申請?zhí)枴緾N201480044546
【發(fā)明人】小林伸次, 阿部法光, 出健志, 城田昭彥, 竹內(nèi)賢治
【申請人】株式會社東芝
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2014年3月12日
【公告號】CA2923009A1, WO2015037256A1