硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片原料酸洗設(shè)備，特別是一種硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，硅片加工生產(chǎn)企業(yè)對硅片原料進(jìn)行酸洗處理的加酸循環(huán)系統(tǒng)由布置于酸洗箱內(nèi)的酸液入口和酸液出口、設(shè)于酸洗箱外側(cè)的連接于酸液入口和酸液出口之間的循環(huán)管道、設(shè)于循環(huán)管道上的酸栗組成，在酸栗的作用下使酸循環(huán)，在酸箱中造成酸的擾動，達(dá)到酸洗的目的。現(xiàn)有的加酸循環(huán)系統(tǒng)多適用于處理多晶硅料和整段的頭尾料，因此，酸液出口通常直通口，對于處理原料種類非常繁多和復(fù)雜的企業(yè)來說并不適用，主要原因在于，處理原料總會有一些碎料產(chǎn)生，在抽取酸的過程中碎料通過管道很容易進(jìn)入酸栗，碎料的進(jìn)入會對酸栗的內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成極大的損傷，嚴(yán)重的影響酸栗的使用壽命。為了防止碎料進(jìn)入酸栗，通常有使用者在酸液出口(直通口)處安裝過濾網(wǎng)，以防止碎料進(jìn)入循環(huán)管道，但其仍存在如下問題:1、過濾網(wǎng)的使用使酸栗單位時(shí)間內(nèi)流量處理量降低，造成酸液在酸箱中擾動效果差;2、過濾網(wǎng)使用壽命較短，需要頻繁更換，不利于連續(xù)生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是為了提供一種解決上述問題的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、使用可靠的硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]—種硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)，包括布置于酸洗箱內(nèi)的酸液入口和酸液出口、設(shè)于酸洗箱外側(cè)的連接于酸液入口和酸液出口之間的循環(huán)管道、設(shè)于循環(huán)管道上的酸栗，其特征在于:所述酸液出口處連接有一段前端封堵的PP-R熱熔管，所述PP-R熱熔管的外周均勻布滿圓通孔，所述酸栗的入口之前的循環(huán)管道上增設(shè)有一段過濾管道，所述過濾管道狀似三通管，其由與酸液流動方向平行的水平連接段和連接于水平連接段下方的后傾段組成，所述后傾段向酸栗的方向傾斜且末端設(shè)有封堵蓋，所述水平連接段靠近酸栗側(cè)端部內(nèi)置有過濾網(wǎng)。
[0006]上述的硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)，所述過濾管道前、后側(cè)的循環(huán)管道上分別設(shè)有前、后控制閥，所述前控制閥前側(cè)的循環(huán)管道和后控制閥后側(cè)的循環(huán)管道之間連接有旁通管道，所述旁通管道上設(shè)有旁通控制閥。旁通管道的設(shè)計(jì)便于在不停止酸洗作業(yè)的情況下清理過濾管道。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:對酸栗抽入酸的過程中實(shí)現(xiàn)兩道防護(hù)，第一層防護(hù)是利用布滿圓通孔的PP-R熱熔管代替原有的直通入口，有效防止了抽酸過程中碎料被抽入酸栗中，同時(shí)保證了酸栗的單位時(shí)間流量，使用壽命長;第二層防護(hù)是利用酸栗前的過濾管道，過濾管道的水平段的過濾網(wǎng)對酸液再次過濾，而后傾段用于收集碎料，可定期處理被過濾的碎料。綜上兩點(diǎn)顯著提高了對碎料的過濾效果，延長了酸栗的使用壽命。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0009]圖中:1.PP-R熱熔管、2.圓通孔、3.循環(huán)管道、4.前控制閥、5.水平連接段、6.后傾段、7.封堵蓋、8.過濾網(wǎng)、9.后控制閥、10.酸栗、11.旁通管道、12.旁通控制閥、13.酸洗箱。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖所示，該硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)，包括布置于酸洗箱13內(nèi)的酸液入口和酸液出口、設(shè)于酸洗箱13外側(cè)的連接于酸液入口和酸液出口之間的循環(huán)管道3、設(shè)于循環(huán)管道3上的酸栗10。所述酸液出口處連接有一段前端封堵的PP-R熱熔管I，所述PP-R熱熔管I的外周均勻布滿圓通孔2。所述酸栗10的入口之前的循環(huán)管道上增設(shè)有一段過濾管道，所述過濾管道狀似三通管，其由與酸液流動方向平行的水平連接段5和連接于水平連接段5下方的后傾段6組成，所述后傾段6向酸栗10的方向傾斜且末端設(shè)有封堵蓋7，所述水平連接段5靠近酸栗10側(cè)端部內(nèi)置有過濾網(wǎng)8。所述過濾管道前、后側(cè)的循環(huán)管道上分別設(shè)有前、后控制閥4、9，所述前控制閥4前側(cè)的循環(huán)管道和后控制閥9后側(cè)的循環(huán)管道之間連接有旁通管道U，所述旁通管道11上設(shè)有旁通控制閥12，旁通管道的設(shè)計(jì)便于在不停止酸洗作業(yè)的情況下清理過濾管道。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)，包括布置于酸洗箱內(nèi)的酸液入口和酸液出口、設(shè)于酸洗箱外側(cè)的連接于酸液入口和酸液出口之間的循環(huán)管道、設(shè)于循環(huán)管道上的酸栗，其特征在于:所述酸液出口處連接有一段前端封堵的PP-R熱熔管，所述PP-R熱熔管的外周均勻布滿圓通孔，所述酸栗的入口之前的循環(huán)管道上增設(shè)有一段過濾管道，所述過濾管道狀似三通管，其由與酸液流動方向平行的水平連接段和連接于水平連接段下方的后傾段組成，所述后傾段向酸栗的方向傾斜且末端設(shè)有封堵蓋，所述水平連接段靠近酸栗側(cè)端部內(nèi)置有過濾網(wǎng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于:所述過濾管道前、后側(cè)的循環(huán)管道上分別設(shè)有前、后控制閥，所述前控制閥前側(cè)的循環(huán)管道和后控制閥后側(cè)的循環(huán)管道之間連接有旁通管道，所述旁通管道上設(shè)有旁通控制閥。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片原料酸洗加酸循環(huán)系統(tǒng)，包括布置于酸洗箱內(nèi)的酸液入口和酸液出口、設(shè)于酸洗箱外側(cè)的連接于酸液入口和酸液出口之間的循環(huán)管道、設(shè)于循環(huán)管道上的酸泵，其特征在于：所述酸液出口處連接有一段前端封堵的PP-R熱熔管，所述PP-R熱熔管的外周均勻布滿圓通孔，所述酸泵的入口之前的循環(huán)管道上增設(shè)有一段過濾管道，所述過濾管道狀似三通管，其由與酸液流動方向平行的水平連接段和連接于水平連接段下方的后傾段組成，所述后傾段向酸泵的方向傾斜且末端設(shè)有封堵蓋，所述水平連接段靠近酸泵側(cè)端部內(nèi)置有過濾網(wǎng)。其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用可靠，過濾效果好，延長了酸泵的使用壽命。
【IPC分類】B08B3/08
【公開號】CN205236514
【申請?zhí)枴緾N201521048306
【發(fā)明人】譚鑫, 王諳宇, 陳鵬, 王楠
【申請人】錦州陽光能源有限公司, 遼寧理工職業(yè)學(xué)院
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年12月16日