專利名稱：劃片機水霧清理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種保證劃片機正常工作用的防護裝置，特別是一種能夠在工件加工過程中實現(xiàn)清除所產(chǎn)生的水氣及霧狀物的劃片機水霧清理裝置。
背景技術(shù)：
砂輪劃片機是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的一個很重要的裝備，主要用于半導(dǎo)體芯片、太陽能電池等產(chǎn)品的生產(chǎn)。劃片機的主軸工作時刀盤高速旋轉(zhuǎn)，使得噴在刀上的切削油或冷卻液快速霧化，工件也會產(chǎn)生大量顆粒，會形成大量的含有多氯聯(lián)苯成分的浮游霧狀物，能引起頭疼和皮膚粗糙、紅腫，這些霧狀物如附著在皮膚上，會使人感到粘膩不適以及腐蝕皮膚；如附著在地板上，容易使人滑倒，發(fā)生意外傷害事故，其將危害人體健康和帶來安全隱患。劃片機長時間處在水霧中會使機器部件上產(chǎn)生污垢層，將腐蝕、降低部件強度和影響使用壽命，這種污垢若覆蓋在刀盤表面，會使切割的精度下降；污垢若覆蓋在電子元器件上，會使元器件腐蝕，失靈。這不僅影響機器的壽命，而且使切割質(zhì)量下降，降低工作效率，提高加工成本。因劃片機是高精密儀器，故一般都在恒溫室內(nèi)工作，為避免有毒油氣長時間的擴散，創(chuàng)造舒適工作環(huán)境，延長機床設(shè)備壽命和提升生產(chǎn)效率，現(xiàn)代大多的劃片機都配備了相應(yīng)的油霧吸除裝置。在其他同類產(chǎn)品中多數(shù)是采用排風(fēng)扇直接將潮濕的霧氣排到空氣中或室外。如排在室外，會造成環(huán)境的污染；如排在室內(nèi)，霧氣不但會降低室內(nèi)冷氣或暖氣的效果，使得空調(diào)費用大幅增加，而且將失去排氣的意義。
目前，國內(nèi)的工業(yè)冷卻油霧/廢氣凈化裝置一般采用常規(guī)的機械過濾和靜電吸附等凈化技術(shù)，在廢氣的排放路徑中加入過濾裝置以及吸附器，來消除部分油霧污染，成分主要以活性碳為主。主要是利用多微孔及巨大的表面張力等特性將廢氣中的有機溶劑吸附，使所排廢氣得到凈化。而靜電吸附裝置是通過靜電吸附器用靜電吸塵的原理來消除氣體中的雜質(zhì)。但是這兩種方法存在較大缺陷如凈化效率底、清洗周期短、維護成本高、易產(chǎn)生二次污染，更不能降解油霧中的有機物質(zhì)和異味。而且機床用吸霧裝置功率大、體積大、噪聲大，價格也很高。因此不能用于劃片機工件加工中心的水霧氣吸收、排放。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種劃片機水霧清理裝置，它結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，使用方便，明顯減少制造和維護成本，將霧狀物凈化處理、過濾后排到室外，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的水霧危害人體健康和帶來安全隱患的問題，從而減少對環(huán)境的污染，防止事故的發(fā)生，顯著提高生產(chǎn)效率，延長設(shè)備使用壽命。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的該裝置包括殼體及組裝殼體的蓋板、進、出氣接頭，其技術(shù)要點是所述殼體的進、出氣接頭組裝有前、后過濾網(wǎng)，前、后過濾網(wǎng)之間設(shè)置軸流風(fēng)扇，前過濾網(wǎng)與軸流風(fēng)扇之間設(shè)置水霧冷凝板，與殼體底部沉積室連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)。
由于本發(fā)明的殼體內(nèi)只設(shè)置前、后過濾網(wǎng)和冷凝板、軸流風(fēng)扇，即可避免有毒油氣擴散，改善工作環(huán)境條件，所以它結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，使用方便，明顯減少制造和維護成本。該裝置能將劃片機工件加工中心的水霧全部都吸入殼體的氣室內(nèi)，并通過其冷凝板和軸流風(fēng)扇的作用，將水霧經(jīng)冷凝后，使含有多氯聯(lián)苯成分的浮游霧狀物在氣室內(nèi)得以沉積凈化處理，使多氯聯(lián)苯的浮游顆粒隨著形成的冷凝水沉降，由殼體底部的沉積室排出。處理后的余氣中殘存的多氯聯(lián)苯的浮游顆粒，再經(jīng)過后過濾網(wǎng)進一步過濾，即可將凈化余氣排出。劃片機工件加工中心的霧狀物經(jīng)凈化處理、過濾后再排到下水管道中就能有效地解決現(xiàn)有技術(shù)存在的水霧不處理危害人體健康和帶來安全隱患的問題，從而減少對環(huán)境的污染，防止意外傷害事故的發(fā)生，顯著提高生產(chǎn)效率，延長設(shè)備使用壽命。
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。


圖1是本發(fā)明的一種具體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1沿A-A線的剖視圖。
圖中各序號說明1進氣接頭、2殼體、3前過濾網(wǎng)、4冷凝板、5軸流風(fēng)扇、6蓋板、7出氣接頭、8后過濾網(wǎng)、9下過濾網(wǎng)、10沉積室。
具體實施例方式
根據(jù)圖1-2詳細說明本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)。該裝置包括殼體2及組裝殼體2的蓋板6、進氣接頭1、出氣接頭7、沉積室等件。其中殼體2的規(guī)格、大小應(yīng)根據(jù)需要安裝在劃片機箱體內(nèi)，進氣接頭7通過軟管與工件加工中心連通，出氣接頭7通過排氣管連接到劃片機箱體外的下水管道中。進氣接頭1、出氣接頭7的通孔端組裝有前過濾網(wǎng)3、后過濾網(wǎng)8。在前過濾網(wǎng)3、后過濾網(wǎng)8之間設(shè)置軸流風(fēng)扇5。前過濾網(wǎng)3與軸流風(fēng)扇5之間設(shè)置水霧冷凝板4，與殼體2底部沉積室10連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)9。沉積室10的下方設(shè)置與下水管道連通的排水管(圖中未示出)。
該裝置工作時，軸流風(fēng)扇5將工件加工中心的水霧由進氣接頭1經(jīng)前過濾網(wǎng)3吸入到殼體2的氣室中。前過濾網(wǎng)3將比較大的粉塵顆粒擋在氣室外面，以防止大的粉塵顆粒進入氣室損傷軸流風(fēng)扇5。因在工件加工中心形成的水霧溫度比較高，當(dāng)其進入到氣室內(nèi)遇到較低溫的冷凝板4便立即形成冷凝水，使含有多氯聯(lián)苯成分的浮游霧狀物在氣室內(nèi)得以沉積凈化處理，使多氯聯(lián)苯的浮游顆粒隨著形成的冷凝水沉降，經(jīng)底部過濾網(wǎng)9過濾，冷凝水落入沉積室10中由排水管排出，多氯聯(lián)苯顆粒留在網(wǎng)上待統(tǒng)一處理。處理后的余氣中殘存的多氯聯(lián)苯的浮游顆粒，再經(jīng)過后過濾網(wǎng)利用多微孔及巨大的表面張力等特性，將廢氣中的雜質(zhì)進一步吸附過濾，由與出氣接頭7連接的排氣管排到下水管道中，以減少對環(huán)境的污染。
權(quán)利要求
1.一種劃片機水霧清理裝置，包括殼體及組裝殼體的蓋板、進、出氣接頭，其特征在于所述殼體的進、出氣接頭組裝有前、后過濾網(wǎng)，前、后過濾網(wǎng)之間設(shè)置軸流風(fēng)扇，前過濾網(wǎng)與軸流風(fēng)扇之間設(shè)置水霧冷凝板，與殼體底部沉積室連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)。
全文摘要
一種能夠在工件加工過程中實現(xiàn)清除所產(chǎn)生的水氣及霧狀物的劃片機水霧清理裝置，它包括殼體及組裝殼體的蓋板、進、出氣接頭，其技術(shù)要點是所述殼體的進、出氣接頭組裝有前、后過濾網(wǎng)，前、后過濾網(wǎng)之間設(shè)置軸流風(fēng)扇，前過濾網(wǎng)與軸流風(fēng)扇之間設(shè)置水霧冷凝板，與殼體底部沉積室連通的冷凝水通孔上方有下過濾網(wǎng)。結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，使用方便，明顯減少制造和維護成本，將霧狀物凈化處理、過濾后排到室外，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的水霧危害人體健康和帶來安全隱患的問題，從而減少對環(huán)境的污染，防止事故的發(fā)生，顯著提高生產(chǎn)效率，延長設(shè)備使用壽命。
文檔編號B01D50/00GK1899758SQ20061004714
公開日2007年1月24日 申請日期2006年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月7日
發(fā)明者馬巖, 余胡平, 劉榮才, 周志剛, 李民, 李艷麗, 袁慧珠, 白宇, 張明明, 孫家全, 鞠仁忠 申請人:沈陽儀表科學(xué)研究院