專利名稱：外延爐廢氣凈化器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廢氣處理裝置，尤其是一種對(duì)沉積的工藝廢氣進(jìn)行凈化處 理的外延爐廢氣凈化器。
背景技術(shù)：
在沉積工藝尾氣中含有多種有毒廢氣，這些有毒氣體必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的處理
達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣中。這些廢氣中有的能與水反應(yīng)，生成Si02和HCl 氣體等，而HC1等氣體和廢氣中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前， 美國(guó)、俄羅斯、日本等國(guó)大多采用水吸收型尾氣處理系統(tǒng)，采用水柱淋洗尾氣 和多孔填料吸收，但是在生產(chǎn)過(guò)程中外延爐的尾氣排放量并不是始終一致，大 部分的尾氣是在一次外延沉積結(jié)束后在短期內(nèi)排出，在大部分的時(shí)間內(nèi)尾氣排 放量不是很大，而且外延爐對(duì)廢氣量和負(fù)壓要求比較高，有的要求達(dá)到500Pa， 但國(guó)外的進(jìn)口設(shè)備負(fù)壓最高也只能達(dá)到400 Pa，有的用離心設(shè)備抽風(fēng)，但體積 較大，受各種條件限制，仍無(wú)法滿足要求，現(xiàn)有的外延爐尾氣凈化器不能實(shí)時(shí) 檢測(cè)外延爐的尾氣排放量、根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，而浪費(fèi)能源。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題時(shí)為了克服現(xiàn)有廢氣凈化器進(jìn)氣口負(fù)壓達(dá)不到、 以及不能實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐的尾氣排放量、根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速， 而浪費(fèi)能源的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種外延爐廢氣凈化器，它可提高設(shè)備 自生的負(fù)壓、根據(jù)廢氣的排放量控制電機(jī)的轉(zhuǎn)速，以達(dá)到節(jié)能的效果。
本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是 一種外延爐廢氣凈化器，具有殼體，殼體下方設(shè)置有密閉的水箱，殼體內(nèi)設(shè)置有橫隔板和縱隔板，將殼體 內(nèi)腔分隔成初次洗滌室、二次洗滌室和填料室，二次洗滌室設(shè)在初次洗漆室上 方，橫隔板中心開有通氣口，橫隔板與殼體間工作時(shí)形成水封，初次洗滌室底 部和填料室底部與水箱間工作時(shí)形成水封，殼體頂端裝有進(jìn)氣口，進(jìn)氣口通過(guò)
進(jìn)氣管道與初次洗滌室下部相通，初次洗滌室內(nèi)裝有大流量噴嘴噴淋裝置，二 次洗滌室內(nèi)裝有多個(gè)細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置，填料室的上部設(shè)置有填料室橫隔 板，填料室橫隔板上有孔，填料室橫隔板下方的填料室內(nèi)充填有填料，填料室 的頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝置，排泄錐噴嘴噴淋裝置下方設(shè)置有文丘里管， 文丘里管底部與填料室橫隔板固定連接，填料室橫隔板在對(duì)應(yīng)于文丘里管的管 口處還開設(shè)有與文丘里管的管口相配的孔，水箱頂端裝有向水箱補(bǔ)水的補(bǔ)水口、 水箱的底部裝有排污口和排凈口，初次洗滌室下部裝有通向殼體外的溢流管道， 溢流管道的溢流口高于初次洗滌室的底面，殼體外裝有循環(huán)泵組，循環(huán)泵組的 進(jìn)水口通入水箱液面下、出水口通過(guò)水管與大流量噴嘴噴淋裝置、細(xì)霧高速噴 嘴噴淋裝置及排泄錐噴嘴噴淋裝置相連，所述的填料室至少有兩個(gè)，填料室分 別通過(guò)一個(gè)通氣管道與二次洗滌室相通，通氣管道的進(jìn)口位于二次洗滌室上部， 出口正對(duì)填料室的排泄錐噴嘴噴淋裝置，填料室外部裝有排氣管道，排氣管道 下端接入各填料室下部。
本發(fā)明還設(shè)有實(shí)時(shí)檢測(cè)進(jìn)氣口的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝置、PID控制器和控 制循環(huán)泵組電機(jī)轉(zhuǎn)速的變頻器，進(jìn)氣口處安裝負(fù)壓檢測(cè)裝置，負(fù)壓檢測(cè)裝置接 入PID控制器的輸入端，變頻器接入PID控制器的輸出端，負(fù)壓檢測(cè)裝置對(duì)進(jìn) 氣口的負(fù)壓情況進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，并不斷的將檢測(cè)的數(shù)據(jù)傳入到PID控制器中， PID控制器對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)與工藝設(shè)定數(shù)據(jù)進(jìn)行比較計(jì)算并結(jié)合變頻器來(lái)控制循環(huán)泵組的電機(jī)的轉(zhuǎn)速，實(shí)現(xiàn)對(duì)循環(huán)泵組的PID控制。這樣一方面可以保證外延爐 尾氣排放口的負(fù)壓滿足工藝要求；另一方面，在外延沉積過(guò)程中外延爐的尾氣 排放量比較少的情況下，控制循環(huán)泵組的電機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到節(jié)能的效果。
本發(fā)明的有益效果是至少兩個(gè)排泄錐噴淋裝置同時(shí)工作，可提高設(shè)備的 自生負(fù)壓，最大可達(dá)到800 Pa，安裝負(fù)壓檢測(cè)裝置可對(duì)外延爐廢氣排放量實(shí)時(shí) 檢測(cè)，根據(jù)尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，在尾氣排放比較少的情況下，控制循環(huán) 泵組低速運(yùn)轉(zhuǎn)，以達(dá)到節(jié)能的效果。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。
圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是圖1的側(cè)視圖。
圖中l(wèi).殼體，2.水箱，5.初次洗滌室，6. 二次洗滌室，7.填料室，8.進(jìn) 氣口， 9.進(jìn)氣管道，IO.通氣管道，ll.大流量噴嘴噴淋裝置，12.細(xì)霧高速噴嘴 噴淋裝置，13.填料，14.排泄錐噴嘴噴淋裝置，15.排氣管，15-l.排氣口， 16. 文丘里管，17.補(bǔ)水口， 18.排污口， 19.排凈口， 20.溢流管道，21.循環(huán)泵組， 22.水管，23.填料室橫隔板，34.負(fù)壓檢測(cè)裝置，35.PID控制器，36.變頻器。
具體實(shí)施例方式
如圖l、 2所示， 一種外延爐廢氣凈化器的最佳實(shí)施例，具有殼體l，殼體 1下方設(shè)置有密閉的水箱2，殼體1內(nèi)設(shè)置有橫隔板3和縱隔板4，將殼體內(nèi)腔 分隔成初次洗滌室5、 二次洗滌室6和填料室7， 二次洗滌室6設(shè)在初次洗滌室 5上方，橫隔板3中心開有通氣口，橫隔板3與殼體1間工作時(shí)形成水封，初次 洗滌室5底部和填料室7底部與水箱2間工作時(shí)形成水封，殼體1頂端裝有進(jìn) 氣口 8，進(jìn)氣口 8通過(guò)進(jìn)氣管道9與初次洗滌室5下部相通，初次洗滌室5內(nèi)裝有大流量噴嘴噴淋裝置ll，二次洗滌室6內(nèi)裝有多個(gè)細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置12， 填料室7的上部設(shè)置有填料室橫隔板23，填料室橫隔板23上有孔，填料室橫隔 板23下方的填料室7內(nèi)充填有填料13，填料室7的頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝 置14，排泄錐噴嘴噴淋裝置14下方設(shè)置有文丘里管16，文丘里管16底部與填 料室橫隔板23固定連接，填料室橫隔板23在對(duì)應(yīng)于文丘里管16的管口處還開 設(shè)有與文丘里管16的管口相配的孔，水箱2頂端裝有向水箱2補(bǔ)水的補(bǔ)水口 17、 水箱2的底部裝有排污口 18和排凈口 19，初次洗滌室5下部裝有通向殼體1外 的溢流管道20，溢流管道20的溢流口高于初次洗滌室5的底面，殼體1外裝有 循環(huán)泵組21，循環(huán)泵組21的進(jìn)水口通入水箱2液面下、出水口通過(guò)水管22與 大流量噴嘴噴淋裝置11、細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置12及排泄錐噴嘴噴淋裝置14 相連，所述的填料室7至少有兩個(gè)，填料室7分別通過(guò)一個(gè)通氣管道10與二次 洗滌室6相通，通氣管道10的進(jìn)口位于二次洗滌室6上部，出口正對(duì)填料室7 的排泄錐噴嘴噴淋裝置14，填料室7外部裝有排氣管道15，排氣管道15下端 接入各填料室7下部，排氣管道15的上端為排氣口 15-1。
如圖1所示，所述的進(jìn)氣口 8處安裝負(fù)壓檢測(cè)裝置34，負(fù)壓檢測(cè)裝置34接 入PID控制器35的輸入端，變頻器36接入PID控制器35的輸出端，負(fù)壓檢測(cè) 裝置34可對(duì)排氣口 15-1的負(fù)壓實(shí)時(shí)檢測(cè)，根據(jù)尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，實(shí) 現(xiàn)對(duì)循環(huán)泵組21的控制。
權(quán)利要求
1.一種外延爐廢氣凈化器，具有殼體(1)，殼體(1)下方設(shè)置有密閉的水箱(2)，殼體(1)內(nèi)設(shè)置有橫隔板(3)和縱隔板(4)，將殼體內(nèi)腔分隔成初次洗滌室(5)、二次洗滌室(6)和填料室(7)，二次洗滌室(6)設(shè)在初次洗滌室(5)上方，橫隔板(3)中心開有通氣口，橫隔板(3)與殼體(1)間工作時(shí)形成水封，初次洗滌室(5)底部和填料室(7)底部與水箱(2)間工作時(shí)形成水封，殼體(1)頂端裝有進(jìn)氣口(8)，進(jìn)氣口(8)通過(guò)進(jìn)氣管道(9)與初次洗滌室(5)下部相通，初次洗滌室(5)內(nèi)裝有大流量噴嘴噴淋裝置(11)，二次洗滌室(6)內(nèi)裝有多個(gè)細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置(12)，填料室(7)的上部設(shè)置有填料室橫隔板(23)，填料室橫隔板(23)上有孔，填料室橫隔板(23)下方的填料室(7)內(nèi)充填有填料(13)，填料室(7)的頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)，排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)下方設(shè)置有文丘里管(16)，文丘里管(16)底部與填料室橫隔板(23)固定連接，填料室橫隔板(23)在對(duì)應(yīng)于文丘里管(16)的管口處還開設(shè)有與文丘里管(16)的管口相配的孔，水箱(2)頂端裝有向水箱(2)補(bǔ)水的補(bǔ)水口(17)、水箱(2)的底部裝有排污口(18)和排凈口(19)，初次洗滌室(5)下部裝有通向殼體(1)外的溢流管道(20)，溢流管道(20)的溢流口高于初次洗滌室(5)的底面，殼體(1)外裝有循環(huán)泵組(21)，循環(huán)泵組(21)的進(jìn)水口通入水箱(2)液面下、出水口通過(guò)水管(22)與大流量噴嘴噴淋裝置(11)、細(xì)霧高速噴嘴噴淋裝置(12)及排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)相連，其特征是所述的填料室(7)至少有兩個(gè)，填料室(7)分別通過(guò)一個(gè)通氣管道(10)與二次洗滌室(6)相通，通氣管道(10)的進(jìn)口位于二次洗滌室(6)上部，出口正對(duì)填料室(7)的排泄錐噴嘴噴淋裝置(14)，填料室(7)外部裝有排氣管道(15)，排氣管道(15)下端接入各填料室(7)下部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外延爐廢氣凈化器，其特征是還具有實(shí)時(shí)檢測(cè)進(jìn)氣口 (8)的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)、 PID控制器(35)和控制循 環(huán)泵組(21)電機(jī)轉(zhuǎn)速的變頻器(36)，進(jìn)氣口 (8)處安裝負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)， 負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)接入PID控制器(35)的輸入端，變頻器(36)接入PID 控制器(35)的輸出端。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種廢氣處理裝置，尤其是一種對(duì)沉積的工藝廢氣進(jìn)行凈化處理的外延爐廢氣凈化器。至少兩個(gè)填料室，填料室分別通過(guò)一個(gè)通氣管道與二次洗滌室相通，通氣管道的進(jìn)口位于二次洗滌室上部，出口正對(duì)填料室的排泄錐噴嘴噴淋裝置，填料室外部裝有排氣管道，排氣管道下端接入各填料室下部。至少兩個(gè)排泄錐噴淋裝置同時(shí)工作，可提高設(shè)備的自生負(fù)壓，最大可達(dá)到800Pa；負(fù)壓檢測(cè)裝置還可對(duì)外延爐廢氣排放量實(shí)時(shí)檢測(cè)，根據(jù)尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，在尾氣排放比較少的情況下，控制循環(huán)泵組低速運(yùn)轉(zhuǎn)，以達(dá)到節(jié)能的效果。
文檔編號(hào)B01D53/18GK101318096SQ20081002297
公開日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2008年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月4日
發(fā)明者張文光 申請(qǐng)人:張文光