專利名稱：一種廢氣二級處理凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及對廢氣的處理系統(tǒng)，尤其是一種對在多晶硅生產(chǎn)中所產(chǎn)生的酸性 廢氣的二級處理凈化裝置。。
背景技術(shù)：
隨著光伏產(chǎn)業(yè)的繁榮發(fā)展，越來越多的中小型企業(yè)開始對晶體硅材料進(jìn)行加工與 處理，而大多數(shù)的企業(yè)在對硅料進(jìn)行腐蝕時大多數(shù)的都是采用硝酸、氫氟酸和鹽酸的混合 液進(jìn)行產(chǎn)品腐蝕，從而就會產(chǎn)生主要成份為氮氧化物、少量的氟化氫氣體、少量的氯化氫氣 體和氯氫硅烷的揮發(fā)性氣體，并且所產(chǎn)生的酸性氣體的初始濃度都在150mg/m3以上。而根 據(jù)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》的要求，當(dāng)排氣筒高度為30m時，二級排放標(biāo)準(zhǔn)NOx的最高 允許排放濃度為M0mg/m3，最高允許排放速率為4. 4kg/h ；二級排放標(biāo)準(zhǔn)HF的最高允許排 放濃度為9mg/m3，最高允許排放速率為0. 59kg/h ；二級排放標(biāo)準(zhǔn)HCL的最高允許排放濃度 為100mg/m3，最高允許排放速率為1.4kg/h，因此，處理凈化后廢氣的排放濃度分別為N0X < 240mg/m3、HF < 9mg/m3、HCL < 100mg/m3。目前，為了達(dá)到這一標(biāo)準(zhǔn)要求，市場上對此類酸性氣體的處理方式是經(jīng)過一級濕 式凈化處理或其他簡單的廢氣處理方式，但是，由于在生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的大量的氮氧化 物、氟化氫氣體以及氯化氫氣體的特征表現(xiàn)為爆發(fā)性、間歇性的，而且濃度較高，所以簡單 的廢氣處理方式無法真正的對廢氣進(jìn)行完善全面的處理。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種一種結(jié)構(gòu)簡單、凈化廢氣效率高、最終 廢氣排放濃度小的廢氣二級處理凈化裝置。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種廢氣二級處理凈化裝置， 包括一級凈化塔、二級凈化塔以及能夠?qū)怏w從一級凈化塔壓入到二級凈化塔內(nèi)的風(fēng)機(jī)， 所述的一級凈化塔內(nèi)設(shè)置有第一耐腐蝕循環(huán)水泵、第一噴淋裝置和第一過濾填料裝置，所 述的一級凈化塔的出口處設(shè)置有脫液裝置。本實用新型的有益效果是，解決了背景技術(shù)中存在的缺陷，采用二級凈化處理的 方式，能夠?qū)⒐I(yè)生產(chǎn)中所產(chǎn)生的酸性廢氣更進(jìn)一步的進(jìn)行凈化處理，使得最后所排出的 廢水廢氣能夠達(dá)到大氣排放的標(biāo)準(zhǔn)。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。


圖1是本實用新型的優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、一級凈化塔；11、脫液裝置；2、二級凈化塔；21、脫霧裝置；3、風(fēng)機(jī)；31、風(fēng)
量調(diào)節(jié)閥；4、網(wǎng)狀過濾器。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡 化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān) 的構(gòu)成。如
圖1所示的一種廢氣二級處理凈化裝置，包括一級凈化塔1、二級凈化塔2以及 能夠?qū)怏w從一級凈化塔1壓入到二級凈化塔2內(nèi)的風(fēng)機(jī)3，所述的一級凈化塔1通過管道 連接風(fēng)機(jī)3的進(jìn)氣口，所述的二級凈化塔2通過管道與風(fēng)機(jī)3的出氣口相連接。本實用新型所述的風(fēng)機(jī)3為玻璃鋼離心式風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)3由變頻電機(jī)驅(qū)動工作，風(fēng)機(jī) 3內(nèi)具有由碳素鋼為骨架的葉輪，風(fēng)機(jī)3的出氣口設(shè)置有風(fēng)量調(diào)節(jié)閥31用以調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)3風(fēng) 量的大小。所述的風(fēng)機(jī)3數(shù)量設(shè)置為兩臺，一臺正常使用，另一臺作為備用風(fēng)機(jī)3，以根據(jù)運 行情況定期切換運行或故障切換運行。本實用新型所述的一級凈化塔1和二級凈化塔2內(nèi)都設(shè)置有耐腐蝕循環(huán)水泵、噴 淋裝置和過濾填料裝置，所述的一級凈化塔1的出口處設(shè)置有脫液裝置11，二級凈化塔2的 出口處設(shè)置有脫霧裝置21。本實用新型為了保證噴淋裝置的正常運行，在循環(huán)水泵入口設(shè)置了網(wǎng)狀過濾器4， 以防雜物進(jìn)入損壞水泵和堵塞噴嘴，影響使用。噴頭材質(zhì)為增強聚丙烯，經(jīng)一次注塑成型， 強度高、使用壽命長。本實用新型的凈化原理為酸性廢氣首先由風(fēng)機(jī)3吸入一級凈化塔1內(nèi)，廢氣由塔 內(nèi)的導(dǎo)流分布裝置分布后，與吸收溶液逆向直接交叉接觸處理，然后進(jìn)入內(nèi)筒填料區(qū)域進(jìn) 行多次液相反應(yīng)多次填料過濾，使廢氣在塔內(nèi)有較長的時間進(jìn)行充分過濾接觸，產(chǎn)生液膜 及噴淋發(fā)生傳質(zhì)反應(yīng)，確保達(dá)標(biāo)排放。含酸廢氣經(jīng)一級凈化塔1充分吸收凈化后，并經(jīng)過在 塔出口處設(shè)置的脫液裝置11，脫除系統(tǒng)中的水霧后，再由風(fēng)機(jī)3壓入二級凈化塔2，在塔內(nèi) 酸性廢氣與吸收液再次經(jīng)多層噴淋吸收和多層填料攔截吸收處理后，確保達(dá)標(biāo)排放，最后 經(jīng)塔出口處設(shè)置的脫霧裝置21除霧后經(jīng)排放筒排放大氣。廢水經(jīng)管道排入污水處理站，集 中處理。以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式
，各種舉例說明不對本實用 新型的實質(zhì)內(nèi)容構(gòu)成限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在閱讀了說明書后可以對以前所 述的具體實施方式
做修改或變形，而不背離實用新型的實質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求1. 一種廢氣二級處理凈化裝置，其特征在于包括一級凈化塔(1)、二級凈化塔O)以 及能夠?qū)怏w從一級凈化塔(1)壓入到二級凈化塔O)內(nèi)的風(fēng)機(jī)(3)，所述的一級凈化塔 (1)內(nèi)設(shè)置有第一耐腐蝕循環(huán)水泵、第一噴淋裝置和第一過濾填料裝置，所述的一級凈化塔 (1)的出口處設(shè)置有脫液裝置(11)。
專利摘要本實用新型涉及一種廢氣二級處理凈化裝置，包括一級凈化塔、二級凈化塔以及能夠?qū)怏w從一級凈化塔壓入到二級凈化塔內(nèi)的風(fēng)機(jī)，所述的一級凈化塔內(nèi)設(shè)置有第一耐腐蝕循環(huán)水泵、第一噴淋裝置和第一過濾填料裝置，所述的一級凈化塔的出口處設(shè)置有脫液裝置。本實用新型采用二級凈化處理的方式，能夠?qū)⒐I(yè)生產(chǎn)中所產(chǎn)生的酸性廢氣更進(jìn)一步的進(jìn)行凈化處理，使得最后所排出的廢水廢氣能夠達(dá)到大氣排放的標(biāo)準(zhǔn)。
文檔編號B01D53/75GK201906554SQ20102065748
公開日2011年7月27日 申請日期2010年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月14日
發(fā)明者蔣皓 申請人:江蘇恩菲防腐設(shè)備有限公司