本發(fā)明涉及尾氣處理設備，具體涉及一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)。

背景技術：

1、隨著可持續(xù)發(fā)展的不斷推進，各行業(yè)對于污染源的控制越來越嚴格，尤其對工業(yè)廢氣的排放要求較高，即對尾氣處理技術的要求也越來越高。其中半導體行業(yè)的生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的有害氣體或硅烷、磷烷、tma等易燃易爆氣體，這些尾氣在車間內(nèi)的濃度超標會對操作人員造成極大傷害，直接排放也會對環(huán)境造成極大的安全風險，因此需要對其進行及時的處理和釋放。目前現(xiàn)有技術中常用的尾氣處理方式為吸附法、燃燒法以及催化法等，但尾氣處理效率和處理效果并不理想，不利于生產(chǎn)的高效運行。另外尾氣處理裝置在長時間使用過程中，進氣管內(nèi)會累積較多的雜質，清理不及時會影響后續(xù)的制程氣體的處理效果和工作效率，因此需要頻繁的清理，人工拆卸開進行清理，操作較為繁瑣，維護不便。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，以解決上述背景技術中存在的現(xiàn)有技術問題。

2、為解決上述的技術問題，本發(fā)明提供的技術方案為：提供了一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，包括主腔體、等離子發(fā)生器、冷卻腔體、排水箱、多級分離塔以及清理裝置，所述主腔體內(nèi)連接有多個用于引入制程氣體的進氣管，所述等離子發(fā)生器設置在主腔體的頂端，所述冷卻腔體設置在主腔體的外側和下方，所述排水箱設置在冷卻腔體的下方，所述多級分離塔設置在主腔體的一側且底端與排水箱連通設置，用于水汽分離，所述清理裝置設置在進氣管上，用于雜質清理。

3、在上述技術方案基礎上，所述清理裝置包括驅動機構以及彈性清理部，所述驅動機構設置在進氣管外側壁上且自由端延伸至進氣管內(nèi)，所述彈性清理部固定設置在驅動機構的自由端且由驅動機構驅動滑動。

4、在上述技術方案基礎上，所述清理裝置還包括吹氣機構，所述吹氣機構包括進氣口以及吹氣管，所述進氣口設置在驅動機構側壁上，所述吹氣管設置在驅動機構的自由端，所述驅動機構設置為內(nèi)部中空結構且一端與進氣口連通，另一端與吹氣管連通。

5、在上述技術方案基礎上，所述冷卻腔體包括一級冷卻腔和二級冷卻腔，所述一級冷卻腔設置在主腔體的外側，所述二級冷卻腔設置在主腔體的下方，所述二級冷卻腔頂端與主腔體連通，底端與排水箱連通。

6、在上述技術方案基礎上，所述一級冷卻腔包括由內(nèi)向外依次設置的氣冷室以及循環(huán)水冷室，所述氣冷室內(nèi)填充有空氣，所述循環(huán)水冷室內(nèi)設置有循環(huán)冷卻水；所述二級冷卻腔包括渦旋水冷室以及水幕腔，所述渦旋水冷室內(nèi)設置有渦旋冷卻水，所述渦旋水冷室的內(nèi)側壁頂端設置有縫隙，所述水幕腔通過縫隙與渦旋水冷室貫通連接，所述水幕腔頂端與主腔體連通，底端與排水箱連通。

7、在上述技術方案基礎上，所述多級分離塔包括由下向上依次設置的一級分離室、二級分離室以及氣液分離室，所述一級分離室、二級分離室以及氣液分離室內(nèi)均設置有多個多孔擋板，所述多孔擋板之間均填充有用于冷凝的填料，所述一級分離室內(nèi)還設置有噴淋頭。

8、在上述技術方案基礎上，所述一級分離室與二級分離室之間設置有霧化室，所述霧化內(nèi)對稱設置有霧化頭。

9、在上述技術方案基礎上，所述氣液分離室內(nèi)還設置有第一分離板和第二分離板，所述第一分離板傾斜設置在氣液分離室內(nèi)側壁上，所述第二分離板傾斜設置在另一對稱的內(nèi)側壁上，所述第二分離板對應設置在第一分離板的間隔中。

10、在上述技術方案基礎上，所述排水箱內(nèi)設置有多個噴淋管，所述排水箱內(nèi)還設置有循環(huán)泵。

11、在上述技術方案基礎上，還包括冷熱交換器，所述冷熱交換器設置在循環(huán)冷卻水的管路上。

12、本發(fā)明提供的技術方案產(chǎn)生的有益效果在于：

13、1、本發(fā)明中提供了一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，采用等離子電弧的方式對需要處理的制程氣體進行分解，然后再多級冷卻和噴淋，將處理后的尾氣中可溶于水的氣體進行溶解，隨廢水排出，其他的氣體再進入多級分離塔，進行水汽分離，直至符合條件后排出；尾氣處理效率高，處理更加徹底，處理效果好。同時通過在進氣管中設置有清理裝置，尤其是在靠近進氣管折彎處，可以在長期使用過程中進氣管內(nèi)累積的雜質進行清理，使用更加方便，減少對制程氣體處理效果的影響。

14、2、通過在主腔體的外側和下方設置有多級冷卻腔，每級冷卻腔還設置有多個冷卻腔室，對主腔體內(nèi)處理后的高溫氣體進行有效降溫，冷卻效果更好。同時還可以對氣體進行進一步噴淋洗滌處理，將氣體中水溶性氣體溶解，改善尾氣處理效果。

15、3、經(jīng)過冷卻的氣體進入后段處理即進入多級分離塔內(nèi)，從底端依次經(jīng)過一級分離室、二級分離室以及氣液分離室，對氣體中的水汽進行分離，經(jīng)過多級水汽分離后，水汽分離更加徹底，改善尾氣處理效果；更優(yōu)選的，所述一級分離腔室和二級分離腔室可以根據(jù)處理的氣體設置有多個，將氣液分離更加完全。

技術特征：

1.一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括主腔體(1)、等離子發(fā)生器(2)、冷卻腔體(3)、排水箱(4)、多級分離塔(5)以及清理裝置(6)，所述主腔體(1)內(nèi)連接有多個用于引入制程氣體的進氣管(11)，所述等離子發(fā)生器(2)設置在主腔體(1)的頂端，所述冷卻腔體(3)設置在主腔體(1)的外側和下方，所述排水箱(4)設置在冷卻腔體(3)的下方，所述多級分離塔(5)設置在主腔體(1)的一側且底端與排水箱(4)連通設置，用于水汽分離，所述清理裝置(6)設置在進氣管(11)上，用于雜質清理。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述清理裝置(6)包括驅動機構(61)以及彈性清理部(62)，所述驅動機構(61)設置在進氣管(11)外側壁上且自由端延伸至進氣管(11)內(nèi)，所述彈性清理部(62)固定設置在驅動機構(61)的自由端且由驅動機構(61)驅動滑動。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述清理裝置(6)還包括吹氣機構，所述吹氣機構包括進氣口(63)以及吹氣管(64)，所述進氣口(63)設置在驅動機構(61)側壁上，所述吹氣管(64)設置在驅動機構(61)的自由端，所述驅動機構(61)設置為內(nèi)部中空結構且一端與進氣口(63)連通，另一端與吹氣管(64)連通。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻腔體(3)包括一級冷卻腔(31)和二級冷卻腔(32)，所述一級冷卻腔(31)設置在主腔體(1)的外側，所述二級冷卻腔(32)設置在主腔體(1)的下方，所述二級冷卻腔(32)頂端與主腔體(1)連通，底端與排水箱(4)連通。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述一級冷卻腔(31)包括由內(nèi)向外依次設置的氣冷室(311)以及循環(huán)水冷室(312)，所述氣冷室(311)內(nèi)填充有空氣，所述循環(huán)水冷室(312)內(nèi)設置有循環(huán)冷卻水；所述二級冷卻腔(32)包括渦旋水冷室(321)以及水幕腔(322)，所述渦旋水冷室(321)內(nèi)設置有渦旋冷卻水，所述渦旋水冷室(321)的內(nèi)側壁頂端設置有縫隙(33)，所述水幕腔(322)通過縫隙(33)與渦旋水冷室(321)貫通連接，所述水幕腔(322)頂端與主腔體(1)連通，底端與排水箱(4)連通。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述多級分離塔(5)包括由下向上依次設置的一級分離室(51)、二級分離室(52)以及氣液分離室(53)，所述一級分離室(51)、二級分離室(52)以及氣液分離室(53)內(nèi)均設置有多個多孔擋板(54)，所述多孔擋板(54)之間均填充有用于冷凝的填料，所述一級分離室(51)內(nèi)還設置有噴淋頭(55)。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述一級分離室(51)與二級分離室(52)之間設置有霧化室(56)，所述霧化(56)內(nèi)對稱設置有霧化頭(561)。

8.根據(jù)權利要求6所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述氣液分離室(53)內(nèi)還設置有第一分離板(531)和第二分離板(532)，所述第一分離板(531)傾斜設置在氣液分離室(53)內(nèi)側壁上，所述第二分離板(532)傾斜設置在另一對稱的內(nèi)側壁上，所述第二分離板(532)對應設置在第一分離板(531)的間隔中。

9.根據(jù)權利要求1所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述排水箱(4)內(nèi)設置有多個噴淋管(41)，所述排水箱(4)內(nèi)還設置有循環(huán)泵(8)。

10.根據(jù)權利要求5所述的一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括冷熱交換器(9)，所述冷熱交換器(9)設置在循環(huán)冷卻水的管路上。

技術總結
本發(fā)明涉及尾氣處理設備技術領域，具體涉及一種等離子水洗式尾氣處理系統(tǒng)，包括主腔體、等離子發(fā)生器、冷卻腔體、排水箱、多級分離塔以及清理裝置；采用等離子電弧的方式對需要處理的制程氣體進行分解，然后再多級冷卻和噴淋，將處理后的尾氣中可溶于水的氣體進行溶解，隨廢水排出，其他的氣體再進入多級分離塔，進行水汽分離，直至符合條件后排出；尾氣處理效率高，處理效果好。同時通過在進氣管中設置有清理裝置，尤其是在靠近進氣管折彎處，可以在長期使用過程中進氣管內(nèi)累積的雜質進行清理，使用更加方便，減少對制程氣體處理效果的影響。通過后續(xù)多級冷卻以及多級水汽分離，對氣體進行進一步處理，水汽分離徹底，改善尾氣處理效果。

技術研發(fā)人員：崔漢博,崔漢寬,陳剛,王占杰
受保護的技術使用者：上海高笙集成電路設備有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/17