單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及工業(yè)生產(chǎn)中粉塵除塵器技術領域，屬于單晶硅、多晶硅工業(yè)生產(chǎn)中工藝粉塵處理的簡諧式除塵器。
【背景技術】
[0002]現(xiàn)有的工業(yè)除塵器按除塵作用力原理可分為“干式”和“濕式”兩種基本類型。干法除塵以工作原理分，包括重力式、慣性式、離心式、袋式、靜電式等。濕式除塵是通過噴淋液體進行除塵。
[0003]而袋式除塵器適用于捕集細小、干燥、非纖維性粉塵。對細粉塵除塵效率高，一般達99%以上，可以用在凈化要求很高的場合。適應性強，可捕集各類性質(zhì)的粉塵，且不因粉塵的比電阻等性質(zhì)而影響除塵效率，適應的煙塵濃度范圍廣。便于回收物料，沒有污染、廢水等二次污染。但袋式除塵器一般是用于常壓狀態(tài)下使用，還沒有用在真空狀態(tài)下的情況。
[0004]單晶硅、多晶硅的生產(chǎn)過程中要求較高的工藝環(huán)境。整個生產(chǎn)過程需在真空環(huán)境下且氣壓不能有劇烈變化。原料硅在加熱過程中會產(chǎn)生少量持續(xù)性揮發(fā)，揮發(fā)物離開坩禍后會冷卻凝聚成細小粉塵，并最終進入真空栗混入真空油。被污染的真空油不僅增加真空栗的磨損，更重要的是真空油被污染到一定程度將極大影響真空栗的工作能力?，F(xiàn)階段單晶硅、多晶硅的連續(xù)生產(chǎn)時間約為140h，超過此時限真空栗會因真空油的污染而影響工作能力，導致無法產(chǎn)生單晶硅、多晶硅生產(chǎn)所需的真空環(huán)境。此時將被迫停爐，更換真空油方能繼續(xù)生產(chǎn)。
[0005]目前，單晶硅、多晶硅的除塵是通過簡單的過濾器進行除塵，其除塵效果差，難以滿足使用要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，它在坩禍和真空栗之間構建一過濾系統(tǒng)，有效過濾揮發(fā)的硅粉塵，實現(xiàn)在線清灰，降低真空油的污染，極大延長真空栗的連續(xù)工作時間從而延長單晶硅、多晶硅的連續(xù)生產(chǎn)時間，并減少頻繁更換真空油的設備、時間、人工、原料成本。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案:
[0008]—種單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，它包括有能承受真空負壓的殼體
(1)，在殼體內(nèi)的下部設有濁氣室(2)，濁氣室(2)側壁設有進氣口(4)，在進氣口(4)下部設有清灰口(3)，在殼體內(nèi)的進氣口(4)上部裝有花板(5)，該花板(5)將殼體⑴分割為上部凈氣室(7)及下部濁氣室(2);該花板(5)上端與布袋(6)下端相連，該布袋(6)上端通過連桿⑶與活動吊架(9)相連；該活動吊架(9)通過彈簧(10)與上端的固定吊架(11)相連，該固定吊架(11)兩端固定在殼體(1)內(nèi)側壁上；在殼體(1)的上部連接有封頭(12)，該封頭(12)上裝有出氣口(13)，在封頭(12)內(nèi)還裝有密封的電磁鐵(14)，該電磁鐵(14)的下端連接有推桿(15)，該推桿(15)的下端設置在活動吊架(9)上。
[0009]其中，所述的布袋(6)通過下部卡箍與花板(5)上的開孔緊密連接，布袋上端為封閉狀。
[0010]其中，活動吊架(9)通過連桿(8)將若干數(shù)量布袋(6)連接為一個整體。
[0011]其中，彈簧(10)將活動吊架(9)與固定吊架(11)連接，并通過彈簧(10)的拉力使布袋(6)單向拉伸。
[0012]其中，所述進氣口(4)與加熱爐出口相連，出氣口(13)與真空栗相連。
[0013]其中，加熱爐工作時產(chǎn)生的塵氣由進氣口(4)進入濁氣室(2)，濁氣通過布袋(6)過濾進入凈氣室(7)，粉塵雜質(zhì)留在布袋￠)內(nèi)側，凈氣通過出氣口(13)最終進入真空栗。
[0014]本發(fā)明的有益效果是:使用本發(fā)明的諧振式除塵器過濾單晶硅、多晶硅的生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的硅粉塵，極大減少了其對真空油的污染，在極大延長真空油的更換周期同時最重要的是極大延長了單晶硅、多晶硅的連續(xù)生產(chǎn)時間，大大降低設備、時間、人工、原料成本。
【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明的結構示意圖。
[0016]附圖標號:1、除塵器殼體；2、濁氣室；3、清灰口 ；4、除塵器入口 ；5、花板；6、布袋；
7、凈氣室；8、連桿；9、活動吊架；10、彈簧；11、固定吊架；12、頂蓋；13、除塵器出口 ；14、電磁鐵；15、推桿。
【具體實施方式】
[0017]參見圖1所示:一種單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，它包括有能承受真空負壓的殼體1，在殼體內(nèi)的下部設有濁氣室2，濁氣室2側壁設有進氣口 4，在進氣口 4下部設有清灰口 3，在殼體內(nèi)的進氣口 4上部裝有花板5，該花板5將殼體1分割為上部凈氣室7及下部濁氣室2 ;該花板5上端與布袋6下端相連，該布袋6上端通過連桿8與活動吊架9相連；該活動吊架9通過彈簧10與上端的固定吊架11相連，該固定吊架11兩端固定在殼體1內(nèi)側壁上；在殼體1的上部連接有封頭12，該封頭12上裝有出氣口 13，在封頭12內(nèi)還裝有密封的電磁鐵14，該電磁鐵14的下端連接有推桿15，該推桿15的下端設置在活動吊架9上。
[0018]其中，所述的布袋6通過下部卡箍與花板5上的開孔緊密連接，布袋上端為封閉狀。
[0019]其中，活動吊架9通過連桿8將若干數(shù)量布袋6連接為一個整體。
[0020]其中，彈簧10將活動吊架9與固定吊架11連接，并通過彈簧10的拉力使布袋6單向拉伸。
[0021]其中，所述進氣口 4與加熱爐出口相連，出氣口 13與真空栗相連。
[0022]其中，加熱爐工作時產(chǎn)生的塵氣由進氣口 4進入濁氣室2，濁氣通過布袋6過濾進入凈氣室7，粉塵雜質(zhì)留在布袋6內(nèi)側，凈氣通過出氣口 13最終進入真空栗。
[0023]當布袋6內(nèi)側粉塵堆積到一定程度，清灰裝置開始分區(qū)運作。電磁鐵14與推桿15相連。當電磁鐵14通電后推桿15伸出，推力作用于活動吊架9，活動吊架9下移彈簧8拉伸，布袋6由單向拉伸狀態(tài)變?yōu)榍逘顟B(tài)。當電磁鐵14斷電后推桿15縮回，彈簧8回彈，活動吊架9在彈簧8作用下加速上移，布袋6由曲褶狀態(tài)迅速變?yōu)閱蜗蚶鞝顟B(tài)。布袋由曲褶狀態(tài)迅速變?yōu)閱蜗蚶鞝顟B(tài)過程中伴隨著大量的勢能轉(zhuǎn)化，彈簧8的大量彈性勢能迅速轉(zhuǎn)化為布袋6的彈性勢能，此過程中布袋6纖維出現(xiàn)高頻而劇烈弦振，從而使附著的粉塵剝落到濁氣室2內(nèi)，以達到清灰效果。
[0024]當下部濁氣室2灰塵儲滿，需停爐并打開下部清灰口 3手動清除粉塵。濁氣室2空間很大，一次可存儲大量粉塵，因此清灰周期很長。
[0025]本發(fā)明過濾效率高，儲灰量大，清灰周期長。極大減少粉塵對真空油的污染，可極大延長單晶硅、多晶硅的連續(xù)生產(chǎn)時間。機械清灰效果好且動作幅度小，幾乎不會造成爐內(nèi)氣壓波動。
[0026]以上所述是本發(fā)明的較佳實施例及其所運用的技術原理，對于本領域的技術人員來說，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，任何基于本發(fā)明技術方案基礎上的等效變換、簡單替換等顯而易見的改變，均屬于本發(fā)明保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，它包括有能承受真空負壓的殼體(I)，在殼體內(nèi)的下部設有濁氣室(2)，濁氣室(2)側壁設有進氣口(4)，在進氣口(4)下部設有清灰口(3)，在殼體內(nèi)的進氣口(4)上部裝有花板(5)，該花板(5)將殼體⑴分割為上部凈氣室(7)及下部濁氣室(2);該花板(5)上端與布袋(6)下端相連，該布袋(6)上端通過連桿⑶與活動吊架(9)相連；該活動吊架(9)通過彈簧(10)與上端的固定吊架(11)相連，該固定吊架(11)兩端固定在殼體(I)內(nèi)側壁上；在殼體(I)的上部連接有封頭(12)，該封頭(12)上裝有出氣口(13)，在封頭(12)內(nèi)還裝有密封的電磁鐵(14)，該電磁鐵(14)的下端連接有推桿(15)，該推桿(15)的下端設置在活動吊架(9)上。2.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，所述的布袋(6)通過下部卡箍與花板(5)上的開孔緊密連接，布袋上端為封閉狀。3.根據(jù)權利要求2所述的單晶娃、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，活動吊架(9)通過連桿(8)將若干數(shù)量布袋(6)連接為一個整體。4.根據(jù)權利要求3所述的單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，彈簧(10)將活動吊架(9)與固定吊架(11)連接，并通過彈簧(10)的拉力使布袋(6)單向拉伸。5.根據(jù)權利要求4所述的單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，所述進氣口(4)與加熱爐出口相連，出氣口(13)與真空栗相連。6.根據(jù)權利要求5所述的單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，其特征在于，加熱爐工作時產(chǎn)生的塵氣由進氣口(4)進入濁氣室(2)，濁氣通過布袋(6)過濾進入凈氣室(7)，粉塵雜質(zhì)留在布袋￠)內(nèi)側，凈氣通過出氣口(13)最終進入真空栗。
【專利摘要】一種單晶硅、多晶硅簡諧式除塵器，它包括有能承受真空負壓的殼體、濁氣室、進氣口、清灰口，在殼體內(nèi)的進氣口上部裝有花板，該花板將殼體分割為上部凈氣室及下部濁氣室；該花板上端與布袋下端相連，該布袋上端通過連桿與活動吊架相連；該活動吊架通過彈簧與上端的固定吊架相連，該固定吊架兩端固定在殼體內(nèi)側壁上；在殼體的上部連接有封頭，該封頭上裝有出氣口，在封頭內(nèi)還裝有密封的電磁鐵，該電磁鐵的下端連接有推桿，該推桿的下端設置在活動吊架上。本發(fā)明的有益效果是：使用本發(fā)明極大減少了其對真空油的污染，在極大延長真空油的更換周期同時最重要的是極大延長了單晶硅、多晶硅的連續(xù)生產(chǎn)時間，大大降低設備、時間、人工、原料成本。
【IPC分類】B01D46/02
【公開號】CN105251281
【申請?zhí)枴緾N201510836584
【發(fā)明人】劉峰岳, 師洋, 劉喆
【申請人】北京中興匯融節(jié)能科技有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年11月26日