帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種精餾領(lǐng)域，尤其是一種帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]近幾年，隨著電子產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，芯片制造行業(yè)也在突飛猛進(jìn)的發(fā)展，芯片的氧化膜越來越薄。制造芯片時，需要用硝酸對其進(jìn)行清洗和腐蝕，硝酸純度的高低對芯片的成品率起著關(guān)鍵性的作用。即，硝酸純度越高，芯片的成品率越高。因此，人們非?？释玫礁呒兌鹊南跛?。
[0003]目前，高純度的硝酸主要是通過硝酸精餾裝置來制造?，F(xiàn)有硝酸精餾裝置包括精餾釜、為精餾釜加熱的加熱單元、設(shè)于精餾釜下方的輸入管、設(shè)于精餾釜上方輸出管、及串接于輸出管處的冷凝管。其中，加熱單元一般采用電熱絲包裹于精餾釜周壁上，通過這種方式對精餾釜進(jìn)行加熱。但是，這種方式的加熱效果并不理想，尤其是不便于精餾釜中間的硝酸原料的迅速加熱。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，加熱效果好，減少熱能損耗的帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備。
[0005]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，包括有精餾釜、及用于為精餾釜加熱的所述加熱組件，所述精餾釜底部設(shè)有精餾進(jìn)口、頂部設(shè)有精餾出口，該精餾出口處串接有冷凝管，所述加熱組件為電熱絲，所述精餾釜內(nèi)部安裝有加熱管道，該加熱管道的兩管口端分別穿過精餾釜側(cè)壁、且延伸至精餾釜外部；加熱管道和精餾釜側(cè)壁的交接處密封設(shè)置；電熱絲穿設(shè)于加熱管道內(nèi)。
[0006]本實用新型的有益效果是:加熱管道直接穿設(shè)于精餾釜內(nèi)，這樣可以更好地與精餾釜內(nèi)的硝酸進(jìn)行接觸，使得硝酸能得到快速加熱，特別是對于精餾釜中心位置的硝酸原料的加熱效果更是直接有效，有利于提高加熱效率，減少熱能損耗。
[0007]為了在有限的空間內(nèi)提高加熱效率，所述加熱管道呈螺旋狀結(jié)構(gòu)設(shè)置。
[0008]由于電熱絲和精餾釜是直接接觸的，為了保證精餾釜受熱均勻，則電熱絲外套設(shè)有由石棉網(wǎng)制成的隔套。
[0009]為了提高加熱效率和加熱效果，所述加熱管道位于精餾釜的下部。
[0010]為了減少熱量的損耗，進(jìn)一步設(shè)置為，精餾釜的外表面包覆有保溫層。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步描述:
[0013]如圖1所示，本實施例包括精餾釜1、及用于為精餾釜1加熱的加熱組件，精餾釜1底部設(shè)有精餾進(jìn)口 11、頂部設(shè)有精餾出口 12，該精餾出口 12處串接有冷凝管2。其中，加熱組件為電熱絲3，該電熱絲3外套設(shè)有由石棉網(wǎng)制成的隔套(未畫出)，在精餾釜1內(nèi)部還安裝有加熱管道4，該加熱管道4具有兩管口 41，該兩管口 41端部分別穿過精餾釜1側(cè)壁、且裸露于精餾釜1的外部。加熱管道4和精餾釜1側(cè)壁的交接處密封設(shè)置，電熱絲3穿設(shè)于加熱管道4內(nèi)。加熱管道4位于精餾釜1的下部，且加熱管道4呈螺旋狀結(jié)構(gòu)設(shè)置。為了減少熱量的損耗，精餾釜1的外表面包覆有保溫層(未畫出)。
[0014]本實用新型中，加熱管道4直接穿設(shè)于精餾釜1內(nèi)，這樣可以更好地與精餾釜1內(nèi)的硝酸進(jìn)行接觸，使得硝酸能得到快速加熱，特別是對于精餾釜1中心位置的硝酸原料的加熱效果更是直接有效，有利于提高加熱效率，減少熱能損耗。
【主權(quán)項】
1.一種帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，包括有精餾釜、及用于為精餾釜加熱的所述加熱組件，所述精餾釜底部設(shè)有精餾進(jìn)口、頂部設(shè)有精餾出口，該精餾出口處串接有冷凝管，其特征是，所述加熱組件為電熱絲，所述精餾釜內(nèi)部安裝有加熱管道，該加熱管道的兩管口端分別穿過精餾釜側(cè)壁、且延伸至精餾釜外部；加熱管道和精餾釜側(cè)壁的交接處密封設(shè)置；電熱絲穿設(shè)于加熱管道內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，其特征是:所述加熱管道呈螺旋狀結(jié)構(gòu)設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，其特征是:所述電熱絲外套設(shè)有由石棉網(wǎng)制成的隔套。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，其特征是:所述加熱管道位于精餾釜的下部。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，其特征是:所述精餾釜的外表面包覆有保溫層。
【專利摘要】本實用新型公開了一種帶加熱組件的硝酸精餾設(shè)備，包括有精餾釜、及用于為精餾釜加熱的所述加熱組件，所述精餾釜底部設(shè)有精餾進(jìn)口、頂部設(shè)有精餾出口，該精餾出口處串接有冷凝管，所述加熱組件為電熱絲，所述精餾釜內(nèi)部安裝有加熱管道，該加熱管道的兩管口端分別穿過精餾釜側(cè)壁、且延伸至精餾釜外部；加熱管道和精餾釜側(cè)壁的交接處密封設(shè)置；電熱絲穿設(shè)于加熱管道內(nèi)。加熱管道直接穿設(shè)于精餾釜內(nèi)，這樣可以更好地與精餾釜內(nèi)的硝酸進(jìn)行接觸，使得硝酸能得到快速加熱，特別是對于精餾釜中心位置的硝酸原料的加熱效果更是直接有效，有利于提高加熱效率，減少熱能損耗。
【IPC分類】B01D3/02, C01B21/46
【公開號】CN204952319
【申請?zhí)枴緾N201520598300
【發(fā)明人】阮岳峰
【申請人】浙江尚能電子材料有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年8月11日