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      酸性蝕刻液在線電解回收裝置及蝕刻液再生方法

      文檔序號:5277815閱讀:393來源:國知局
      專利名稱:酸性蝕刻液在線電解回收裝置及蝕刻液再生方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及原材料的回收循環(huán)利用領(lǐng)域,特別涉及一種印制電路板酸性蝕刻液在線電解回收銅裝置及蝕刻液再生方法。
      背景技術(shù)
      自從2009年開始,中國已成為全球最大的PCB生產(chǎn)國家。目前被廣泛應(yīng)用于生產(chǎn) PCB的蝕刻工藝的蝕刻液主要為堿性蝕刻液和酸性蝕刻液。隨著多層版生產(chǎn)量的增加和多層版層數(shù)的增加,酸性蝕刻液的用量逐年增加,酸性蝕刻液的用量已經(jīng)超過堿性蝕刻液。酸性氯化銅蝕刻液種類豐富,主要有HC1/CuC12、HCl/NaCl/CuCl2、HCl/NH4Cl/CuCl2等。在印制電路板生產(chǎn)過程中要經(jīng)過蝕刻液的蝕刻工藝來生產(chǎn)電路板,每年這些企業(yè)都要排放大量的酸性蝕刻廢液。因此,研究一種無任何污染排放的在線電解法再生酸性蝕刻廢液,具有積極的環(huán)境效益和經(jīng)濟效益。酸性蝕刻液再生方法主要分為化學(xué)再生法和電化學(xué)再生法,化學(xué)再生法如氯氣氧化法、氯酸鈉氧化法、雙氧水再生法等需加入氧化劑等物質(zhì),將Cu+氧化再生為Cu2+,但是總銅不斷增加,最終需要對外排出一部分的酸性蝕刻廢液以維持一定的總銅濃度,不僅污染環(huán)境,還會造成大量Cu和酸的浪費;電化學(xué)法(也叫電解法)再生酸性蝕刻廢液,不僅可以再生蝕刻液,還可以回收金屬銅,是目前再生回收酸性蝕廢刻液的主要方法。目前,已公開披露的酸性蝕刻液電解再生方法主要有基于析出氯氣的電解方法和基于不析出氯氣的電解再生方法。中國專利CN2861181Y公開的是基于析出氯氣的電解裝置(實用新型專利),該裝置由陰極電極板和陽極電極板以及介于兩者之間的幾塊具有陰陽兩極的電解板組成,這樣就組成了多個電解槽,為了增強電解效果,在具有陰陽兩極的電解板的陽極面包覆一層粘附有促進劑的紡織布匹,通過電化學(xué)反應(yīng)可以在電解槽陰極提銅,電解后的剩余液導(dǎo)入攪拌裝置,經(jīng)調(diào)整得到再生子液。這種電解方法會排放大量的氯氣和氫氣,需要專門的廢氣處理器進行處理,增加了設(shè)備的安全要求。中國專利CN 101532136A公開的是基于不析出氯氣的電解再生方法,以加入 0. 05-0. 5mol/L抑制劑的酸性蝕刻廢液為陽極液,以稀釋的銅的質(zhì)量濃度為15_40g/L的蝕刻廢液為陰極液,通過電解在陰極析出銅粉,電解結(jié)束后將陰陽極液按一定比例混合即可成為再生蝕刻液,但是此發(fā)明專利沒有在陰極陽極之間設(shè)置隔膜,且電解過程中陰極析出銅粉,還需通過過濾陰極液回收銅,操作難度加大。另一方面,陰極液需加大量水稀釋,電解過程中無法與蝕刻機對接在線連續(xù)工作,電解再生后需要排放部分廢液。中國專利CN 101748430A公開的也是一種酸性蝕刻液電解再生方法,該法采用陽離子交換膜將陰陽極室隔開,酸性蝕刻廢液經(jīng)過濾除雜后導(dǎo)入電解槽,以酸性蝕刻廢液為陽極液,以酸性蝕刻廢液中Cu+高于Cu2+為陰極液,通過電解反應(yīng)后,在陰極室內(nèi)沉積銅粉, 經(jīng)過陰陽極液的混合得到再生液。但是,該方法采用陽離子膜使陰極析銅困難,且電解過程中陰極析出銅粉,需要專門配置固液分離裝置,回收銅操作難度加大,且進入電解槽前的蝕刻廢液還要過濾除雜工序。另外此發(fā)明專利沒有防止陽極析氯的措施和方法。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的第一個目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種酸性蝕刻液在線電解回收裝置。本發(fā)明的第二個目的在于提供一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,可以將蝕刻槽排放的廢液再生回用的同時又沉積回收金屬銅,使PCB生產(chǎn)成本大大降低。且電解再生過程中不析出氯氣和氫氣,無廢液排放,是一種“環(huán)境友好型”工藝方法。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)酸性蝕刻液在線電解回收裝置,該裝置包括電解槽、陰極液儲存槽、陽極液儲存槽、調(diào)整槽、蝕刻機,所述的電解槽包括陰極室、陽極室和離子隔膜,離子隔膜將陰極室與陽極室隔開, 陰極室內(nèi)設(shè)置有陰極管,陽極室設(shè)置有陽極網(wǎng),陰極管和陽極網(wǎng)分別與電流控制裝置通過導(dǎo)線連接;所述的陰極液儲存槽與電解槽陰極室通過管道相連接,陽極液儲存槽與電解槽陽極室通過管道相連接,電解槽陰極室、陽極室分別與調(diào)整槽通過管道相連接,陽極液儲存槽、陰極液儲存槽及調(diào)整槽分別與蝕刻機通過管道連接,所述的各個管道中設(shè)有閥門。所述的離子隔膜為陰離子交換膜,選用陰離子交換膜可以阻止銅離子從陽極室遷入陰極室,提高陰極沉積效率。所述的陰極管為耐蝕刻液腐蝕及導(dǎo)電性好的鈦質(zhì)材料制成。所述的陽極網(wǎng)為DSA陽極,可以提高析氯電位,能有效防止電解過程中析出氯氣。所述的電解槽為一個陽極室和多個陰極室,多個陰極室并聯(lián)。采用一個陽極對多陰極,可以提高陰極沉積回收金屬銅的產(chǎn)能效率。本發(fā)明還提供一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,包括以下操作步驟(1)蝕刻開始前,將酸性蝕刻液導(dǎo)入電解槽和調(diào)整槽,酸性蝕刻液經(jīng)調(diào)整槽導(dǎo)入蝕刻機;(2)蝕刻進行時,酸性蝕刻液經(jīng)過蝕刻機產(chǎn)生蝕刻廢液,將蝕刻廢液導(dǎo)入陽極液儲存槽和陰極液儲存槽,電解槽陰極室電解得到陰極液及附著在陰極管上的金屬銅,陽極室電解得到陽極液,電解槽陰極室和陽極室電解液則分別由陰極液儲存槽和陽極液儲存槽補充,待調(diào)整槽內(nèi)酸性蝕刻液用完后,將電解槽陰極室電解得到的陰極液與陽極室電解得到的陽極液混合進入調(diào)整槽,繼續(xù)用于蝕刻機工作,并取出陰極管,將電解銅剝落。所述的電解槽內(nèi)電解過程根據(jù)蝕刻液的組分濃度不同可分為2 6個階段不等, 每個階段的陰極電流密度根據(jù)蝕刻液的組分濃度變化而調(diào)節(jié),其調(diào)節(jié)的陰極電流密度范圍為100 1500A/m2,陽極電流密度范圍為10 150A/m2。既可以提高陰極沉積回收銅的效率,降低電耗,又能有效的避免氫氣的析出。所述的電解槽內(nèi)電解液的流量為0. 8 1. 5m3/h。所述的調(diào)整槽內(nèi)比重范圍控制在1. 2 1. 4g/L,酸度范圍控制在1. 5 2. 5mol/ L,氧化還原電位值范圍控制在400 600mV。本發(fā)明的原理在于要達到在線生產(chǎn)過程,需要解決的技術(shù)難題就是整個系統(tǒng)的物料平衡,即保持銅、H+、Cl—的平衡,只要電解過程中不析出氯氣和氫氣,即可保持H+和 Cl—的平衡,銅平衡則需要求電解陰極沉積回收的金屬銅與蝕刻機蝕刻的銅平衡。本發(fā)明采用耐蝕刻液腐蝕及導(dǎo)電性好的鈦質(zhì)材料制成的陰極管作為陰極,采用DSA陽極,提高析氯電位,并將蝕刻機產(chǎn)生的Cu+離子導(dǎo)入電解槽陽極室,控制陽極電流密度范圍在10 150A/ m2之間,并通過循環(huán)泵流量大小來控制溶液傳質(zhì),可以防止氯離子放電產(chǎn)生氯氣;在陰極室,采取特殊的分步電解法,通過陰極電流密度的控制,同時通過循環(huán)泵流量大小來控制溶液的傳質(zhì),選取適當(dāng)?shù)碾x子膜,阻止Cu+和Cu2+由陽極區(qū)遷入陰極區(qū),使銅在陰極沉積粗化、 生成電解銅,同時可以避免陰極析出氫氣。陽極室內(nèi)發(fā)生陽極反應(yīng)為Cu+—Cu2++e ;陰極反應(yīng)為 Cu2++e — Cu+ ;Cu++e — Cu。將陰極液和陽極液混勻即可得到再生蝕刻液,可以保持整個蝕刻液體系的物料平衡,開始新一輪的工作循環(huán),再生蝕刻液,在電解工作0 8h內(nèi)滿足蝕刻液工作指標(biāo)范圍, 即 Cu2+120 180g/L, Cu+O 8g/L, H+L 5 2. 5mol/L, CF210 300g/L。酸性蝕刻液在線電解回收銅裝置及蝕刻液再生方法,可以將系統(tǒng)與蝕刻機對接形成閉路循環(huán)在線工作,蝕刻機工作后蝕刻液進入電解再生系統(tǒng),再生后蝕刻液又進入蝕刻機工作,可以循環(huán)利用蝕刻液,同時回收金屬銅,且電解過程中不排出廢氣、廢液,屬于“環(huán)境友好型”生產(chǎn)工藝。使用本發(fā)明裝置及再生方法,具有以下優(yōu)勢(1)可以達到與蝕刻機對接在線的工作狀態(tài),形成閉路循環(huán),大大節(jié)約蝕刻液成本又可以回收金屬銅,銅離子再生電效>98%,陰極沉積回收銅效率>95%,銅純度(質(zhì)量百分比)高于99% ;(2)工藝流程簡單,且工藝過程無“三廢”排放,屬于“環(huán)境友好型”和“資源節(jié)約型”的生產(chǎn)工藝;(3)除一次性設(shè)備投資外,幾乎不消耗其他化學(xué)試劑,無需補加鹽酸和蝕刻液等, 生產(chǎn)成本低;(4)設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積非常小,處理量可根據(jù)蝕刻工作量調(diào)整,易于推廣應(yīng)用。


      圖1為本發(fā)明實施的回收裝置平面結(jié)構(gòu)示意圖,1.陰極室2.陽極室3.陰極液儲存槽4.陽極液儲存槽5.調(diào)整槽6.電解槽7.蝕刻機。
      具體實施例方式下面結(jié)合實施例及附圖對本發(fā)明作進一步詳細的描述,但本發(fā)明的實施方式不限于此。如圖1所示,其是本發(fā)明實施的回收裝置平面結(jié)構(gòu)示意圖,提供一種酸性蝕刻液在線電解回收銅及蝕刻液再生系統(tǒng),該裝置包括電解槽6、陰極液儲存槽3與陽極液儲存槽 4,調(diào)整槽5、蝕刻機7,電解槽6包括陰極室1、陽極室2和離子隔膜,離子隔膜將陰極室與陽極室隔開,陰極室內(nèi)設(shè)置有陰極管和陽極室設(shè)置有陽極網(wǎng),陰極管和陽極網(wǎng)分別與電流控制裝置通過導(dǎo)線連接。陰極液儲存槽3、陽極液儲存槽4分別與電解槽陰極室1和陽極室2 通過管道相連接,電解槽陰極室1與陽極室2又與調(diào)整槽5通過管道相連接,陽極液儲存槽 4、陰極液儲存槽3及調(diào)整槽5與蝕刻機7通過管道連接,整個系統(tǒng)組成一個閉路循環(huán),各個管道中設(shè)有閥門。離子隔膜采用均相陰離子交換膜,具有選擇透過性,可以阻止Cu2+、Cu+遷移到陰極區(qū),使陰極沉積銅電效提高;陰極管為鈦質(zhì)材料制成;陽極網(wǎng)為DSA陽極。用以下實施例對本發(fā)明的酸性蝕刻液電解再生方法進行描述。實施例1配制含總銅為175g/L(Cu+2g/L)、氯270g/L、氫2. Og/L的酸性蝕刻液,用于蝕刻機工作,如圖1所示,(1)蝕刻開始前,將酸性蝕刻液導(dǎo)入電解槽6和調(diào)整槽5,酸性蝕刻液經(jīng)調(diào)整槽5 導(dǎo)入蝕刻機;(2)蝕刻進行時,酸性蝕刻液經(jīng)過蝕刻機產(chǎn)生蝕刻廢液,將蝕刻廢液導(dǎo)入陽極液儲存槽4和陰極液儲存槽3,電解槽陰極室1電解得到陰極液及附著在陰極管上的金屬銅,陽極室2電解得到陽極液,電解槽陰極室1和陽極室2電解液則分別由陰極液儲存槽3和陽極液儲存槽4補充,待調(diào)整槽5內(nèi)酸性蝕刻液用完后,將電解槽6陰極室1電解得到的陰極液與陽極室2電解得到的陽極液混合進入調(diào)整槽5,繼續(xù)用于蝕刻機工作,并取出陰極管, 將金屬銅剝落。每4h完成一個電解循環(huán),取出陰極,將陰極液與陽極液導(dǎo)入調(diào)整槽混合均勻即可得到再生蝕刻液,保持整個蝕刻液體系的物料平衡,即可開始新一輪的在線工作。電解槽電解過程分6個時段控制電流,每個時段電解4小時,陰極電流密度分別為 1500A/m2,1200A/m2、900A/m2、600A/m2、300A/m2、100A/m2,相對應(yīng)的陽極電流密度分別為 150A/m2、120A/m2、90A/m2、60A/m2、30A/m2、10A/m2。電解槽內(nèi)電解液的流量為 1. 5m3/h,調(diào)整槽內(nèi)比重范圍控制在1. 2 1. 4g/L,酸度范圍控制在1. 5 2. 5mol/L,氧化還原電位值范圍控制在400 600mV。沉積的銅附著在陰極上,化學(xué)分析表明(GB/T5246-2007),銅的純度為99. 3%,陰極沉積銅效率為95%,經(jīng)電解前后蝕刻液測試對比結(jié)果,H+和Cl_基本守恒,所以沒有氫氣和氯氣析出,銅離子再生電效為98 %。此再生液為含銅173g/L(Cu+3g/L)、氯267g/L、氫1. 9g/L的酸性蝕刻液。滿足蝕刻要求。實施例2配制含總銅155g/L(Cu+2g/L)、氯260g/L、氫1. 9g/L的酸性蝕刻液用于蝕刻機工作,如圖1所示,(1)蝕刻開始前,將酸性蝕刻液導(dǎo)入電解槽6和調(diào)整槽5,酸性蝕刻液經(jīng)調(diào)整槽5 導(dǎo)入蝕刻機;(2)蝕刻進行時,酸性蝕刻液經(jīng)過蝕刻機產(chǎn)生蝕刻廢液,將蝕刻廢液導(dǎo)入陽極液儲存槽4和陰極液儲存槽3,電解槽陰極室1電解得到陰極液及附著在陰極管上的金屬銅,陽極室2電解得到陽極液,電解槽陰極室1和陽極室2電解液則分別由陰極液儲存槽3和陽極液儲存槽4補充,待調(diào)整槽5內(nèi)酸性蝕刻液用完后,將電解槽6陰極室1電解得到的陰極液與陽極室2電解得到的陽極液混合進入調(diào)整槽5,繼續(xù)用于蝕刻機工作,并取出陰極管, 將金屬銅剝落。每6h完成一個電解循環(huán),取出陰極,將陰極液與陽極液導(dǎo)入調(diào)整槽混合均勻即可得到再生蝕刻液,保持整個蝕刻液體系的物料平衡,即可開始新一輪的在線工作。電解槽電解過程分4個時段控制電流,每個時段電解6小時,陰極電流密度分別為 1200A/m2、800A/m2、400A/m2、200A/m2,相對應(yīng)的陽極電流密度分別為 120A/m2、80A/m2、40A/ m2、20A/m2。電解槽內(nèi)電解液的流量為1. 0m3/h,調(diào)整槽內(nèi)比重范圍控制在1. 2 1. 4g/L,酸度范圍控制在1. 5 2. 5mol/L,氧化還原電位值范圍控制在400 600mV。沉積的銅附著在陰極上,化學(xué)分析表明(GB/T5246-2007),銅的純度為99. 5%,陰極沉積銅效率為96%,經(jīng)電解前后蝕刻液測試對比結(jié)果,H+和Cl_基本守恒,所以沒有氫氣和氯氣析出,銅離子再生電效為98 %。此再生液為含銅157g/L(Cu+3g/L)、氯256g/L、氫1. 8g/L的酸性蝕刻液。滿足蝕刻要求。實施例3 配制含總銅130g/L(Cu+2g/L)、氯250g/L、氫1. 8g/L的酸性蝕刻液用于蝕刻機工作,如圖1所示,(1)蝕刻開始前,將酸性蝕刻液導(dǎo)入電解槽6和調(diào)整槽5,酸性蝕刻液經(jīng)調(diào)整槽5 導(dǎo)入蝕刻機;(2)蝕刻進行時,酸性蝕刻液經(jīng)過蝕刻機產(chǎn)生蝕刻廢液,將蝕刻廢液導(dǎo)入陽極液儲存槽4和陰極液儲存槽3,電解槽陰極室1電解得到陰極液及附著在陰極管上的金屬銅,陽極室2電解得到陽極液,電解槽陰極室1和陽極室2電解液則分別由陰極液儲存槽3和陽極液儲存槽4補充,待調(diào)整槽5內(nèi)酸性蝕刻液用完后,將電解槽6陰極室1電解得到的陰極液與陽極室2電解得到的陽極液混合進入調(diào)整槽5,繼續(xù)用于蝕刻機工作,并取出陰極管,將金屬銅剝落。每10小時完成一個電解循環(huán),取出陰極,將陰極液與陽極液導(dǎo)入調(diào)整槽混合均勻即可得到再生蝕刻液,保持整個蝕刻液體系的物料平衡,即可開始新一輪的在線工作。電解槽電解過程分2個時段控制電流,每個時段電解10小時,陰極電流密度分別為600A/m2、200A/m2,相對應(yīng)的陽極電流密度分別為60A/m2、20A/m2。電解槽內(nèi)電解液的流量為0. 8m3/h,調(diào)整槽內(nèi)比重范圍控制在1. 2 1. 4g/L,酸度范圍控制在1. 5 2. 5mol/L,氧化還原電位值范圍控制在400 600mV。沉積的銅附著在陰極上,化學(xué)分析表明(GB/T5246-2007),銅的純度為99. 7%,陰極沉積銅效率為97%,經(jīng)電解前后蝕刻液測試對比結(jié)果,H+和Cl_基本守恒,所以沒有氫氣和氯氣析出,銅離子再生電效為99 %。此再生液為含銅132g/L(Cu+2g/L)、氯M8g/L、氫1. 7g/L的酸性蝕刻液。滿足蝕刻要求。上述所述的陰極室上沉積的金屬銅附著在陰極管上,將陰極取出,可容易的將電解銅剝落下來,沉積回收的銅純度高于99%,成型致密均勻,無枝晶,不會刺破隔膜,方法可
      靠性高。上述實施例為本發(fā)明較佳的實施方式,但本發(fā)明的實施方式并不受上述實施例的限制,其他的任何未背離本發(fā)明的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化, 均應(yīng)為等效的置換方式,都包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
      權(quán)利要求
      1.酸性蝕刻液在線電解回收裝置,其特征在于所述裝置包括電解槽、陰極液儲存槽、 陽極液儲存槽、調(diào)整槽、蝕刻機,所述的電解槽包括陰極室、陽極室和離子隔膜,離子隔膜將陰極室與陽極室隔開,陰極室內(nèi)設(shè)置有陰極管,陽極室設(shè)置有陽極網(wǎng),陰極管和陽極網(wǎng)分別與電流控制裝置通過導(dǎo)線連接;所述的陰極液儲存槽與電解槽陰極室通過管道相連接,陽極液儲存槽與電解槽陽極室通過管道相連接,電解槽陰極室、陽極室分別與調(diào)整槽通過管道相連接,陽極液儲存槽、陰極液儲存槽及調(diào)整槽分別與蝕刻機通過管道連接,所述的各個管道中設(shè)有閥門。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液在線電解回收裝置,其特征在于所述的離子隔膜為陰離子交換膜。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液在線電解回收裝置,其特征在于所述的陰極管為鈦質(zhì)材料制成的陰極管。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液在線電解回收裝置,其特征在于所述的陽極網(wǎng)為DSA陽極。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液在線電解回收裝置,其特征在于所述的電解槽為一個陽極室和多個陰極室,多個陰極室并聯(lián)。
      6.利用權(quán)利要求1所述裝置進行的一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,其特征在于包括以下操作步驟(1)蝕刻開始前,將酸性蝕刻液導(dǎo)入電解槽和調(diào)整槽,酸性蝕刻液經(jīng)調(diào)整槽導(dǎo)入蝕刻機;(2)蝕刻進行時,酸性蝕刻液經(jīng)過蝕刻機產(chǎn)生蝕刻廢液,將蝕刻廢液導(dǎo)入陽極液儲存槽和陰極液儲存槽,電解槽陰極室電解得到陰極液及附著在陰極管上的金屬銅,陽極室電解得到陽極液,電解槽陰極室和陽極室電解液則分別由陰極液儲存槽和陽極液儲存槽補充, 待調(diào)整槽內(nèi)酸性蝕刻液用完后,將電解槽陰極室電解得到的陰極液與陽極室電解得到的陽極液混合進入調(diào)整槽,繼續(xù)用于蝕刻機工作,并取出陰極管,將電解銅剝落。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,其特征在于所述的電解槽內(nèi)電解過程分為2 6個階段,每個階段的陰極電流密度范圍為100 1500A/m2,陽極電流密度范圍為10 150A/m2。
      8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,其特征在于所述的電解槽內(nèi)電解液的流量為0. 8 1. 5m3/h。
      9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,其特征在于所述的調(diào)整槽內(nèi)比重范圍控制在1.2 1.4g/L,酸度范圍控制在1.5 2. 5mol/L,氧化還原電位值范圍控制在400 600mV。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種酸性蝕刻液在線電解回收裝置及一種酸性蝕刻液在線電解再生方法,先將酸性蝕刻液導(dǎo)入電解槽和調(diào)整槽,酸性蝕刻液經(jīng)調(diào)整槽導(dǎo)入蝕刻機,將蝕刻廢液導(dǎo)入陰、陽極液儲存槽,電解槽陰極室電解得到陰極液及附著在陰極管上的金屬銅,陽極室電解得到陽極液,電解槽陰、陽極室電解液則分別由陰、陽極液儲存槽補充,調(diào)整槽內(nèi)酸性蝕刻液用完后,將電解槽電解得到的陰極液與陽極液混合進入調(diào)整槽,繼續(xù)用于蝕刻機工作,并取出陰極管,將電解銅剝落。本發(fā)明可以達到與蝕刻機對接在線的工作狀態(tài),形成閉路循環(huán),大大節(jié)約蝕刻液成本又可以回收金屬銅,銅離子再生電效≥98%,陰極沉積回收銅效率≥95%,銅純度高于99%。
      文檔編號C25C1/12GK102206835SQ20111013067
      公開日2011年10月5日 申請日期2011年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月19日
      發(fā)明者徐海清, 曾振歐, 胡耀紅, 袁國偉, 趙國鵬, 鐘洪勝, 陳力格 申請人:廣州市二輕工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究所, 廣州鴻葳科技股份有限公司
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