微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，包括電解槽和監(jiān)控電路；電解槽內(nèi)設(shè)有有機(jī)玻璃支架；有機(jī)玻璃支架上部設(shè)有擋板，擋板的中心設(shè)有針孔；有機(jī)玻璃支架與電解槽之間設(shè)有金屬銅片；鎢絲探針由導(dǎo)線連接實時監(jiān)控電路；監(jiān)控電路包括反饋電路和信號發(fā)生器；反饋電路由順序連接的采樣器、微分器、比較器、延時器、鎖存器、控制開關(guān)和直流穩(wěn)壓電源組成，采樣器連接三極管的集電極；信號發(fā)生器的正極連接三極管的基極，負(fù)極和金屬銅片連接；鎢絲探針與三極管的發(fā)射極連接，該裝置更具可控性和可靠性；通過有機(jī)玻璃架可直接影響針頭部分的殘余電流的分布，提高針尖的質(zhì)量，反饋電路的實時監(jiān)控又可提升高品質(zhì)形成的效率。
【專利說明】微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種微探針電化學(xué)研磨裝置，具體涉及一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前探針的電化學(xué)腐蝕過程中，多數(shù)采取電解鎢絲，傳統(tǒng)的方法是鎢絲作為陽極，不銹鋼作為陰極，在KOH或NaOH溶液中進(jìn)行電解。這種方法簡單易行，且制備高質(zhì)量的探針成功率較高。但是，也有其不足之處:(I)在鎢絲被腐蝕過程中，會有殘余電流使針尖質(zhì)量變差；(2)由于鎢絲在腐蝕過程中無法進(jìn)行實時監(jiān)控，對制備的探針針尖形狀很難控制，獲得高品質(zhì)曲率半徑微探針的偶然性較大。
實用新型內(nèi)容
[0003]為了解決上述問題，本實用新型提出了一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，與目前使用的電化學(xué)研磨裝置相比更具有可控性和可靠性；通過有機(jī)玻璃架可直接影響針頭部分的殘余電流的分布，提高針尖的質(zhì)量，與此同時，反饋電路的實時監(jiān)控又可提升聞品質(zhì)形成的效率。
[0004]本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，包括盛裝電解液的電解槽和實時監(jiān)控鎢絲探針腐蝕過程的監(jiān)控電路；所述電解槽內(nèi)設(shè)有一個縱截面為H型的有機(jī)玻璃支架；所述有機(jī)玻璃支架包括一個圓筒形主體，主體的上部設(shè)有圓形擋板，擋板的中心設(shè)有一個能夠穿入鎢絲探針的針孔；所述有機(jī)玻璃支架與電解槽之間設(shè)有縱截面為L形的金屬銅片；所述鎢絲探針由導(dǎo)線連接實時監(jiān)控電路；所述監(jiān)控電路包括一個反饋電路，和連接到該反饋電路的信號發(fā)生器；所述反饋電路由順序連接的采樣器、微分器、比較器、延時器、鎖存器、控制開關(guān)和直流穩(wěn)壓電源組成，其中采樣器由導(dǎo)線連接三極管的集電極；所述信號發(fā)生器的正極由導(dǎo)線連接三極管的基極，負(fù)極由導(dǎo)線和金屬銅片連接；鎢絲探針與三極管的發(fā)射極連接。
[0005]所述針孔的直徑為10mm。
[0006]在電解過程中，鎢絲探針穿過針孔進(jìn)入電解液進(jìn)行化學(xué)研磨；反饋電路通過即時采集到的電流或電壓信息做出即時的控制，實現(xiàn)對鎢絲探針腐蝕過程的實時監(jiān)控。
[0007]使用時，先將監(jiān)控電路連接好，通上電后，通過調(diào)節(jié)信號發(fā)生器的電壓、頻率和占空比來控制電化學(xué)研磨的狀態(tài)，再由反饋電路的實時監(jiān)控來判斷電解情況，最終制備出高質(zhì)量的鎢絲探針。
[0008]本實用新型的有益效果在于:一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，與目前使用的電化學(xué)研磨裝置相比更具有可控性和可靠性；通過有機(jī)玻璃架可直接影響針頭部分的殘余電流的分布，提高針尖的質(zhì)量，與此同時，反饋電路的實時監(jiān)控又可提升高品質(zhì)形成的效率?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。
[0010]附圖1為一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置的結(jié)構(gòu)原理圖。
[0011]圖中，1.電解槽，2.有機(jī)玻璃支架，3.金屬銅片，4.鎢絲探針，5.監(jiān)控電路，5-1.三極管，5-2.米樣器,5-3.微分器,5-4.比較器,5-5.延時器,5-6.鎖存器,5-7.控制開關(guān)，5-8.直流穩(wěn)壓電源，5-9.信號發(fā)生器。
【具體實施方式】
[0012]在附圖中，一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，包括盛裝電解液的電解槽I和實時監(jiān)控鎢絲探針4腐蝕過程的監(jiān)控電路5 ;所述電解槽I內(nèi)設(shè)有一個縱截面為H型的有機(jī)玻璃支架2 ;所述有機(jī)玻璃支架2包括一個圓筒形主體，主體的上部設(shè)有圓形擋板，擋板的中心設(shè)有一個能夠穿入鎢絲探針4的針孔；所述有機(jī)玻璃支架2與電解槽I之間設(shè)有縱截面為L形的金屬銅片3 ;所述鎢絲探針4由導(dǎo)線連接實時監(jiān)控電路5 ;所述監(jiān)控電路5包括一個反饋電路，和連接到該反饋電路的信號發(fā)生器5-9 ;所述反饋電路由順序連接的米樣器5-2、微分器5-3、比較器5-4、延時器5-5、鎖存器5_6、控制開關(guān)5_7和直流穩(wěn)壓電源5-8組成，其中采樣器5-2由導(dǎo)線連接三極管5-1的集電極；所述信號發(fā)生器5-9的正極由導(dǎo)線連接三極管5-1的基極，負(fù)極由導(dǎo)線和金屬銅片3連接；鎢絲探針4與三極管5-1的發(fā)射極連接。
[0013]所述針孔的直徑為10mm。
[0014]在電解過程中，鎢絲探針4穿過針孔進(jìn)入電解液進(jìn)行化學(xué)研磨；反饋電路通過即時采集到的電流或電壓信息做出即時的控制，實現(xiàn)對鎢絲探針4腐蝕過程的實時監(jiān)控。
[0015]使用時，先將監(jiān)控電路5連接好，通上電后，通過調(diào)節(jié)信號發(fā)生器5-9的電壓、頻率和占空比來控制電化學(xué)研磨的狀態(tài)，再由反饋電路的實時監(jiān)控來判斷電解情況，最終制備出高質(zhì)量的鶴絲探針4。
【權(quán)利要求】
1.一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，其特征是，包括盛裝電解液的電解槽(I)和實時監(jiān)控鎢絲探針(4 )腐蝕過程的監(jiān)控電路(5 );所述電解槽(I)內(nèi)設(shè)有一個縱截面為H型的有機(jī)玻璃支架(2);所述有機(jī)玻璃支架(2)包括一個圓筒形主體，主體的上部設(shè)有圓形擋板，擋板的中心設(shè)有一個能夠穿入鎢絲探針(4)的針孔；所述有機(jī)玻璃支架(2)與電解槽(I)之間設(shè)有縱截面為L形的金屬銅片(3);所述鎢絲探針(4)由導(dǎo)線連接實時監(jiān)控電路(5);所述監(jiān)控電路(5)包括一個反饋電路，和連接到該反饋電路的信號發(fā)生器(5-9);所述反饋電路由順序連接的采樣器(5-2)、微分器(5-3)、比較器(5-4)、延時器(5-5)、鎖存器(5-6)、控制開關(guān)(5-7)和直流穩(wěn)壓電源(5-8)組成，其中采樣器(5-2)由導(dǎo)線連接三極管(5-1)的集電極；所述信號發(fā)生器(5-9)的正極由導(dǎo)線連接三極管(5-1)的基極，負(fù)極由導(dǎo)線和金屬銅片(3)連接；鎢絲探針(4)與三極管(5-1)的發(fā)射極連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微氣泡發(fā)生器的微探針電化學(xué)研磨裝置，其特征是，所述針孔的直徑為(10) mm。
【文檔編號】C25F3/08GK203700577SQ201420095117
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年3月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月4日
【發(fā)明者】許玲麗, 王利軍 申請人:中國礦業(yè)大學(xué)