專利名稱：節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于諸如供氣設(shè)備中的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，所說供氣設(shè)備具有在半導體制造裝置和化學品制造設(shè)備等中所使用的壓力式流量控制裝置。
圖9中，55a是溫度補償電路，55b是流量計算電路，55c是比較電路，55d是放大電路，56是氣體入口，57是氣體出口，58是氣體溫度檢測器，59a和59b是放大器，60a和60b是A/D轉(zhuǎn)換器。
此外，在圖9中，將節(jié)流孔對應(yīng)閥51和節(jié)流孔50表示成了各自獨立的部分，但實際上，如

圖10所示，是將節(jié)流孔50成一體固定在節(jié)流孔對應(yīng)閥51的氣體出口流路S2中的、節(jié)流孔設(shè)在50內(nèi)部這樣一種型式的閥70(以下稱作節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥70)。圖10是上述現(xiàn)有節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥70的閥部的局部放大剖視圖，71是閥本體，72是將閥本體71挖通而形成的閥室，73是插裝在閥室內(nèi)的內(nèi)盤，74是構(gòu)成閥體的金屬膜片，76是PCTFE制造(合成樹脂制造)的閥座座，76a是環(huán)狀的閥座，50是設(shè)置在閥座座76上的節(jié)流孔，77是閥體壓塊，78是軸(閥桿)，79是彈簧，S1是流體入口通路，S2是流體出口通路，從流體入口通路S1沿箭頭方向流入的氣體經(jīng)由節(jié)流孔50從流體出口通路S2流出。
即，節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥70的閥部是由插裝在挖通閥本體71而形成出的閥室72的底面上的圓盤狀的內(nèi)盤73，呈氣密性插裝于設(shè)置在內(nèi)盤73的中央部位的閥座座插裝孔73a內(nèi)的閥座座76，設(shè)置在閥座座76上方的金屬制造的膜片74，以及從上方推壓膜片74的閥體壓塊77形成的。
在內(nèi)盤73的外周部設(shè)有與氣體流入通路S1連通的氣體流入口73b，氣體經(jīng)由該氣體流入口73b流入膜片74下方的空間內(nèi)。
此外，在閥座座76的上表面上設(shè)有突出的環(huán)狀的閥座76a，而且，在與閥座76a連通的氣體流出通路S2中形成有節(jié)流孔50。
圖11示出上述圖10中的閥座座(PCTFE制造)76的另一個例子，閥座座76大致呈盤狀體形成，在其上表面設(shè)置有突出的環(huán)狀閥座76a。將盤狀體的背面切削成圓錐形，環(huán)狀閥座座76a的中央部位做成薄壁狀，同時，在該薄壁部上開設(shè)小孔形狀的節(jié)流孔50。發(fā)明要解決的問題但是，圖10所示的現(xiàn)有的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥70中，是在合成樹脂制造的閥座座76的氣體流出通路S2的內(nèi)壁面上形成嵌入用的槽，將形成有節(jié)流孔50的具有彈性的圓形節(jié)流孔板P的外周緣強行嵌入上述嵌入用槽內(nèi)而將節(jié)流孔板P固定。
因此，在將節(jié)流孔板P嵌入嵌入用槽內(nèi)時，節(jié)流孔板P容易變形，一旦節(jié)流孔板P發(fā)生較大變形，設(shè)置在它上面的節(jié)流孔50也要變形，導致壓力式流量控制裝置的流量控制特性紊亂。因此，存在著在圖10所示結(jié)構(gòu)的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥中難以將節(jié)流孔板P牢固地固定這一大難點。而在節(jié)流孔板P為金屬制造的場合，要想將其簡單且牢固地進行固定，必須在氣體流體通路S2的內(nèi)壁面上形成結(jié)構(gòu)復(fù)雜的嵌入用槽，這將增加導致閥座座76的加工費用。
此外，因合成樹脂制造的閥座座76被高溫氣體加熱而引起的閥座座76的變形，或者因內(nèi)盤73的推壓而引起的閥座座76的變形，將直接影響節(jié)流孔板P，即使閥座座76發(fā)生極小變形也會導致節(jié)流孔板P變形，節(jié)流孔50的形態(tài)(孔的形狀和孔的內(nèi)徑等)發(fā)生變化，將導致節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的流量控制特性改變。
而且，在做成圖11所示結(jié)構(gòu)的節(jié)流孔50的場合，節(jié)流孔50是通過對合成樹脂制造的閥座座76進行切削加工而形成，因此，節(jié)流孔50的形態(tài)容易因加工時的熱量發(fā)生較大的變化，造成節(jié)流孔50形態(tài)的分散性。因此，導致使用該節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的壓力式流量控制裝置的流量控制特性也產(chǎn)生分散性。
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥70所存在的上述問題，發(fā)明的主要目的是提供這樣一種節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，即，①在組裝節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥時，節(jié)流孔板不會發(fā)生變形，②即使被高溫氣體加熱，節(jié)流孔板也不容易發(fā)生變形，從而能夠提高使用該節(jié)流孔板的壓力式流量控制裝置的流量控制特性的精度，③而且，不僅能夠簡單地進行節(jié)流孔的更換，而且能夠降低制造成本。
此外，權(quán)利要求2的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，節(jié)流孔盤呈中央部位設(shè)有與閥座體的氣體流出通路連通的氣體流出通路并且上端面焊接有薄的節(jié)流孔板的厚的圓盤狀形成，并且，容納在形成于所說閥座體下部的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，而且在所說節(jié)流孔板的中央形成有節(jié)流孔。
此外，權(quán)利要求3的發(fā)明為在權(quán)利要求1或權(quán)利要求2的發(fā)明中，設(shè)有氣體流入通路和閥座體插裝孔的耐熱材料制造的內(nèi)盤插在閥本體閥室內(nèi)，通過將該內(nèi)盤的外周緣從上方進行推壓，而使得插裝于閥座體插裝孔內(nèi)的閥座體和容納于閥座體的凹部內(nèi)的節(jié)流孔盤呈氣密狀態(tài)固定在閥本體上。
權(quán)利要求4的發(fā)明為在權(quán)利要求3的發(fā)明中，在進行內(nèi)盤和閥座體和節(jié)流孔盤的組裝，閥座體及節(jié)流孔盤的底面與閥室的底面相接觸時，內(nèi)盤的下端面與閥室底面之間的間隙H1大于閥座體的凹部的上表面與節(jié)流孔盤的上表面之間的間隙H2。
權(quán)利要求5的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，節(jié)流孔盤呈薄板狀形成，容納在閥座體下部所形成的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔盤的中央。
權(quán)利要求6的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，節(jié)流孔盤呈具有可嵌插在閥座體的氣體流出通路中的栓塞部及凸緣部的帶凸緣的栓塞狀形成，所說凸緣部容納在形成于閥座體下部的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔盤的栓塞部。
權(quán)利要求7的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，節(jié)流孔盤呈可通過螺紋安裝在閥座體的氣體流出通路中的栓塞狀形成，而且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔盤上。
權(quán)利要求8的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，節(jié)流孔盤由可嵌插在閥座體的氣體流出通路中的栓塞部、容納在閥座體上所形成的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間的凸緣部、與閥座體的氣體流出通路連通的氣體流出通路、以及通過焊接固定在栓塞部的上端的節(jié)流孔板等構(gòu)成的帶凸緣的筒形，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔板上。
權(quán)利要求9的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，節(jié)流孔盤由具有與氣體流出通路連通的氣體流出口的厚圓盤和放置在其上表面上的節(jié)流孔板形成，容納在形成于閥座體下部的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔板上。
圖2是展現(xiàn)節(jié)流孔板及節(jié)流孔的俯視圖。
圖3示出第1實施形式的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的閥座體和節(jié)流孔盤和內(nèi)盤之間的、在對內(nèi)盤進行推壓之前的高度關(guān)系。
圖4是本發(fā)明的第2實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的放大縱向剖視圖。
圖5是本發(fā)明的第3實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的放大縱向剖視圖。
圖6是本發(fā)明的第4實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的放大縱向剖視圖。
圖7是本發(fā)明的第5實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的放大縱向剖視圖。
圖8是本發(fā)明的第6實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的放大縱向剖視圖。
圖9示出節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥在現(xiàn)有的壓力式流量控制裝置中使用的例子。
圖10是現(xiàn)有節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的縱向剖視圖。
圖11是現(xiàn)有節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的閥座體的另一個例子的縱向剖視圖。符號的說明A為節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，Y為密封面，X為密封面，Z為密封面，H1為間隙，H2為間隙，1為閥本體，2為閥座體，2a為小直徑部，2b為大直徑部，3為節(jié)流孔盤，3a為本體，3b為盤形的凹部，4為節(jié)流孔板，5為節(jié)流孔，6為閥室，7為氣體流入通路，8為氣體流出通路，9為內(nèi)盤，10為氣體流入通路，11為閥座體插裝孔，11a為小直徑部，11b為大直徑部，12為閥座體的氣體流出通路，13為節(jié)流孔盤容納凹部，13a為環(huán)狀的突條，14為閥座，15為節(jié)流孔盤的氣體流出通路，16為膜片，17為膜片壓塊，18為軸，19為彈簧，20為閥蓋襯墊，21為閥蓋，22為栓塞部，23為凸緣部，24為上方圓錐部，25為中間直線部，26為下方圓錐部，27為陰螺紋，28為陽螺紋發(fā)明的實施形式下面，對本發(fā)明的實施形式結(jié)合附圖進行說明?！驳?實施形式〕圖1是本發(fā)明的第1實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分的縱向剖視圖，圖2是展示節(jié)流孔板及節(jié)流孔的俯視圖。
節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A是由閥本體1、閥座體2、節(jié)流孔盤3和與之焊接的節(jié)流孔板4、節(jié)流孔5、內(nèi)盤9等構(gòu)成其主要部分，是一種直接接觸型金屬膜片閥。
所說閥本體1由不銹鋼(SUS316L)形成，形成有閥室6、與之連通的氣體流入通路7、以及氣體流出通路8。即，在閥本體1上形成有上開口的閥室6，在該閥室6的底面一側(cè)形成有與閥室6連通的氣體流入通路7，并且，在底面的中央形成有與閥室6連通的氣體流出通路8。
所說閥本體1的閥室6中嵌插有內(nèi)盤9。該內(nèi)盤9由SUS316L大致呈圓盤狀形成，在靠近外周的兩側(cè)的位置上，形成有與閥本體1的氣體流入通路7連通的氣體流入通路10。此外，在內(nèi)盤9的中央部位形成有用來插裝閥座體2的插裝孔11。
如圖1所示，該插裝孔11由上方部分的小直徑部11a和下方部分的大直徑部11b形成，大直徑部11b與小直徑部11a二者的分界部成為推壓閥座體2的密封面Y。
此外，內(nèi)盤9的外周緣的上、下兩面成為所謂的金屬密封面。
所說閥座體2由PCTFE等合成樹脂形成由上方部分的小直徑部2a和下方部分的大直徑部2b所構(gòu)成的較短的圓筒狀。即，在閥座體2的中央設(shè)置有與閥本體1的氣體流出通路8連通的氣體流出通路12。而在該氣體流出通路12的下方，形成有通過增大內(nèi)徑而形成的、用來容納節(jié)流孔盤3的凹部13。
而且，在閥座體2的小直徑部2a的上端面上設(shè)有突出的環(huán)狀的閥座14。所說節(jié)流孔盤3以SUS316LW金屬制成，由較厚的中空圓盤狀的本體3a和與之焊接的節(jié)流孔板4形成。在節(jié)流孔盤3的本體3a的中央部位，設(shè)有與閥座體2的氣體流出通路12和閥本體1的氣體流出通路8連通的氣體流出通路15。
此外，在節(jié)流孔盤的本體3a的上端面上形成有盤形的凹部3b，節(jié)流孔板4插裝在該盤形的凹部3b內(nèi)，通過將其外周端焊接到節(jié)流孔盤本體3a上而使節(jié)流孔板4固定。
所說節(jié)流孔板4是由SUS316LW金屬制成的薄圓片，在本實施形式中，直徑為3.5mm，厚度為0.05mm(50μm)。
如圖2所示，節(jié)流孔5形成于節(jié)流孔板4的中央，是用來使閥座體2的氣體流出通路12發(fā)生徑縮。即，在本實施形式中，是對節(jié)流孔板4的中間部位進行雙面腐蝕加工而形成節(jié)流孔5的，最小直徑為0.05mm，而最大直徑為0.07mm。
圖3示出將閥座體2和與節(jié)流孔板4進行焊接后的節(jié)流孔盤3和內(nèi)盤9插入所說閥本體1的閥室6內(nèi)時三者的尺寸關(guān)系，是從內(nèi)盤9的外周部上方向下方施加推壓力之前的狀況。
如圖3所示，將閥座體2、節(jié)流孔盤3、內(nèi)盤9三者組裝起來之后，三者的尺寸關(guān)系為在閥室6的底面與內(nèi)盤9的下端面之間形成H1＝0.1～0.2mm的間隙，在閥座體2的節(jié)流孔盤容納凹部13的頂面與節(jié)流孔盤3的上端面之間形成H2＝0.02～0.1mm的間隙。
這樣，當從上方推壓內(nèi)盤9時，閥座體2必被壓縮，從而將接觸面Y及Z呈氣密性密封。
此外，由于間隙H1大于間隙H2，故當內(nèi)盤9的下端面與閥室6的底面相抵接時，必定將接觸面X呈氣密性密封。在所說閥座體2和內(nèi)盤9的上方設(shè)有膜片16、膜片壓塊17、軸18、彈簧19、以及驅(qū)動部(未圖示)。
膜片16由不銹鋼薄片形成，坐在閥座體2的上方。此外，膜片16的外周部經(jīng)由閥蓋襯墊20被夾持在閥蓋21和內(nèi)盤9之間。
膜片壓塊17設(shè)置在膜片16的中間部位的上方，是用來推壓膜片16的。
軸18設(shè)置在膜片壓塊17上，用來使膜片壓塊17升降。
彈簧19的作用是始終對軸18施加向下的作用力而使得膜片16坐在閥座體2的閥座14上。
驅(qū)動部設(shè)置在閥本體1的上部，用來使軸18升降。此外，作為驅(qū)動部，使用高速響應(yīng)型的螺線管或氣動執(zhí)行器。
下面，結(jié)合上述結(jié)構(gòu)對第1實施形式所涉及的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A的工作原理進行詳細的說明。
當節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A的驅(qū)動部工作時，軸18和膜片壓塊17克服彈簧19的作用力而上升，膜片16的中間部位從閥座體2的閥座14上離開。于是，從閥本體1的氣體流入通路7流入的氣體經(jīng)由內(nèi)盤9的氣體流入通路10→閥座體2的閥座14與膜片16之間→閥座體2的氣體流出通路12→節(jié)流孔5→節(jié)流孔盤3的氣體流出通路15而向閥本體1的氣體流出通路8流出。
當節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A的驅(qū)動部停止工作時，在彈簧19的作用下，軸18及膜片壓塊17下降，膜片16的中間部位坐到閥座體2的閥座14上。于是，從閥本體1的氣體流入通路7流入的氣體被膜片16阻斷，不能向閥本體1的氣體流出通路8流出。
由于設(shè)有金屬制造的節(jié)流孔盤3，金屬制造的節(jié)流孔板4放置在設(shè)置于節(jié)流孔盤本體3a上面的盤形凹部3b內(nèi)，并將其外周緣通過激光焊接在節(jié)流孔盤本體3a上，因此，能夠?qū)⒐?jié)流孔板4牢固且簡單地進行固定。
此外，將節(jié)流孔盤3和閥座體2和內(nèi)盤9尺寸加工成，能夠如圖3所示地使得H1＝0.1～0.2mm、H2＝0.02～0.1mm，因此，能夠通過壓緊內(nèi)盤9將各密封面X、Y、Z可靠密封。
并且，使得節(jié)流孔板4的安裝變得容易，節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A的組裝變得簡單。
除此之外，組裝時不會在節(jié)流孔板4上施加過分的力，節(jié)流孔板4不會變形。因此，即使節(jié)流孔5的形態(tài)改變，流量控制特性也不會變化?！驳?實施形式〕對本發(fā)明的第2實施形式結(jié)合圖4進行說明。
該第2實施形式中，在合成樹脂制造的閥座體2的下部形成有容納節(jié)流孔盤3的淺的凹部13，并且，在閥座體2的下端面上形成有環(huán)狀的突條13b。
節(jié)流孔盤3為不銹鋼制造的薄圓盤，容納在閥座體2的凹部13內(nèi)而被夾持在閥座體2的突條13a與閥本體1之間。此外，節(jié)流孔盤3呈圓盤狀，直徑為3.5mm，厚度為0.05mm(50μm)。
除了上述對節(jié)流孔盤3進行保持的結(jié)構(gòu)之外，節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A的其余結(jié)構(gòu)與圖1的實施形式相同?！驳?實施形式〕對本發(fā)明的第3實施形式結(jié)合圖5進行說明。該第3實施形式中，去掉了第1實施形式(圖1)中的節(jié)流孔板4，代之以在節(jié)流孔盤3上直接形成節(jié)流孔5。
即，節(jié)流孔盤3具有嵌插在閥座體2的氣體流出通路12中的栓塞部22，以及被容納于閥座體2的凹部13中而被夾持在閥座體2與閥本體1之間的凸緣部23；節(jié)流孔5形成于節(jié)流孔盤3的栓塞部22上。
在閥座體2的下部，形成有容納節(jié)流孔盤3的凸緣部23的凹部13和環(huán)狀的突條13b，節(jié)流孔盤3的凸緣部23呈密閉狀被夾持在閥座體2的突條13b與閥本體1之間。
節(jié)流孔5形成于節(jié)流孔盤3的栓塞部22的中央部位，由隨著向下直徑逐漸變小的上方的圓錐部24、中間的直線25、以及隨著向下直徑逐漸變大的下方的圓錐部26構(gòu)成?！驳?實施形式〕對本發(fā)明的第4實施形式結(jié)合圖6進行說明。該第4實施形式中，節(jié)流孔盤3呈可通過螺紋擰入氣體流出通路12內(nèi)的栓塞狀，在該節(jié)流孔盤3的中央形成有節(jié)流孔5。即，在閥座體2的氣體流出通路12上形成有陰螺紋27，而在節(jié)流孔盤3的外周形成有能夠與上述陰螺紋27旋合的陽螺紋28。節(jié)流孔5形成于節(jié)流孔盤3的中央，由隨著向下直徑逐漸變小的上方的圓錐部24、中間的直線25、以及隨著向下直徑逐漸變大的下方的圓錐部26構(gòu)成?！驳?實施形式〕對本發(fā)明的第5實施形式結(jié)合圖7進行說明。在該實施形式中，圖1所示的節(jié)流孔盤3的形狀呈圖7那樣的帶凸緣的筒狀形成，固定在節(jié)流孔盤3的本體3a上的節(jié)流孔板4的高度位置向上方抬高。
即，節(jié)流孔盤3呈具有嵌插在閥座體2的氣體流出通路12內(nèi)的栓塞部22、被容納于閥座體2上所形成的凹部13內(nèi)而被夾持在閥座體2和閥本體1之間的凸緣部23、以及與閥座體2的氣體流出通路12相連通的氣體流出通路15的帶凸緣的筒狀形成。節(jié)流孔板4配置在形成于節(jié)流孔盤3的本體上端面的帶臺階的盤形凹部3b內(nèi)，經(jīng)激光焊接而被固定。并且，節(jié)流孔5形成于節(jié)流孔板4上。〔第6實施形式〕對本發(fā)明的第6實施形式結(jié)合圖8進行說明。該第6實施形式是如圖8所示地將節(jié)流孔板4夾壓在合成樹脂制造的閥座體2與節(jié)流孔盤3的本體3a之間而成，可將圖1的第1實施形式中的激光焊接省略。
即，構(gòu)成節(jié)流孔盤3的本體3a和薄圓片形節(jié)流孔板4是嵌插在閥座體2的凹部13內(nèi)的，被閥本體1和閥座體2所夾持。
節(jié)流孔盤3的氣體流出通路15由直徑與閥座體2的氣體流出通路12相同的直線部、以及隨著向下直徑逐漸變大的圓錐部構(gòu)成。此外，節(jié)流孔盤3雖由不銹鋼(SUS316L)制成，但也可以由與閥座體2同樣的PFA等合成樹脂制成。
在上述各實施形式中，節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A是一種在具有壓力式流量控制裝置的供氣設(shè)備中使用的閥，但顯然，該節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A也可以用于其它用途。
此外，在上述各實施形式中，閥座體2是經(jīng)由內(nèi)盤9安裝在閥本體1上的，但也可以直接安裝在閥本體1上。
此外，在上述各實施形式中，節(jié)流孔盤3是金屬制造的，但也可以是陶瓷制造的。
此外，在上述各實施形式中，節(jié)流孔板4的厚度為0.05mm，但也可以是除此之外的厚度。
此外，在上述各實施形式中，節(jié)流孔5是經(jīng)雙面腐蝕加工而形成，但也可以通過單面腐蝕加工或機械加工、放電加工等方法形成。同樣，節(jié)流孔5的直徑雖為0.05mm，但顯然也可以是除此之外的直徑。
發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可獲得如下良好效果。
(1)由于節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥A的主要部分由閥本體、閥座體、節(jié)流孔盤、節(jié)流孔、以及內(nèi)環(huán)等構(gòu)成，而且，相對于閥座體獨立的耐熱材料制造的節(jié)流孔盤是可自由拆裝地安裝在閥座體的氣體流出通路上，在該節(jié)流孔盤上形成節(jié)流孔，因此，能夠減小熱變形而獲得高精度的流量特性。
(2)由于形成有相對于閥座體獨立的耐熱材料制造的節(jié)流孔盤，該節(jié)流孔盤可自由拆裝地安裝在閥座體的氣體流出通路內(nèi)，因此，能夠預(yù)先在節(jié)流孔盤上形成節(jié)流孔。
這樣，不僅節(jié)流孔的小孔容易加工，而且能夠?qū)⒐?jié)流孔板準確且可靠地焊接在節(jié)流孔盤上，還能夠降低成本。
(3)由于形成有相對于閥座體獨立的耐熱材料制造的節(jié)流孔盤，該節(jié)流孔盤可自由拆裝地安裝在閥座體的氣體流出通路上，因此，可將閥座體作為通用零件使用。這樣，只要預(yù)先備齊形成有不同大小節(jié)流孔的各種節(jié)流孔盤，通過更換節(jié)流孔盤便能夠很容易地設(shè)定為所需要的流量。
(4)由于節(jié)流孔盤由本體和節(jié)流孔板形成，并在節(jié)流孔板上形成節(jié)流孔，因此，即使節(jié)流孔板的厚度薄到例如為50μm，也不會因氣體壓力而變形。
(5)若對金屬制造的節(jié)流孔板以雙面腐蝕加工形成節(jié)流孔，則節(jié)流孔的直徑能夠做得很小，容易加工出例如直徑為50μm程度的小孔。
權(quán)利要求
1.一種節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，具備，形成有與上開口的閥室連通的氣體流入通路和氣體流出通路的耐熱材料制造的閥本體，設(shè)置在閥本體的閥室內(nèi)的、形成有與所說閥本體的氣體流出通路連通的氣體流出通路及閥座的合成樹脂制造的閥座體，可自由拆裝地安裝在閥座體的氣體流出通路中的耐熱材料制造的節(jié)流孔盤，以及形成于節(jié)流孔盤上的、使閥座體的氣體流出通路變細的節(jié)流孔。
2.如權(quán)利要求2所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，節(jié)流孔盤呈中央部位設(shè)有與閥座體的氣體流出通路連通的氣體流出通路并且上端面焊接有薄的節(jié)流孔板的厚的圓盤狀形成，并且，容納在形成于所說閥座體下部的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，而且在所說節(jié)流孔板的中央形成有節(jié)流孔。
3.如權(quán)利要求1或2所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，設(shè)有氣體流入通路和閥座體插裝孔的耐熱材料制造的內(nèi)盤插在閥本體閥室內(nèi)，通過對該內(nèi)盤的外周緣從上方進行推壓，而使得插裝于閥座體插裝孔內(nèi)的閥座體和容納于閥座體的凹部內(nèi)的節(jié)流孔盤呈氣密狀態(tài)固定在閥本體上。
4.如權(quán)利要求3所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，在進行內(nèi)盤和閥座體和節(jié)流孔盤的組裝，閥座體及節(jié)流孔盤的底面與閥室的底面相接觸時，內(nèi)盤的下端面與閥室底面之間的間隙H1大于閥座體的凹部的上表面與節(jié)流孔盤的上表面之間的間隙H2。
5.如權(quán)利要求1所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，節(jié)流孔盤呈薄板狀形成，容納在閥座體的下部所形成的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔盤的中央。
6.如權(quán)利要求1所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，節(jié)流孔盤呈具有可嵌插在閥座體的氣體流出通路中的栓塞部及凸緣部的帶凸緣的栓塞狀形成，所說凸緣部容納在形成于閥座體下部的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔盤的栓塞部。
7.如權(quán)利要求1所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，節(jié)流孔盤呈可通過螺紋安裝在閥座體的氣體流出通路中的栓塞狀形成，而且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔盤上。
8.如權(quán)利要求1所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，節(jié)流孔盤形成由可嵌插在閥座體的氣體流出通路中的栓塞部、容納在閥座體上所形成的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間的凸緣部、與閥座體的氣體流出通路連通的氣體流出通路、以及通過焊接固定在栓塞部的上端的節(jié)流孔板等構(gòu)成的帶凸緣的筒形，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔板上。
9.如權(quán)利要求1所說的節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥，節(jié)流孔盤由具有與氣體流出通路連通的氣體流出口的厚圓盤和放置在其上表面上的節(jié)流孔板形成，容納在形成于閥座體下部的凹部內(nèi)而被夾持在閥座體與閥本體之間，并且，節(jié)流孔形成于所說節(jié)流孔板上。
全文摘要
提供一種節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥,可用于具有半導體制造裝置或化學品制造設(shè)備中所使用的壓力式流量控制裝置的供氣設(shè)備中,不僅能夠降低制造成本,而且能夠提高節(jié)流孔的加工精度并在進行閥的組裝時能夠防止節(jié)流孔變形,從而能夠獲得優(yōu)良的流量控制特性。為此,本發(fā)明中,由形成有與上開口的閥室連通的氣體流入通路和氣體流出通路的耐熱材料制造的閥本體,設(shè)置在閥本體的閥室內(nèi)的、形成有與所說閥本體的氣體流出通路連通的氣體流出通路及閥座的合成樹脂制造的閥座體,可自由拆裝地安裝在閥座體的氣體流出通路中的耐熱材料制造的節(jié)流孔盤,以及形成于節(jié)流孔盤上的、使閥座體的氣體流出通路縮徑的節(jié)流孔構(gòu)成節(jié)流孔內(nèi)設(shè)閥的主要部分;預(yù)先在不銹鋼制造的節(jié)流孔盤上形成節(jié)流孔,并且,將另行加工而形成了該節(jié)流孔的金屬制造的節(jié)流孔盤和合成樹脂制造的閥座體可自由拆裝地加以組合,經(jīng)由金屬制造的節(jié)流孔盤推壓合成樹脂制造的閥座體使其壓縮,從而將二者呈氣密狀態(tài)組裝在閥本體上。
文檔編號F04F1/08GK1359454SQ00809795
公開日2002年7月17日 申請日期2000年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月5日
發(fā)明者大見忠弘, 西野功二, 池田信一, 山路道雄, 土肥亮介, 出田英二, 廣瀨隆 申請人:株式會社富士金, 大見忠弘