滑動部件及使用其的氣體壓縮機(jī)和分析儀器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種抑制PTFE滑動材料的磨耗的滑動部件以及配備該滑動部件的氣體壓縮機(jī)和分析裝置。為了避免PTFE滑動材料與接觸材料金屬的直接接觸,在欲降低磨耗的PTFE滑動材料附近配置比PTFE更易于形成轉(zhuǎn)移膜的樹脂部件。
【專利說明】滑動部件及使用其的氣體壓縮機(jī)和分析儀器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及滑動部件及使用該滑動部件的氣體壓縮機(jī)和分析儀器。
【背景技術(shù)】
[0002]空氣等壓縮氣體被利用于多種行業(yè)部門的工廠,近年來惰性的壓縮氮?dú)饣虿缓挽F的干凈壓縮氣體的需求在上升。
[0003]壓縮氣體一般來說通過使用配備往復(fù)運(yùn)動的活塞和氣缸的壓縮機(jī)來生產(chǎn)。通過將壓縮前的氣體送入氣缸內(nèi)的壓縮室并利用活塞對其進(jìn)行壓縮來產(chǎn)生壓縮氣體?;钊话銇碚f配備活塞環(huán)。
[0004]所謂無油壓縮機(jī)的活塞環(huán)上使用具有自潤滑性的樹脂材料,廣泛使用比聚乙烯或尼龍等所謂樹脂材料摩擦系數(shù)更低的PTFE (Polytetrafluoroethylene,聚四氟乙烯)為主體的PTFE復(fù)合材料。PTFE具有摩擦系數(shù)低的特征,但同時也具有磨耗量多的特征。因此,為了更好地利用PTFE或者PTFE復(fù)合材料,需要在有效利用PTFE的低摩擦系數(shù)的同時降低磨耗量。
[0005]另一方面,在利用氣體壓縮機(jī)壓縮空氣的情況下和壓縮氮?dú)獾那闆r下,存在氮?dú)獾那闆r下的活塞環(huán)的磨耗量比空氣的情況下的活塞環(huán)的磨耗量多的問題。為了解決該問題,通過使PTFE或PTFE復(fù)合材料中包含氧化銅來使其硬化,從而提高PTFE或PTFE復(fù)合材料的耐磨耗性(參考專利文獻(xiàn)I)。
[0006]此外,為了降低PTFE或PTFE復(fù)合材料的磨耗,已知:如果在它們滑動時很好地生成在接觸材料的表面上形成的PTFE轉(zhuǎn)移膜,則其具有降低摩擦的效果(參考非專利文獻(xiàn)I)。
[0007]已有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-85051號公報
[0010]非專利文獻(xiàn)
[0011]非專利文獻(xiàn)1:竹內(nèi)彰敏等3人,9 4術(shù)口 'y'7卜(Tribology),第43卷,第3號,1998 年,第 258-261 頁
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0013]所述專利文獻(xiàn)I針對壓縮氮?dú)鈺r的活塞環(huán)磨耗量的降低具有一定的效果,但需要進(jìn)一步降低磨耗量,延長其更換周期,從而達(dá)到運(yùn)行成本的降低。
[0014]本發(fā)明的目的為提供一種降低PTFE滑動材料的磨耗的結(jié)構(gòu)。
[0015]用于解決技術(shù)問題的技術(shù)手段
[0016]為了解決上述問題,在PTFE滑動件的附近配置由比PTFE更易于轉(zhuǎn)移到金屬上的樹脂構(gòu)成的滑動部件。
[0017]本發(fā)明的一種氣體壓縮機(jī)包括以金屬為主體而成型的氣缸、活塞和以PTFE樹脂為主體而成型的活塞環(huán),通過利用活塞對氣缸內(nèi)設(shè)置的壓縮室內(nèi)的氣體進(jìn)行壓縮來產(chǎn)生壓縮氣體,該氣體壓縮機(jī)的特征在于:在上述活塞環(huán)的附近設(shè)置有與上述氣缸相對滑動的滑動部,該滑動部由比上述PTFE樹脂更易于轉(zhuǎn)移到上述氣缸的樹脂構(gòu)成,上述活塞環(huán)在上述滑動部滑動過的上述氣缸上滑動。
[0018]本發(fā)明的一種分析儀器具有檢測裝置、樣品臺和導(dǎo)軌,通過使樣品臺在導(dǎo)軌上移動來進(jìn)行樣品臺上的樣品的分析,其特征在于:在上述樣品臺的與導(dǎo)軌相對滑動的部分上設(shè)置以PTFE樹脂為主體的第一滑動部,在上述第一滑動部附近還設(shè)置與上述導(dǎo)軌相對滑動的第二滑動部,上述第二滑動部由比上述PTFE樹脂更易于轉(zhuǎn)移到上述導(dǎo)軌的樹脂構(gòu)成,上述第一滑動部在上述第二滑動部滑動過的上述導(dǎo)軌上滑動。
[0019]發(fā)明的效果
[0020]通過本發(fā)明可提供即使是氮?dú)饣蚋稍锟諝庖材軌蚪档蚉TFE滑動材料的磨耗、延長其更換周期的滑動部件以及使用該滑動部件的氣體壓縮機(jī)或分析儀器。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021]圖1是用于說明轉(zhuǎn)移膜的有無與磨損粉末的關(guān)系的圖。
[0022]圖2是說明本發(fā)明的實(shí)施例1的滑動部的剖面圖。
[0023]圖3是圖2的滑動部的放大圖。
[0024]圖4是表示用于研究轉(zhuǎn)移膜與磨耗的關(guān)系的實(shí)驗(yàn)流程的圖。
[0025]圖5是表示轉(zhuǎn)移膜與磨耗的關(guān)系的實(shí)驗(yàn)結(jié)果的圖。
[0026]圖6是說明本發(fā)明的實(shí)施例2的滑動部的剖面圖。
[0027]圖7是說明本發(fā)明的實(shí)施例3的滑動部的剖面圖。
[0028]圖8是說明本發(fā)明的實(shí)施例4的滑動部的剖面圖。
[0029]圖9是說明本發(fā)明的實(shí)施例5的滑動部的剖面圖。
[0030]圖10是說明本發(fā)明的實(shí)施例6的滑動部的剖面圖。
[0031]圖11是說明本發(fā)明的實(shí)施例6的變形例的滑動部的剖面圖。
[0032]圖12是說明本發(fā)明的實(shí)施例7的滑動部的剖面圖。
[0033]圖13是說明本發(fā)明的實(shí)施例8的滑動部的剖面圖。
[0034]圖14是說明本發(fā)明的實(shí)施例9的分析儀器的結(jié)構(gòu)剖面圖。
[0035]圖15是一般的無油氣體壓縮機(jī)的剖面圖。
[0036]圖16是圖15的滑動部的放大圖。
[0037]附圖標(biāo)記的說明
[0038]3…壓縮室
[0039]5…連接桿
[0040]20、21、22、23、24、25 …活塞環(huán)
[0041]22a…PTFE復(fù)合材料
[0042]22b…增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料
[0043]30、31…導(dǎo)向環(huán)
[0044]32…增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂膜
[0045]40…氣缸
[0046]41…氣缸內(nèi)表面
【具體實(shí)施方式】
[0047]以下利用【專利附圖】
【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施例。
[0048]圖15是一般的無油氣體壓縮機(jī)的剖面圖。氣體壓縮機(jī)主要由構(gòu)成壓縮室3的氣缸40、活塞1、吸入閥、排出閥(壓縮氣體側(cè))以及連接桿、帶輪、電動機(jī)、殼體所構(gòu)成。為了產(chǎn)生壓縮氣體,將電動機(jī)的動力通過帶、帶輪、連接桿傳遞到活塞,使活塞上下運(yùn)動,通過吸入閥在壓縮室內(nèi)壓縮氣體。壓縮后的氣體通過排出閥排出到壓縮氣體的管道中。此時,活塞環(huán)在氣缸40的內(nèi)表面上滑動并磨耗,該磨耗量隨著滑動次數(shù)的增加而增加。此外,導(dǎo)向環(huán)(rider ring) 30用于固定活塞相對于氣缸40的姿態(tài)而設(shè)。
[0049]圖16是圖15的活塞環(huán)在氣缸40內(nèi)表面滑動的滑動部的放大圖,為說明轉(zhuǎn)移膜(transfer film)的圖。放大圖中表示PTFE復(fù)合材料的活塞環(huán)20在氣缸內(nèi)表面41上滑動,活塞環(huán)20的一部分在氣缸內(nèi)表面41上形成轉(zhuǎn)移膜28的情形?;钊h(huán)20隔著轉(zhuǎn)移膜28與氣缸40或氣缸內(nèi)表面41接觸。這樣,活塞環(huán)20以不與氣缸內(nèi)表面41的凹凸直接接觸的方式滑動,因此能夠降低磨耗。
[0050]假如不形成轉(zhuǎn)移膜28,則活塞環(huán)20直接與氣缸內(nèi)表面41接觸,氣缸內(nèi)表面41的凸部削磨活塞環(huán)20,結(jié)果導(dǎo)致活塞環(huán)20的磨耗。
[0051]【實(shí)施例1】
[0052]圖1是用于說明樹脂(PTFE樹脂材料)相對于金屬滑動時根據(jù)金屬表面的轉(zhuǎn)移膜的有無、磨損粉末如何產(chǎn)生的圖。
[0053]圖1 (a)表示當(dāng)前的微接觸面上形成有轉(zhuǎn)移膜的情況,金屬和樹脂隔著轉(zhuǎn)移膜滑動。與此相對,圖1 (b)表示當(dāng)前的微接觸面上未形成轉(zhuǎn)移膜的情況下,金屬與樹脂直接接觸。因此,在滑動時樹脂材料表面始終被金屬表面削磨,磨損粉末的量相比具有轉(zhuǎn)移膜的情況增加。
[0054]圖1 (C)是說明本發(fā)明的原理的圖,表示本發(fā)明的微接觸面。圖1 (C)中,將增進(jìn)轉(zhuǎn)移或生成增強(qiáng)的轉(zhuǎn)移膜的材料配置在PTFE樹脂材料的附近。表示通過比PTFE樹脂更加增進(jìn)轉(zhuǎn)移(易于轉(zhuǎn)移)的樹脂材料,在金屬表面形成由增進(jìn)轉(zhuǎn)移的樹脂材料生成的轉(zhuǎn)移膜的情形。根據(jù)該結(jié)構(gòu),對應(yīng)于圖1 (a)中說明的形成有轉(zhuǎn)移膜的情況,轉(zhuǎn)移膜始終能夠穩(wěn)定地形成,因此避免了樹脂(PTFE封裝材料)與金屬材料的直接接觸,抑制了磨損粉末的產(chǎn)生,即能夠降低磨耗量。
[0055]圖2是表示本實(shí)施例的滑動部的剖面的圖。如圖2所示,本實(shí)施例由兩個活塞環(huán)20和21構(gòu)成,一個活塞環(huán)20為PTFE復(fù)合材料,另一個活塞環(huán)21由比PTFE復(fù)合材料更加易于形成轉(zhuǎn)移膜的樹脂構(gòu)成。
[0056]此外,本實(shí)施例中除非特別說明,用樹脂表示單獨(dú)包含PTFE、聚乙烯、尼龍等樹脂材料的材料或者由這些樹脂材料與其它材料構(gòu)成的復(fù)合材料。
[0057]作為比PTFE更增進(jìn)轉(zhuǎn)移的樹脂可列舉羧酸型、PPS (聚苯硫醚)和包醚鏈的高分子材料。此外,優(yōu)選耐熱性與PTFE等同。優(yōu)選具有耐熱性的理由是因?yàn)?,由于滑動產(chǎn)生的摩擦熱和壓縮氣體時產(chǎn)生的熱,活塞環(huán)暴露在100度到200度溫度的環(huán)境中。此外,優(yōu)選包含醚鏈的高分子材料的理由為其具有提高金屬與樹脂的粘合力的效果。作為這樣的樹脂,所優(yōu)選的可列舉PFA (perf Iuoralkoxy,全氟燒氧基)、PAI (polyamide imide,聚酰胺酰亞胺)、PBT (polybutylene terephthalate,聚對苯二甲酸乙二醇酯)、PEI (polyether imide,聚醚酰亞胺)、PEEK (polyetheretherketone,聚醚醚酮)、環(huán)氧樹脂等。或者可列舉包含這些中的至少一種的樹脂。這里所舉的樹脂由于具有醚鏈,即使在由氮分子等無極性分子組成的氣體或干燥空氣中也能夠比PTFE更容易轉(zhuǎn)移到接觸材料上。
[0058]圖3表示圖2的部分放大圖。放大圖中表示通過由比PTFE復(fù)合材料更容易形成轉(zhuǎn)移膜的樹脂構(gòu)成的活塞環(huán)21在氣缸內(nèi)表面41上滑動在滑動面41上形成轉(zhuǎn)移膜28的情形。通過該轉(zhuǎn)移膜28,活塞環(huán)20通過轉(zhuǎn)移膜28與氣缸內(nèi)表面41接觸。其結(jié)果是,活塞環(huán)20即使在由氮分子等無極性分子組成的氣體或干燥空氣中也能夠在不與氣缸內(nèi)表面41的凹凸相接觸下滑動,能夠抑制活塞環(huán)20磨耗。
[0059]由包含醚鏈的高分子材料構(gòu)成的滑動部件生成比PTFE滑動材料形成的轉(zhuǎn)移膜更厚的轉(zhuǎn)移膜。或者在PTFE滑動材料幾乎無法生成轉(zhuǎn)移膜的嚴(yán)酷環(huán)境中,由包含醚鏈的高分子材料構(gòu)成的滑動部件也能夠比PTFE更容易地在滑動的金屬表面形成轉(zhuǎn)移膜。PTFE滑動材料通過由與自身不同的在金屬表面形成轉(zhuǎn)移膜的滑動材料構(gòu)成的滑動部件所生成的轉(zhuǎn)移膜,避免了與金屬表面直接接觸。其結(jié)果是,PTFE滑動材料即使在因環(huán)境原因自身形成轉(zhuǎn)移膜的能力消失的情況下,也能夠不受其影響,并且在不增加磨耗下進(jìn)行滑動。
[0060]圖4和圖5表示PTFE和PFA的轉(zhuǎn)移膜對PTFE復(fù)合材料的磨耗現(xiàn)象的影響的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。圖4表示其實(shí)驗(yàn)流程。在此,預(yù)滑(Presliding)為在金屬表面附著欲轉(zhuǎn)移的樹脂的過程。預(yù)滑中,在大氣中分別使PTFE和PFA滑動20分鐘,準(zhǔn)備兩種分別附著了 PTFE和PFA的其中之一的金屬材料。在PTFE復(fù)合材料磨耗實(shí)驗(yàn)中,分別使通過預(yù)滑準(zhǔn)備的兩種金屬材料在全新的PTFE復(fù)合材料上滑動60分鐘,然后測量這些PTFE的磨耗量。圖5是表示在通過預(yù)滑準(zhǔn)備的金屬材料上滑動后的各PTFE復(fù)合材料的磨耗量的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。根據(jù)圖5可知:根據(jù)金屬表面附著的轉(zhuǎn)移膜的種類不同,PTFE復(fù)合材料的磨耗量發(fā)生改變;相比PTFE轉(zhuǎn)移膜,PFA轉(zhuǎn)移膜降低PTFE復(fù)合材料的磨耗量的效果更大。根據(jù)該結(jié)果類推可知,在同時使PTFE復(fù)合材料和PFA滑動的情況和同時使PTFE復(fù)合材料和PTFE滑動的情況中,同時使前者PFA滑動的情況下能夠更加降低PTFE復(fù)合材料的磨耗量。
[0061]【實(shí)施例2】
[0062]圖6是表示實(shí)施例2中的滑動部的剖面的圖。相比圖2,圖6所示的結(jié)構(gòu)中PTFE復(fù)合材料的活塞環(huán)20和由比PTFE樹脂更易于形成轉(zhuǎn)移膜的樹脂構(gòu)成的活塞環(huán)21的位置不同,在活塞環(huán)21位于比活塞環(huán)20更靠氣缸上部(或者說上死點(diǎn))側(cè)的點(diǎn)上不同。該結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)為:在圖2的情況下由于活塞環(huán)21比活塞環(huán)20靠下,在活塞的上死點(diǎn)附近產(chǎn)生未通過活塞環(huán)21生成轉(zhuǎn)移膜的位置,因此活塞環(huán)20滑動到未生成轉(zhuǎn)移膜的位置。對此,在圖6的情況下由于活塞環(huán)21位于活塞環(huán)20的上部,即使在活塞的上死點(diǎn)附近活塞環(huán)20也能夠在活塞環(huán)21生成的轉(zhuǎn)移膜上滑動,具有能夠進(jìn)一步抑制活塞環(huán)20的磨耗的特有效果。此夕卜,當(dāng)活塞來到氣缸內(nèi)的最下部時,雖然活塞環(huán)20在活塞環(huán)21未滑動的位置滑動,但由于雖然活塞上部的空間的壓縮室為氮?dú)?,但活塞下部的空間在大氣中,因此PTFE復(fù)合材料也易于生成轉(zhuǎn)移膜,所以能夠通過活塞環(huán)20自身形成的轉(zhuǎn)移膜來抑制磨耗。
[0063]【實(shí)施例3】
[0064]圖7是表示實(shí)施例3中的滑動部的剖面的圖。相對于圖2和圖6,圖7所示的結(jié)構(gòu)中在PTFE復(fù)合材料的上下配置了兩個由比PTFE樹脂更易于形成轉(zhuǎn)移膜的樹脂構(gòu)成的活塞環(huán)21這一點(diǎn)上不同。該結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是在活塞環(huán)20在氣缸內(nèi)表面上下往復(fù)運(yùn)動時,在氣缸內(nèi)表面的上部,在由活塞環(huán)20上部的活塞環(huán)21生成的轉(zhuǎn)移膜上滑動,在氣缸內(nèi)表面的下部,在由活塞環(huán)20下部的活塞環(huán)21生成的轉(zhuǎn)移膜上滑動。這樣活塞環(huán)20能夠始終在由活塞環(huán)21生成的轉(zhuǎn)移膜上滑動。其結(jié)果是具有能夠進(jìn)一步地抑制磨耗的特有效果。
[0065]此外,在從實(shí)施例1到3的圖2、圖6、圖7所舉的活塞環(huán)的結(jié)構(gòu)中,優(yōu)選活塞環(huán)20與氣缸內(nèi)表面緊密接觸使得壓縮后的氣體不從氣缸與活塞的間隙泄漏。此外,對于活塞環(huán)21,由于作為優(yōu)選而列舉的PFA等材料比PTFE復(fù)合材料的摩擦系數(shù)更高,如果可能則可使活塞環(huán)21的最外徑比活塞環(huán)20的最外徑小,使活塞環(huán)20比活塞環(huán)21更緊密地接觸氣缸內(nèi)表面41。
[0066]【實(shí)施例4】
[0067]圖8是表示實(shí)施例4的滑動部的剖面的圖。圖8所示的結(jié)構(gòu)在以往使用的PTFE復(fù)合材料的活塞環(huán)中嵌入增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b。在該結(jié)構(gòu)中,與從實(shí)施例1到實(shí)施例3所舉的結(jié)構(gòu)一樣,增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b在氣缸內(nèi)表面41上生成轉(zhuǎn)移膜28,結(jié)果降低了由PTFE復(fù)合材料22a與增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b構(gòu)成的活塞環(huán)22的磨耗。
[0068]【實(shí)施例5】
[0069]圖9是表示實(shí)施例5中的滑動部的剖面的圖。圖9所示的結(jié)構(gòu)交換了圖8的PTFE復(fù)合材料22a和增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b。在圖8的結(jié)構(gòu)中,活塞位于上死點(diǎn)和下死點(diǎn)時,不發(fā)生基于增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b的轉(zhuǎn)移膜形成,結(jié)果活塞在上死點(diǎn)和下死點(diǎn)時PTFE復(fù)合材料22a被磨耗。而在圖9中,即使活塞在上死點(diǎn)和下死點(diǎn)時,通過增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b始終在氣缸表面形成樹脂轉(zhuǎn)移膜,結(jié)果避免了由PTFE復(fù)合材料22a與增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b構(gòu)成的活塞環(huán)23的磨耗。
[0070]【實(shí)施例6】
[0071]圖10和圖11是表示實(shí)施例6中的滑動部的剖面的圖。圖10和圖11所示的結(jié)構(gòu)將PTFE復(fù)合材料22a和增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b上下重疊。其效果與圖8和圖9的結(jié)構(gòu)中所獲得的效果大致相同。相比圖8和圖9,圖10和圖11的結(jié)構(gòu)的特有效果為不需要將增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂材料22b嵌入PTFE復(fù)合材料22a中。此外,與圖2和圖6的結(jié)構(gòu)相比,由于減少了容納活塞環(huán)的槽數(shù),具有能夠在活塞制造時削減槽加工所需的時間的特有效果。
[0072]【實(shí)施例7】
[0073]圖12是表示實(shí)施例7中的滑動部的剖面的圖。圖12所示的結(jié)構(gòu)由PTFE復(fù)合材料的活塞環(huán)20和比PTFE復(fù)合材料更易于形成轉(zhuǎn)移膜的樹脂的導(dǎo)向環(huán)31構(gòu)成。該導(dǎo)向環(huán)31的作用是調(diào)整相對于氣缸40的姿態(tài)和在氣缸內(nèi)表面41形成轉(zhuǎn)移膜,抑制活塞環(huán)20的磨耗。由此,活塞環(huán)20即使在由氮分子等無極性分子組成的氣體或干燥空氣中也能夠在由導(dǎo)向環(huán)31生成的轉(zhuǎn)移膜上滑動,因此能夠在不與氣缸內(nèi)表面41的凹凸直接接觸下滑動,抑制了活塞環(huán)20磨耗。
[0074]【實(shí)施例8】
[0075]圖13是表示實(shí)施例8中的滑動部的剖面的圖。圖13所示的結(jié)構(gòu)中,作為圖12的導(dǎo)向環(huán)31的替代,將增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂膜32直接成膜于活塞I上。作為成膜法,在增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的樹脂膜32為PFA的情況下,優(yōu)選將活塞I放入加熱成液體狀的PFA中來鑄造。此外,如果為PEEK、環(huán)氧樹脂,則使用溶解其的有機(jī)溶劑將其溶解,接著將溶解其的有機(jī)溶劑涂布在活塞表面并成膜。
[0076]如上所述的氣體壓縮機(jī)即使在壓縮由氮分子等無極性分子組成的氣體或干燥空氣的情況下也能夠抑制活塞環(huán)20磨耗。
[0077]【實(shí)施例9】
[0078]圖14是表示實(shí)施例9中的分析儀器的圖。
[0079]分析儀器是測量、分析樣品的物理特征或組成等的裝置的總稱,例如有測量半導(dǎo)體晶圓上的細(xì)微的電路圖樣的尺寸的掃描型電子顯微鏡的特征尺寸掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)等。這些分析儀器為了測量樣品(sample)必須移動,因此需要滑動部件。分析儀器因檢測細(xì)微構(gòu)造或成分的特點(diǎn),需要避免在滑動部件中使用潤滑油。此外,由于滑動部件的磨損粉末可能影響檢測結(jié)果,因此為對磨損粉末敏感的裝置。
[0080]圖14表不將本發(fā)明應(yīng)用于一般的分析儀器的結(jié)構(gòu),表不在腔室50和在腔室內(nèi)部51配置樣品臺53、檢測裝置52及樣品55等的結(jié)構(gòu)。在本分析儀器中,為了能夠利用檢測裝置分析樣品,將樣品固定在樣品臺53上,并使其在導(dǎo)軌54上移動。樣品臺移動時為了使其在導(dǎo)軌上平滑地移動,在樣品臺與導(dǎo)軌之間設(shè)有PTFE復(fù)合材料56和增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的材料57。此外,將PTFE復(fù)合材料和增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的材料固定在樣品臺上,在導(dǎo)軌上滑動。應(yīng)用本發(fā)明的分析儀器通過形成轉(zhuǎn)移膜的材料在導(dǎo)軌表面形成樹脂轉(zhuǎn)移膜。因此,避免PTFE復(fù)合材料與導(dǎo)軌的直接接觸,結(jié)果是降低了 PTFE復(fù)合材料的磨耗。此外,由于磨損粉末的排出被抑制,能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)良的分析儀器。
[0081]此外,在圖14中,所述滑動部與PTFE復(fù)合材料56及增進(jìn)轉(zhuǎn)移膜形成的材料57相互獨(dú)立,但也可以形成為一體。
[0082]以上針對實(shí)施例進(jìn)行說明,但本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施例,包含了各種變形例。例如,上述實(shí)施例是為了對本發(fā)明易懂地說明而進(jìn)行的詳細(xì)說明,并非限定必須具備所說明的全部的結(jié)構(gòu)。此外,可將某實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分替換成其它實(shí)施例的結(jié)構(gòu),或者可在某實(shí)施例中添加其它實(shí)施例的結(jié)構(gòu)。另外,針對各實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分,能夠進(jìn)行其它結(jié)構(gòu)的追加、刪除、替換。例如可組合圖6的活塞環(huán)21與圖12的導(dǎo)向環(huán)31。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體壓縮機(jī),其包括以金屬為主體而成型的氣缸、活塞和以PTFE樹脂為主體而成型的活塞環(huán),通過利用活塞對氣缸內(nèi)設(shè)置的壓縮室內(nèi)的氣體進(jìn)行壓縮來產(chǎn)生壓縮氣體,該氣體壓縮機(jī)的特征在于: 在所述活塞環(huán)的附近設(shè)置有與所述氣缸相對滑動的滑動部,該滑動部由比所述PTFE樹脂更易于轉(zhuǎn)移到所述氣缸的樹脂構(gòu)成,所述活塞環(huán)在所述滑動部滑動過的所述氣缸上滑動。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體壓縮機(jī),其特征在于: 所述滑動部由含有醚鏈的高分子構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求2所述的氣體壓縮機(jī),其特征在于: 所述含有醚鏈的高分子為包含PAI樹脂、PBT樹脂、PEI樹脂、PGT樹脂、PEEK樹脂、環(huán)氧樹脂中的至少一種的樹脂。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的氣體壓縮機(jī),其特征在于: 所述滑動部為第二活塞環(huán)。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的氣體壓縮機(jī),其特征在于: 所述滑動部為導(dǎo)向環(huán)。
6.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的氣體壓縮機(jī),其特征在于: 所述滑動部與所述活塞環(huán)形成為一體。
7.一種分析儀器,其具有檢測裝置、樣品臺和導(dǎo)軌,通過使樣品臺在導(dǎo)軌上移動來進(jìn)行樣品臺上的樣品的分析,其特征在于: 在所述樣品臺的與導(dǎo)軌相對滑動的部分上設(shè)置以PTFE樹脂為主體的第一滑動部,在所述第一滑動部附近還設(shè)置與所述導(dǎo)軌相對滑動的第二滑動部,所述第二滑動部由比所述PTFE樹脂更易于轉(zhuǎn)移到所述導(dǎo)軌的樹脂構(gòu)成,所述第一滑動部在所述第二滑動部滑動過的所述導(dǎo)軌上滑動。
8.如權(quán)利要求7所述的分析儀器,其特征在于: 所述第二滑動部由含有醚鏈的高分子構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求8所述的分析儀器,其特征在于: 所述含有醚鏈的高分子為包含PAI樹脂、PBT樹脂、PEI樹脂、PGT樹脂、PEEK樹脂、環(huán)氧樹脂中的至少一種的樹脂。
10.如權(quán)利要求7至9任一項(xiàng)所述的分析儀器,其特征在于: 所述第二滑動部與所述第一滑動部形成為一體。
11.一種滑動部件,其與以PTFE樹脂為主體的PTFE復(fù)合材料部件共同使用,其特征在于: 所述滑動部件由比所述PTFE樹脂更易于轉(zhuǎn)移到相對滑動部件的樹脂構(gòu)成。
12.如權(quán)利要求11所述的滑動部件,其特征在于: 所述滑動部件由含有醚鏈的高分子構(gòu)成。
13.如權(quán)利要求12所述的滑動部件,其特征在于: 所述含有醚鏈的高分子為包含PAI樹脂、PBT樹脂、PEI樹脂、PGT樹脂、PEEK樹脂、環(huán)氧樹脂中的至少一種的樹脂。
14.如權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的滑動部件,其特征在于:所述滑動部件為活塞環(huán)。
15.如權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的滑動部件,其特征在于:所述滑動部為導(dǎo)向環(huán)。
16.如權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的滑動部件,其特征在于:所述滑動部件與所述PTFE復(fù)合材料部件形成為一體。
【文檔編號】F04B39/00GK104214074SQ201410037968
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年1月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月3日
【發(fā)明者】川崎健司, 小野寺拓, 山口靜, 馬場 升, 相馬憲一, 長谷川真弘, 三橋博, 福井宏治 申請人:株式會社日立產(chǎn)機(jī)系統(tǒng)