專利名稱：氣缸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)械結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及氣缸。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體薄膜材料外延生長的方法主要采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)，該技術(shù)在對于晶圓進(jìn)行化學(xué)氣相沉積之前，晶圓一般都由機(jī)械手從晶圓暫存裝置或是上一個制程的設(shè)備中傳送過來待命。當(dāng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備可用時，化學(xué)氣相沉積設(shè)備上的氣缸就會放氣來打開化學(xué)氣相沉積設(shè)備的腔體門，并通過機(jī)械手將晶圓傳送至化學(xué)氣相沉積設(shè)備中。由于氣缸通常是采用油密封結(jié)構(gòu)的，因此在氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，從而對晶圓質(zhì)量產(chǎn)生損壞
實(shí)用新型內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的是提供氣缸，它具有可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質(zhì)量廣生損壞的特點(diǎn)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是氣缸，包括氣缸本體，所述氣缸本體包括上濾油裝置和下濾油裝置，所述上濾油裝置與所述下濾油裝置通過螺栓連接，所述上濾油裝置包括上支撐連接塊和與上支撐連接塊配合連接的上濾油層，所述下濾油裝置包括下支撐連接塊和與下支撐連接塊配合連接的下濾油層，所述下濾油層插設(shè)于所述下支撐連接塊內(nèi)，所述上支撐連接塊與下支撐連接塊均開設(shè)有排氣孔，所述上濾油層與所述下濾油層分別罩設(shè)于所述排氣孔上方。其中，所述上濾油層與所述下濾油層均為油氈或無塵過濾紙。采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型包括氣缸本體，所述氣缸本體包括上濾油裝置和下濾油裝置，所述上濾油裝置與所述下濾油裝置通過螺栓連接，所述上濾油裝置包括上支撐連接塊和與上支撐連接塊配合連接的上濾油層，所述下濾油裝置包括下支撐連接塊和與下支撐連接塊配合連接的下濾油層，所述下濾油層插設(shè)于所述下支撐連接塊內(nèi)，所述上支撐連接塊與下支撐連接塊均開設(shè)有排氣孔，所述上濾油層與所述下濾油層分別罩設(shè)于所述排氣孔上方，本實(shí)用新型通過在氣缸本體設(shè)置兩個濾油裝置，且兩個濾油裝置均開設(shè)有排氣孔，故可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質(zhì)量產(chǎn)生損壞。
以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、氣缸本體； 2、上濾油裝置；[0010]3、下濾油裝置；4、螺栓；5、上支撐連接塊； 6、上濾油層；7、下支撐連接塊； 8、下濾油層。
具體實(shí)施方式
以下所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不因此而限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。如圖I所示氣缸，包括氣缸本體1，所述氣缸本體I包括上濾油裝置2和下濾油裝置3，所述上濾油裝置2與所述下濾油裝置3通過螺栓4連接，所述上濾油裝置2包括上支撐連接塊5和與上支撐連接塊5配合連接的上濾油層6，所述下濾油裝置3包括下支撐連接塊7和與下支撐連接塊7配合連接的下濾油層8，所述下濾油層8插設(shè)于所述下支撐 連接塊7內(nèi)，所述上支撐連接塊5與下支撐連接塊7均開設(shè)有排氣孔，所述上濾油層6與所述下濾油層8分別罩設(shè)于所述排氣孔上方，本實(shí)用新型通過在氣缸本體I設(shè)置兩個濾油裝置，且兩個濾油裝置均開設(shè)有排氣孔，故可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質(zhì)量產(chǎn)生損壞。本實(shí)施例中，所述上濾油層6與所述下濾油層8均為油氈或無塵過濾紙，所述上濾油層6與所述下濾油層8出了采用油氈或無塵過濾紙外還可為其他的材料，只要能防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質(zhì)量廣生損壞即可。以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本實(shí)用新型專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利申請范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.氣缸，包括氣缸本體(I)，其特征在于所述氣缸本體(I)包括上濾油裝置(2)和下濾油裝置(3)，所述上濾油裝置(2)與所述下濾油裝置(3)通過螺栓(4)連接，所述上濾油裝置(2)包括上支撐連接塊(5)和與上支撐連接塊(5)配合連接的上濾油層￠)，所述下濾油裝置(3)包括下支撐連接塊(7)和與下支撐連接塊(7)配合連接的下濾油層(8)，所述下濾油層(8)插設(shè)于所述下支撐連接塊(7)內(nèi)，所述上支撐連接塊(5)與下支撐連接塊(7)均開設(shè)有排氣孔，所述上濾油層￠)與所述下濾油層(8)分別罩設(shè)于所述排氣孔上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣缸，其特征在于所述上濾油層(6)與所述下濾油層(8)均為油租或無塵過濾紙。
專利摘要本實(shí)用新型涉及機(jī)械結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及氣缸，本實(shí)用新型包括氣缸本體，氣缸本體包括上濾油裝置和下濾油裝置，上濾油裝置與下濾油裝置通過螺栓連接，上濾油裝置包括上支撐連接塊和與上支撐連接塊配合連接的上濾油層，下濾油裝置包括下支撐連接塊和與下支撐連接塊配合連接的下濾油層，下濾油層插設(shè)于下支撐連接塊內(nèi)，上支撐連接塊與下支撐連接塊均開設(shè)有排氣孔，上濾油層與下濾油層分別罩設(shè)于排氣孔上方，本實(shí)用新型通過在氣缸本體設(shè)置兩個濾油裝置，且兩個濾油裝置均開設(shè)有排氣孔，故可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質(zhì)量產(chǎn)生損壞。
文檔編號F15B15/20GK202468539SQ20122006644
公開日2012年10月3日 申請日期2012年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月25日
發(fā)明者董紹永 申請人:董紹永