本發(fā)明涉及半導(dǎo)體鍍膜，更具體地，涉及一種防止泵返油裝置及抽真空系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、蒸鍍膜設(shè)備(如真空電鍍機)抽真空時多采用油泵，主要是考慮到緩沖室體積較大，配備油泵是比較經(jīng)濟有效的抽真空方式。但因真空電鍍機加油量高或油泵油氧化，會造成返油到緩沖室。薄膜蒸鍍工藝用于半導(dǎo)體器件的制備，油對半導(dǎo)體薄膜的膜層質(zhì)量影響巨大。在油泵口處安裝冷阱，在滿足抽真空要求的同時能夠減少油污對工藝制程的影響，但是從理論角度分析，即使冷阱可以將返油控制到ppm級，也無法做到絕對零返油。長期使用過程中，無法避免油污會對膜層質(zhì)量造成不良影響，從而最終影響電池器件效率。

2、因此，需要一種防止泵返油裝置及抽真空系統(tǒng)，來解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提出一種防止泵返油裝置及抽真空系統(tǒng)，來解決高溫鍍膜工藝中因泵返油影響成膜質(zhì)量的問題。

2、基于上述目的本發(fā)明提供的一種防止泵返油裝置，包括：

3、緩沖室，所述緩沖室內(nèi)設(shè)置有緩沖腔，所述緩沖室的側(cè)面設(shè)置有連接管；所述緩沖室的豎直方向以及水平方向上分別設(shè)置有至少一個第一開口和至少一個第二開口；所述第一開口和所述第二開口分別設(shè)置有第一閥板和第二閥板；

4、觸鎖組件，所述觸鎖組件包括互鎖機構(gòu)以及通過所述互鎖機構(gòu)控制的第一觸發(fā)機構(gòu)和第二觸發(fā)機構(gòu)，所述第一觸發(fā)機構(gòu)用于驅(qū)動所述第一閥板往復(fù)移動，以控制所述第一開口啟閉，所述第二觸發(fā)機構(gòu)用于驅(qū)動所述第二閥板往復(fù)移動，以控制所述第二開口啟閉；所述互鎖機構(gòu)啟閉，以控制所述第一觸發(fā)機構(gòu)和所述第二觸發(fā)機構(gòu)至多擇一開啟第一開口或第二開口；

5、驅(qū)動機構(gòu)，所述驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述觸鎖組件運作。

6、可選地，所述緩沖室包括頂板、底板以及側(cè)壁，所述側(cè)壁設(shè)置于所述頂板和所述底板之間，且三者圍合形成所述緩沖腔，所述頂板為所述驅(qū)動機構(gòu)提供支撐，所述第一開口設(shè)置在所述底板上，所述第二開口和所述連接管均設(shè)置在所述側(cè)壁上，且分別位于所述第一開口的相對兩側(cè)；所述觸鎖組件設(shè)置于所述緩沖腔內(nèi)，且與所述頂板可移動連接。

7、可選地，所述第一閥板罩設(shè)在所述第一開口上，所述第一觸發(fā)機構(gòu)能夠推拉所述第一閥板往復(fù)移動；所述第二閥板與所述第二開口的周邊可轉(zhuǎn)動連接，所述第二閥板上設(shè)置有把手環(huán)，所述第二觸發(fā)機構(gòu)能夠推拉所述把手環(huán)，以驅(qū)動所述第二閥板往復(fù)轉(zhuǎn)動。

8、可選地，所述第一觸發(fā)機構(gòu)包括觸發(fā)軸以及套設(shè)于所述觸發(fā)軸外的第一滑套，所述第一閥板與所述第一滑套連接，所述觸發(fā)軸與所述驅(qū)動機構(gòu)連接，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述觸發(fā)軸沿著所述緩沖室的豎直方向往復(fù)移動，來推拉所述第一滑套帶動所述第一閥板往復(fù)移動。

9、可選地，所述第二觸發(fā)機構(gòu)包括觸發(fā)部以及套設(shè)于所述觸發(fā)部外的第二滑套，所述第二滑套穿設(shè)于所述把手環(huán)的相對兩側(cè)環(huán)壁，所述觸發(fā)部位于兩側(cè)所述環(huán)壁之間，所述第二滑套至少局部置于所述第一滑套內(nèi)，且能夠沿著所述第一滑套往復(fù)移動，來帶動所述觸發(fā)部推拉所述把手環(huán)，所述互鎖機構(gòu)能夠鎖定或解鎖所述第一滑套和所述第二滑套的相對位置。

10、可選地，所述互鎖機構(gòu)包括鎖定結(jié)構(gòu)和彈性密封罩，所述鎖定結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第一滑套和所述第二滑套的搭接處，所述鎖定結(jié)構(gòu)能夠鎖定或解鎖所述第一滑套和所述第二滑套的相對位置；所述彈性連接罩罩設(shè)在所述第一滑套和所述第二滑套的搭接處，所述彈性連接罩的相對兩端分別與所述第一滑套和所述第二滑套連接，所述彈性連接罩能夠隨著所述第二滑套沿著所述第一滑套往復(fù)移動而相對伸縮。

11、可選地，所述第一滑套和所述第二滑套在搭接處分別設(shè)置有限位孔和安裝孔，所述鎖定結(jié)構(gòu)包括限位座和第一彈簧，所述限位座上設(shè)置有觸點，所述觸發(fā)軸的相應(yīng)位置設(shè)置有與所述觸點配合使用的滑槽，所述限位座置于所述安裝孔內(nèi)，所述第一彈簧套設(shè)在所述限位座上，且相對兩端分別抵接在所述限位座以及所述第一滑套上；所述觸點與所述觸發(fā)軸接觸，所述限位座壓縮所述第一彈簧發(fā)生形變并進入所述限位孔，以鎖定所述第一滑套和所述第二滑套的相對位置；所述觸點與所述滑槽接觸，所述第一彈簧為恢復(fù)形變推動所述限位座退出所述限位孔，以解鎖所述第一滑套和所述第二滑套的相對位置。

12、可選地，所述第一滑套內(nèi)設(shè)置有緩沖器，所述緩沖器置于所述第一閥板和所述觸發(fā)軸之間。

13、另外，可選地，所述把手環(huán)上連接有第二彈簧，所述第二彈簧遠離所述把手環(huán)的一端連接在所述緩沖室的所述頂板上。

14、本發(fā)明還提出一種抽真空系統(tǒng)，所述抽真空系統(tǒng)包括如上述的防止泵返油裝置、至少一個油泵和至少一個非油泵，所述油泵的泵口與第一開口相對設(shè)置，第一閥板用于控制所述第一開口和/或所述油泵的泵口的啟閉；所述非油泵的泵口與第二開口相對設(shè)置，第二閥板用于控制所述第二開口和/或所述非油泵的泵口的啟閉。

15、從上面所述可以看出，本發(fā)明提供的防止泵返油裝置及抽真空系統(tǒng)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點：驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動觸鎖組件啟閉控制第一閥板和第二閥板動作，分別實現(xiàn)在第一開口處的油泵、第二開口處的非油泵與緩沖腔交替通斷，實現(xiàn)鍍膜過程中泵組無返油；具體地說，在從大氣到真空狀態(tài)時，采用第一開口與油泵配合處理，在此過程中，非油泵保持關(guān)閉狀態(tài)，避免油蒸汽進入非油泵，在達到并維持真空狀態(tài)時，采用第二開口與非油泵配合處理，在此過程中，油泵保持關(guān)閉狀態(tài)，保證鍍膜過程中無返油。進而消除了在真空鍍膜工藝中返油的風(fēng)險，確保整個鍍膜工藝過程中無油污，從而提高了膜層質(zhì)量。防止泵返油裝置結(jié)構(gòu)巧妙，空間利用率高，易安裝。采用上述抽真空系統(tǒng)，利用防止泵返油裝置將非油泵和油泵進行整合，降低了非油泵的使用數(shù)量，發(fā)揮了油泵抽速快、成本低的優(yōu)勢，又利用非油泵無返油的優(yōu)勢，兼顧成本與效益。

技術(shù)特征：

1.一種防止泵返油裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求4至7任一項所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

9.根據(jù)權(quán)利要求3至7任一項所述的防止泵返油裝置，其特征在于：

10.一種抽真空系統(tǒng)，其特征在于：所述抽真空系統(tǒng)包括如權(quán)利要求1至9任一項所述的防止泵返油裝置、至少一個油泵和至少一個非油泵，所述油泵的泵口與第一開口相對設(shè)置，第一閥板用于控制所述第一開口和/或所述油泵的泵口的啟閉；所述非油泵的泵口與第二開口相對設(shè)置，第二閥板用于控制所述第二開口和/或所述非油泵的泵口的啟閉。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種防止泵返油裝置及抽真空系統(tǒng)，包括：緩沖室，其內(nèi)設(shè)有緩沖腔，緩沖室的側(cè)面設(shè)置有連接管；緩沖室的豎直方向以及水平方向上分別設(shè)有至少一個第一開口和至少一個第二開口；第一開口和第二開口分別設(shè)有第一閥板和第二閥板；觸鎖組件，其包括互鎖機構(gòu)以及通過互鎖機構(gòu)控制的第一觸發(fā)機構(gòu)和第二觸發(fā)機構(gòu)，第一觸發(fā)機構(gòu)驅(qū)動第一閥板往復(fù)移動，以控制第一開口啟閉，第二觸發(fā)機構(gòu)驅(qū)動第二閥板往復(fù)移動，以控制第二開口啟閉；互鎖機構(gòu)啟閉，以控制第一觸發(fā)機構(gòu)和第二觸發(fā)機構(gòu)至多擇一開啟第一開口或第二開口；驅(qū)動機構(gòu)，其驅(qū)動觸鎖組件運作。本發(fā)明公開了一種防止泵返油裝置及抽真空系統(tǒng)，解決高溫鍍膜工藝中因泵返油影響成膜質(zhì)量的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：尚鐵煒,劉曉宇,鐘大龍,王銳
受保護的技術(shù)使用者：國家能源投資集團有限責任公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10