專利名稱:波紋形金屬膜片氣體減壓器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種氣體減壓器,尤其涉及一種波紋形金屬膜片氣體減壓器。
背景技術(shù):
氣體減壓器是對高壓瓶裝氣及管道高壓供氣進(jìn)行減壓和流量控制的調(diào)節(jié)裝置。隨 著科學(xué)的發(fā)展,氣體減壓器廣泛的應(yīng)用于分析儀器行業(yè)、置配氣行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、醫(yī)療行業(yè)、 電力行業(yè)、石油化工行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)等。目前氣體減壓器選用的膜片有以下兩種1、橡膠膜片氣體減壓器由于橡膠膜片會(huì)嚴(yán)重污染高純氣體,降低儀器的檢測精 度,直接影響到半導(dǎo)體元器件的產(chǎn)品質(zhì)量,所以不能用于分析儀器行業(yè)、置配氣行業(yè)、環(huán)保 行業(yè)、醫(yī)療行業(yè)、電力行業(yè)、石油化工行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及高純氣體上。2、金屬膜片氣體減壓器目前廣泛用于分析儀器行業(yè)、置配氣行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、醫(yī) 療行業(yè)、電力行業(yè)、石油化工行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及高純氣體上。但金屬膜片抗應(yīng)力大,不能達(dá) 到需要精密控制的壓力和流量。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的問題在于克服以上缺陷,提供了一種結(jié)構(gòu)簡單,性能可靠, 經(jīng)濟(jì)實(shí)用,能夠精密控制壓力和流量的波紋形金屬膜片減壓器。本實(shí)用新型波紋形金屬膜片氣體減壓器,包括氣體減壓器主體(1)、波紋形金屬 膜片⑵、蓋⑶、大彈簧(4)、穩(wěn)簧座(5)、蓋螺母(6)、手柄(7)、螺母(8)、調(diào)節(jié)桿(9)、簧 座(10)、整體式閥芯(11)、過濾塞(12)、進(jìn)氣嘴(13)、安全閥(14)、出氣嘴(15)、低壓表頭 (16)、高壓表頭(17)、大螺母(18)、手柄蓋(19)、翻邊(20)、波紋(21)。其特征波紋形金屬 膜片( 為圓形,邊緣向一側(cè)翻邊(20),從圓心向外擴(kuò)展波紋。波紋形金屬膜片( 邊緣的 翻邊00)放置在氣體減壓器主體(1)與蓋C3)緊密連接處。本實(shí)用新型波紋形金屬膜片氣體減壓器,波紋形金屬膜片選用316L不銹鋼材料, 既不污染高純氣體,耐腐蝕,又能達(dá)到精密的穩(wěn)壓穩(wěn)流的效果。以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體方式作一詳細(xì)說明。
圖1為現(xiàn)有波紋形金屬膜片氣體減壓器的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為現(xiàn)有波紋形金屬膜片氣體減壓器的外形示意圖;圖3為現(xiàn)有波紋形金屬膜片氣體減壓器的波紋形金屬膜片示意圖;圖中1、氣體減壓器主體2、波紋形金屬膜片3、蓋4、大彈簧5、穩(wěn)簧座6、蓋螺母7、 手柄8、螺母9、調(diào)節(jié)桿10、簧座11、整體式閥芯12、過濾塞13、進(jìn)氣嘴14、安全閥15、出氣嘴 16、低壓表頭17、高壓表頭18、大螺母19、手柄蓋20、翻邊21、波紋具體實(shí)施方式
如
圖1、圖2、圖3所示,為現(xiàn)有技術(shù)中波紋形金屬膜片氣體減壓器的結(jié)構(gòu)示意圖、 外形示意圖、波紋形金屬膜片示意圖。波紋形金屬膜片氣體減壓器在工作時(shí),氣體先通過進(jìn) 氣嘴(1 及過濾塞(1 進(jìn)入氣體減壓器主體(1),再通過整體式閥芯(11)進(jìn)入氣體減壓 器的低壓室,通過設(shè)置的波紋形金屬膜片( 、大彈簧(4)、穩(wěn)簧座( 、調(diào)節(jié)桿(9)、手柄(7) 來獲得氣源。波紋形金屬膜片( 為圓形,邊緣向一側(cè)翻邊(20),從圓心向外擴(kuò)展波紋,波 紋形金屬膜片( 邊緣的翻邊00)放置在氣體減壓器主體(1)與蓋C3)緊密連接處,波紋 形金屬膜片為316L不銹鋼材料制作,耐腐蝕,不污染高純氣體,還能夠精密控制穩(wěn)壓穩(wěn)流 的氣源。
具體實(shí)施方式
為首先將高壓表頭(17)、低壓表頭(16)、安全閥(14)、進(jìn)氣嘴 (13)、出氣嘴(15)、整體式閥芯(11)旋擰連接于氣體減壓器主體(1)上,再將波紋形金屬 膜片( 卡放在氣體減壓器主體(1)上端,然后按順序裝入大彈簧G)、穩(wěn)簧座(7),將調(diào)節(jié) 桿(9)旋擰入蓋C3)上端,再用蓋C3)與氣體減壓器主體(1)相接旋緊,最后在調(diào)節(jié)桿(9) 的上端裝上手柄(7)。使用時(shí)整體式閥芯氣體減壓器的進(jìn)氣嘴(1 與氣瓶(氣路管道) 相連接,出氣嘴(1 與使用的儀器相連接,通過手柄(7)調(diào)節(jié)獲得所需要的氣體壓力及流 量。由于波紋形金屬膜片(2)獨(dú)特的波紋結(jié)構(gòu),能夠大大減少膜片對氣體的抗應(yīng)力,能夠達(dá) 到精密的穩(wěn)壓穩(wěn)流的效果。且波紋形金屬膜片為316L不銹鋼材料制作,既耐腐蝕,又不污 染高純氣體。另外波紋形金屬膜片氣體減壓器設(shè)置有安全閥(14),當(dāng)使用氣體壓力超過額 定壓力的1.3倍時(shí),安全閥(14)就會(huì)自動(dòng)排放氣體,保證了使用者的安全。
權(quán)利要求1. 一種波紋形金屬膜片氣體減壓器,包括氣體減壓器主體(1)、波紋形金屬膜片O)、 蓋(3)、大彈簧(4)、穩(wěn)簧座(5)、蓋螺母(6)、手柄(7)、螺母(8)、調(diào)節(jié)桿(9)、簧座(10)、整 體式閥芯(11)、過濾塞(12)、進(jìn)氣嘴(13)、安全閥(14)、出氣嘴(15)、低壓表頭(16)、高壓 表頭(17)、大螺母(18)手柄蓋(19)、翻邊(20)、波紋(21),其波紋形金屬膜片⑵為圓形, 邊緣向一側(cè)翻邊(20),從圓心向外擴(kuò)展波紋,波紋形金屬膜片( 邊緣的翻邊00)放置在 氣體減壓器主體(1)與蓋C3)緊密連接處。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種波紋形金屬膜片氣體減壓器,包括氣體減壓器主體(1)、波紋形金屬膜片(2)、蓋(3)、大彈簧(4)、穩(wěn)簧座(5)、蓋螺母(6)、手柄(7)、螺母(8)、調(diào)節(jié)桿(9)、簧座(10)、整體式閥芯(11)、過濾塞(12)、進(jìn)氣嘴(13)、安全閥(14)、出氣嘴(15)、低壓表頭(16)、高壓表頭(17)、大螺母(18)手柄蓋(19)、翻邊(20)、波紋(21)。其特征是波紋形金屬膜片(2)為圓形,邊緣向一側(cè)翻邊(20),從圓心向外擴(kuò)展波紋。波紋形金屬膜片(2)邊緣的翻邊(20)放置在氣體減壓器主體(1)與蓋(3)緊密連接處。氣體減壓器工作時(shí)由于波紋形金屬膜片(2)上面的波紋形狀減少了抗應(yīng)力,使得氣體減壓器工作狀態(tài)時(shí)穩(wěn)壓穩(wěn)流,精度高。
文檔編號F16K13/00GK201827451SQ20102056781
公開日2011年5月11日 申請日期2010年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月10日
發(fā)明者董華偉, 錢業(yè)盛, 錢立民 申請人:董華偉, 錢業(yè)盛, 錢立民