一種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座。
【背景技術(shù)】
[0002]精密機(jī)臺(tái)是PCB光刻設(shè)備的重要組成部分，在工作過程中，其上部連接曝光裝置，下部通過安裝座與大地或者底框連接。PCB光刻設(shè)備對精度要求很高，環(huán)境周邊的振動(dòng)對其光刻精度有很大影響，嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成光刻圖形錯(cuò)位。由于環(huán)境振動(dòng)源多樣，振動(dòng)傳遞過程復(fù)雜，如果能及時(shí)測量出精密機(jī)臺(tái)受到振動(dòng)的大小，將精密機(jī)臺(tái)安裝在較平穩(wěn)的地方，可以大大提高PCB光刻設(shè)備的穩(wěn)定性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，能夠減小環(huán)境振動(dòng)對精密機(jī)臺(tái)的影響同時(shí)測量振幅大小。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:
[0005]—種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，包括上減振塊、下減振塊和若干滾柱，所述上減振塊與精密機(jī)臺(tái)固定連接，所述若干滾柱緊壓設(shè)置在所述上減振塊的下表面與所述下減振塊的上表面之間，所述上減振塊的下表面為外凸弧面，所述下減振塊的上表面為與所述外凸弧面配合的內(nèi)凹弧面，所述下減振塊的一側(cè)面設(shè)有振幅刻度條，所述上減振塊的相應(yīng)側(cè)面設(shè)有用于指向所述振幅刻度條的指示條。
[0006]所述的可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，所述下減振塊設(shè)置所述振幅刻度條的側(cè)面在所述振幅刻度條的兩端上方各設(shè)有一個(gè)限位塊，所述限位塊與所述指示條配合，用于防止上減振塊滑脫。
[0007]所述的可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，所述下減振塊的上表面邊緣處設(shè)有擋條，用于防止?jié)L柱滑脫。
[0008]由上述技術(shù)方案可知，當(dāng)精密機(jī)臺(tái)受到振動(dòng)時(shí)，本實(shí)用新型的上減振塊會(huì)帶動(dòng)精密機(jī)臺(tái)相對于下減振塊沿弧面滑動(dòng)，吸收振動(dòng)能量，減小振幅，并隨著上減振塊的移動(dòng)測量振幅。本實(shí)用新型巧妙結(jié)合指針刻度和滾柱結(jié)構(gòu)，不但可以減小振動(dòng)對精密機(jī)臺(tái)的影響，同時(shí)還可以測量振幅大小，為進(jìn)一步消減振動(dòng)提供數(shù)據(jù)支持。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型的上減振塊示意圖；
[0011]圖3是本實(shí)用新型的下減振塊示意圖；
[0012]圖4是本實(shí)用新型與精密機(jī)臺(tái)配合示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本實(shí)用新型。
[0014]如圖1?圖4所示，一種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，包括上減振塊1、下減振塊2和若干滾柱3。上減振塊1的下表面為外凸弧面，下減振塊2的上表面為內(nèi)凹弧面，外凸弧面與內(nèi)凹弧面配合，可以使上減振塊1與下減振塊2構(gòu)成的整體結(jié)構(gòu)呈長方體狀。上減振塊1的上表面開設(shè)有若干螺栓安裝孔，用于與精密機(jī)臺(tái)0通過螺栓固定連接。若干滾柱3緊壓設(shè)置在上減振塊1的下表面與下減振塊2的上表面之間。當(dāng)精密機(jī)臺(tái)0受到振動(dòng)時(shí)，上減振塊1帶動(dòng)精密機(jī)臺(tái)0向兩側(cè)沿弧面滑動(dòng)，吸收振動(dòng)能量，減小振幅。
[0015]下減振塊2的一側(cè)面刻有振幅刻度條21，并在振幅刻度條21的兩端上方各固定設(shè)有一個(gè)限位塊22，上減振塊1的相應(yīng)側(cè)面固定設(shè)有指示條11。在精密機(jī)臺(tái)0振動(dòng)過程中，可根據(jù)指示條11指向振幅刻度條21上的刻度位置來獲知精密機(jī)臺(tái)0的振幅，同時(shí)指示條11與限位塊22配合，可防止上減振塊1在振動(dòng)過程中滑脫。下減振塊2的上表面四周邊緣處設(shè)有擋條23，擋條23與內(nèi)凹弧面構(gòu)成四周封閉的凹槽，可防止?jié)L柱3在振動(dòng)過程中滑脫。當(dāng)滑動(dòng)到最高點(diǎn)或指示條11碰觸到限位塊22時(shí)，精密機(jī)臺(tái)0會(huì)沿弧面滑回原位。
[0016]以上所述實(shí)施方式僅僅是對本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，其特征在于:包括上減振塊、下減振塊和若干滾柱，所述上減振塊與精密機(jī)臺(tái)固定連接，所述若干滾柱緊壓設(shè)置在所述上減振塊的下表面與所述下減振塊的上表面之間，所述上減振塊的下表面為外凸弧面，所述下減振塊的上表面為與所述外凸弧面配合的內(nèi)凹弧面，所述下減振塊的一側(cè)面設(shè)有振幅刻度條，所述上減振塊的相應(yīng)側(cè)面設(shè)有用于指向所述振幅刻度條的指示條。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，其特征在于:所述下減振塊設(shè)置所述振幅刻度條的側(cè)面在所述振幅刻度條的兩端上方各設(shè)有一個(gè)限位塊，所述限位塊與所述指示條配合，用于防止上減振塊滑脫。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，其特征在于:所述下減振塊的上表面邊緣處設(shè)有擋條，用于防止?jié)L柱滑脫。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種可測振幅的精密機(jī)臺(tái)減振座，包括上減振塊、下減振塊和若干滾柱，所述上減振塊與精密機(jī)臺(tái)固定連接，所述若干滾柱緊壓設(shè)置在所述上減振塊的下表面與所述下減振塊的上表面之間，所述上減振塊的下表面為外凸弧面，所述下減振塊的上表面為與所述外凸弧面配合的內(nèi)凹弧面，所述下減振塊的一側(cè)面設(shè)有振幅刻度條，所述上減振塊的相應(yīng)側(cè)面設(shè)有用于指向所述振幅刻度條的指示條。本實(shí)用新型巧妙結(jié)合指針刻度和滾柱結(jié)構(gòu)，不但可以減小振動(dòng)對精密機(jī)臺(tái)的影響，同時(shí)還可以測量振幅大小，為進(jìn)一步消減振動(dòng)提供數(shù)據(jù)支持。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理。
【IPC分類】F16M5/00, F16F15/02
【公開號】CN204962175
【申請?zhí)枴緾N201520707184
【發(fā)明人】曹常瑜
【申請人】合肥芯碁微電子裝備有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年9月14日