專利名稱：外觀檢測方法,標準圖案及具有標準圖案的外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適于對外觀具有重復(fù)圖案的例如存儲器和CCD(電荷耦合元件)這樣的半導(dǎo)體芯片的外觀進行檢查的外觀檢查方法及裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有習知的用于判斷半導(dǎo)體芯片有無缺陷的檢查方法中，有一種對由檢查對象即半導(dǎo)片芯片的外觀所得到的圖像圖案和由優(yōu)質(zhì)品所得到的標準圖案進行比較的圖案匹配方法(例如參照專利文獻1。)。
如利用該方法，通過兩圖案的比較，可利用圖像的數(shù)據(jù)處理對半導(dǎo)體芯片上所附著的粉塵、撞擊疤痕這種可能招致電氣接觸不良的缺陷進行檢測，能夠有效地判定半導(dǎo)體芯片的合格與否。
專利文獻1日本專利早期公開的特開2002-109515號公報(第3、4頁，圖2)然而，在作為檢查對象的半導(dǎo)體芯片中，存儲器和CCD是使多個相同的構(gòu)成部分進行排列并形成于半導(dǎo)體芯片基片上。這種半導(dǎo)體芯片的外觀形成由相同構(gòu)成部分所構(gòu)成的基本圖案的反復(fù)。
因此，在這種具有重復(fù)圖案的半導(dǎo)體芯片的外觀檢查中，可考慮將與形成重復(fù)圖案的單位的基本圖案一致的單一基準圖案部分用作標準圖案，并將該基準圖案部分與半導(dǎo)體芯片的檢查區(qū)域的對應(yīng)的各圖像部分進行比較。
但是，在利用單一的基準圖案部分，并將該基準圖案部分應(yīng)用于矩形的檢查區(qū)域的邊緣部例如角部時，為了不使基準圖案部分從檢查區(qū)域的邊緣部溢出，需要與該檢查區(qū)域的圖像的嚴密的在數(shù)據(jù)上的位置對合。通過該位置對合，當基準圖案部分從檢查區(qū)域的邊緣部溢出時，因該溢出部分而無法取得基準圖案部分和檢查區(qū)域的圖像之間的對齊，所以檢查對象會被判定為不合格品。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種在對具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀，根據(jù)與設(shè)定的標準圖案的比較而進行檢查的方法及裝置中，不需要標準圖案的嚴密的位置對合，不會將合格品誤判為不合格品，且能夠抑制作為標準圖案而應(yīng)準備的基準圖案部分的種類的增加的外觀檢查方法，及該外觀檢查方法中所利用的標準圖案以及外觀檢查裝置。
為了達成前述目的，關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法，其中，在對具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀，根據(jù)與設(shè)定的標準圖案的比較而進行檢查的方法及裝置中，將前述檢查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域，且作為標準圖案，利用因所劃分的各前述視野區(qū)域中所包括的前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀的不同而含有各邊緣形狀的彼此不同的基準圖案部分，并通過該基準圖案部分和與該基準圖案部分相對應(yīng)的前述視野區(qū)域的比較，而對前述檢查區(qū)域的外觀進行檢查。
另外，關(guān)于本發(fā)明的標準圖案是為了對具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀進行檢查而與該外觀進行比較所使用的標準圖案，其中，包括因?qū)⑶笆鰴z查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域所得到的各視野區(qū)域中所包括的前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀的不同，而含有各邊緣形狀的彼此不同的復(fù)數(shù)個基準圖案部分，并為了前述檢查區(qū)域的外觀的檢查，而對前述各基準圖案部分和與該各基準圖案部分對應(yīng)的前述各視野區(qū)域的外觀進行比較。
另外，關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查裝置為在具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀檢查中所使用的外觀檢查裝置，其中，該外觀檢查裝置具有標準圖案，且該標準圖案包括因?qū)⑶笆鰴z查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域所得到的各視野區(qū)域中所包括的前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀的不同，而含有各邊緣形狀的彼此不同的復(fù)數(shù)個基準圖案部分，并為了前述檢查區(qū)域的外觀的檢查，而對前述各基準圖案部分和與該各基準圖案部分對應(yīng)的前述各視野區(qū)域的外觀進行比較。
關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法及外觀檢查裝置，在其位于前述檢查區(qū)域的例如周邊部并呈相同邊緣形狀的各邊部分上，包括相同的邊緣形狀的基準圖案部分被作為標準圖案使用。這樣，由于使用對每個邊緣形狀分別對應(yīng)的基準圖案部分，所以不用在所劃分的每個視野區(qū)域上準備不同的基準圖案，而為較各視野區(qū)域的數(shù)少的基準圖案部分，而且沒有必要進行用于防止誤判的前述嚴密的位置對合，因此，可進行不會招致誤判的有效的外觀檢查。
在前述檢查區(qū)域為矩形的情況下，通過向縱及橫方向進行劃分而使矩形的前述檢查區(qū)域被劃分為前述視野區(qū)域。在這種情況下，前述基準圖案部分可由適用于前述檢查區(qū)域的角部并含有規(guī)定該角部的前述檢查區(qū)域的邊緣的至少2種角部圖案部分、適用于前述檢查區(qū)域的前述角部間并含有該角部間的邊緣的一部分的至少1種邊緣圖案部分，構(gòu)成標準圖案。
通常，前述角部圖案部分可由分別適用于前述檢查區(qū)域的4個角部的4種角部圖案部分構(gòu)成，前述邊緣圖案部分可由分別沿前述檢查區(qū)域的4邊適用的4種邊緣圖案部分構(gòu)成。而且，前述基準圖案部分包括不含有前述檢查區(qū)域的邊緣的1種中央圖案部分，且藉此在矩形的檢查區(qū)域，可將前述基準圖案部分由全部9種的基準圖案部分構(gòu)成。
通過利用該9種基準圖案部分構(gòu)成標準圖案，從而在矩形的檢查區(qū)域中，盡管因例如檢查區(qū)域的圖像擴大率的增大而使檢查區(qū)域增大，但仍可利用全部9種的基準圖案部分構(gòu)成標準圖案，所以通過準備最多9種的基準圖案部分，不管檢查區(qū)域的大小如何，都可進行有效的外觀檢查。
關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法及裝置，除了存儲器和CCD這種具有重復(fù)圖案的半導(dǎo)體芯片以外，還可應(yīng)用于各種具有從數(shù)微米到數(shù)十微米的重復(fù)圖案的檢查物。


圖1所示為關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法的外觀檢查裝置的概略立體圖。
圖2所示為關(guān)于本發(fā)明的實施形態(tài)的矩形檢查區(qū)域和構(gòu)成標準圖案的基準圖案部分的關(guān)系及基準圖案部分的種類的說明圖。
圖3為關(guān)于本發(fā)明的實施形態(tài)2的與圖2相同的圖示。
圖4為關(guān)于本發(fā)明的實施形態(tài)3的與圖2相同的圖示。
圖5為關(guān)于本發(fā)明的實施形態(tài)4的與圖2相同的圖示。
具體實施例方式
圖1為用于實施關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法的外觀檢查裝置的一個例子的概略圖。圖1所示的外觀檢查裝置適用于存儲器或CCD這種半導(dǎo)體芯片的外觀檢查。
關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查裝置10如圖1所示，包括載置有作為檢查對象的半導(dǎo)體芯片的集合體即半導(dǎo)體晶圓的試樣載物臺11、為了得到該試樣載物臺上的半導(dǎo)體晶圓內(nèi)所形成的多個半導(dǎo)體芯片的外觀圖像的具有由觀察光學系統(tǒng)及例如CCD所構(gòu)成的攝像手段12a的攝像裝置12、用于對利用該攝像裝置所得到的圖像進行監(jiān)視的監(jiān)視裝置13、操作盤14。試樣載物臺11如現(xiàn)有技術(shù)中所熟知的，可通過設(shè)置在操作盤14上的操作部的操作而沿X-Y方向進行移動，而且其傾斜角θ可調(diào)整。
將來自晶圓傳送裝置15的半導(dǎo)體晶圓在試樣載物臺11上進行配置后，對操作盤14進行操作，以使該試樣載物臺上的半導(dǎo)體晶圓內(nèi)形成的所需的半導(dǎo)體芯片16(請參閱圖2所示)可由攝像裝置12進行攝像。由攝像裝置12的攝像手段12a所得到的半導(dǎo)體芯片16的表面圖像，可利用監(jiān)視裝置13進行觀察。
在外觀檢查裝置10中，雖然未圖示但如現(xiàn)有技術(shù)所熟知的，內(nèi)置有在現(xiàn)有技術(shù)中熟知的圖像處理裝置及運算處理裝置，用于通過利用攝像裝置12所拍攝的圖像圖案和標準圖案的各數(shù)據(jù)比較，而求出兩者的圖像上的差異點。利用這些圖像處理裝置及運算處理裝置的動作，可判定是否存在檢查對象的缺陷、異物等，并根據(jù)該判定而檢查半導(dǎo)體芯片的結(jié)果、異物的有無。
<實施形態(tài)1>
圖2所示為用于實施關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法的外觀檢查裝置10所適用的標準圖案17(17a～17i)和作為檢查對象的半導(dǎo)體芯片16的對應(yīng)關(guān)系。
半導(dǎo)體芯片16具有矩形的平面形狀，并將該平面形狀區(qū)域作為檢查對象區(qū)域。半導(dǎo)體芯片16由作為其檢查對象區(qū)域的全芯片區(qū)域16a～16i表示同一圖案。該半導(dǎo)體芯片16為例如存儲器、CCD。
半導(dǎo)體芯片16的檢查區(qū)域16a～16i如棋盤格那樣，被劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個檢查視野區(qū)域。
半導(dǎo)體芯片16的檢查中所使用的標準圖案17的構(gòu)成包括，由適用于半導(dǎo)體芯片16的4個角部16a～16d的4種角部圖案部分17a～17d、適用于包括半導(dǎo)體芯片16的4個邊的每一個的各周邊部16e～16h的4種邊緣圖案部分17e～17h、適用于由各角部16a～16d及各周邊部16e～16h所包圍的中央部16i的1種中央圖案部分17i所形成的全部9種基準圖案部分17a～17i。各基準圖案部分17a～17i具有與檢查區(qū)域16a～16i的劃分所形成的各檢查視野區(qū)域的大小大致對應(yīng)的尺寸。
如圖2所示，在位于半導(dǎo)體芯片16的左方上部的檢查視野區(qū)域即第1角部16a上，適用第1角部圖案部分17a，然后向順時針方向依次在第2角部16b、第3角部16c及第4角部16d的各檢查視野區(qū)域上，分別適用第2角部圖案部分17b、第3角部圖案部分17c及第4角部圖案部分17d。
考慮過以單一的角部圖案部分代替這4個角部圖案部分。但是，在這種代替中，因攝像裝置12的前述觀察光學系統(tǒng)的歪曲象差等的影響，會產(chǎn)生誤判。在確實地防止這種因歪曲象差等所形成的誤判方面，關(guān)于4個角部16a～16d分別使用第1至第4的4個角部圖案部分17a～17d，并分別應(yīng)用于該各角部圖案部分17a～17d對應(yīng)的各角部16a～16d的圖像的匹配。這些角部圖案部分17a～17d包括分別規(guī)定半導(dǎo)體芯片16的各角部16a～16d的直角的2個邊緣部、包圍半導(dǎo)體芯片16的邊緣部的L字形的外側(cè)區(qū)域。
而且，邊緣圖案部分17e～17h如圖2所示，由沿半導(dǎo)體芯片16上方的橫邊即橫緣，應(yīng)用于周邊部16e的第1邊緣圖案部分17e、同樣沿右方的縱邊即縱緣，應(yīng)用于周邊部16f的第2邊緣圖案部分17f、同樣沿下方的橫邊即橫緣，應(yīng)用于周邊部16g的第3邊緣圖案部分17g、同樣沿左方的縱邊即縱緣，應(yīng)用于周邊部16h的第4邊緣圖案部分17h構(gòu)成。
各邊緣圖案部分17e～17h包括用于規(guī)定半導(dǎo)體芯片16的直線形的縱邊或橫邊的直邊部17X1～17X4、該直邊部的外側(cè)邊緣部區(qū)域17Y1～17Y2。
第1邊緣圖案部分17e通過在第1角部圖案部分17a和第2角部圖案部分17b之間，沿周邊部16e對其每個檢查視野區(qū)域相對地進行移動，而適用于該周邊部16e的每個檢查視野區(qū)域的匹配。同樣，第2邊緣圖案部分17f通過在第2角部圖案部分17b和第3角部圖案部分17c之間，沿周邊部16f對其每個檢查視野區(qū)域相對地進行移動，而適用于該周邊部16f的每個檢查視野區(qū)域的匹配第3邊緣圖案部分17g通過在第3角部圖案部分17c和第4角部圖案部分17d之間，沿周邊部16g對其每個檢查視野區(qū)域相對地進行移動，而適用于該周邊部16g的每個檢查視野區(qū)域的匹配。第4邊緣圖案部分17h通過在第4角部圖案部分17d和第1角部圖案部分17a之間，沿周邊部16h對其每個檢查視野區(qū)域相對地進行移動，而適用于該周邊部16h的每個檢查視野區(qū)域的匹配。
而且，在由半導(dǎo)體芯片16的各周邊部16e～16h所包圍的中央部16i，半導(dǎo)體芯片16的不包括邊緣部的單一中央圖案部分17i，適用于在中央部16i的每個檢查視野區(qū)域的匹配。
如利用關(guān)于本發(fā)明的外觀檢查方法，可將形成檢查區(qū)域的半導(dǎo)體芯片16的檢查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個檢查視野區(qū)域，并依據(jù)各檢查視野區(qū)域所包括的半導(dǎo)體芯片16的邊緣形狀而將基準圖案部分進行分類。
即，在沿圖2進行說明的實施形態(tài)1中，標準圖案17依據(jù)半導(dǎo)體芯片16的邊緣形狀的不同，被分類為包括L字形的邊緣形狀的4個角部圖案部分17a～17d、包括直線形的邊緣形狀的4個邊緣圖案部分17e～17h及不包括邊緣形狀的單一的標準圖案17h。這9種基準圖案部分17a～17i通過適用于分別對應(yīng)的檢查視野區(qū)域，而使半導(dǎo)體芯片16的全檢查視野區(qū)域的匹配成為可能。
而且，適用于除了半導(dǎo)體芯片16的中央部16i以外的4個角部16a～16d及4個周邊部16e～16h的各基準圖案部分17a～17h，含有半導(dǎo)體芯片16的邊緣形狀，且依據(jù)各個的邊緣形狀也含有其外側(cè)區(qū)域的信息。因此，當與對應(yīng)除了中央圖案部分17i以外的這些基準圖案部分17a～17h的各檢查視野區(qū)域進行位置對合時，與利用不含有外側(cè)區(qū)域信息的中央圖案部分17i這種基準圖案的位置對合所準許的容許誤差相比，能夠確保大的容許誤差。
即，當要使不含有半導(dǎo)體芯片16的邊緣形狀及其外側(cè)區(qū)域的信息的基準圖案部分，與例如半導(dǎo)體芯片16的角部16a進行位置對合時，因為在該基準圖案部分中不含有外側(cè)區(qū)域的信息，所以即使該基準圖案部分從半導(dǎo)體芯片16向外側(cè)稍稍偏離配置，也會因該偏離所產(chǎn)生的外側(cè)區(qū)域的圖像信息的取入，而在檢查視野區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)和基準圖案部分的兩圖案數(shù)據(jù)之間產(chǎn)生大的不一致。與此相對，在本發(fā)明申請中，在除了中央圖案部分17i以外的周邊的基準圖案部分17a～17h上，含有分別對應(yīng)的邊緣形狀及外側(cè)區(qū)域的信息，所以不要求現(xiàn)有習知的那種嚴密的位置對合。因此，可以比較大的容許誤差，即與在中央圖案部分17i上同程度的容許誤差，進行這些周邊的基準圖案部分17a～17h的位置對合，防止因該位置對合的誤差所導(dǎo)致的誤判。其結(jié)果，能夠防止因構(gòu)成標準圖案17的各基準圖案部分17a～17i的配置誤差而產(chǎn)生誤判，并進行有效的外觀檢查。
<實施形態(tài)2>
圖3所示為檢查區(qū)域為矩形框形狀的例子。以包圍作為檢查對象的半導(dǎo)體芯片116的矩形中央部116i的形態(tài)形成矩形的框區(qū)域116e～116h，且該框區(qū)域116e～116h具有重復(fù)圖案。
在該實施形態(tài)2中，標準圖案117的構(gòu)成包括，由含有框區(qū)域116e～116h的外邊的各角部圖案部分117a～117d及邊緣圖案部分117e～117h、含有框區(qū)域116e～116h的內(nèi)邊的各角部圖案部分117a’～117d’及邊緣圖案部分117e’～117h’所形成的全部16種基準圖案部分。
在適用于作為檢查區(qū)域的框區(qū)域116e～116h的外緣的第1角部圖案部分117a和第2角部圖案部分117b之間適用第1邊緣圖案部分117e，在第2角部圖案部分117b和第3角部圖案部分117c之間適用第2邊緣圖案部分117f，在第3角部圖案部分117c和第4角部圖案部分117d之間適用第3邊緣圖案部分117g，在第4角部圖案部分117d和第1角部圖案部分117a之間適用第4邊緣圖案部分117h。
而且，在適用于框區(qū)域116e～116h的內(nèi)緣的第1角部圖案部分117a’和第2角部圖案部分117b’之間適用第1邊緣圖案部分117e’，在第2角部圖案部分117b’和第3角部圖案部分117c’之間適用第2邊緣圖案部分117f’，在第3角部圖案部分117c’和第4角部圖案部分117d’之間適用第3邊緣圖案部分117g’，在第4角部圖案部分117d’和第1角部圖案部分117a’之間適用第4邊緣圖案部分117h’。
這樣，在框體形的檢查區(qū)域上，通過利用16種基準圖案部分117a～117h、117a’～117h’，可與實施形態(tài)1中同樣地，防止因構(gòu)成標準圖案117的各基準圖案部分117a～117h、117a’～117h’的配置誤差而產(chǎn)生誤判，能夠進行有效的外觀檢查。
另外，在中央部116i具有重復(fù)圖案的情況下，可在該重復(fù)圖案區(qū)域116i的外觀檢查中，適用實施形態(tài)1所示的標準圖案17。
<實施形態(tài)3>
如圖4所示，在與實施形態(tài)1及2相比具有較小寬度的半導(dǎo)體芯片216的重復(fù)圖案的外觀檢查中，可由第1至第4角部圖案部分217a～217d，分別適用于第1及第2角部圖案部分217a、217b間以及第3及第4角部圖案部分217c、217d間的第1及第2邊緣圖案部分217e、217g所構(gòu)成的全部6種基準圖案部分217a～217d、217e及217g，構(gòu)成標準圖案217。第1～第4角部圖案部分217a～217d分別適用于作為半導(dǎo)體芯片216的各檢查視野區(qū)域即第1～第4角部216a～216d，且第1及第2邊緣圖案部分217e、217g分別適用于半導(dǎo)體芯片216的各檢查視野區(qū)域即第1及第2中間部216e及216g。
<實施形態(tài)4>
如圖5所示，在具有更小寬度的半導(dǎo)體芯片316的重復(fù)圖案的外觀檢查中，可由適用于含有位于半導(dǎo)體芯片316一端的一對角部的檢查視野區(qū)域316a的第1角部圖案部分317a，適用于含有位于半導(dǎo)體芯片316另一端的一對角部的檢查視野區(qū)域316b的第2角部圖案部分317b，在兩角部圖案部分317a、317b間適用于半導(dǎo)體芯片316的中間部316e且含有半導(dǎo)體芯片316的上下一對邊緣部分的單一邊緣圖案部分317e所形成的全部3種基準圖案部分，構(gòu)成標準圖案317。
如利用本發(fā)明，因為利用與前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀分別對應(yīng)的基準圖案部分，所以不用在所劃分的每個視野區(qū)域準備不同的基準圖案，而為較各視野區(qū)域的數(shù)少的基準圖案部分，而且沒有必要進行用于防止誤判的嚴密的位置對合，因此，可實施不會招致誤判的有效的外觀檢查。
本發(fā)明可用于對外觀具有重復(fù)圖案的例如存儲器和CCD(電荷耦合元件)這樣的半導(dǎo)體芯片的外觀進行檢查，能夠在該技術(shù)領(lǐng)域進行產(chǎn)業(yè)上的利用。
權(quán)利要求
1.一種外觀檢查方法，為一種對具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀，根據(jù)與設(shè)定的標準圖案的比較而進行檢查的方法，其特征在于將前述檢查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域，且作為標準圖案，利用因所劃分的各前述視野區(qū)域中所包括的前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀的不同而含有各邊緣形狀的彼此不同的基準圖案部分，并通過該基準圖案部分和與該基準圖案部分相對應(yīng)的前述視野區(qū)域的比較，而對前述檢查區(qū)域的外觀進行檢查。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查方法，其特征在于其中所述的檢查區(qū)域為矩形，并通過向縱及橫方向進行劃分而使矩形的前述檢查區(qū)域被劃分為前述視野區(qū)域，且前述基準圖案部分包括適用于前述檢查區(qū)域的角部并含有規(guī)定該角部的前述檢查區(qū)域的邊緣的至少2種角部圖案部分、適用于前述檢查區(qū)域的前述角部間并含有該角部間的邊緣的一部分的至少1種邊緣圖案部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外觀檢查方法，其特征在于其中所述的角部圖案部分可由分別適用于前述檢查區(qū)域的4個角部的4種角部圖案部分構(gòu)成，前述邊緣圖案部分可由分別沿前述檢查區(qū)域的4邊適用的4種邊緣圖案部分構(gòu)成，且前述基準圖案部分還包括不含有前述檢查區(qū)域的邊緣的1種中央圖案部分，藉此，前述基準圖案部分由全部9種的基準圖案部分構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查方法，其特征在于檢查對象為半導(dǎo)體芯片。
5.一種標準圖案，是為了對具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀進行檢查而與該外觀進行比較所使用的標準圖案，其特征在于包括因?qū)⑶笆鰴z查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域所得到的各視野區(qū)域中所包括的前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀的不同，而含有各邊緣形狀的彼此不同的復(fù)數(shù)個基準圖案部分，并為了前述檢查區(qū)域的外觀的檢查，而對前述各基準圖案部分和與該各基準圖案部分對應(yīng)的前述各視野區(qū)域的外觀進行比較。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的標準圖案，其特征在于其中所述的檢查區(qū)域為矩形，并通過向縱及橫方向進行劃分而使矩形的前述檢查區(qū)域被劃分為前述視野區(qū)域，且前述基準圖案部分包括適用于前述檢查區(qū)域的角部并含有規(guī)定該角部的前述檢查區(qū)域的邊緣的至少2種角部圖案部分、適用于前述檢查區(qū)域的前述角部間并含有該角部間的邊緣的一部分的至少1種邊緣圖案部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的標準圖案，其特征在于其中所述的角部圖案部分可由分別適用于前述檢查區(qū)域的4個角部的4種角部圖案部分構(gòu)成，前述邊緣圖案部分可由分別沿前述檢查區(qū)域的4邊適用的4種邊緣圖案部分構(gòu)成，且前述基準圖案部分還包括不含有前述檢查區(qū)域的邊緣的1種中央圖案部分，藉此，前述基準圖案部分由全部9種的基準圖案部分構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的標準圖案，其特征在于檢查對象為半導(dǎo)體芯片。
9.一種外觀檢查裝置，為在具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域的外觀檢查中所使用的外觀檢查裝置，其特征在于該外觀檢查裝置具有標準圖案，且該標準圖案包括因?qū)⑶笆鰴z查區(qū)域劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域所得到的各視野區(qū)域中所包括的前述檢查區(qū)域的每個邊緣形狀的不同，而含有各邊緣形狀的彼此不同的復(fù)數(shù)個基準圖案部分，并為了前述檢查區(qū)域的外觀的檢查，而對前述各基準圖案部分和與該各基準圖案部分對應(yīng)的前述各視野區(qū)域的外觀進行比較。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不需要標準圖案的嚴密的位置對合，不會將合格品誤判為不合格品，且能夠抑制作為標準圖案而應(yīng)準備的基準圖案部分的種類的增大的外觀檢查方法及標準圖案以及外觀檢查裝置。為一種對具有重復(fù)圖案的檢查區(qū)域(16a～16i)的外觀，根據(jù)與設(shè)定的標準圖案的比較而進行檢查的方法及裝置。將檢查區(qū)域(16a～16i)劃分為縱橫的復(fù)數(shù)個視野區(qū)域，作為標準圖案(17)，利用因所劃分的各視野區(qū)域中所包括的檢查區(qū)域(16a～16i)的每個邊緣形狀的不同而含有各邊緣形狀的彼此不同的基準圖案部分(17a～17i)。本發(fā)明適用于對存儲器和CCD(電荷耦合元件)這樣的半導(dǎo)體芯片(16)的外觀進行檢查。
文檔編號G01N21/95GK1788195SQ20048001288
公開日2006年6月14日 申請日期2004年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月16日
發(fā)明者秋元茂行, 伊藤隆 申請人:株式會社拓普康