專利名稱：具有全譜定標(biāo)、監(jiān)測(cè)和控制的加速老化測(cè)試設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及加速老化測(cè)試設(shè)備，具體涉及室內(nèi)加速老化測(cè)試設(shè)備，它利用人工光源的全譜功率分布(“SPD”)以定標(biāo)，監(jiān)測(cè)，和控制該設(shè)備。
背景技術(shù)：
我們知道，利用室內(nèi)加速老化測(cè)試設(shè)備測(cè)試涂色表面，織物，塑料薄膜和其他材料的加速老化特征。這種測(cè)試是使被測(cè)試材料在可控以及高溫度和/濕度條件下接受近似于日光的人工光源高強(qiáng)度輻射的曝光完成的。
在自然的室外環(huán)境下，熱、光和潮濕的組合效應(yīng)使暴露在這種室外老化條件下的產(chǎn)品發(fā)生光學(xué)，機(jī)械和化學(xué)變化。一般地說(shuō)，本發(fā)明和現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)試設(shè)備可用于得到加速時(shí)間基礎(chǔ)上的這種老化數(shù)據(jù)，允許產(chǎn)品制造商獲得關(guān)于他們的產(chǎn)品如何經(jīng)受長(zhǎng)年累月老化條件的信息。
通常，加速老化測(cè)試設(shè)備可以利用循環(huán)通過(guò)系統(tǒng)的空氣以控制被測(cè)試樣本的溫度，所以，這些樣本不會(huì)因可能存在的加熱器或輻射源而發(fā)生欠熱或過(guò)熱，典型的是高強(qiáng)度等離子體燈，例如，氙燈。我們需要被測(cè)試的樣本曝光在精確的預(yù)定條件下，允許更準(zhǔn)確地比較各種測(cè)試過(guò)程，從而可以精確地確定測(cè)試設(shè)備提供的老化條件，在需要比較不同年份的各種樣本時(shí)，可以重新建立這些老化條件。
在已知的加速老化測(cè)試設(shè)備中，用于承載被測(cè)試樣本的可轉(zhuǎn)動(dòng)框架環(huán)繞光源，光源通常是發(fā)射有基本紫外光分量輻照度的氙燈?？蚣艿霓D(zhuǎn)動(dòng)通常是每分鐘一轉(zhuǎn)，以避免系統(tǒng)中樣本定位的系統(tǒng)差別。此外，加到樣本上的典型輻照度級(jí)約為1SUN，它在The Society ofAutomotive Engineers J-1885老化測(cè)試方法中的定義為340nm紫外光輻射下每平方米0.55W。
其他已知的加速老化測(cè)試設(shè)備還加速材料的老化，把這種材料曝光在高于1SUN的輻照度級(jí)下，例如，2SUN(或按照以上的定義為每平方米1.1W)。我們注意到，在這種較高的光強(qiáng)下，在樣本區(qū)域框架周圍的光輻照度不均勻性變得更大，從而使樣本溫度發(fā)生變化。因此，測(cè)試程序中的樣本可以受這些變化的影響。
其他已知的加速老化測(cè)試設(shè)備僅在光源SPD的三個(gè)離散點(diǎn)監(jiān)測(cè)和控制光源的輻照度。即，現(xiàn)有技術(shù)測(cè)試設(shè)備僅在340納米(“nm”)，420nm和300-400nm下測(cè)量光源的輻照度。利用固定的帶通光濾波器和相關(guān)的閉環(huán)反饋電路進(jìn)行測(cè)量。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法規(guī)定三個(gè)控制點(diǎn)中一個(gè)控制點(diǎn)，它們不是用戶可選擇的。這些已知的測(cè)試監(jiān)測(cè)和控制方法在幾個(gè)方面是特別不利的。例如，當(dāng)前開(kāi)發(fā)的測(cè)試樣本材料在光源輻照度的曝光下容易老化或退化，其特定的波長(zhǎng)不同于設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)。在目前的設(shè)備中，不可能控制特定材料具有最大或臨界靈敏度的波長(zhǎng)。此外，光源的SPD隨光源以及內(nèi)部和外部外濾波器的老化而變化。而且，在靜態(tài)輻照度控制波長(zhǎng)下，不可能實(shí)現(xiàn)最佳的加速老化。因此，測(cè)試樣本的可靠性在它們各自測(cè)試程序中受這些變化的影響。
定標(biāo)已知的加速老化測(cè)試設(shè)備也是很麻煩的，耗費(fèi)時(shí)間以及對(duì)客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的測(cè)試結(jié)果引入很大的誤差界限?，F(xiàn)有技術(shù)定標(biāo)方案涉及以下步驟根據(jù)1000瓦鎢定標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)，定標(biāo)光譜輻射計(jì)；利用光譜輻射計(jì)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)工廠光源和分配定標(biāo)值；利用標(biāo)準(zhǔn)工廠光源的運(yùn)行，定標(biāo)工廠加速老化測(cè)試設(shè)備輻射計(jì)并按照定標(biāo)值調(diào)整輻射計(jì)增益；利用客戶標(biāo)準(zhǔn)光源運(yùn)行工廠加速老化測(cè)試設(shè)備并基于輻射計(jì)讀數(shù)分配定標(biāo)值；和利用客戶標(biāo)準(zhǔn)光源，運(yùn)行客戶加速老化測(cè)試設(shè)備和調(diào)整客戶測(cè)試設(shè)備的輻射計(jì)增益以匹配定標(biāo)值。因此，已知現(xiàn)有技術(shù)設(shè)備產(chǎn)生不確定的可能性是相當(dāng)大的。即使工廠完美無(wú)缺地執(zhí)行每個(gè)步驟，客戶仍然可能犯錯(cuò)誤。因此，測(cè)試樣本在它們的各自測(cè)試程序中受這些變化的影響。
一種已知的老化設(shè)備包括輻射測(cè)量裝置。測(cè)試所用的部分輻射被引導(dǎo)到輻射測(cè)量裝置。被引導(dǎo)的輻射是光譜分散的，因此，選取的二極管在SPD上的離散點(diǎn)可以測(cè)量強(qiáng)度和/或劑量。輻射檢測(cè)器是由指定的光電二極管陣列構(gòu)成以監(jiān)測(cè)預(yù)選的離散波長(zhǎng)。
另一種現(xiàn)有技術(shù)曝光照相膠片的設(shè)備包括工作在恒定相關(guān)色溫和強(qiáng)度下的照明光源。光譜輻射計(jì)在32-光電二極管的線性上拍攝從380nm至740nm光譜的光學(xué)圖像。因此，光譜輻射計(jì)提供32個(gè)信號(hào)，指出從380nm延伸至740nm的32均勻頻帶中每個(gè)頻帶的光強(qiáng)。在32頻帶中每個(gè)頻帶中間的32個(gè)標(biāo)稱波長(zhǎng)的色溫和照度值是從傳感器的32個(gè)信號(hào)中導(dǎo)出的。根據(jù)這些數(shù)值，可以導(dǎo)出色溫下輻射功率的發(fā)光度。光譜輻射計(jì)產(chǎn)生指出照度和相關(guān)色溫的信號(hào)，該信號(hào)發(fā)射到可以測(cè)試該信號(hào)的自動(dòng)控制裝置以確定是否在容許偏差內(nèi)。自動(dòng)控制裝置和步進(jìn)電機(jī)響應(yīng)于光譜輻射計(jì)的信號(hào)，可以調(diào)整發(fā)生器發(fā)射的光強(qiáng)。為了保持色溫和輻射為恒定值，改變光源與球面反射鏡之間的距離以調(diào)整光強(qiáng)。
另一種現(xiàn)有技術(shù)老化設(shè)備包括光強(qiáng)監(jiān)測(cè)和調(diào)整裝置，該裝置包含光纖構(gòu)成的光波導(dǎo)，記錄儀器中的光接收部分和調(diào)整部分。光波導(dǎo)配置成包含一束三等分光纖的柔性管。光波導(dǎo)中的一端被引導(dǎo)到燈，另一個(gè)三等分端與光接收部分連接。每個(gè)部分光纖束的光接收部分中透鏡使光通過(guò)各自的濾波器引導(dǎo)到各自的光接收單元，例如，光電管。三個(gè)光接收單元在三個(gè)固定的離散點(diǎn)測(cè)量光的成分。一個(gè)傳感器用于控制光強(qiáng)，其他的兩個(gè)傳感器用于比較不同設(shè)置點(diǎn)以判斷光譜的質(zhì)量。
另一種現(xiàn)有技術(shù)測(cè)試設(shè)備描述利用各個(gè)強(qiáng)度級(jí)和光譜分布的輻射以定標(biāo)輻射裝置的方法。該定標(biāo)系統(tǒng)包含沿輻射裝置方向發(fā)射光束的光源，用于定標(biāo)和/或測(cè)試裝置。部分的光束被該裝置截取，而其余部分的光束被光電二極管檢測(cè)器截取。檢測(cè)器的作用是光譜濾波以觀察光源輸出輻射中的一個(gè)或多個(gè)特定光譜帶。檢測(cè)器提供輸出電流經(jīng)開(kāi)關(guān)到控制單元，用于運(yùn)行強(qiáng)度控制器以激勵(lì)光源。單個(gè)光電檢測(cè)器的電流是濾波頻帶內(nèi)光強(qiáng)的準(zhǔn)確預(yù)測(cè)器，它描述光電檢測(cè)器的電流與強(qiáng)度之間的線性關(guān)系。
所以，人們需要一種克服現(xiàn)有技術(shù)缺點(diǎn)的加速老化測(cè)試設(shè)備，即相對(duì)于光源SPD的固定離散部分，監(jiān)測(cè)和控制測(cè)試設(shè)備，基于光源的全SPD不能定標(biāo)，監(jiān)測(cè)和控制測(cè)試設(shè)備；相對(duì)于用戶可選的離散波長(zhǎng)，即，不能測(cè)試全SPD中不同部分的材料靈敏度的波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍，不能定標(biāo)，監(jiān)測(cè)和控制測(cè)試設(shè)備；在相對(duì)于接受的專業(yè)鑒定標(biāo)準(zhǔn)的給定光源全SPD上，不能定標(biāo)測(cè)試設(shè)備以及不能監(jiān)測(cè)給定光源的全SPD變化，例如，隨時(shí)間退化的光源或相關(guān)的濾波器。

發(fā)明內(nèi)容
按照本發(fā)明可以提供各種改進(jìn)，這些改進(jìn)增加本發(fā)明測(cè)試設(shè)備定標(biāo)，監(jiān)測(cè)和控制的準(zhǔn)確性。該測(cè)試設(shè)備可用于提供準(zhǔn)確的預(yù)定條件，這些預(yù)定條件在一個(gè)運(yùn)行過(guò)程和不同運(yùn)行過(guò)程中是基本可預(yù)測(cè)和不變的。


參照以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，可以更好地理解本發(fā)明，在一些附圖中相同的參考數(shù)字代表相同的元件。
圖1是現(xiàn)有技術(shù)加速老化測(cè)試設(shè)備的透視圖。
圖2A是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例加速老化測(cè)試設(shè)備的正視圖。
圖2B是按照本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例加速老化測(cè)試設(shè)備的正視圖。
圖3A是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例加速老化測(cè)試設(shè)備的定標(biāo)步驟流程圖。
圖3B是圖3A所示加速老化測(cè)試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖3C是圖3A所示加速老化測(cè)試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖3D是圖3A所示加速老化測(cè)試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖3E是圖3A所示加速老化測(cè)試設(shè)備的附加定標(biāo)步驟流程圖。
圖4是圖3D中濾波步驟的流程圖。
圖5是可追蹤光譜輻射計(jì)監(jiān)測(cè)的定標(biāo)光源的部分SPD曲線圖。
圖6是客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中運(yùn)行的定標(biāo)光源第二全SPD的第二組測(cè)量結(jié)果曲線圖。
圖7是濾波之后定標(biāo)光源的第一全SPD曲線圖。
圖8是濾波之后圖6所示定標(biāo)光源的第二全SPD曲線圖。
圖9A是初始調(diào)整第一和第二濾波數(shù)據(jù)組步驟的曲線圖。
圖9B是隨后調(diào)整第一和第二濾波數(shù)據(jù)組步驟的曲線圖。
圖10是客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子曲線圖。
圖11是定標(biāo)之后客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的全SPD曲線圖。
圖12是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例步驟的流程圖，用于運(yùn)行定標(biāo)的客戶加速老化測(cè)試設(shè)備。
具體實(shí)施例方式
簡(jiǎn)要地說(shuō)，在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中，一種在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制的方法，包括以下步驟在工廠加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源；在第一定標(biāo)裝置確定的固定功率級(jí)下運(yùn)行工廠加速老化測(cè)試設(shè)備；收集定標(biāo)光源的第一全SPD；從第一全SPD中產(chǎn)生第一組測(cè)量結(jié)果；存儲(chǔ)第一組測(cè)量結(jié)果作為第一數(shù)據(jù)組；在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源；在第二定標(biāo)裝置確定的固定功率級(jí)下運(yùn)行客戶加速老化測(cè)試設(shè)備；收集定標(biāo)光源的第二全SPD；從第二全SPD中產(chǎn)生第二組測(cè)量結(jié)果；存儲(chǔ)第二組測(cè)量結(jié)果作為第二數(shù)據(jù)組；濾波第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組；調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組；和確定客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子，為的是定標(biāo)客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的輻照度級(jí)控制。
在本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例中，一種在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中使測(cè)試樣本曝光到準(zhǔn)確預(yù)選的輻照度級(jí)的方法，包括以下步驟基于光源濾波器組合的類型，定標(biāo)光源的第一數(shù)據(jù)組，和光源控制波長(zhǎng)下所需的輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)，確定從光源中產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)；基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源第二數(shù)據(jù)組，確定該光源的測(cè)量輻照度級(jí)；比較控制波長(zhǎng)下的功率級(jí)與測(cè)量輻照度級(jí)；產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)；和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例涉及一種加速老化測(cè)試設(shè)備，包括測(cè)試室。支承測(cè)試樣本的測(cè)試樣本座設(shè)置在測(cè)試室內(nèi)。光源也設(shè)置在測(cè)試室內(nèi)以產(chǎn)生輻照度?；诙鄠€(gè)輸入，控制器產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)。功率源輸出功率到光源以響應(yīng)光源功率控制信號(hào)。光譜輻射計(jì)收集光源的全SPD，然后產(chǎn)生代表全SPD的數(shù)據(jù)組，為的是輸出該數(shù)據(jù)組到控制器作為多個(gè)輸入中的一個(gè)輸入。
參照?qǐng)D1，圖1表示老化測(cè)試裝置10，包括限定上測(cè)試室14的外殼12，上測(cè)試室14中的框架16包含大致球面排列的不銹鋼支架，測(cè)試樣本18可以按照與中央光源22大致等距離的方式粘附到不銹鋼支架，光源22可以是氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈，汞燈或鎢燈。這種裝置類似于美國(guó)專利號(hào)5,503,032和5,854,433中公開(kāi)的裝置，這些內(nèi)容全文合并在此供參考。
在上測(cè)試室14的底部有圓形排列的縫隙26和錐形擋板24，有助于引導(dǎo)空氣沿框架上承載的測(cè)試樣本18穿過(guò)縫隙26。
常規(guī)的電阻型加熱器元件30可以放置在縫隙26和承載它們的隔板下面，有助于控制測(cè)試樣本18周圍空氣的溫度。光源22的安裝可以按照美國(guó)專利號(hào)5,226,318中所描述的，其中包含給光源22提供的電流和水流導(dǎo)管，全文合并在此供參考。
框架16是由延伸通過(guò)上測(cè)試室14頂壁36的第一支承件或軸34承載。因此，框架16上承載各種電子裝置的連接可以與軸34穿過(guò)頂壁36到微處理器38，微處理器38放置在頂壁36上方的老化測(cè)試系統(tǒng)中，它與光源22所用的流水以及高電流和電壓之間有安全的距離。
用于轉(zhuǎn)動(dòng)軸34和框架16的電動(dòng)機(jī)M放置在頂壁36的上方。測(cè)試框架16可以承載黑板溫度傳感器40，傳感器40是特別適用于檢測(cè)直接來(lái)自光源輻射溫度的傳感器。在遠(yuǎn)離光源22的位置還可以設(shè)置干球傳感器以監(jiān)測(cè)空氣的溫度。此外，可以配置直接百分比相對(duì)濕度傳感器。這些傳感器中的每個(gè)傳感器可以給微處理器38提供信號(hào)數(shù)據(jù)。
頂壁還限定代表循環(huán)空氣的循環(huán)高壓室46入口的壁縫隙，空氣的循環(huán)是由吹風(fēng)機(jī)28驅(qū)動(dòng)，吹風(fēng)機(jī)28推進(jìn)空氣從測(cè)試室14的頂部到底部并通過(guò)縫隙26。
在高壓室46內(nèi)是可以開(kāi)閉的冷卻空氣通風(fēng)口48，它有可活動(dòng)的阻尼器50并包含空氣入口48b和空氣出口48a。阻尼器50的位置可以受控制件51控制，而控制件51按照常規(guī)方式是受微處理器38的控制。
在上測(cè)試室44中還配置框架水噴射或噴霧器單元52以及樣本水噴射或噴霧器單元53，在需要時(shí)給樣本提供附加的特定噴射。
在上述美國(guó)專利號(hào)5,503,032和5,854,433中還公開(kāi)關(guān)于老化測(cè)試機(jī)10的進(jìn)一步細(xì)節(jié)。
參照?qǐng)D2A和2B，圖2A和2B表示按照本發(fā)明實(shí)施例的加速老化測(cè)試設(shè)備正視圖。專業(yè)人員可以知道，本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)和功能特征與上述結(jié)合圖1描述和解釋的這些特征相同，不同的是以下給予更詳細(xì)的描述。因此，這個(gè)實(shí)施例的詳細(xì)描述僅僅涉及本實(shí)施例的那些結(jié)構(gòu)和功能特征以及支持和描述圖2A和2B所示實(shí)施例所需圖1所示實(shí)施例的這些特征。結(jié)合圖1所述設(shè)備的結(jié)構(gòu)和功能特征是在本發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi)，此處所描述的內(nèi)容適合于本發(fā)明的其他實(shí)施例。
這些實(shí)施例的加速老化測(cè)試設(shè)備10包括上測(cè)試室14，框架或測(cè)試樣本座16，用于支承測(cè)試室14中的測(cè)試樣本18。光源22放置在測(cè)試室14內(nèi)，用于在測(cè)試室14中產(chǎn)生輻照度。基于以下討論的多個(gè)輸入，控制器60產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)。功率源62輸出功率到光源22以響應(yīng)光源功率控制信號(hào)。輸入裝置64放置在測(cè)試室14內(nèi)，與光源22的輻照度直接聯(lián)系，為的是能夠監(jiān)測(cè)光源22的全SPD。產(chǎn)生代表全SPD的數(shù)據(jù)組并輸出到控制器60作為多個(gè)輸入中的一個(gè)輸入。
基于多個(gè)輸入，控制器60確定從光源22產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)。最好是，多個(gè)輸入至少包括以下的內(nèi)容光源濾波器組合的類型；定標(biāo)的光源數(shù)據(jù)組(以下描述)；和光源22控制波長(zhǎng)所需的輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)。控制器60可能需要附加的輸入并用于更精確地控制功率級(jí)是在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源22數(shù)據(jù)組，控制器還確定光源22的測(cè)量輻照度級(jí)，以下詳細(xì)地給予描述。專業(yè)人員知道，結(jié)合圖2A和2B實(shí)施例中所用的術(shù)語(yǔ)“數(shù)據(jù)組”等同于以下所用的術(shù)語(yǔ)“第二數(shù)據(jù)組”，且可以互相交換使用?？刂破?0比較功率級(jí)與測(cè)量輻照度級(jí)，產(chǎn)生輸出到功率源62的光源功率控制信號(hào)，并在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。因此，可以實(shí)現(xiàn)加速老化測(cè)試設(shè)備的精確和準(zhǔn)確運(yùn)行，它克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)。
最好是，控制器60包含處理單元和用于處理單元存儲(chǔ)程序指令的存儲(chǔ)器，它使控制器完成以下的功能基于光源濾波器組合的類型，定標(biāo)光源數(shù)據(jù)組和光源控制波長(zhǎng)下所需的輻照度設(shè)置點(diǎn)，確定從光源產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)；基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源數(shù)據(jù)組，確定從光源產(chǎn)生的測(cè)量輻照度級(jí)；比較功率級(jí)與測(cè)量輻照度級(jí)；產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)；和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
本發(fā)明的處理器可以是，但不限于，單個(gè)處理器，多個(gè)處理器，DSP，微處理器，ASIC，狀態(tài)機(jī)，或能夠處理和執(zhí)行軟件的任何其他裝置。術(shù)語(yǔ)處理器應(yīng)當(dāng)不限于能夠執(zhí)行軟件的硬件，而可以包含DSP硬件，存儲(chǔ)軟件的ROM，RAM，和任何其他易失性或非易失性存儲(chǔ)媒體。
本發(fā)明的存儲(chǔ)器可以是，但不限于，單個(gè)存儲(chǔ)器，多個(gè)內(nèi)存位置，共享存儲(chǔ)器，CD，DVD，ROM，RAM，EEPROM，光存儲(chǔ)器，微代碼，或處理器用于存儲(chǔ)數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的任何其他非易失性存儲(chǔ)裝置。
功率源62是與結(jié)合圖1所描述實(shí)施例中相同的功率源。然而，結(jié)合控制器60的運(yùn)行現(xiàn)在能夠調(diào)整功率源62，從而在任何測(cè)試期間提供可靠的相同輻照度級(jí)。
輸入裝置可以是光譜輻射計(jì)，接收光裝置或設(shè)置在測(cè)試室14內(nèi)任何其他的合適輸入裝置，它可以直接聯(lián)系光源22的輻照度并與光譜輻射計(jì)通信。在圖2A中，輸入裝置64設(shè)置在測(cè)試樣本座16周界內(nèi)的柱66上。在圖2B中，輸入裝置64安裝在測(cè)試樣本座16上，如同測(cè)試樣本座或框架支承這種測(cè)試樣本限定的測(cè)試樣本面中測(cè)試樣本。
在輸入裝置69是接收光裝置或不同于測(cè)試室14內(nèi)光譜輻射計(jì)的其他合適裝置情況下，它直接接觸光源22的輻照度，如圖2A或2B所示，光波導(dǎo)可用于引導(dǎo)光源的光到遠(yuǎn)離測(cè)試室14設(shè)置的光譜輻射計(jì)或不曝光在直接的輻照度下。
一般地說(shuō)，光譜輻射計(jì)可以是，但不限于，有單色儀和光敏裝置或二極管陣列的任何合適裝置。最好是，光譜輻射計(jì)是線性電荷耦合器件，它可以按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試研究院(“NIST”)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定標(biāo)。例如，與本發(fā)明結(jié)合使用的一種合適光譜輻射計(jì)可以是OptronicLaboratories of Orland，F(xiàn)lorida制作的型號(hào)OL 754-C。還可以利用實(shí)現(xiàn)本發(fā)明功能特征的其他合適光譜輻射計(jì)。
如上所述，光源22可以選自氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈，汞燈和鎢燈。專業(yè)人員知道，其他已知和以后發(fā)現(xiàn)的合適光源也可用于提供所需的結(jié)果。
圖3A，3B，3C，3D，3E和4表示按照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制的各個(gè)步驟流程圖。首先，必須定標(biāo)工廠加速老化測(cè)試設(shè)備。更具體地說(shuō)，按照已知的標(biāo)準(zhǔn)必須定標(biāo)結(jié)合工廠加速老化測(cè)試設(shè)備使用的光譜輻射計(jì)，為的是在本發(fā)明以后定標(biāo)過(guò)程的步驟中提供精確性和準(zhǔn)確性。利用標(biāo)準(zhǔn)輻照度源定標(biāo)光譜輻射計(jì)的已知標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法是在美國(guó)測(cè)試和材料學(xué)會(huì)出版物G138中提出的，全文合并在此供參考。輻照度的標(biāo)準(zhǔn)光源或定標(biāo)光源可以是選自氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈，汞燈和鎢燈的燈。專業(yè)人員知道，其他已知的或以后發(fā)現(xiàn)的合適定標(biāo)光源可用于提供所需的結(jié)果。
簡(jiǎn)要地說(shuō)，圖3A所示的步驟涉及工廠加速老化測(cè)試設(shè)備的這個(gè)初始步驟。在步驟300，按照已知的標(biāo)準(zhǔn)，在工廠加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝NIST可追蹤光源。在步驟302，第一定標(biāo)裝置用于設(shè)定NIST可追蹤光源的固定功率級(jí)。例如，第一定標(biāo)裝置可以是瓦特計(jì)或其他合適的功率級(jí)控制裝置。最好是，第一定標(biāo)裝置和其他上述的定標(biāo)裝置配置成NIST可追蹤瓦特計(jì)。在步驟304，按照上述步驟運(yùn)行工廠加速老化測(cè)試設(shè)備，使連接到工廠加速老化測(cè)試設(shè)備的光譜輻射計(jì)測(cè)量NIST可追蹤光源的全SPD。因此，在步驟306，工廠加速老化測(cè)試設(shè)備定標(biāo)到NIST可追蹤光源。
圖3B是以下附加步驟的流程圖，它在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制。在步驟308，在工廠加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源。在步驟310，第一定標(biāo)裝置用于設(shè)定運(yùn)行工廠加速老化測(cè)試設(shè)備的固定功率級(jí)。在步驟312，在工廠加速老化測(cè)試設(shè)備的運(yùn)行期間，NIST可追蹤定標(biāo)的光譜輻射計(jì)收集定標(biāo)光源的第一全SPD。在步驟314，NIST可追蹤光譜輻射計(jì)從第一全SPD中產(chǎn)生第一組測(cè)量結(jié)果。在步驟316，第一組測(cè)量結(jié)果存儲(chǔ)為第一數(shù)據(jù)組。在第一組和/或其他各組測(cè)量結(jié)果，等間隔約為1nm，小于1nm或大于1nm。圖5是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例由NIST可追蹤光譜輻射計(jì)收集定標(biāo)光源第一全SPD部分的曲線圖。第一數(shù)據(jù)組用于客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的定標(biāo)和運(yùn)行，如以下所描述的。專業(yè)人員可以知道，沿X軸的單位是以nm測(cè)量的波長(zhǎng)，而沿Y軸的單位是以W/m2測(cè)量的輻照度。第一組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示為第一全SPD上多個(gè)等間隔離散波長(zhǎng)中每個(gè)波長(zhǎng)的第一輻照幅度。
最好是，第一數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置或存儲(chǔ)器中，它可以是，但不限于，單個(gè)存儲(chǔ)器，多個(gè)內(nèi)存位置，共享存儲(chǔ)器，CD，DVD，ROM，RAM，EPROM，光存儲(chǔ)器，宏代碼，或任何其他非易失性存儲(chǔ)器，它能夠存儲(chǔ)處理器使用的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。更好的是，第一數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)在便攜式數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置或存儲(chǔ)器中，可以利用與客戶加速老化測(cè)試設(shè)備結(jié)合使用的定標(biāo)光源發(fā)射，轉(zhuǎn)發(fā)或分配。
圖3C是附加定標(biāo)步驟的流程圖，它在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制。在步驟318，在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源。在步驟320，第二定標(biāo)裝置用于設(shè)定運(yùn)行客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的固定功率級(jí)。如以上所討論的，第二定標(biāo)裝置可以是任何這種合適的裝置，但最好是NIST可追蹤瓦特計(jì)。在步驟322，連接到客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的光譜輻射計(jì)收集定標(biāo)光源的第二全SPD。在步驟324，從第二全SPD中產(chǎn)生第二組測(cè)量結(jié)果。在步驟326，第二組測(cè)量結(jié)果存儲(chǔ)為第二數(shù)據(jù)組。圖6是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例運(yùn)行在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)光源第二全SPD的第二組測(cè)量結(jié)果曲線圖。專業(yè)人員可以知道，沿X軸的單位是像素(在這個(gè)實(shí)施例中是線性電荷耦合器件的像素)，而沿Y軸的單位是計(jì)數(shù)(像素觀察到的計(jì)數(shù))。換句話說(shuō)，在本發(fā)明的這個(gè)實(shí)施例中，線性電荷耦合器件用作光譜輻射計(jì)，而每個(gè)傳感器單元或像素觀察計(jì)數(shù)的數(shù)目，它代表第二全SPD中某個(gè)波長(zhǎng)的強(qiáng)度。最好是，第二數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器或此處定義和用作“存儲(chǔ)器”的數(shù)據(jù)源。
圖3D是附加定標(biāo)步驟的流程圖，它在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制。在步驟328，濾波第一數(shù)據(jù)組。圖7是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中圖5所示定標(biāo)光源的第一全SPD或?yàn)V波后第一數(shù)據(jù)組的曲線圖。在步驟330，濾波第二數(shù)據(jù)組。圖8是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中圖6所示定標(biāo)光源的第二全SPD或?yàn)V波后第二數(shù)據(jù)組的曲線圖。一般地說(shuō)，每個(gè)濾波步驟利用算法以隔離和識(shí)別第一全SPD和第二全SPD的源峰值。最好是，濾波步驟利用以下算法以隔離和識(shí)別第一全SPD和第二全SPD的源峰值yi=xi-[1/16×Σj=0j=6(4-|j-3|)·x(i-(j-3))]]]>其中y＝一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組；x＝另一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組；i＝下標(biāo)數(shù)字該算法一般是數(shù)學(xué)曲線平滑的指數(shù)公式。最好是，該算法從原始曲線中減去數(shù)學(xué)平滑曲線以隔離和識(shí)別第一全SPD和第二全SPD中每個(gè)全SPD的源峰值。
在步驟332，調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組。圖4是步驟332中討論的調(diào)整步驟流程圖。圖9A是第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組的初始調(diào)整步驟的曲線圖。專業(yè)人員可以知道，沿x軸的單位是每個(gè)像素的波長(zhǎng)，而沿y軸的單位是源峰值。首先，在波長(zhǎng)(第一數(shù)據(jù)組)與像素(第二數(shù)據(jù)組)之間存在差別或誤差。在步驟334，移位第二數(shù)據(jù)組預(yù)選的增量。在步驟336，第一數(shù)據(jù)組在導(dǎo)出誤差或偏移的增量中內(nèi)插波長(zhǎng)偏移。在步驟338，確定移位第二數(shù)據(jù)組與內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組之間的誤差。在步驟340，比較該誤差與預(yù)選閾值。在誤差大于預(yù)選閾值的情況下，按照以上的步驟重復(fù)調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組的步驟。最好是，預(yù)選閾值約在提供可接受準(zhǔn)確性的范圍內(nèi)。專業(yè)人員可以知道，閾值是與光源和光譜輻射計(jì)有關(guān)。在步驟342，若誤差小于預(yù)選閾值，則確定最佳的移位第二數(shù)據(jù)組和內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組的表達(dá)式以及歸一化或調(diào)整各自的數(shù)據(jù)組。
圖9B是在誤差小于閾值和已確定最佳移位和內(nèi)插表達(dá)式之后調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組的隨后步驟曲線圖。同樣地，專業(yè)人員可以知道，沿x軸和沿y軸的單位與圖9A中的相同。
圖3E是附加定標(biāo)步驟的流程圖，它在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制。在步驟344，確定客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子，為的是定標(biāo)客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的輻照度級(jí)控制。系統(tǒng)響應(yīng)因子是基于濾波的第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組以及最佳的移位和內(nèi)插表達(dá)式。因此，系統(tǒng)響應(yīng)因子代表輸出信號(hào)與輸入激勵(lì)的離散波長(zhǎng)比率，如此處所描述的。確定系統(tǒng)響應(yīng)因子的步驟包括找到全SPD上每個(gè)波長(zhǎng)的輸出與輸入的比率。
圖10是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子曲線圖。專業(yè)人員可以知道，系統(tǒng)響應(yīng)因子表示為客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的全SPD上多個(gè)離散波長(zhǎng)中每個(gè)波長(zhǎng)的信號(hào)輸出幅度。換句話說(shuō)，如以下更詳細(xì)討論的，系統(tǒng)響應(yīng)因子用于調(diào)整特定客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的輻照度級(jí)控制到NIST可追蹤電平。
圖11是客戶加速老化測(cè)試設(shè)備在定標(biāo)之后產(chǎn)生的全SPD曲線圖。專業(yè)人員可以知道，圖11中的全SPD曲線圖與圖5中的全SPD曲線圖基本相同，它指出客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中的輻照度級(jí)控制現(xiàn)在已定標(biāo)到NIST可追蹤電平。因此，可以從客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中得到準(zhǔn)確和可預(yù)測(cè)的結(jié)果。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，收集第一全SPD的步驟是利用與工廠加速老化測(cè)試設(shè)備結(jié)合使用的NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。這種光譜輻射計(jì)可以包括單色儀和光敏裝置，并可選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
利用與客戶加速老化測(cè)試設(shè)備結(jié)合使用的光譜輻射計(jì)實(shí)施收集第二全SPD的步驟是在本發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi)。最好是，這種光譜輻射計(jì)可以包括單色儀和光敏裝置，并可選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
圖12是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例運(yùn)行定標(biāo)的客戶加速老化測(cè)試設(shè)備以使其中的測(cè)試樣本曝光到準(zhǔn)確的預(yù)選輻照度級(jí)的步驟流程圖。在步驟408，確定從光源中產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)。確定功率級(jí)的過(guò)程是基于先前的步驟400-406。即，在步驟400，輸入光源濾波器組合的類型。在步驟402和404，輸入光源控制波長(zhǎng)的所需輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)，和在步驟406，從存儲(chǔ)器中檢索定標(biāo)光源的第一數(shù)據(jù)組。在步驟410，激活客戶加速老化測(cè)試設(shè)備，從而使測(cè)試樣本曝光在光源的輻照度下。
基于以上的步驟，在步驟418，觀察從光源測(cè)量的輻照度級(jí)。即，在步驟412，收集和調(diào)節(jié)光源的實(shí)際輻照度，在步驟414，產(chǎn)生第二數(shù)據(jù)組，和在步驟416，利用系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整第二數(shù)據(jù)組。
在步驟420，比較控制波長(zhǎng)下的功率級(jí)與測(cè)量的輻照度級(jí)。在測(cè)量的輻照度級(jí)不對(duì)應(yīng)于輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)的情況下，在步驟424，產(chǎn)生調(diào)整的光源功率控制信號(hào)，并使該過(guò)程重新回到步驟410。在測(cè)量的輻照度級(jí)對(duì)應(yīng)于輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)和在步驟426中曝光所需的時(shí)間段沒(méi)有終止的情況下，則在步驟428中本發(fā)明這個(gè)實(shí)施例的過(guò)程暫停一段時(shí)間，并在暫停之后重設(shè)該過(guò)程到步驟410。在步驟426中曝光所需的時(shí)間段終止情況下，在步驟430，客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中測(cè)試樣本的曝光結(jié)束。
控制波長(zhǎng)可以是波長(zhǎng)范圍或特定的波長(zhǎng)范圍以及這個(gè)波長(zhǎng)范圍可用于確定光度計(jì)輸出是在本發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi)。例如，按照專業(yè)人員熟知的數(shù)學(xué)函數(shù)，可以從導(dǎo)出的任何全SPD中確定LUX值。在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中，這可以借助于人眼加權(quán)的原始數(shù)據(jù)給予描述，即，日光視覺(jué)響應(yīng)。
在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中，第一數(shù)據(jù)組包含第一全SPD上的第一組測(cè)量結(jié)果，其中第一組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成第一全SPD上多個(gè)離散等間隔波長(zhǎng)中每個(gè)波長(zhǎng)的第一輻照幅度。最好是，第一組測(cè)量是利用NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。
此外，在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中，第二數(shù)據(jù)組包含第二全SPD上的第二組測(cè)量結(jié)果，其中第二組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。第二組測(cè)量是利用NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的，且這種光譜輻射計(jì)可以是線性電荷耦合器件或任何其他合適的裝置。
在不偏離所附權(quán)利要求書(shū)精神和范圍的條件下，專業(yè)人員可以作出各種改動(dòng)和變化。例如，該設(shè)備可以配置成利用具有上述優(yōu)點(diǎn)的其他合適光源，定標(biāo)光源和光譜輻射計(jì)運(yùn)行。
權(quán)利要求
1.一種在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)輻照度級(jí)控制的方法，包括以下步驟在工廠加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源；在第一定標(biāo)裝置確定的固定功率級(jí)下運(yùn)行工廠加速老化測(cè)試設(shè)備；收集定標(biāo)光源的第一全譜功率分布(“SPD”)；從第一全SPD中產(chǎn)生第一組測(cè)量結(jié)果；存儲(chǔ)第一組測(cè)量結(jié)果作為第一數(shù)據(jù)組；在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源；在第二定標(biāo)裝置確定的固定功率級(jí)下運(yùn)行客戶加速老化測(cè)試設(shè)備；收集定標(biāo)光源的第二全SPD；從第二全SPD中產(chǎn)生第二組測(cè)量結(jié)果；存儲(chǔ)第二組測(cè)量結(jié)果作為第二數(shù)據(jù)組；濾波第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組；調(diào)整第一濾波數(shù)據(jù)組和第二濾波數(shù)據(jù)組；和確定客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子，為的是定標(biāo)客戶加速老化測(cè)試設(shè)備的輻照度級(jí)控制。
2.按照權(quán)利要求1的方法，其中收集第一全SPD的步驟是利用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試研究院(“NIST”)可追蹤光譜輻射計(jì)并結(jié)合工廠加速老化測(cè)試設(shè)備實(shí)施的。
3.按照權(quán)利要求2的方法，其中光譜輻射計(jì)包含單色儀和光敏裝置。
4.按照權(quán)利要求2的方法，其中光譜輻射計(jì)選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
5.按照權(quán)利要求1的方法，其中收集第二全SPD的步驟是利用光譜輻射計(jì)并結(jié)合客戶加速老化測(cè)試設(shè)備實(shí)施的。
6.按照權(quán)利要求5的方法，其中光譜輻射計(jì)包含單色儀和光敏裝置。
7.按照權(quán)利要求5的方法，其中光譜輻射計(jì)選自線性電荷耦合器件與二極管陣列的組合。
8.按照權(quán)利要求1的方法，其中第一組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成第一全SPD上多個(gè)等間隔離散波長(zhǎng)中每個(gè)波長(zhǎng)的第一輻照幅度。
9.按照權(quán)利要求1的方法，其中第二組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。
10.按照權(quán)利要求1的方法，其中系統(tǒng)響應(yīng)因子表示成全SPD的多個(gè)離散波長(zhǎng)中每個(gè)波長(zhǎng)的信號(hào)輸出幅度。
11.按照權(quán)利要求1的方法，其中濾波步驟利用算法以隔離和識(shí)別第一和第二全SPD的源峰值。
12.按照權(quán)利要求1的方法，其中濾波步驟利用以下算法以隔離和識(shí)別第一和第二全SPD的源峰值yi=xi-[1/16×Σj=0j=6(4-|j-3|)·x(i-(j-3))]]]>其中y＝一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組；x＝另一個(gè)濾波數(shù)據(jù)組；i＝下標(biāo)數(shù)字
13.按照權(quán)利要求1的方法，其中算法執(zhí)行一系列平滑濾波數(shù)據(jù)組的步驟以隔離和識(shí)別第一和第二全SPD的源峰值。
14.按照權(quán)利要求1的方法，其中調(diào)整步驟還包括以下步驟移位第二數(shù)據(jù)組一個(gè)預(yù)選的增量；內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組一個(gè)波長(zhǎng)偏移；確定移位第二數(shù)據(jù)組與內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組之間的誤差；比較誤差與預(yù)選的閾值；若誤差大于預(yù)選的閾值，則重復(fù)以上的步驟；若誤差小于預(yù)選的閾值，則確定最佳的移位第二數(shù)據(jù)組和內(nèi)插第一數(shù)據(jù)組的表達(dá)式。
15.按照權(quán)利要求1的方法，其中第一和第二定標(biāo)裝置各自是NIST可追蹤瓦特計(jì)。
16.按照權(quán)利要求1的方法，其中定標(biāo)光源是選自氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈和汞燈中的一種燈。
17.按照權(quán)利要求8的方法，其中的等間隔約為1nm。
18.按照權(quán)利要求8的方法，其中的等間隔小于1nm。
19.按照權(quán)利要求8的方法，其中的等間隔大于1nm。
20.一種在客戶加速老化測(cè)試設(shè)備中使測(cè)試樣本曝光到準(zhǔn)確預(yù)選輻照度級(jí)的方法，包括以下步驟基于光源濾波器組合的類型、定標(biāo)光源的第一數(shù)據(jù)組、和光源控制波長(zhǎng)下所需的輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)，確定從光源中產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)；基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源第二數(shù)據(jù)組，確定從光源測(cè)量的輻照度級(jí)；比較控制波長(zhǎng)下的功率級(jí)與測(cè)量的輻照度級(jí)；產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)；和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上步驟。
21.按照權(quán)利要求20的方法，其中光源是選自氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈和汞燈中的一種燈。
22.按照權(quán)利要求20的方法，其中定標(biāo)光源是選自氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈和汞燈。
23.按照權(quán)利要求20的方法，其中控制波長(zhǎng)是可用于確定光度計(jì)輸出的波長(zhǎng)范圍。
24.按照權(quán)利要求20的方法，其中控制波長(zhǎng)是一個(gè)波長(zhǎng)范圍。
25.按照權(quán)利要求20的方法，其中第一數(shù)據(jù)組包括來(lái)自第一全譜功率分布(“SPD”)的第一組測(cè)量結(jié)果，其中第一組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成第一全SPD上多個(gè)等間隔離散波長(zhǎng)中每個(gè)波長(zhǎng)的第一輻照幅度。
26.按照權(quán)利要求25的方法，其中第一組測(cè)量是利用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試研究院(“NIST”)可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。
27.按照權(quán)利要求20的方法，其中第二數(shù)據(jù)組包括來(lái)自第二全SPD的第二組測(cè)量結(jié)果，其中第二組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。
28.按照權(quán)利要求27的方法，其中第二組測(cè)量是利用NIST可追蹤光譜輻射計(jì)實(shí)施的。
29.按照權(quán)利要求28的方法，其中光譜輻射計(jì)是線性電荷耦合器件。
30.一種加速老化測(cè)試設(shè)備，包括測(cè)試室；測(cè)試樣本座，用于支承測(cè)試室中的測(cè)試樣本；測(cè)試室內(nèi)設(shè)置的光源，用于產(chǎn)生測(cè)試室中的輻照度；控制器，基于多個(gè)輸入，產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)；響應(yīng)于光源功率控制信號(hào)的功率源，用于輸出功率到光源；和光譜輻射計(jì)，用于收集光源的全譜功率分布(“SPD”)，產(chǎn)生代表全SPD的數(shù)據(jù)組，和輸出該數(shù)據(jù)組到控制器作為多個(gè)輸入中的一個(gè)輸入。
31.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中有接收光裝置的光譜輻射計(jì)設(shè)置在測(cè)試室內(nèi)，用于直接接觸光源輻照度。
32.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中光波導(dǎo)接收光裝置配置在測(cè)試室內(nèi)，用于直接接觸光源輻照度并引導(dǎo)光源的光到遠(yuǎn)離測(cè)試室配置的光譜輻射計(jì)。
33.按照權(quán)利要求32的設(shè)備，其中接收光裝置設(shè)置在測(cè)試樣本座上。
34.按照權(quán)利要求32的設(shè)備，其中接收光裝置設(shè)置在測(cè)試樣本座支承的測(cè)試樣本限定的測(cè)試樣本面上。
35.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中數(shù)據(jù)組包含來(lái)自全SPD的一組測(cè)量結(jié)果，其中該組測(cè)量中的每個(gè)測(cè)量結(jié)果表示成每個(gè)傳感器單元計(jì)數(shù)的數(shù)目。
36.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中光源是選自氙燈，熒光燈，金屬鹵化物燈和汞燈中的一種燈。
37.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中光譜輻射計(jì)是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試研究院(“NIST”)可追蹤線性電荷耦合器件。
38.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中基于光源濾波器組合的類型、定標(biāo)光源數(shù)據(jù)組和光源控制波長(zhǎng)的所需輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)，控制器確定從光源產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)。
39.按照權(quán)利要求38的設(shè)備，其中基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源數(shù)據(jù)組，控制器還確定從光源測(cè)量的輻照度級(jí)。
40.按照權(quán)利要求39的設(shè)備，其中控制器比較功率級(jí)與測(cè)量的輻照度級(jí)，產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
41.按照權(quán)利要求30的設(shè)備，其中控制器包括處理單元和存儲(chǔ)程序指令的存儲(chǔ)器，在由處理單元使用時(shí)，它使控制器具有以下的功能基于光源濾波器組合的類型、定標(biāo)光源數(shù)據(jù)組和光源控制波長(zhǎng)所需的輻照度級(jí)設(shè)置點(diǎn)，確定從光源產(chǎn)生預(yù)選輻照度級(jí)的功率級(jí)；基于系統(tǒng)響應(yīng)因子調(diào)整的光源數(shù)據(jù)組，確定從光源測(cè)量的輻照度級(jí)；比較功率級(jí)與測(cè)量的輻照度級(jí)；產(chǎn)生光源功率控制信號(hào)；和在所需時(shí)間段內(nèi)以預(yù)選間隔重復(fù)以上的步驟。
全文摘要
一種加速老化測(cè)試設(shè)備以及定標(biāo)和運(yùn)行該設(shè)備的方法，包括用于監(jiān)測(cè)光源全譜功率分布的光譜輻射計(jì)。定標(biāo)包括在以固定功率級(jí)運(yùn)行的工廠測(cè)試設(shè)備中定標(biāo)光源并收集定標(biāo)光源的全譜功率分布以產(chǎn)生第一數(shù)據(jù)組。然后，在客戶測(cè)試設(shè)備中安裝定標(biāo)光源并以固定功率級(jí)運(yùn)行以收集全譜功率分布和產(chǎn)生第二數(shù)據(jù)組。濾波和調(diào)整第一數(shù)據(jù)組和第二數(shù)據(jù)組以確定客戶測(cè)試設(shè)備的系統(tǒng)響應(yīng)因子，從而可以定標(biāo)輻照度級(jí)控制。
文檔編號(hào)G01N17/00GK1651900SQ20051000781
公開(kāi)日2005年8月10日 申請(qǐng)日期2005年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月2日
發(fā)明者柯特·斯高特, 克里斯托弗·瓦斯, 阿納托利·伊瓦諾夫 申請(qǐng)人:阿特拉斯材料測(cè)試技術(shù)有限責(zé)任公司