專利名稱::用于v型濾床掃描的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
:本發(fā)明通常涉及一種用于v型濾床掃描的方法和設(shè)備。
背景技術(shù):
:當(dāng)層流不是主要關(guān)注的問(wèn)題時(shí),很多具有較高的氣流要求的污染控制應(yīng)用利用v型過(guò)濾器(v-bankfilter)而不是平板過(guò)濾器。然而,傳統(tǒng)的生產(chǎn)和確認(rèn)實(shí)踐將v型堤(v-bank)的測(cè)試限制在整體效率測(cè)試上,其原因在于,無(wú)法對(duì)針孔泄漏的過(guò)濾介質(zhì)精確地進(jìn)行泄漏測(cè)試(即是掃描測(cè)試)。在2001年10月于Cleanrooms期刊出版的題目為"EN1822:THESTANDARDTHATGREATLYIMPACTEDTHEEUROPEANCLEANROOMSMARKET(EN1822:對(duì)歐洲凈室市場(chǎng)影響極大的標(biāo)準(zhǔn))"一文中描述了無(wú)法實(shí)現(xiàn)掃描測(cè)試v型過(guò)濾器。在這一文章中,作者陳述了"…無(wú)法掃描具有V型褶皺包的HEPA/ULPA過(guò)濾器,因?yàn)闇y(cè)量探針無(wú)法足夠接近褶皺包中的可能的泄漏。"然而,由于對(duì)需要掃描測(cè)試的污染控制的日益嚴(yán)格的確認(rèn)要求,很多設(shè)備被迫利用較深褶皺的過(guò)濾器產(chǎn)品,而并非v型過(guò)濾器產(chǎn)品。由于較深褶皺的過(guò)濾器通常不具有v型過(guò)濾器的空氣處理能力,對(duì)特定的應(yīng)用,可能需要更多的過(guò)濾器,并且,需要更多的能量來(lái)驅(qū)動(dòng)氣體流經(jīng)過(guò)濾器。因而,較深褶皺的過(guò)濾器在可利用v型過(guò)濾器的應(yīng)用中將導(dǎo)致較高的過(guò)濾器和能量使用成本。因此,需要一種用于掃描v型濾床的方法和設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的實(shí)施方式通常涉及一種掃描V型過(guò)濾器的方法和設(shè)備。在一種實(shí)施方式中,一種用于掃描v型過(guò)濾器的設(shè)備包括在測(cè)試中設(shè)計(jì)為在v型過(guò)濾器的堤之間延伸的空心主體。所述空心主體具有第一端和第二端。在主體的第二端形成出口,并且該出口適合將測(cè)試器件連接到主體的內(nèi)部空間。第一組多個(gè)孔穿透主體形成,并與內(nèi)部空間流動(dòng)性地連接。在另一種實(shí)施方式中,提供了一種掃描v型過(guò)濾器的方法。在一種實(shí)施方式中,該方法包括將具有多個(gè)樣本端口的探針插入與過(guò)濾包(filterpack)相鄰的過(guò)濾器,并沿著過(guò)濾包穿行探針。在另一種實(shí)施方式中,一種掃描v型過(guò)濾器的方法包括用探針掃描v型過(guò)濾器的堤,并收集經(jīng)過(guò)過(guò)濾器并進(jìn)入探針的氣體樣本。在一種實(shí)施方式中,一種用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針包括具有內(nèi)部空間、第一端以及第二端的空心主體。在測(cè)試期間,將該空心主體設(shè)計(jì)為在v型過(guò)濾器的堤之間延伸。形成在主體的第二端的出口適于將主體的內(nèi)部空間連接到測(cè)試器件。第一組多個(gè)孔穴穿透主體形成并與內(nèi)部空間流動(dòng)性地連在另一種實(shí)施方式中,一種用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針包括延長(zhǎng)的空心主體,其第一端密封并且在第二端具有端口。通過(guò)主體的壁形成錐形狹槽,其中錐形狹槽的寬端朝向主體的第一端。在另一種實(shí)施方式中,提供了一種測(cè)試v型過(guò)濾器的方法,包括將探針插入在v型過(guò)濾器的過(guò)濾介質(zhì)的兩個(gè)堤之間,沿著堤穿行探針,以及同時(shí)將樣本從每個(gè)堤單獨(dú)提供到探測(cè)工具。在另一種實(shí)施方式中,提供了一種測(cè)試v型過(guò)濾器的方法,包括給具有至少兩個(gè)排列成"v"型結(jié)構(gòu)的過(guò)濾介質(zhì)的相鄰的堤的v型過(guò)濾器激發(fā),使探針掃描經(jīng)過(guò)過(guò)濾介質(zhì)的相鄰堤之間限定的開口,對(duì)經(jīng)過(guò)過(guò)濾介質(zhì)的堤并進(jìn)入探針的空氣取樣,確定樣本是否指示泄露。本發(fā)明的啟示可通過(guò)以下參照附圖的詳細(xì)描述容易得到理解,在圖中圖1A-B,2-3,4A-B,5A-B以及6是適用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針的不同實(shí)施方式的各種視圖7是適用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針的另一種實(shí)施方式;圖8-11是本發(fā)明中用于v型過(guò)濾器以便于掃描測(cè)試的探針的圖像;以及圖12A-B是適用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針的另一種實(shí)施方式。為了理解方便,盡可能使用同樣的附圖標(biāo)記來(lái)標(biāo)注不同圖中的同樣元件。應(yīng)當(dāng)理解,一種實(shí)施方式的元件和特征可以在另一實(shí)施方式中被有利地結(jié)合進(jìn)來(lái)而無(wú)需進(jìn)一步陳述。然而,應(yīng)當(dāng)注意,附圖只說(shuō)明了本發(fā)明的示例性實(shí)施方式,并因而不應(yīng)將其視作對(duì)其范圍的限制,因?yàn)楸景l(fā)明可接受其他同等有效的實(shí)施方式。具體實(shí)施例方式本發(fā)明的實(shí)施方式適用于針孔泄露的掃描測(cè)試v型過(guò)濾器。盡管此處說(shuō)明的過(guò)濾器為CamfilFair,Inc.提供的FILTRA2000TMv型過(guò)濾器,應(yīng)當(dāng)理解,這種測(cè)試設(shè)備和方法可用于掃描測(cè)試具有其他結(jié)構(gòu)的v型過(guò)濾器。被研發(fā)以便于掃描測(cè)試的掃描探針支持用于手動(dòng)掃描操作的合理的掃描速率(即,在大約l-2英寸每秒(25.4-50.8毫米每秒)的范圍內(nèi))并進(jìn)一步適用于自動(dòng)或半自動(dòng)掃描應(yīng)用。探針設(shè)計(jì)與傳統(tǒng)的整個(gè)包的表面在同一平面的盒式介質(zhì)包(mediapack)相比,V-bed型介質(zhì)包(V-bedmediapack)結(jié)構(gòu)給掃描測(cè)試工藝中和探針設(shè)計(jì)制造了障礙。在傳統(tǒng)的盒式過(guò)濾器中,探針通常由具有整體過(guò)渡的管組成,通過(guò)該管提取樣本。這一過(guò)渡通常是正方形或矩形。這種取樣探針的設(shè)計(jì)可使遍及整個(gè)探針的取樣表面的局部速率相等,最終在整個(gè)取樣表面得到均勻的氣流。在本發(fā)明中,探針允許相鄰的介質(zhì)包同時(shí)得到掃描。盡管這不是必要的,但是期望得到這樣的效果,因?yàn)檫@樣減小了測(cè)試過(guò)濾器時(shí)操作員使用探針的每個(gè)過(guò)濾器的"遍"數(shù)。應(yīng)當(dāng)理解,可以將探針設(shè)計(jì)為在每一遍只掃描一個(gè)介質(zhì)包。圖l-8描述了適用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針的各種視圖。掃描過(guò)程中提取的樣本可用于確定針孔泄露大于預(yù)定的標(biāo)準(zhǔn)或過(guò)濾器效率的位置。首先參照?qǐng)D1A-1B中所示的探針100,該探針100通常為第一端104封閉并在第二端108具有端口106的管或其他空心主體102。將主體102的形狀設(shè)計(jì)為允許探針100的第一端104位于v型過(guò)濾器的相鄰的堤(bank)之間。端口106通常適用于與測(cè)試工具連接,諸如光度計(jì)、粒子計(jì)數(shù)器(particlecounter)或其他適用于泄露探測(cè)或效率測(cè)量的工具。在一種實(shí)施方式中,將一定長(zhǎng)度的不銹鋼管彎曲為適于深入由過(guò)濾器堤定義的"V"型的結(jié)構(gòu),例如,"V"型或三角形。在另一種實(shí)施方式中,管可以是直的或楔形的。例如通過(guò)鉆孔,沿探針100的至少一個(gè)支管的外側(cè)表面形成多個(gè)孔穴110,諸如孔或狹槽。選擇孔穴110的數(shù)量、尺寸和間隔以允許沿垂直于掃描方向的介質(zhì)堤的長(zhǎng)度取樣。這樣,其中形成有孔穴110的探針的長(zhǎng)度通常等于欲使用探針的介質(zhì)堤的長(zhǎng)度。因此,每個(gè)支管上的孔穴110面向相反的方向。在圖l中所述的實(shí)施方式中,探針100的每個(gè)支管包括直線排列的孔穴110。每個(gè)支管的內(nèi)部空間與端口106流動(dòng)性地連接,這樣,可將通過(guò)孔穴110提取的樣本提供給測(cè)試工具??籽?10可以為單一尺寸、不同尺寸或不同尺寸的結(jié)合。在一種實(shí)施方式中,漏孔或穿透探針壁形成的孔穴110的表面區(qū)域在沿探針的長(zhǎng)度向第一端104延伸的孔之間減小,以計(jì)算由于樣本從探針的第二端108抽出產(chǎn)生的壓力降低。在一種實(shí)施方式中,孔穴110包括至少兩組具有不同漏孔尺寸的孔和/或狹縫。在圖1B所示的實(shí)施方式中,孔穴IIO包括在離光度計(jì)最遠(yuǎn)的探針100的第一端104的較遠(yuǎn)組孔IIOC,其具有比設(shè)置于離第二端108(以及光度計(jì))最近的較近組孔110A的直徑更大的直徑(漏孔),而設(shè)置于探針100的中央部分的中間組孔110B的直徑在離第二端108最近和最遠(yuǎn)的孔穴110的直徑之間。例如,孔穴110可包括直徑為大約0.018-0.062英寸(0.45-1.57mm)的較近組孔110A,直徑為大約0.055-0.077英寸(1.40-1.96mm)的中間組孔IIOB,以及直徑為大約0.062-0.093英寸(1.57-2.36mm)的較遠(yuǎn)組孔IIOC。沿探針100的長(zhǎng)度增加孔直徑可以得到沿探針長(zhǎng)度更均勻的(以及典型的)樣本??衫迷O(shè)計(jì)為寬度沿探針的長(zhǎng)度改變的狹槽的孔穴110(例如,朝向第一端104呈錐形),或通過(guò)沿使用沿探針長(zhǎng)度間隔的較大孔和/或不同孔的探針的長(zhǎng)度使用穿孔的材料,來(lái)設(shè)計(jì)相似的探針以獲得相同的結(jié)果。圖2-3示出了探針100,包括整體手柄150和導(dǎo)引器112以使探針100在掃描過(guò)濾器的過(guò)程中定位在過(guò)濾器的"V"中。那些導(dǎo)引器112通過(guò)限制能夠插入過(guò)濾器的探針的第一端104的距離將探針100保持在距每個(gè)介質(zhì)包預(yù)定的距離。導(dǎo)引器112,諸如棒、桿、滾軸(rollers)、軸承(bearing)、滑座(slides)、突起(tabs)或其他固定設(shè)備(如圖2-3和8-11所示),確保探針仍然位于介質(zhì)包之間的適度的中心,從而,消除了在插入或掃描中不注意地與探針100接觸而導(dǎo)致對(duì)介質(zhì)包的潛在損害,并同時(shí)確保探針和介質(zhì)包表面之間的距離保持在要求的距離(或范圍)。在一種實(shí)施方式中,探針100是從以V型形成的一個(gè)或多個(gè)空心管180制成的,以適用在褶皺的介質(zhì)包之間。管180在接近第二端106在T形接頭(tee)182附近連接,所述T形接頭延伸至端口108??蓪⑻结樀目籽?10設(shè)計(jì)為多個(gè)狹槽或孔110A-C(如圖1A-B,和圖2-3所示),錯(cuò)列的孔410(如圖4A-B所示),一個(gè)或更多錐形的狹槽510(如圖5A-B所示),錯(cuò)列的狹槽或孔610(如圖6所示)或其他能夠允許在介質(zhì)包的表面的1"(25.4mm)內(nèi)空氣取樣的結(jié)構(gòu),其通常為介質(zhì)包和取樣探針之間的行業(yè)可接受距離。在使用狹槽的實(shí)施方式中,盡管可以使用多個(gè)狹槽,孔穴110可以是如圖5A-B所示的單個(gè)狹槽510。在標(biāo)準(zhǔn)或行業(yè)實(shí)踐要求探針在掃描測(cè)試過(guò)程中放置于接近介質(zhì)包的情況下可以修改探針100的幾何結(jié)構(gòu)。在主體102是管180的實(shí)施方式中,穿透該表面形成孔穴110的圓形的表面(管180的外徑)提供了在探針和介質(zhì)之間形成無(wú)意接觸時(shí)對(duì)過(guò)濾器介質(zhì)損害的保護(hù),特別是與傳統(tǒng)具有方角的矩形探針相比。在圖4A-B中所描述的實(shí)施方式中,探針400包括具有在第一端104匯合的支管402,404的主體102。支管402、404從第一端104朝向第二端108向外張開。每個(gè)支管402,404包括在第二端108的分離端口406A,406B,用于分別將每個(gè)支管連接到測(cè)試工具。由于通過(guò)孔穴410(如上所述形成于支管402,404中)中提取的樣本是分別取樣的,可以確定接近單個(gè)支管402,404的過(guò)濾介質(zhì)的特定堤的泄漏探測(cè)。孔穴410可以是尺寸錯(cuò)列的,從而具有較大孔徑的孔穴接近第一端104。在一種實(shí)施方式中,將孔穴410設(shè)計(jì)為與參照?qǐng)D1B所述的孔穴110相似。在圖5A-B所示的另一實(shí)施方式中,探針500包括可設(shè)計(jì)為上述探針100或400的任意一個(gè)的主體102。探針500包括形成于主體102的支管的外向表面?zhèn)鹊莫M槽510。在一種實(shí)施方式中,狹槽510為錐形的,從而狹槽510的寬端接近主體102的第一端104。在圖6中所示的另一實(shí)施方式中,示出了探針600的一部分。探針600的主體102可設(shè)計(jì)為上述的探針100或400的任意一個(gè)。探針600包括多個(gè)錯(cuò)列的孔穴610,圖6中所示為狹槽??籽?10形成于主體102的外向表面?zhèn)龋瑥亩?,一個(gè)孔穴610的一部分與相鄰的孔穴交疊。在一種實(shí)施方式中,接近主體102的第一端(104)的孔穴610與接近第二端(106)的孔穴610相比可更多地位于開口區(qū)域。在圖7所示的另一種實(shí)施方式中,探針700為矩形。探針的寬度比限定在V型的寬端的狹槽702的寬度更寬,該V型中空氣在v型過(guò)濾器的介質(zhì)包704之間引出。探針700可包括一個(gè)或更多導(dǎo)引器706以使狹槽排列在探針,諸如棒、滾軸、桿或其他如圖7所示與探針706的開口端連接的位置特征。探針700放置在盡可能接近狹槽702,從而去除探針周圍的潛在旁路(bypass)。通過(guò)將探針沿著狹槽移動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)試。這與掃描測(cè)試傳統(tǒng)的HEPA過(guò)濾器非常相似,除了探針用于掃描狹槽而不是介質(zhì)包。應(yīng)當(dāng)理解,掃描數(shù)據(jù)也可以用于計(jì)算過(guò)濾器效率。在圖12A-B所示的另一種實(shí)施方式中,描述了適用于掃描v型過(guò)濾器的探針1200。探針1200包括具有至少一個(gè)樣本端口1204的主體1202。在圖12A-B所示的實(shí)施方式中,示出了四個(gè)樣本端口04。每個(gè)樣本端口1204包括樣本入口1206和樣本出口1208。裝置1210與主體1202在出口1208連接,從而有助于將端口1204連接到測(cè)試工具上,諸如光度計(jì)或其他合適的器件。在探針1200的樣本入口側(cè)提供了至少一個(gè)導(dǎo)引器1212。導(dǎo)引器1212有助于探針1200排列在上述的過(guò)濾器。在圖12A-B所示的實(shí)施方式中,提供了垂直于探針1200的主軸固定并排列在掃描方向的兩個(gè)棒型的導(dǎo)引器1212。測(cè)試V型過(guò)濾器的探針確認(rèn)和方法
技術(shù)領(lǐng)域:
:本發(fā)明的探針已證明可有效定位泄漏。在測(cè)試中使用FILTRA2000v型過(guò)濾器。將過(guò)濾器安裝在試驗(yàn)臺(tái)(testrig)中并激發(fā)(challenge)PAO。隨后利用上述探針手動(dòng)掃描測(cè)試過(guò)濾器。下面詳細(xì)描述測(cè)試。程序-插入型探針在一種實(shí)施方式中,利用諸如探針100、400、500的探針掃描測(cè)試Filtra2000TM。使用該探針從v型過(guò)濾器的下游側(cè)在v型中的過(guò)濾介質(zhì)的堤之間掃描。使用具有0.5mm直徑的鉛芯的機(jī)械鉛筆在Filtra2000TMv型過(guò)濾器中有意地設(shè)置兩個(gè)孔,從而在己知位置產(chǎn)生泄漏。在過(guò)濾器的下游側(cè)的介質(zhì)包中,在介質(zhì)包的下游側(cè),以及在離垂直擠壓部件(verticalextrusionmemeber)約l英寸(25.4mm)的位置上產(chǎn)生"孔A"。在過(guò)濾器的上游側(cè)的介質(zhì)包中,在介質(zhì)包的上游側(cè)上,以及在十分接近垂直擠壓部件的位置產(chǎn)生"孔B"。孔在那些位置生成是因?yàn)樗鼈儽硎就ǔUJ(rèn)為難以探測(cè)泄漏的位置。用于執(zhí)行掃描測(cè)試的試驗(yàn)臺(tái)通常包括在試驗(yàn)臺(tái)上的變頻驅(qū)動(dòng),將其調(diào)整,直至經(jīng)過(guò)氣流站(airflowstation,AFS)的壓降是通過(guò)使用Alnor微壓計(jì)測(cè)量的約0.452英寸水標(biāo)(w.g.)(0.113kPa)。這種經(jīng)過(guò)整個(gè)過(guò)濾器的壓降表示流經(jīng)過(guò)濾器的流量為約2000立方英尺每分鐘(56.6立方米每分鐘)。使用ATITDA-5B熱煙霧產(chǎn)生器(thermalgenerator)產(chǎn)生注入到送風(fēng)機(jī)入口的PAO煙霧劑。使用ATITDA-2E光度計(jì)以在過(guò)濾器的上游的過(guò)渡中獲得上游樣本。允許送風(fēng)機(jī)、煙霧產(chǎn)生器和光度計(jì)預(yù)熱大約20分鐘,從而達(dá)到穩(wěn)態(tài)運(yùn)行。打開煙霧產(chǎn)生器,并調(diào)節(jié)以獲得40-50微克/公升。選擇這一范圍是因?yàn)楦鞣N行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和建議(例如,IEST以及ATI)推薦用在10-100微克/公升的范圍的煙霧激發(fā)掃描。用光度計(jì)測(cè)量上游激發(fā)濃度(upstreamchallengeconcentration)。用連接到光度計(jì)的原型探針掃描測(cè)試過(guò)濾器,并且其結(jié)果記錄在下面的表l中。掃描是通過(guò)將探針手動(dòng)插入過(guò)濾器來(lái)進(jìn)行的,這樣孔穴就面向?qū)⒁獪y(cè)試的過(guò)濾包。隨后,將探針向前移動(dòng)經(jīng)過(guò)包,以測(cè)試針孔泄漏的介質(zhì)。按照IEST標(biāo)準(zhǔn)或其他測(cè)試協(xié)議設(shè)定該泄漏閾值。使用的儀器測(cè)試過(guò)濾器FILTRA2000TM,由CamfilFarr,Inc.提供模型編號(hào)FA1570A-01-01-09零件編號(hào)855010095序列號(hào)Al16084-008木示記效率99.998%標(biāo)記壓降1"w.g.(0.25kPa)額定cfm:2150(60.9立方米每分鐘)壓力指示器ALNOR微壓計(jì)(數(shù)字微壓計(jì))型號(hào)AXD550工具I.D.:66303校準(zhǔn)'.06/26/03校準(zhǔn)有效期06/26/04檢漏設(shè)備ATI模擬光度計(jì)型號(hào)TDA-2E序列號(hào)8462校準(zhǔn)10/31/03校準(zhǔn)有效期10/31/04煙霧產(chǎn)生器ATI熱煙霧產(chǎn)生器型號(hào)TDA-5B序列號(hào)15769ATILaskin噴嘴產(chǎn)生器型號(hào)TDA-4BL序列號(hào)14718表1<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>光度計(jì)標(biāo)度設(shè)置0.1%近似手動(dòng)掃描速率lin/sec(25.4mm/sec)"孔A"探測(cè)到泄漏""孔B"探測(cè)到泄漏**背景濃度*0.04%*"背景濃度"為恒定的,并且由稱為"滲濾(BleedThrough)"的現(xiàn)象引起。根本上來(lái)說(shuō),其是由使用熱產(chǎn)生的煙霧(其微粒直徑接近最易滲透顆粒粒徑(MPPS),或0.12L4m)導(dǎo)致的,用于以較高的流速激發(fā)并運(yùn)行過(guò)濾器。為運(yùn)行在表面速度(superficialvelocity)為大約90英尺每分鐘(fpm)(27.4米每分鐘)的系統(tǒng)研發(fā)了IEST建議。在這一測(cè)試中,表面介質(zhì)速度為大約160&m(48.8米每分鐘)。另外,按照IEST-RP-CC034.1,推薦一種Laskin噴嘴產(chǎn)生器(在0.6-0.714m直徑的范圍內(nèi)產(chǎn)生顆粒),用于激發(fā)這種過(guò)濾器。**IEST-RP-CC034.1指定0.01%的最大滲透率。由于"背景濃度"高于0.01%,所以不可能在該滲透率產(chǎn)生泄露。然而,當(dāng)探針經(jīng)過(guò)泄露時(shí),光度計(jì)指示滲透率超過(guò)0.1%,很明顯地指示存在泄露。在使用大約4014g/1的上游激發(fā)完成掃描測(cè)試完成以后,將至煙霧發(fā)生器的輸出調(diào)整到大約1014g/1,并再一次掃描過(guò)濾器。該測(cè)試獲得了與在40Lig/l進(jìn)行的測(cè)試相同的結(jié)果。為了與正ST-RP-CC0034.1的建議一致,使用ATITDA-4BLLaskin噴嘴產(chǎn)生器進(jìn)行測(cè)試。該測(cè)試的結(jié)果示于表2.表2參數(shù)結(jié)果AFSdP:0.452系統(tǒng)流速2000cfm(56.6立方米每分鐘)煙霧類型冷PAO上游煙霧濃度1214g/1光度計(jì)標(biāo)度設(shè)置0.01%近似手動(dòng)掃描速率lin/sec(25.4mm/sec)"孔A"探測(cè)到泄漏**<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>當(dāng)使用Laskin噴嘴產(chǎn)生器進(jìn)行測(cè)試時(shí),由于滲濾的"背景濃度"將不再是問(wèn)題。很容易探測(cè)到"孑LA"和"孑LB"。因此,由于"滲濾"效應(yīng),在使用熱產(chǎn)生的PAO測(cè)試時(shí),會(huì)存在背景濃度,其超過(guò)由IEST-RP-CC0034.1推薦的最大允許滲透率。這一問(wèn)題可以通過(guò)使用更高效率的過(guò)濾器,諸如ULPA過(guò)濾器來(lái)克服,這種過(guò)濾器的設(shè)計(jì)可以高效去除0.12um的顆粒。這樣的缺點(diǎn)是增加了壓降并提高了成本。根據(jù)設(shè)計(jì),當(dāng)過(guò)濾器運(yùn)行在設(shè)計(jì)流速,并且由Las!dn噴嘴產(chǎn)生器產(chǎn)生的冷PAO激發(fā)時(shí),探針可有效定位過(guò)濾器中的較小的針孔泄露。程序-上狹槽型探針在另一種實(shí)施方式中,使用諸如探針700,1200的探針掃描測(cè)試Filtra2000。使用探針掃描在v型過(guò)濾器的上游側(cè)上的v型之間的開口,而不穿透v型。將探針的高度設(shè)計(jì)為延伸超過(guò)介質(zhì)包并與v型的各側(cè)上的溝道交疊。在下面提供的測(cè)試數(shù)據(jù)中,入口樣本端口1206的開口為5.406英寸高x0.125英寸寬(137mmx3.18mm)。使用安裝在試驗(yàn)臺(tái)中并由PAO激發(fā)的Filtra2000來(lái)證實(shí)探針的設(shè)計(jì)可有效定位泄露。使用連接到由小型伺服電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的絲杠組件的探針組件而自動(dòng)地掃描過(guò)濾器。這樣可以對(duì)電機(jī)轉(zhuǎn)速進(jìn)行精確控制,并從而準(zhǔn)確并精確地控制探針組件的線性速度。下面詳細(xì)介紹該測(cè)試。在Filtra2000中使用內(nèi)徑(I.D.)為0.020"的毛細(xì)管(capillarytube)有意地放置了兩個(gè)孔。"孔1"生成于過(guò)濾器下游側(cè)上的介質(zhì)包中,生成于介質(zhì)包的下游側(cè)上,并位于距過(guò)濾器側(cè)大約6"的位置上。"孔2"生成于過(guò)濾器上游側(cè)上的介質(zhì)包中,生成于介質(zhì)包的上游側(cè)上,并位于距過(guò)濾器側(cè)大約1"的位置上。這些孔生成于那些位置上的原因在于使它們表示通常難以探測(cè)泄露的位置。對(duì)試驗(yàn)臺(tái)的變頻驅(qū)動(dòng)進(jìn)行調(diào)整,直至流速為大約2,400cfm。使用ATITDA-4BLite煙霧產(chǎn)生器產(chǎn)生PAO煙霧,該P(yáng)AO煙霧通過(guò)煙霧注入環(huán)注入14到保護(hù)外殼。使用自動(dòng)掃描控制和取樣系統(tǒng)以在0.3微米尺寸范圍上使用LighthouseSolair3100+的激光微粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行泄露測(cè)試。其結(jié)果示于下表表3:在0.25英寸/秒的掃描速率操作的測(cè)試結(jié)果<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>表4:在0.125英寸/秒的掃描速率操作的測(cè)試結(jié)果<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>根據(jù)設(shè)計(jì),在額定氣流為2,400cfm,以及上游激發(fā)濃度為0.3微米直徑的460,000,000個(gè)顆粒每立方英尺的情況下,系統(tǒng)能夠以0.125英寸/秒的掃描速度定位針孔泄漏,但不是0.250英寸/秒。使用較高的煙霧激發(fā)上游可允許以更快的掃描速度定位泄露,其原因在于,通過(guò)泄露的激發(fā)總量可以更高,并更容易探測(cè)。同時(shí),在更低的氣流下,系統(tǒng)能夠以更快的掃描速度發(fā)現(xiàn)泄露,其原因在于,經(jīng)過(guò)針孔的顆粒沒(méi)有被干凈空氣稀釋到過(guò)濾器的下游,并因而在掃描中更容易探測(cè)。已證明增大到大約0.1875英寸/秒(0.48cm/sec)的掃描速度可產(chǎn)生可接受的掃描結(jié)果。因此,在操作速率小于或等于2400立方英尺每分鐘的系統(tǒng)中,可使用小于或等于大約0.1875英寸每秒的掃描速度,以探測(cè)v型過(guò)濾器中的泄露,其中上游激發(fā)為在2,400cfm氣流中的大約300,000,000個(gè)顆粒每立方英尺(大約8,495,050個(gè)顆粒每立方米)。應(yīng)當(dāng)理解,該掃描速度可上升到較低的運(yùn)行速度和/或較高的激發(fā)。因此,本發(fā)明提供了一種能夠掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的方法和設(shè)備。有利地,本發(fā)明可以允許v型過(guò)濾器使用在需要針孔泄露測(cè)試的應(yīng)用中。盡管在這里示出并詳細(xì)描述了各種結(jié)合了本發(fā)明技術(shù)啟示的實(shí)施方式,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員仍可結(jié)合本發(fā)明的那些技術(shù)啟示設(shè)計(jì)出各種實(shí)施方式。權(quán)利要求1、一種用于掃描測(cè)試v型過(guò)濾器的探針,包括空心主體,其具有內(nèi)部空間、第一端以及第二端,所述空心主體被設(shè)計(jì)為在測(cè)試中在v型過(guò)濾器的堤之間延伸;出口,其形成于所述主體的所述第二端并適用于將所述內(nèi)部空間與測(cè)試器件相連接;以及第一組多個(gè)孔穴,其穿透主體形成并與所述內(nèi)部空間流動(dòng)性地連接。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針,其特征在于,所述第一組多個(gè)孔穴直線排列。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針,其特征在于,進(jìn)一步包括與所述主體的所述內(nèi)部空間流動(dòng)性連接的第二組多個(gè)孔穴,所述第二組多個(gè)孔穴形成在相對(duì)于所述第一組多個(gè)孔穴的所述主體的相對(duì)側(cè)。4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針,其特征在于,所述第一組多個(gè)孔穴形成于所述主體的第一支管中,并且所述第二組多個(gè)孔穴形成于所述主體的第二支管中,所述兩支管在其間限定一銳角。5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針,其特征在于,進(jìn)一步包括導(dǎo)引器,其與所述主體連接并被設(shè)計(jì)為防止所述主體延伸超過(guò)所述過(guò)濾器的所述堤之間的預(yù)定深度。6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針,其特征在于,所述第--組多個(gè)孔穴中的至少兩個(gè)具有不同的有效漏孔尺寸。7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針,其特征在于,所述第一組多個(gè)孔穴按照漏孔尺寸排列。8、一種用于掃描測(cè)試V型過(guò)濾器的探針,包括延長(zhǎng)的空心主體,其在第一端密封,并在第二端具有端口;以及錐形狹槽,其穿透所述主體的壁形成,其中所述錐形狹槽的寬端朝向所述主體的所述第一端。9、一種用于測(cè)試v型過(guò)濾器的方法,包括在V型過(guò)濾器的過(guò)濾介質(zhì)的堤之間插入具有多個(gè)樣本端口的探針;以及沿一個(gè)所述過(guò)濾堤穿行所述探針。10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,穿行還包括在掃描時(shí),以l-2英寸每秒(25.4-50.8毫米每秒)的速度移動(dòng)所述探針經(jīng)過(guò)所述過(guò)濾器。11、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,還包括同時(shí)對(duì)兩個(gè)相對(duì)的介質(zhì)堤取樣。12、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,還包括用濃度為至少大約12Lig/1的煙霧激發(fā)所述過(guò)濾器。13、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,還包括從多個(gè)孔穴中將樣本抽取到所述探針,其中距測(cè)試工具最遠(yuǎn)的孔穴的孔大于最接近所述測(cè)試工具的孔穴的孔。14、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,插入還包括將所述探針移動(dòng)到所述過(guò)濾器中,直至從所述探針延伸的導(dǎo)引器嚙合所述過(guò)濾器。15、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,移動(dòng)還包括將第一樣本從過(guò)濾介質(zhì)的堤的第一堤傳送通過(guò)所述探針的第一出口;以及將第二樣本從過(guò)濾介質(zhì)的堤的第二堤傳送通過(guò)所述探針的第二出口而不混合所述樣本。16、一種測(cè)試V型過(guò)濾器的方法,包括向具有至少兩個(gè)排列成"V"型結(jié)構(gòu)的過(guò)濾介質(zhì)的相鄰堤的v型過(guò)濾器提供激發(fā);使探針掃描經(jīng)過(guò)所述過(guò)濾介質(zhì)的相鄰堤之間限定的開口;對(duì)經(jīng)過(guò)過(guò)濾介質(zhì)的堤并進(jìn)入所述探針的空氣取樣;以及確定樣本是否指示泄露。17、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,掃描還包括移動(dòng)形成于所述探針的主體內(nèi)的第一樣本端口,使其經(jīng)過(guò)所述開口;以及移動(dòng)形成于所述探針的主體內(nèi)的第二樣本端口,使其經(jīng)過(guò)在所述第一開口鄰近限定的第二開口。18、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,掃描還包括以小于大約0.1875英寸每秒(0.48cm/sec)的速率移動(dòng)所述探針。19、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,掃描還包括以小于大約0.125英寸每秒(0.32cm/sec)的速率移動(dòng)所述探針。20、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,還包括以至少大約300,000,000個(gè)顆粒每立方英尺(在8,495,050個(gè)顆粒每立方米)激發(fā)所述過(guò)濾器。21、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,還包括提供至少2000cfm(56.6立方米/每分鐘)的氣流經(jīng)過(guò)所述過(guò)濾器。22、根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其特征在于,掃描還包括用所述探針的導(dǎo)弓I器連接所述過(guò)濾器。全文摘要本發(fā)明的各實(shí)施方式通常涉及一種用于掃描v型過(guò)濾器的方法和設(shè)備。在一種實(shí)施方式中,用于掃描v型過(guò)濾器的設(shè)備包括具有第一和第二端(104,108)的空心主體(102)。形成于所述主體的所述第二端的出口(106)適用于將測(cè)試器件連接到所述主體的內(nèi)部空間。多個(gè)孔(110)穿過(guò)所述主體形成并與內(nèi)部空間流動(dòng)性地連接。在另一種實(shí)施方式中,用于掃描v型過(guò)濾器的方法包括在鄰近過(guò)濾包的過(guò)濾器中插入具有多個(gè)樣本端口的探針(100),以及沿一過(guò)濾包穿行探針。仍在另一種實(shí)施方式中,用于掃描v型過(guò)濾器的方法包括使用探針掃描v型過(guò)濾器的狹槽,以及收集經(jīng)過(guò)過(guò)濾器和探針的氣體樣本。文檔編號(hào)G01M99/00GK101297187SQ200680039669公開日2008年10月29日申請(qǐng)日期2006年10月24日優(yōu)先權(quán)日2005年10月24日發(fā)明者托馬斯·C·莫澤,馬克·胡扎申請(qǐng)人:肯非法爾公司