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      高精度非接觸三維面型測量裝置的制作方法

      文檔序號:6128475閱讀:154來源:國知局
      專利名稱:高精度非接觸三維面型測量裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種高精度非接觸三維面型測量裝置。具體涉及對物體表面的精細(xì)結(jié)構(gòu) 進(jìn)行非接觸快速高精度動(dòng)態(tài)測量的系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及一種表面三維面型高精度非接觸微 觀測量方法。
      背景技術(shù)
      在生產(chǎn)和科研實(shí)踐中,常需要對許多物體的表面面型進(jìn)行測量,即測量表面的微觀 結(jié)構(gòu)。在許多情況下,得知表面的三維結(jié)構(gòu),尤其是精細(xì)的三維結(jié)構(gòu)尤為難得和重要。現(xiàn) 有技術(shù)中有以下測量表面面型的方法
      1. 圖像技術(shù)測量
      最為常見的面型測量方法是對物體表面進(jìn)行拍攝,從垂直于被測表面的方向獲取被 測物圖像。但顯而易見,無論拍攝儀器的精度有多高,所得到的圖像僅為物體表面的二維 結(jié)構(gòu)信息,第三維信息只能通過光照的明暗來推測。在較為光滑的表面,即凹凸不明顯的 表面,很難得到正確的面型數(shù)據(jù)。
      2. 接觸式測量
      為同時(shí)獲取表面第三維,即高度的測量數(shù)據(jù),現(xiàn)有技術(shù)中有人采用接觸式測量方法,
      即用探測頭直接探測表面的高度,結(jié)合二維測量的數(shù)據(jù),得到三維結(jié)構(gòu)信息。但此方法存 在一些問題
      一是不能測量精細(xì)和復(fù)雜表面。因?yàn)闇y量頭是機(jī)械裝置,無法對精細(xì)表面進(jìn)行微觀 面型測量,只能通過較大間距的測量后通過特征面的擬合來獲得面型信息,這樣得到的是 誤差很大的數(shù)據(jù),將使測量結(jié)果變得毫無意義;
      二是只能測量硬質(zhì)表面。因?yàn)檐涃|(zhì)表面在測量探頭觸到后會(huì)發(fā)生變形,得到不正確
      的表面信息;
      三是難以測量不能直接接觸的物質(zhì)。許多待測物是有毒有害物質(zhì),如放射性物質(zhì),
      腐蝕性化學(xué)物質(zhì)等,不能直接接觸,需要將被測物與測量者及測量儀分隔,以保證安全。 3.非接觸激光測量法
      激光測量法克服了上兩種測量方法的不足,可以非接觸測量得到物體的結(jié)構(gòu)信息。
      +但現(xiàn)有技術(shù)的測量方法是被動(dòng)測量,被動(dòng)測量是在測量裝置中安裝光柵測量系統(tǒng),由 測量頭(測量傳感器)觸發(fā)光柵測量系統(tǒng)獲取測量數(shù)據(jù)。這種裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本高、儀 器安裝麻煩、且在測量過程中容易引起測量的二次誤差。
      如德國FAR0公司的激光測量儀,如掃描測量臂(FARO Scanner Arm)、跟蹤測量臂(FARO Track Arm)、激光跟蹤儀(Laser Tracker)等均可以進(jìn)行非接觸式測量,進(jìn)行三維表面 形狀比較、2D橫斷分析和輪廓檢測。用于檢測機(jī)器上的部件尺寸。(參見www. faro.com)。 該測量裝置是進(jìn)行距離測量,即測量從傳感器到被測物間的距離。主要用于測量較大型結(jié) 構(gòu)件的幾何尺寸、位置關(guān)系等,但不是用于測量精細(xì)表面的三維面型。
      此外,已有測量裝置的測量方式是通過測量傳感器運(yùn)動(dòng)而間接獲得被測物信息的方 式,因此測量過程中會(huì)產(chǎn)生較大阿貝誤差。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的是研制一種高精度非接觸三維面型測量裝置,可對物體表面的精細(xì)結(jié)構(gòu) 進(jìn)行非接觸的主動(dòng)式測量。
      本發(fā)明提供的高精度非接觸三維面型測量裝置包括基座、工作臺(tái)面、龍門支架、x向
      運(yùn)動(dòng)單元、Y向運(yùn)動(dòng)單元、Z向運(yùn)動(dòng)單元、Z向安裝架、激光測量傳感器和控制計(jì)算機(jī), 其特征是X向運(yùn)動(dòng)單元固定在基座上,龍門支架固定于基座上,Y向運(yùn)動(dòng)單元設(shè)置于 龍門支架上方,Z向運(yùn)動(dòng)單元通過Z向安裝架設(shè)置于Y向運(yùn)動(dòng)單元上,激光測量傳感器 固定于Z向運(yùn)動(dòng)單元上,工作臺(tái)面設(shè)置于所述X向運(yùn)動(dòng)單元上。
      所述基座和龍門支架的優(yōu)選材料是天然石材或人造石材,如經(jīng)精密磨削加工后的大理 石或人造石,因其為整個(gè)系統(tǒng)精度保證的基礎(chǔ),需要有較高穩(wěn)定性;
      為保證測量精度,優(yōu)選的工作臺(tái)面是高精度臺(tái)面,其平面度小于2微米。如采用鋼材 料經(jīng)熱處理,且表面經(jīng)刮研處理;
      所述運(yùn)動(dòng)單元是控制傳感器或被測物往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的部件,可以具有完成此目的的不 同結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中,所述X向和Y向運(yùn)動(dòng)單元包括有運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、絲桿、驅(qū)動(dòng) 電機(jī)和直線導(dǎo)軌,電機(jī)帶動(dòng)絲桿旋轉(zhuǎn),驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng),直線導(dǎo)軌可以保證運(yùn)動(dòng)的直線 度。Z向運(yùn)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)與X向和Y向運(yùn)動(dòng)單元相同,但在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上安裝有激光測量傳 感器。
      所述控制計(jì)算機(jī)與X、 Y、 Z向運(yùn)動(dòng)單元及激光測量傳感器連接,控制各向運(yùn)動(dòng)單元移 動(dòng),進(jìn)而控制激光測量傳感器與被測物的測量距離,同時(shí)讀取和處理所述激光測量傳感器 獲取的掃描數(shù)據(jù),并以圖形方式顯示。
      作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn),在所述Z向安裝架未安裝Z向運(yùn)動(dòng)單元的一側(cè),設(shè)置有配 重塊,使Z向安裝架兩側(cè)重量平衡,減小Z向運(yùn)動(dòng)單元單邊安裝傳感器重力不平衡造成的 擾動(dòng)而帶來的測量誤差。所述配重塊的材料形狀不限,優(yōu)選的形狀為長方體,材料為金屬 或石材,大小和重量以滿足Z向安裝架兩側(cè)重量平衡為限。
      可根據(jù)測量要求的不同需要選擇不同測量精度的激光測量傳感器,當(dāng)需要進(jìn)行高精度 測量時(shí),應(yīng)選用高精度傳感器,如測量精度為0.01微米或測量精度更高的激光三角測量 傳感器,采用激光三角測量法進(jìn)行非接觸測量。
      非接觸式激光三角測量法原理。
      激光器的軸線、成像物鏡的光軸以及CCD線陣,三者位于同一個(gè)平面內(nèi)。激光光源 作為測量的指示光源,將一個(gè)理想的點(diǎn)光斑投射在被測表面上。該光斑將隨其投射點(diǎn)位置 的深度坐標(biāo)變化而沿著激光器的軸向作同樣距離的位移。點(diǎn)光斑同時(shí)又通過物鏡成像在 CCD線陣上,且成像位置與光斑的深度位置有唯一的對應(yīng)關(guān)系。測出CCD線陣上所成實(shí) 像的中心位置,即可通過幾何光學(xué)的計(jì)算方法求出光斑此刻的深度坐標(biāo),從而得到被測表 面該點(diǎn)處的深度參數(shù)。通過對若干采樣點(diǎn)的測量,得到被測表面形貌的一組數(shù)據(jù)。利用顯 微物鏡對焦深及其敏感的特點(diǎn),在對象共焦層面產(chǎn)生清晰的圖像并投射到圖像傳感器上; 而其余區(qū)域的圖像則是模糊的。這種基本的光學(xué)三角法測量屬于逐點(diǎn)測量。參見附圖3。
      本裝置采用主動(dòng)測量的方式,即測量傳感器直接獲取測量值。測量時(shí),被測物安放在 工作臺(tái)面上,被測物運(yùn)動(dòng),而測量傳感器不動(dòng),以提高測量的精度。
      測量過程是:在測量準(zhǔn)備階段,固定有激光測量傳感器的Z向運(yùn)動(dòng)單元上下垂直運(yùn)動(dòng), 控制傳感器與工作臺(tái)面間的不同高度,調(diào)整傳感器到與被測物的合理高度,保證在其量程 范圍內(nèi);在測量的過程中,Z向運(yùn)動(dòng)單元不運(yùn)動(dòng),X向運(yùn)動(dòng)單元帶動(dòng)工作臺(tái)面,控制被測物在設(shè)定的長度范圍內(nèi)相對X向往復(fù)運(yùn)動(dòng),同時(shí)Y向運(yùn)動(dòng)單元按照設(shè)定的測量間距(如 10-20微米),控制傳感器的相對Y向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
      本裝置通過設(shè)置可以自動(dòng)按照行——列的順序進(jìn)行掃描測量,得到被測區(qū)域內(nèi)均勻間 隔的點(diǎn)陣??梢愿鶕?jù)需要任意設(shè)置每個(gè)采樣點(diǎn)間的間距,如10微米或20微米等。
      所得的掃描數(shù)據(jù)為每個(gè)采樣點(diǎn)坐標(biāo)位置的高度值,掃描結(jié)束后即可進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,數(shù) 據(jù)處理結(jié)束會(huì)生成掃描數(shù)據(jù)的新數(shù)據(jù)文件。 +獲取的數(shù)據(jù)為按設(shè)定掃描范圍和掃描間距分布的數(shù)據(jù)矩陣。將海量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,即 以圖形的方式顯示,便于觀察和分析。如將數(shù)據(jù)分為256級的圖像,即將每點(diǎn)的灰度值用 相應(yīng)軟件描述成灰度圖象。也可采用imageware軟件將數(shù)據(jù)形成三維立體圖。
      通過以上測量計(jì)算可以將被測物表面的微觀結(jié)構(gòu)數(shù)字化,由此獲得被測物表面的微觀 三維面型。由于測得的數(shù)據(jù)是每個(gè)采樣點(diǎn)坐標(biāo)位置的高度值,通過曲面擬合算法進(jìn)行三維 重構(gòu),進(jìn)而獲得各項(xiàng)參數(shù),如皮革紋理形狀和深度、半球形件的外形尺寸、球度、表面氣 泡的形狀,還可以分析出氣泡的容積、兩個(gè)相互貼合的表面的貼合度等。
      本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)如下
      1、 非接觸測量方法,可以測量軟質(zhì)表面和不能直接接觸的有毒有害物質(zhì)表面的微觀 三維面型、尺寸、狹縫、表面狀態(tài)等,保證了測量操作人員的安全;
      2、 為主動(dòng)測量系統(tǒng),被測物運(yùn)動(dòng),而非測量頭運(yùn)動(dòng);直接由傳感器測量Z向相對高 度。傳統(tǒng)的測量是通過接觸式測頭接觸被測點(diǎn)后,觸發(fā)測量光柵獲取相對位置值。裝置中 不需要安裝復(fù)雜的光柵測量系統(tǒng),成本低、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單。同時(shí)主動(dòng)測量不會(huì)造成測量的 二次誤差,測量精度高。
      3、 釆用被測物一維運(yùn)動(dòng)的方式,改變了傳統(tǒng)的測量系統(tǒng)中釆用測量單元三維運(yùn)動(dòng)的 方式,最大限度地減小了測量過程中的阿貝誤差。
      4、 基座采用石材,穩(wěn)定性好,有利于減少測量誤差。
      + 5、采用配重的方法,減小了 Z向運(yùn)動(dòng)單元繞支架的偏轉(zhuǎn)造成的測量誤差。


      圖1是高精度非接觸三維面型測量裝置一種實(shí)施方式的總體示意圖,圖中1是基座, 2是X向運(yùn)動(dòng)單元,3是工作臺(tái)面,4是龍門支架,5是Z向安裝架5, 6是Y向運(yùn)動(dòng)單元, 7是配重塊,8是激光三角法測量傳感器,9是Z向運(yùn)動(dòng)單元; 圖2是一種Z向運(yùn)動(dòng)單元示意圖,圖中IO是運(yùn)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)電機(jī),ll是運(yùn)動(dòng)平臺(tái),12 是運(yùn)動(dòng)單元安裝基座,13是高精度直線導(dǎo)軌,14是絲桿;
      圖3是三角測量法原理圖。圖中15是激光光源,16是聚焦透鏡,17是成像物鏡,18 是CCD線,19是被測表面;
      圖4是測量過程中控制計(jì)算機(jī)掃描參數(shù)設(shè)置對話框;
      圖5是微細(xì)軟質(zhì)材料——牛皮測量得到的面型三維立體圖; 圖6是硬質(zhì)材料——硬幣測量得到的微觀面型三維立體具體實(shí)施例方式
      實(shí)施例1帶有配重塊的高精度非接觸三維面型測量裝置
      從圖l可以看出
      龍門支架4固定在基座1上,與基座l垂直;X向運(yùn)動(dòng)單元2也安裝在基座l上;工
      作臺(tái)面3安裝在X向運(yùn)動(dòng)單元2上。X向運(yùn)動(dòng)單元2在動(dòng)態(tài)測量過程中帶動(dòng)被測物作X向 往復(fù)運(yùn)動(dòng);
      Y向運(yùn)動(dòng)單元6固定在龍門支架4上方;
      Z向安裝架5安裝在Y向運(yùn)動(dòng)單元6上,Z向運(yùn)動(dòng)單元9安裝在Z向安裝架5上,激 光三角法測量傳感器8固定在Z向運(yùn)動(dòng)單元9上;
      ;配重塊7是鋼材料,長方體形狀,安裝在Z向安裝架5上,用于保證Z向安裝架5兩 邊的重量,減小由于激光三角法測量傳感器8和Z向運(yùn)動(dòng)單元9單邊安裝時(shí)重力不平衡造 成的擾動(dòng)。
      控制計(jì)算機(jī)與X、 Y、 Z向運(yùn)動(dòng)單元及激光測量傳感器連接,控制各向運(yùn)動(dòng)單元移動(dòng), 同時(shí)控制激光測量傳感器與被測物的測量距離,讀取和處理所述激光測量傳感器獲取的掃 描數(shù)據(jù),并以圖形方式顯示。
      控制計(jì)算機(jī)軟件界面設(shè)置有如下部分
      運(yùn)動(dòng)控制部分按鈕,可調(diào)整掃描頭至指定位置;
      掃描參數(shù)設(shè)置,供輸入相應(yīng)的掃描參數(shù)
      快速定位,系統(tǒng)在被測范圍內(nèi)作"之"字形快速采樣運(yùn)動(dòng) +存儲(chǔ)設(shè)備,可實(shí)時(shí)保存掃描數(shù)據(jù);
      數(shù)據(jù)處理,有"載入數(shù)據(jù)"和"輸出圖像"按鈕。
      實(shí)施例2 —種Z向運(yùn)動(dòng)單元實(shí)施方式
      圖2是Z向運(yùn)動(dòng)單元示意圖。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)ll上安裝傳感器,由運(yùn)動(dòng)平臺(tái)ll帶著傳感器
      運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)單元安裝基座12用于固定在其他部件上,運(yùn)動(dòng)平臺(tái)11在高精度直線導(dǎo)軌13 支撐上作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng),高精度直線導(dǎo)軌13可以保證運(yùn)動(dòng)平臺(tái)11運(yùn)動(dòng)的直線度。絲桿14 可在運(yùn)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)電機(jī)10的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),絲桿14與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)11構(gòu)成蝸輪蝸桿部件可驅(qū) 動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)11運(yùn)動(dòng)。
      實(shí)施例3硬質(zhì)材料——硬幣面型測量
      1、 測量準(zhǔn)備
      1) 將待測1元硬幣放置在實(shí)施例1所述測量裝置的作業(yè)平臺(tái)上,正面朝上。
      2) 調(diào)整掃描頭至指定位置,設(shè)置掃描的幅面大小,在控制計(jì)算機(jī)控制軟件中設(shè)置相 應(yīng)參數(shù)(乂=20000微米,幅面Y-20000微米,間距=20微米)。
      3) 啟動(dòng)快速定位功能,即系統(tǒng)在被測范圍內(nèi)作"之"字形快速采樣運(yùn)動(dòng),分析系統(tǒng) 可能越界的地方。
      4)調(diào)整測量傳感器與被測物的相對位置,獲取"之"字形掃描區(qū)域的相對高度數(shù)據(jù)值, 為0.011 mm—0.013 mm,如果超出了傳感器的測量范圍,則會(huì)在獲取的數(shù)據(jù)中出現(xiàn)"——" 的數(shù)據(jù),即不可見數(shù)據(jù),通過分析這些數(shù)據(jù)的分布,如獲取的最小值為0.005mm,可見數(shù) 據(jù)的最大值為O.lOlmm,根據(jù)測頭的測量范圍如4mm,是指測量為正負(fù)2mm內(nèi)有效,Z項(xiàng) 運(yùn)動(dòng)單元應(yīng)向上運(yùn)動(dòng),保證最小值和最大值在正負(fù)2mm的中間位置分布。
      針對存在的越界區(qū)域,自動(dòng)調(diào)整測頭的相對位置,保證被測物和測頭在允許的范圍內(nèi)。 的滿足測量量程。
      2、 測量
      1)掃描圖樣
      a、 通過"運(yùn)動(dòng)控制"部分按鈕調(diào)整掃描頭至指定位置;
      b、 如圖4所示,點(diǎn)擊"開始掃描"按鈕,開始掃描。輸入想要保存的文件名。掃描數(shù) 據(jù)文件保存類型為DAT格式,點(diǎn)擊"保存"后,掃描開始。
      系統(tǒng)在掃描結(jié)束后能自動(dòng)關(guān)閉掃描處理,不須用戶介入。
      c、 掃描過程
      首先定位好開始測量點(diǎn),從設(shè)定的掃描起始位置開始,首先由X向運(yùn)動(dòng)單元運(yùn)動(dòng),帶 動(dòng)工作臺(tái)面和被測物一起勻速運(yùn)動(dòng),在運(yùn)動(dòng)的過程當(dāng)中,測量頭按照均勻間隔獲取硬幣正 面的對應(yīng)位置的相對高度值,并實(shí)時(shí)將數(shù)據(jù)保存在存儲(chǔ)設(shè)備中,當(dāng)X向運(yùn)動(dòng)到所設(shè)定的長 度(20000微米)范圍后停止,此時(shí)X向運(yùn)動(dòng)單元反向運(yùn)動(dòng)回原始位置,同時(shí)Y向運(yùn)動(dòng)單
      元按照設(shè)定的20微米Y向測量間距運(yùn)動(dòng)一個(gè)測量距離,然后X向運(yùn)動(dòng)單元再次正向運(yùn)動(dòng), 往復(fù)。
      在測量的過程中,Z向運(yùn)動(dòng)單元不運(yùn)動(dòng)。
      測得的每個(gè)采樣點(diǎn)坐標(biāo)位置的高度值為按設(shè)定掃描范圍和掃描間距分布的數(shù)據(jù)矩陣,
      其分布如下
      <image>image see original document page 9</image>此處采用的處理方法是將數(shù)據(jù)以灰度的形式描述為灰度圖象。灰度圖象是指將數(shù)據(jù)分
      為256級的圖像,先分析出海量數(shù)據(jù)中的最大值和最小值,記為^4ax和^自。對應(yīng)每點(diǎn)的 灰度值即是
      256*|(^,廣
      <formula>formula see original document page 9</formula>
      將每點(diǎn)的灰度值用相應(yīng)軟件描述成灰度圖像。
      點(diǎn)擊掃描控制軟件界面"載入數(shù)據(jù)"按鈕,數(shù)據(jù)載入結(jié)束后,通過點(diǎn)擊"確定"按鈕 可以看到灰度色階的相應(yīng)位置,并可以將輸入的值保存到文件中。如果想輸出二值圖像, 則'將最大最小值輸入為一樣,按"確定"按鈕即可。 4、輸出圖像
      在完成載入數(shù)據(jù)處理后點(diǎn)擊"輸出圖像"按鈕,見圖5。
      實(shí)施例4微細(xì)軟質(zhì)材料——牛皮面型測量
      測量方法和過程同實(shí)施例3,但Y向運(yùn)動(dòng)單元設(shè)定的測量間距是10微米。測量結(jié)果 輸出圖像見圖6。
      權(quán)利要求
      1.一種高精度非接觸三維面型測量裝置,包括基座(1),工作臺(tái)面(3),龍門支架(4),X向運(yùn)動(dòng)單元(2),Y向運(yùn)動(dòng)單元(6),Z向運(yùn)動(dòng)單元(9),Z向安裝架(5),激光測量傳感器(8)和控制計(jì)算機(jī),其特征是X向運(yùn)動(dòng)單元(2)固定在基座(1)上,龍門支架(4)固定在基座(1)上,Y向運(yùn)動(dòng)單元(6)設(shè)置于龍門支架(4)上方,Z向運(yùn)動(dòng)單元(9)通過Z向安裝架(5)設(shè)置于Y向運(yùn)動(dòng)單元(6)上,激光測量傳感器(8)固定于Z向運(yùn)動(dòng)單元(9)上,工作臺(tái)面(3)設(shè)置于X向運(yùn)動(dòng)單元(2)上。
      2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,所述基座(l)和龍門支架 (4)的材料是天然石材或人造石材。
      3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,所述工作臺(tái)面(3)的平面 度小于2微米。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,所述運(yùn)動(dòng)單元包括有運(yùn) 動(dòng)平臺(tái)(11)、絲桿(14)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(10)和直線導(dǎo)軌(13)。
      5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,所述運(yùn)動(dòng)單元的直線度 在2 / 10000以上。
      6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,所述激光測量傳感器(8) 是激光三角測量傳感器。
      7. 根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一權(quán)利要求所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,在Z 向安裝架(5)未安裝Z向運(yùn)動(dòng)單元(9)的一側(cè),設(shè)置有配重塊(7)。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高精度非接觸三維面型測量裝置,所述配重塊(7)的形狀為 長方體。
      9.用根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度非接觸三維面型測量裝置對物體表面的精細(xì)結(jié)構(gòu) 進(jìn)行非接觸測量的方法。
      全文摘要
      本發(fā)明涉及一種高精度非接觸三維面型測量裝置。該裝置包括激光測量傳感器、X向、Y向和Z向運(yùn)動(dòng)單元等。本發(fā)明提供了高精度非接觸測量裝置和測量方法,可對硬質(zhì)材料、軟質(zhì)材料和鏡面材料的表面面型等進(jìn)行高精度快速動(dòng)態(tài)無損傷測量,獲得面型、尺寸、表面狀態(tài)等數(shù)據(jù)。
      文檔編號G01B11/03GK101105389SQ200710099770
      公開日2008年1月16日 申請日期2007年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月30日
      發(fā)明者姜春福, 慈林林, 斌 楊, 楊銀剛, 葛根焰, 亮 黃 申請人:中國人民解放軍第二炮兵裝備研究院第四研究所
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