專利名稱：導(dǎo)電性接觸器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
0001
本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體集成電路等電氣特性檢查中進(jìn)行信號的輸 入輸出的導(dǎo)電性接觸器。
背景技術(shù)：
0002
在IC芯片等半導(dǎo)體集成電路的電氣特性檢查中，可對應(yīng)此半導(dǎo)體集 成電路所具有的外部連接用電極的設(shè)置圖案，使用在規(guī)定的位置容納多個 導(dǎo)電性接觸器的導(dǎo)電性接觸器單元。在這種導(dǎo)電性接觸器單元中，通過使 導(dǎo)電性接觸器的兩端部分別與半導(dǎo)體集成電路的球狀電極和檢查用的電 路基板的電極接觸，來確立檢查時的電連接(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。0003
專利文獻(xiàn)1: JP特開2002-107377號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
0004
但是，近年來，對可對應(yīng)lGHz以上的高頻半導(dǎo)體的需求正在增加。 為了進(jìn)行這種半導(dǎo)體的電氣特性的檢查，就必須降低導(dǎo)電性接觸器的電感 和電阻。為此，優(yōu)選加粗導(dǎo)電性接觸器的直徑，同時縮短導(dǎo)電性接觸器的 長度。這其中，雖然加工直徑粗的導(dǎo)電性接觸器比較容易，但難于加工縮 短全長的導(dǎo)電性接觸器。例如，在具有由彈簧構(gòu)件連接位于兩端的兩個插 棒的結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸器的情況下，為了在確保所希望的彈簧特性的同時 實(shí)現(xiàn)有效的導(dǎo)通路徑，常常在中途變更彈簧構(gòu)件的繞線的螺距，使兩個插 棒與密繞部分接觸。如果要縮短此導(dǎo)電性接觸器的全長，則需要縮短彈簧 構(gòu)件的密繞部分、并縮短兩個插棒間的距離，往往就會不能確保導(dǎo)電性接
4觸器所要求的行程(stroke)。0005
鑒于上述問題而進(jìn)行本發(fā)明，本發(fā)明的目的在于，提供一種可進(jìn)行 1GHz以上的高頻信號的發(fā)送接收、能夠容易進(jìn)行加工的導(dǎo)電性接觸器。0006
為了解決上述課題、實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器包括第 一插棒，由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部形成軸對稱的形狀；第二 插棒，由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部指向與上述第一插棒的前端 部相反的方向，并且該前端部相對于與上述第一插棒的前端部相同的軸線 形成軸對稱的形狀；以及彈簧構(gòu)件，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成， 一端與上述第一 插棒接觸，且另一端與上述第二插棒接觸，在長度方向可自由伸縮；其特 征在于，上述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部以能滑動的方式 接觸。
0007
此外，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，在上述發(fā)明中，上 述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部具有相同的剖面形狀。0008
此外，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，在上述發(fā)明中，上 述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部形成為能相互卡止的形狀。0009
此外，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，在上述發(fā)明中，上 述第一插棒及上述第二插棒形成為相同的形狀。0010
此外，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，在上述發(fā)明中，上 述彈簧構(gòu)件除了被安裝在上述第一及第二插棒上的端部，繞線的螺距相 同。
0011
此外，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，在上述發(fā)明中，上
述彈簧構(gòu)件的繞線的螺距沿長度方向變化；在上述彈簧構(gòu)件中，在無撞擊 (7卜口一夕(stroke) LTV、&V、)的狀態(tài)下位于上述第一插棒的基端部與上述第二插棒的基端部相接觸的部位的外周附近的部分進(jìn)行高密度 纏繞。
0012
此外，本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，在上述發(fā)明中，上 述彈簧構(gòu)件的繞線的直徑沿長度方向變化；在上述彈簧構(gòu)件中，在無撞擊 (7卜口一夕(stroke) LTV、&V、)的狀態(tài)下位于上述第一插棒的基端
部與上述第二插棒的基端部相接觸的部位的外周附近的部分的繞線的直 徑最大。
發(fā)明效果0013
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種導(dǎo)電性接觸器，包括由近似針狀的導(dǎo)電 性材料構(gòu)成，前端部形成軸對稱的形狀的第一插棒；由近似針狀的導(dǎo)電性 材料構(gòu)成，前端部指向與上述第一插棒的前端部相反的方向，并且該前端 部相對于與上述第一插棒的前端部相同的軸線形成軸對稱的形狀的第二 插棒；以及由導(dǎo)電性材料構(gòu)成， 一端與上述第一插棒接觸，且另一端與上 述第二插棒接觸，在長度方向可自由伸縮的彈簧構(gòu)件；通過使上述第一插 棒的基端部和上述第二插棒的基端部以能滑動的方式接觸，就可以進(jìn)行 lGHz以上的高頻信號的發(fā)送接收，并能夠容易進(jìn)行加工。


0014
圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。 圖2是表示第一插棒的基端部和第二插棒的基端部的接觸狀態(tài)的圖。 圖3是表示容納本發(fā)明的實(shí)施方式1相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的導(dǎo)電性接 觸器支持器的主要部位的結(jié)構(gòu)圖。
圖4是說明本發(fā)明的實(shí)施方式1相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器所達(dá)到的效果的圖。
圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的第一變化例相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的 結(jié)構(gòu)圖。
6圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的第二變化例相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的 第一插棒的基端部和第二插棒的基端部的接觸狀態(tài)的圖。
圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的第三變化例相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的
第一插棒的基端部和第二插棒的基端部的接觸狀態(tài)的圖。
圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。
圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的變化例相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。
圖10是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。 圖ll是表示本發(fā)明的再另一實(shí)施方式相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。
符號說明0015
I、 3、 4、 5、 6、 7、 8 導(dǎo)電性接觸器 2 導(dǎo)電性接觸器支持器
II、 31、 51、 61 第一插棒
12、 32、 52、 62 第二插棒
lla、 12a、 31a、 32a、 51a、 52a、 61a、 62a 前端部 llb、 12b、 31b、 32b、 51b、 52b、 61b、 62b 凸緣部(flange) llc、 12c、 31c、 32c、 51c、 52c、 61c、 62c轂部(boss) lld、 11—2d、 11-3d、 12d、 12_2d、 12-3d、 31d、 32d、 51d、 52d、 61d、 62d 基端部
13、 33、 71、 81 彈簧構(gòu)件
21 第一基板
22 第二基板
33a、 81a、 81b 粗繞部 33b、 81c 密繞部 100 電路基板 101、 201 電極 200 檢查對象 211、 221 孔部211a、 221a 小徑孔 211b、 221b 大徑孔
具體實(shí)施方式
0016
下面，參照附圖，說明用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式(以后，稱為"實(shí) 施方式")。再有，附圖是示意性的，需要留意還存在著各部分的厚度和寬 度的關(guān)系，各個部分的厚度的比率等與現(xiàn)實(shí)不同的情形，毫無疑問，在附 圖的相互間也存在包含相互的尺寸的關(guān)系和比率不同的部分的情形。
(實(shí)施方式l)0017
圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。同圖
所示的導(dǎo)電性接觸器l由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，包括具有尖銳端的第一插棒 11;具有向與第一插棒11相反的方向突出的花冠形狀的前端的第二插棒 12;以及一端與第一插棒ll接觸，且另一端與第二插棒12接觸，在長度 方向自由伸縮的彈簧構(gòu)件13。0018
第一插棒11包括具有尖銳端的前端部11a;具有比前端部11a的直 徑更大直徑的凸緣部lib;經(jīng)由凸緣部lib向與前端部lla相反的方向突 出，形成比凸緣部lib的直徑更小、且比彈簧構(gòu)件13的內(nèi)徑更大一些的
直徑的圓柱狀，并壓入彈簧構(gòu)件13的端部的轂部lie;以及從轂部lie
向與凸緣部lib的相反側(cè)延伸的基端部lld。前端部lla、凸緣部llb及 轂部11c相對于與長度方向平行的中心軸形成軸對稱的形狀?；瞬縧ld， 形成從具有比轂部11c的直徑及彈簧構(gòu)件13的內(nèi)徑更小的直徑的圓柱中， 沿長度方向?qū)⒑磁c轂部llc接觸的一側(cè)的端部的一部分切出半圓柱狀的 形狀。
0019
第二插棒12包括形成花冠形狀的前端部12a;具有比前端部12a 的直徑更大直徑的凸緣部12b;經(jīng)由凸緣部12b向與前端部12a相反的方向突出，形成比凸緣部12b的直徑更小、且比彈簧構(gòu)件13的內(nèi)徑更大一 些的直徑的圓柱狀，壓入彈簧構(gòu)件13的端部的轂部12c;以及從轂部12c 向與凸緣部12b的相反側(cè)延伸的基端部12d。前端部12a、凸緣部12b及 轂部12c相對于與長度方向平行的中心軸形成軸對稱的形狀?；瞬?2d， 形成與第一插棒11的基端部lid相同的形狀。0020
第一插棒11的基端部lid和第二插棒12的基端部12d在各自的端部 附近以能滑動的方式接觸。圖2是表示基端部lid和基端部12d的接觸狀 態(tài)的圖，相當(dāng)于圖1的A-A線剖面的圖。基端部lld及12d相互接觸的部 分的剖面形成相同的半圓形狀，通過各自的半圓的中心向長度方向延伸的 側(cè)面彼此接觸。如此，通過使第一插棒11和第二插棒12以能滑動的方式 接觸，就能夠確保從基端部lid直接到基端部12d的導(dǎo)通路徑。0021
例如，第一插棒11及第二插棒12可通過車床加工來形成。關(guān)于這一 點(diǎn)，在后述的實(shí)施方式等中也是同樣的。再有，可適當(dāng)變更第一插棒11 的基端部lid的長度和第二插棒12的基底部12d的長度，也可以具有互
不相同的長度。0022
彈簧構(gòu)件13是具有均一的直徑的線圈彈簧，兩端部被分別壓入第一 插棒11的轂部11c及第二插棒12的轂部12c。彈簧構(gòu)件13的繞線的螺距 除被壓入第一插棒11及第二插棒12的兩端部的之外，是均一的。此外， 彈簧構(gòu)件13的軸線，與除第一插棒11的基端部lid之外的部分的軸線及 除第二插棒12的基端部12d之外的部分的部分的軸線一致。0023
在具有以上的結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性性接觸器1中，即使對導(dǎo)電性接觸器1施 加負(fù)荷，使得彈簧構(gòu)件13以蜿蜒的方式發(fā)生行程(stroke),基端部lid 和基端部12d接觸的部分也不會分離。其結(jié)果能確保可靠的滑動摩擦。0024
圖3是表示容納導(dǎo)電性接觸器1的導(dǎo)電性接觸器支持器的主要部位的 結(jié)構(gòu)、和在導(dǎo)電性接觸器l的兩端部分別接觸的被接觸體的結(jié)構(gòu)圖。在板
9厚度方向?qū)盈B第一基板21和第二基板22形成同圖所示的導(dǎo)電性接觸器支 持器2。在第一基板21中形成單獨(dú)地容納多個導(dǎo)電性接觸器l的孔部211。 孔部211形成包括具有比第一插棒11的前端部lla的直徑更大一些的直 徑的小徑孔211a、和具有比凸緣部lib更大一些的直徑的大徑孔211b的
階梯孔形狀。0025
在第二基板22中形成單獨(dú)地容納多個導(dǎo)電性接觸器1的孔部221 。孔 部221形成包括具有比第二插棒12的前端部12a的直徑更大一些的直徑 的小徑孔221a、和具有比凸緣部12b更大一些的直徑的大徑孔221b的階 梯孔形狀。大徑孔221b的直徑與大徑孔211b的直徑相等。0026
當(dāng)容納導(dǎo)電性接觸器1層疊第一基板21和第二基板22時，對應(yīng)的孔 部211和孔部221在軸線方向上連通。0027
導(dǎo)電性接觸器支持器2所容納的導(dǎo)電性接觸器1的第一插棒11的前 端部lla與設(shè)置在輸出檢査用的信號的電路基板100上的電極101接觸。 另一方面，導(dǎo)電性接觸器支持器2所容納的導(dǎo)電性接觸器1的第二插棒12 的前端部12a與半導(dǎo)體集成電路等的檢査對象200的電極201接觸。圖3 所示的情況下，電極101的表面是平面，另一方面電極201的表面形成球 面。第一插棒11的前端部lla形成尖銳端、另一方面第二插棒12的前端 部12a形成花冠形狀是為了按照電極101及201的形狀確保最佳的接觸狀 態(tài)。如此，只要按照接觸的電極的形狀決定各插棒的前端部的形狀即可。0028
使用樹脂、可切削陶瓷、硅等絕緣材料分別形成構(gòu)成導(dǎo)電性接觸器支 持器2的第一基板21及第二基板22。此外，通過進(jìn)行鉆孔加工、蝕刻、 沖孔成型，或進(jìn)行使用激光、電子束、離子束、導(dǎo)線放電等的加工來形成 在第一基板21及第二基板22上分別形成的孔部211及221。0029
圖4是說明本實(shí)施方式1相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器1的效果的圖。圖4所 示的導(dǎo)電性接觸器3是現(xiàn)有型的導(dǎo)電性接觸器。導(dǎo)電性接觸器3包括具有尖銳端的第一插棒31;向與第一插棒31相反的方向突出，具有花冠形
狀的前端的第二插棒32;以及連接第一插棒31和第二插棒32的彈簧構(gòu)件 33。
0030
第一插棒31包括前端部31a;具有比前端部31a的直徑更大的直徑 的凸緣部31b;經(jīng)由凸緣部31b向與前端部31a相反的方向突出，形成比 凸緣部31b的直徑更小、且比彈簧構(gòu)件33的內(nèi)徑更大一些的直徑的圓柱 狀，并壓入彈簧構(gòu)件33的端部的轂部31c;以及形成直徑比轂部31c更小、 且比彈簧構(gòu)件33的內(nèi)徑更小的圓柱狀的基端部31d。第二插棒32包括 形成花冠形狀的前端部32a;具有比前端部32a的直徑更大的直徑的凸緣 部32b;經(jīng)由凸緣部32b向與前端部32a相反的方向突出，形成比凸緣部 32b的直徑更小、且比彈簧構(gòu)件33的內(nèi)徑更大一些的直徑的圓柱狀，并壓 入彈簧構(gòu)件33的端部的轂部32c;以及形成直徑比轂部32c更小、且比彈 簧構(gòu)件33的內(nèi)徑更小的圓柱狀的基端部32d。彈簧構(gòu)件33中，第一插棒 31側(cè)是粗繞部33a，另一方面，第二插棒32側(cè)是密繞部33b。粗繞部33a 的端部被壓入第一插棒31的轂部31c，另一方面，密繞部33b的端部被壓 入第二插棒32的轂部32c。導(dǎo)電性接觸器3構(gòu)成為基端部31d與密繞部 33b相接觸，形成按照第一插棒31、密繞部33b、第二插棒32的順序成為 最短的導(dǎo)通路徑。
0031
由于相對于具有以上結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸器3，本實(shí)施方式1相關(guān)的導(dǎo) 電性接觸器1中，第一插棒11的基端部lld和第二插棒12的基端部12d 以能滑動的方式接觸，所以不插入彈簧構(gòu)件13也能確保從基端部lld直 接到達(dá)基端部12d的導(dǎo)通路徑。因此，不需要在彈簧構(gòu)件上設(shè)置密繞部。
0032
圖4所示的情形，由于在導(dǎo)電性接觸器1和導(dǎo)電性接觸器3中具有相 同的彈簧特性，所以粗繞部33a的長度和彈簧構(gòu)件13的長度在LP中都一 致，同時，粗繞部33a的繞線的螺距和彈簧構(gòu)件13的繞線的螺距在AP 中都一致。此情況下，在導(dǎo)電性接觸器l中，如上所述由于不需要設(shè)置密 繞部，所以能使其全長Ll比導(dǎo)電性接觸器3的全長L3更短(L3-L1= A L)。
ii其結(jié)果，與現(xiàn)有型相比，能降低導(dǎo)電性接觸器的電感和電阻，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)良 的高頻特性。
0033
根據(jù)以上說明的本發(fā)明的實(shí)施方式1，能夠提供一種導(dǎo)電性接觸器，
包括由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部形成軸對稱的形狀的第一插 棒；由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部指向與第一插棒的前端部相反 的方向，并且該前端部相對于與第一插棒的前端部相同的軸線形成軸對稱 的形狀的第二插棒；以及由導(dǎo)電性材料構(gòu)成， 一端與上述第一插棒接觸， 且另一端與第二插棒接觸，在長度方向可自由伸縮的彈簧構(gòu)件；通過使第 一插棒的基端部和第二插棒的基端部以能滑動的方式接觸，就可進(jìn)行l(wèi)GHz 以上的高頻信號的發(fā)送接收，并能夠容易進(jìn)行加工。0034
再有，作為本實(shí)施方式l的第一變化例，如圖5所示，還能構(gòu)成第二 插棒形成為與第一插棒11相同形狀的導(dǎo)電性接觸器4。毫無疑問，此情況 下各插棒的基端部lld可彼此以能滑動的方式接觸。0035
此外，作為本實(shí)施方式l的第二變化例，可以使與兩個插棒的基端部 的接觸部分的長度方向垂直的剖面(對應(yīng)圖2的剖面)成為非對稱形狀。 例如如圖6所示，也可以使第一插棒的基端部11-2d的截面積比第二插棒 的基端部12-2d的截面積更小，兩個基端部11-2d及12-2d合并的剖面形
成圓形。
0036
并且，作為本實(shí)施方式l的第三變化例，如圖7所示，也可以為第一 插棒的基端部11-3d和第二插棒的基端部12-3d的接觸部分的剖面具有間 隙的結(jié)構(gòu)。
(實(shí)施方式2)0037
圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。同圖
所示的導(dǎo)電性接觸器5包括第一插棒51;第二插棒52;以及一端接觸
12第一插棒51且另一端接觸第二插棒，在長度方向自由伸縮的彈簧構(gòu)件13。
0038
第一插棒51包括具有尖銳端的前端部51a;直徑比前端部51a更大 的凸緣部51b;經(jīng)由凸緣部51b向與前端部51a相反的方向突出，形成比 凸緣部51b的直徑更小、且比彈簧構(gòu)件13的內(nèi)徑更小一些的直徑的圓柱 狀，抑制彈簧構(gòu)件13的端部的徑向的運(yùn)動的轂部51c;以及從轂部51c 向與凸緣部51b的相反側(cè)延伸的基端部51d?；瞬?1d與轂部51c接觸 的一側(cè)的端部形成具有比轂部51c的直徑及彈簧構(gòu)件13的內(nèi)徑更小的直 徑的圓柱狀，另一方面，未與轂部51c接觸的一側(cè)的端部形成鉤型形狀。 基端部51d的中間部形成從與轂部51c接觸的一側(cè)的端部所形成的圓柱沿 長度方向切去一部分的形狀。0039
第二插棒52包括形成花冠形狀的前端部52a;直徑比前端部52a 更大的凸緣部52b;經(jīng)由凸緣部52b向與前端部52a相反的方向突出，形 成比凸緣部52b的直徑更小、且比彈簧構(gòu)件13的內(nèi)徑更小一些的直徑的 圓柱狀，抑制彈簧構(gòu)件13的端部的徑向的運(yùn)動的轂部52c;以及從轂部 52c向與凸緣部52b的相反側(cè)延伸的基端部52d?；瞬?2d，具有與第一 插棒51的基端部51d相同的形狀，基端部52d的形成鉤型形狀的端部和 基端部51d的形成鉤型形狀的端部可相互卡止。0040
通過構(gòu)成第一插棒51的基端部51d和第二插棒52的基端部52d可相 互卡止的結(jié)構(gòu)，就能在組裝導(dǎo)電性接觸器5的狀態(tài)下施加初始負(fù)荷。由此， 不需要將彈簧構(gòu)件13的兩端部壓入第一插棒51及第二插棒52進(jìn)行固定， 其一段與探針進(jìn)行組裝、加工就會變得容易。此外，關(guān)于導(dǎo)電性接觸器支 持器的孔部，使其兩端成為階梯孔形狀，不需要施加初始負(fù)荷，能不產(chǎn)生 因?qū)щ娦越佑|器支持器的負(fù)荷引起的翹曲。此外，僅使孔部的下端成為階 梯孔形狀進(jìn)行導(dǎo)電性接觸器5的插拔停止時，可由1片基板形成導(dǎo)電性接 觸器支持器，在削減部件數(shù)量及工時的同時還能實(shí)現(xiàn)低成本化。并且，在 具有與圖3所示的相同的結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸器支持器中插入導(dǎo)電性接觸器 5，合并兩個基板時，由于不對各基板施加導(dǎo)電性接觸器5的負(fù)荷，所以容易組裝。
0041
再有，圖8所示的基端部51d、 52d的形狀只不過是一個例子。例如， 如圖9所示的導(dǎo)電性接觸器6那樣，也可以是第一插棒61的基端部61d 和第二插棒62的基端部62d相互卡止，同時在長度方向以能滑動的方式 相互接觸這樣的形狀。在此導(dǎo)電性接觸器6中，第一插棒61的前端部61a、 凸緣部61b及轂部61c形成分別與導(dǎo)電性接觸器5的第一插棒51的前端 部51a、凸緣部51b及轂部51c相同的形狀。此外，第二插棒62的前端部 62a、凸緣部62b及轂部62c形成分別與導(dǎo)電性接觸器5的第二插棒52的 前端部52a、凸緣部52b及轂部52c相同的形狀。0042
根據(jù)以上說明的本發(fā)明的實(shí)施方式2，能夠提供一種導(dǎo)電性接觸器， 包括由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部形成軸對稱的形狀的第一插 棒；由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部指向與上述第一插棒的前端部 相反的方向，并且該前端部相對于與上述第一插棒的前端部相同的軸線形 成軸對稱的形狀的第二插棒；以及由導(dǎo)電性材料構(gòu)成， 一端與第一插棒接 觸，且另一端與第二插棒接觸，在長度方向可自由伸縮的彈簧構(gòu)件；通過 使第一插棒的基端部和第二插棒的基端部以能滑動的方式接觸，就可進(jìn)行 lGHz以上的高頻信號的發(fā)送接收，并能夠容易進(jìn)行加工。0043
此外，根據(jù)本實(shí)施方式2，通過形成第一插棒的基端部和第二插棒的 基端部可相互卡止的形狀，就能通過嵌合對導(dǎo)電性接觸器附加初始負(fù)荷。 其結(jié)果，不需要將彈簧構(gòu)件的兩端分別壓入第一插棒及第二插棒進(jìn)行固 定，導(dǎo)電性接觸器的制造變得容易。此外，能用1片基板構(gòu)成導(dǎo)電性接觸 器支持器，能使容納導(dǎo)電性接觸器的孔部的結(jié)構(gòu)簡單，制造也會變?nèi)菀住?其結(jié)果，能削減導(dǎo)電性接觸器及導(dǎo)電性接觸器支持器的制造成本。0044
并且，根據(jù)本實(shí)施方式2，由于導(dǎo)電性接觸器支持器不對導(dǎo)電性接觸 器施加負(fù)荷也是可以的，所以導(dǎo)電性接觸器支持器不會因彈簧構(gòu)件的反作 用力而產(chǎn)生翹曲，使得導(dǎo)電性接觸器的運(yùn)動平滑，能提高導(dǎo)電性接觸器的前端的位置精度。此外，容納導(dǎo)電性接觸器的導(dǎo)電性接觸器支持器的組裝 變得容易。
0045
再有，在本實(shí)施方式2中，也可以與上述實(shí)施方式l相同，為使各插 棒的轂部的直徑比彈簧構(gòu)件的內(nèi)徑大一些，將彈簧構(gòu)件的端部壓入轂部這 樣的結(jié)構(gòu)。
(其它實(shí)施方式)0046
到此為止，雖然作為用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式，詳述了實(shí)施方式1 及2，但本發(fā)明并不是僅由這兩個實(shí)施方式所能限制的。例如，如下所示， 關(guān)于彈簧構(gòu)件，可根據(jù)第一插棒和第二插棒的材質(zhì)、兩插棒的基端部的接 觸面積、接觸部分的全長等各種條件來變更形狀。
0047
圖10是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。 同圖所示的導(dǎo)電性接觸器7包括第一插棒ll、第二插棒12、以及連接 第一插棒11和第二插棒12的彈簧構(gòu)件71。彈簧構(gòu)件71繞線的直徑沿長 度方向變化，在無撞擊(7卜口一夕(stroke) LTV、&V、)的狀態(tài)下(圖 10所示的狀態(tài))，位于第一插棒11的基端部lld和第二插棒12的基端部 12d接觸的部位的外周附近的部分的繞線的直徑變?yōu)樽畲蟆椈蓸?gòu)件71 兩端部被分別壓入第一插棒11及第二插棒12。
0048
根據(jù)具有以上的結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸器7，在與檢査對象接觸時能夠?qū)?現(xiàn)基端部lld、 12d間的平滑的滑動。0049
再有，在圖10所示的情況下，由于彈簧構(gòu)件71長度方向的端部比長 度方向的中央部繞線的直徑小，所以隨著各插棒的行程的增加，基端部 lld、 12d間的滑動部分的接觸壓提高，但是，由于隨著行程的增加負(fù)荷也 增加，所以不給行程帶來阻礙。0050圖11是表示本發(fā)明的再另一實(shí)施方式相關(guān)的導(dǎo)電性接觸器的結(jié)構(gòu)圖。同圖所示的導(dǎo)電性接觸器8包括第一插棒11、第二插棒12、以及連接第一插棒11和第二插棒12的彈簧構(gòu)件81。彈簧構(gòu)件81其繞線的螺距沿
長度方向變化。具體地，彈簧構(gòu)件81的第一插棒11側(cè)是粗繞部81a、另一方面第二插棒12側(cè)是粗繞部81b，在粗繞部81a和粗繞部81b之間設(shè)置高密度纏繞的密繞部81c。密繞部81c在彈簧構(gòu)件81無撞擊(7卜口一夕(stroke) LTV、&V、)的狀態(tài)下位于第一插棒11的基端部lld和第二插棒12的基端部12d接觸的部位的外周附近。彈簧構(gòu)件81兩端部被分別壓入第一插棒11及第二插棒12。0051
根據(jù)具有以上的結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸器8，能使基端部lld、 12d間的接
觸可靠。
0052
再有，以上說明的彈簧構(gòu)件，不管各插棒的基端部的形狀怎樣，都能適用。因此，可以代替上述的導(dǎo)電性接觸器4 6的彈簧構(gòu)件13而應(yīng)用彈簧構(gòu)件71或81。0053
如此，本發(fā)明可包含未在此記述的各種實(shí)施方式等，在不脫離由權(quán)利要求的范圍確定的技術(shù)的思想的范圍內(nèi)，可施行各種設(shè)計(jì)變更等。
工業(yè)實(shí)用性0054
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電性接觸器，可用于檢查半導(dǎo)體集成電路等的電氣特性，特別適用于進(jìn)行l(wèi)GHz以上的高頻信號的發(fā)送接收。
1權(quán)利要求
1、一種導(dǎo)電性接觸器，包括第一插棒，由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部形成軸對稱的形狀；第二插棒，由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部指向與上述第一插棒的前端部相反的方向，并且該前端部相對于與上述第一插棒的前端部相同的軸線形成軸對稱的形狀；以及彈簧構(gòu)件，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，一端與上述第一插棒接觸，并且另一端與上述第二插棒接觸，在長度方向可自由伸縮，上述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部以能滑動的方式接觸。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于， 上述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部形成為能相互卡止的形狀。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于， 上述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部具有相同的剖面形狀。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于， 上述第一插棒的基端部和上述第二插棒的基端部形成為能相互卡止的形狀。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，上述第一插棒及上述第二插棒形成為相同的形狀。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，上述彈簧構(gòu)件除了被安裝在上述第一及第二插棒上的端部，繞線的螺 距相同。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于， 上述彈簧構(gòu)件的繞線的螺距沿長度方向變化，在上述彈簧構(gòu)件中，在無撞擊的狀態(tài)下位于上述第一插棒的基端部與 上述第二插棒的基端部相接觸的部位的外周附近的部分進(jìn)行高密度纏繞。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性接觸器，其特征在于，上述彈簧構(gòu)件的繞線的直徑沿長度方向變化，在上述彈簧構(gòu)件中，在無撞擊的狀態(tài)下位于上述第一插棒的基端部與 上述第二插棒的基端部相接觸的部位的外周附近的部分的繞線的直徑最 大。
全文摘要
提供一種可進(jìn)行1GHz以上的高頻信號的發(fā)送接收、能容易進(jìn)行加工的導(dǎo)電性接觸器。為了此目的，該導(dǎo)電性接觸器包括由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部形成軸對稱的形狀的第一插棒(11)；由近似針狀的導(dǎo)電性材料構(gòu)成，前端部(12a)指向與第一插棒(11)的前端部(11a)相反的方向，并且該前端部(12a)相對于與第一插棒(11)的前端部(11a)相同的軸線形成軸對稱的形狀的第二插棒(12)；和由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，一端與第一插棒(11)接觸，且另一端與第二插棒(12)接觸，并在長度方向自由伸縮的彈簧構(gòu)件(13)；其中使第一插棒(11)的基端部(11d)和第二插棒(12)的基端部(12d)以能滑動的方式接觸。
文檔編號G01R1/067GK101669034SQ200880013798
公開日2010年3月10日 申請日期2008年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月27日
發(fā)明者石川重樹, 風(fēng)間俊男 申請人:日本發(fā)條株式會社