專利名稱：用于測量多組分氣體的多波長激光器及其測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于氣體測量和檢測技術(shù)領(lǐng)域，涉及調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù) (TimableDiode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS)，為一禾中用于測量多組分氣體的 多波長激光器及其測量方法。
背景技術(shù)：
氣體的測量和檢測，尤其是可燃、易爆、有毒有害氣體的檢測，對工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、人民 生活、科學(xué)研究和國家安全至關(guān)重要。光學(xué)式氣體檢測技術(shù)具有許多其他檢測技術(shù)無法比 擬的優(yōu)點(diǎn)，如靈敏度高、響應(yīng)速度快、動(dòng)態(tài)范圍大等。激光具有的高單色性、方向性和高強(qiáng) 度，使其成為氣體探測的理想工具，近年來迅速發(fā)展的調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)為氣 體檢測提供了相當(dāng)高的檢測精度，已經(jīng)在工業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域表現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用前 景。TDLAS技術(shù)是利用改變半導(dǎo)體激光的驅(qū)動(dòng)電流實(shí)現(xiàn)激光波長的快速調(diào)諧，通過對目標(biāo)氣 體的吸收線的連續(xù)掃描來實(shí)現(xiàn)氣體濃度的快速檢測。發(fā)明人張國林提出了一種基于半導(dǎo)體 激光器注入電流直接調(diào)制的對數(shù)二次諧波技術(shù)的激光氣體遙測方法，參見現(xiàn)有技術(shù)1 :張 國林，"激光氣體遙測的方法和裝置"，專利號ZL200710133945. 0。在該技術(shù)中，采用注入電 流直接調(diào)制的半導(dǎo)體激光器作為發(fā)射光源，發(fā)射和接收光學(xué)系統(tǒng)采用收發(fā)同軸結(jié)構(gòu)，采用 對數(shù)二次諧波探測技術(shù)對氣體吸收信號進(jìn)行探測和處理，具有測量信噪比高，結(jié)構(gòu)簡單、體 積小巧，便于便攜式應(yīng)用的特點(diǎn)，提供了一種具有高穩(wěn)定度、高靈敏度的適合便攜式應(yīng)用的 激光氣體遙方法和測裝置。但遺憾的是，現(xiàn)有調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的電流調(diào)諧范圍十分有限， 一個(gè)激光器的調(diào)諧范圍很難覆蓋不同氣體的吸收譜線，一般一個(gè)激光器只能測一種氣體。
因此，在檢測系統(tǒng)中多種待測氣體需要對應(yīng)多個(gè)不同波長的半導(dǎo)體激光器，多組 分氣體檢測就涉及到如何將多個(gè)波長不同激光器復(fù)用到同一檢測光路中形成多波長激光 光源，以實(shí)現(xiàn)多氣體快速檢測的問題。許多工作者開展了相關(guān)的研究，并提出了多種實(shí)現(xiàn)方 法。現(xiàn)有技術(shù)2 :陳東，劉文清，張玉鈞，"調(diào)諧半導(dǎo)體激光光譜分時(shí)掃描多路方法"，光子學(xué) 報(bào)，第38巻第8期中，提出了一種基于多激光分時(shí)掃描的激光時(shí)分多路方法，該方法先通過 光纖耦合器將兩個(gè)半導(dǎo)體激光器的輸出光束復(fù)用同一個(gè)光路中，然后通過對兩個(gè)激光器輸 出波長的分時(shí)掃描，在一個(gè)系統(tǒng)周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)多組分氣體的準(zhǔn)同時(shí)快速檢測。但是，該技術(shù)采 用光纖耦合器進(jìn)行激光器復(fù)用，損失了 50%的激光功率，如果復(fù)用更多的激光器，功率損失 更大，極大降低了氣體檢測的信噪比和靈敏度。 在先技術(shù)3 :K0薩跳FISCHER, et al. Application of a multi-laser tunablediode laser absorption spectrometer for atmospheric trace gas measurements at sub_ppbvlevels， [J]. Spec rochimica Acta A， 2002， 58，其中，KORMANNR 等人采用時(shí)分多路技術(shù)，利用機(jī)械振鏡將多束檢測激光順序?qū)氲綑z測光路，實(shí)現(xiàn)了對多 種大氣痕量氣體成分的分時(shí)順序檢測。此方法在原理上較為簡單，但機(jī)械振鏡的速度較慢， 在數(shù)毫秒量級，而且抗干擾能力較差，因此存在檢測實(shí)時(shí)性差和穩(wěn)定性差的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是現(xiàn)有通過調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)對氣體的測量和 檢測中，一個(gè)激光器的調(diào)諧范圍很難覆蓋不同氣體的吸收譜線，一般一個(gè)激光器只能測一 種氣體，已有的能夠?qū)崿F(xiàn)激光器復(fù)用的技術(shù)，激光功率損耗大，或復(fù)用中激光轉(zhuǎn)換速度慢， 抗干擾能力差。 本發(fā)明的技術(shù)方案為用于測量多組分氣體的多波長激光器，包括至少兩個(gè)半導(dǎo) 體激光器、高速光纖復(fù)用器和輸出光纖準(zhǔn)直器，每個(gè)半導(dǎo)體激光器對應(yīng)連接一個(gè)激光電流 溫度控制器，所有半導(dǎo)體激光器的輸出尾纖分別和高速光纖復(fù)用器的輸入端口光纖相連； 高速光纖復(fù)用器包括透鏡光纖陣列、電光光束偏轉(zhuǎn)器、電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器和光纖準(zhǔn) 直器，高速光纖復(fù)用器的輸入端口光纖連接透鏡光纖陣列，透鏡光纖陣列、電光光束偏轉(zhuǎn)器 和光纖準(zhǔn)直器依次連接，電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器連接電光光束偏轉(zhuǎn)器，光纖準(zhǔn)直器的輸 出和輸出光纖準(zhǔn)直器相連；其中電光光束偏轉(zhuǎn)器輸入端為多路光源，輸出端為一路光源，且 為準(zhǔn)直光；輸出光纖準(zhǔn)直器的出射光為平行光。 半導(dǎo)體激光器的線寬小于待測氣體的吸收峰寬度的1/10，其波長掃描范圍大于待 測氣體的吸收峰寬度。 優(yōu)選半導(dǎo)體激光器為光纖耦合輸出的分布反饋DFB半導(dǎo)體激光器或分布布拉格 反射DBR半導(dǎo)體激光器。 進(jìn)一步的，透鏡光纖陣列的排列形狀為一維或者兩維。電光光束偏轉(zhuǎn)器的材料為 高電光系數(shù)的晶體或陶瓷材料，電光系數(shù)大于17pm/V，其電極形狀和電極級聯(lián)數(shù)量根據(jù)半 導(dǎo)體激光器數(shù)量進(jìn)行設(shè)計(jì)。 作為優(yōu)選，光纖準(zhǔn)直器發(fā)散角為10毫弧度量級；輸出光纖準(zhǔn)直器發(fā)散角為1毫弧
度量級。 上述多波長激光器的測量方法，是將不同波長的半導(dǎo)體激光器的激光A 1、 A 2、… 入n輸入電光光束偏轉(zhuǎn)器，各路激光A 1、 A2、…An在電光光束偏轉(zhuǎn)器中發(fā)生偏轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)為同
一路光路輸出，所述輸出為準(zhǔn)直光，準(zhǔn)直光輸入光纖準(zhǔn)直器，由光纖準(zhǔn)直器分別在不同時(shí)段 Tl、 T2、…Tn導(dǎo)通到輸出光纖準(zhǔn)直器，實(shí)現(xiàn)對不同波長的半導(dǎo)體激光器的激光進(jìn)行高速時(shí) 分復(fù)用，形成多波長激光光源，在相應(yīng)時(shí)間段T1、 T2、 Tn內(nèi)，輸出光纖準(zhǔn)直器出射激光入1、 入2、…An分別用于測量不同待測氣體。 本發(fā)明引入光纖通信技術(shù)中的時(shí)分復(fù)用思想，采用基于電光光束偏轉(zhuǎn)器的高速光 纖復(fù)用器對不同波長的激光器進(jìn)行高速時(shí)分復(fù)用，將不同波長的多個(gè)激光器通過高速光纖 復(fù)用器復(fù)用到同一檢測光路中，形成多波長激光光源。通常電光光束偏轉(zhuǎn)器的應(yīng)用都是在 電光效應(yīng)下將一路光源偏轉(zhuǎn)為不同路輸出，本發(fā)明利用光束可逆原理，反過來將不同路的 激光輸入偏轉(zhuǎn)為一路輸出，在光纖準(zhǔn)直器的配合下，實(shí)現(xiàn)高速時(shí)分復(fù)用。本發(fā)明技術(shù)方案既 不存在先技術(shù)2中采用光纖耦合器進(jìn)行復(fù)用存在的激光功率損失問題，又不存在先技術(shù)3 中采用機(jī)械振鏡復(fù)用存在的穩(wěn)定性和實(shí)時(shí)性差的問題。 本發(fā)明具有以下特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)引入光纖通信技術(shù)中的時(shí)分復(fù)用思想，采用基于電 光光束偏轉(zhuǎn)器的高速光纖復(fù)用器對不同波長的激光器進(jìn)行高速時(shí)分復(fù)用，將不同波長的多 個(gè)激光器的激光通過高速光纖復(fù)用器復(fù)用到同一檢測光路中，形成多波長激光光源。與其 他先技術(shù)相比，具有激光功率損耗小、復(fù)用速度快、穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)。能夠更好地滿足激光
4測量多組分氣體所需的實(shí)時(shí)性、高靈敏度和高穩(wěn)定性的要求。


圖1為本發(fā)明多波長激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為本發(fā)明高速光纖復(fù)用器采用的電光光束偏轉(zhuǎn)器原理圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種適用于激光測量多組分氣體的多波長激 光光源。本發(fā)明引入高速光纖復(fù)用器，將不同波長的多個(gè)激光器通過高速光纖復(fù)用器復(fù)用 到同一檢測光路中，形成多波長激光光源。將克服現(xiàn)有技術(shù)中損失激光功率、檢測實(shí)時(shí)性 差、穩(wěn)定性差的問題，可用于基于調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)原理的氣體遙測或者光纖 氣體傳感應(yīng)用場合。 如圖1所示，本發(fā)明包括至少兩個(gè)半導(dǎo)體激光器2、高速光纖復(fù)用器3和輸出光纖 準(zhǔn)直器8，每個(gè)半導(dǎo)體激光器2對應(yīng)連接一個(gè)激光電流溫度控制器1，所有半導(dǎo)體激光器2 的輸出尾纖分別和高速光纖復(fù)用器3的輸入端口光纖相連；高速光纖復(fù)用器3包括透鏡光 纖陣列4、電光光束偏轉(zhuǎn)器5、電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器6和光纖準(zhǔn)直器7，高速光纖復(fù)用器 3的輸入端口光纖連接透鏡光纖陣列4，透鏡光纖陣列4、電光光束偏轉(zhuǎn)器5和光纖準(zhǔn)直器7 依次連接，電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器6連接電光光束偏轉(zhuǎn)器5，光纖準(zhǔn)直器7的輸出和輸出 光纖準(zhǔn)直器8相連；其中電光光束偏轉(zhuǎn)器5輸入端為多路光源，輸出端為一路光源，且為準(zhǔn) 直光；輸出光纖準(zhǔn)直器8的出射光為平行光。激光電流溫度控制器1為半導(dǎo)體激光器2提 供直流偏置、電流掃描、交流調(diào)制和溫度控制。半導(dǎo)體激光器2出射的中心波長分別為入1、 入2、…An的被調(diào)制的連續(xù)窄線寬激光，這些激光通過光纖準(zhǔn)直器7分別在不同時(shí)間段Tl、 T2、…Tn導(dǎo)通到輸出光纖準(zhǔn)直器8中出射。在相應(yīng)時(shí)間段T1、T2、…Tn內(nèi)，出射激光入1、 入2、…An分別用于測量不同待測氣體。不同波長的半導(dǎo)體激光器的激光Al、 A2、… 入n輸入電光光束偏轉(zhuǎn)器5，可以同時(shí)輸入，沒有特別要求；因?yàn)榧す馔ㄟ^透鏡光纖陣列4輸 入到電光光束偏轉(zhuǎn)器5中，沒有角度要求。 其中，高速光纖復(fù)用器3的工作原理可用圖2說明，在一塊電光材料的上下表面鍍 上三角形電極，如圖2灰色部分，當(dāng)在電極上施加電場E時(shí)，電極覆蓋的三角形區(qū)域的折射 率由于電光效應(yīng)將發(fā)生變化，從nO變化至nl。當(dāng)一束光從左面入射時(shí)，由光折射原理可知， 輸出光束將在覆蓋電極和沒有覆蓋電極之間的界面上發(fā)生折射偏轉(zhuǎn)，其偏轉(zhuǎn)角beta取決 于電光材料的電光系數(shù)K、施加電場E、三角形電極的夾角alpha,也就是入射光路與折射界 面的夾角。這樣，當(dāng)在電光材料的右面不同位置放置多個(gè)光纖時(shí)，通過改變施加電場大小， 就可以將一路輸入光束導(dǎo)通輸出到不同路的光纖中。同樣，根據(jù)光束可逆原理，施加不同大 小的電場，右面不同光纖中的各路光束同樣可以導(dǎo)通到左邊的同一光路中，由于電光效應(yīng) 的高速響應(yīng)特性，這種導(dǎo)通的切換速度非?？欤诩{秒量級。本發(fā)明采用高速光纖復(fù)用器就 是基于這一原理構(gòu)成。 本發(fā)明中，半導(dǎo)體激光器2的線寬應(yīng)該遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于待測氣體的吸收峰寬度，其波長 掃描范圍應(yīng)該大于待測氣體的吸收峰寬度。 一般可以為光纖耦合輸出的分布反饋DFB半導(dǎo) 體激光器或分布布拉格反射DBR半導(dǎo)體激光器。
高速光纖復(fù)用器3對不同波長的激光器進(jìn)行高速時(shí)分復(fù)用，將不同波長的多個(gè)激 光器發(fā)出的激光束復(fù)用到同一檢測光路中，形成多波長激光光源。其中透鏡光纖陣列4為 高速光纖復(fù)用器3提供高的輸入耦合效率，其排列形狀可以是一維或者兩維；電光光束偏 轉(zhuǎn)器5的材料可以是高電光系數(shù)的晶體或陶瓷材料，電光系數(shù)大于17pm/V，例如鈮酸鋰晶 體，摻鑭鋯鈦酸鉛(PLZT)透明電光陶瓷等，其電極形狀和電極級聯(lián)數(shù)量可以根據(jù)復(fù)用的半 導(dǎo)體激光器數(shù)量進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)；電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器6控制施加在電光光束偏轉(zhuǎn)器5 上的電場大小和導(dǎo)通時(shí)間；光纖準(zhǔn)直器7為高速光纖復(fù)用器3提供高的輸出耦合效率，其入 射光束為準(zhǔn)直光。 輸出光纖準(zhǔn)直器8出射光為平行光的的光纖元件。光纖準(zhǔn)直器7和輸出光纖準(zhǔn)直 器8的原理和結(jié)構(gòu)沒有差別，但在參數(shù)有差別光纖準(zhǔn)直器7用于高速光纖復(fù)用器3內(nèi)部光 束低損耗耦合，其工作距離較短，光束準(zhǔn)直要求較低，發(fā)散角一般在10毫弧度量級；輸出光 纖準(zhǔn)直器8的輸出直接用于氣體測量，當(dāng)探測距離較遠(yuǎn)時(shí)，發(fā)散角一般在1毫弧度量級。
下面說明本發(fā)明的具體實(shí)施 如圖l所示的結(jié)構(gòu)，其中，半導(dǎo)體激光器2分別采用波長為1.65微米、1.56微米、 1. 57微米的分布反饋DFB半導(dǎo)體激光器，輸出功率10毫瓦，分別對應(yīng)甲烷、一氧化碳、二氧 化碳的氣體吸收峰，半導(dǎo)體激光器2分別由對應(yīng)的激光電流溫度控制器1提供直流偏置、電 流掃描、交流調(diào)制和溫度控制，電流掃描采用三角波，頻率為10Hz，交流調(diào)制采用正弦調(diào)制， 正弦波頻率為10kHz，溫控精度約為攝氏0. 1度。高速光纖復(fù)用器3中的電光光束偏轉(zhuǎn)器5 采用摻鑭鋯鈦酸鉛PLZT透明電光陶瓷，透鏡光纖陣列4采用單模保偏光纖構(gòu)成，采用一維 排列形式，光纖準(zhǔn)直器7和輸出光纖準(zhǔn)直器8為單模光纖準(zhǔn)直器。 測量時(shí)，半導(dǎo)體激光器2發(fā)出的不同波長的激光經(jīng)過高速光纖復(fù)用器3復(fù)用到同 一檢測光路中，形成多波長激光光源，并在不同時(shí)間段導(dǎo)通到輸出光纖準(zhǔn)直器8中出射。在 相應(yīng)時(shí)間段內(nèi)，出射激光分別用于測量甲烷、一氧化碳、二氧化碳。高速光纖復(fù)用器3對不 同波長激光的時(shí)分復(fù)用由于電光效應(yīng)的高速響應(yīng)特性，切換速度非?？欤诩{秒量級，檢測 實(shí)時(shí)性非常好，可以很好的滿足一臺激光器快速穩(wěn)定測量多種組分氣體的使用要求。
本實(shí)施例只是以甲烷、一氧化碳和二氧化碳三種氣體探測為例來說明，并不限于 這三種氣體測量。只需增加高速光纖復(fù)用器3的輸入端口數(shù)量，就可以增加復(fù)用的半導(dǎo)體 激光器數(shù)量，就可以測量相應(yīng)數(shù)量的多組分氣體。例如，乙烯吸收峰為1532.8nm，氨氣為 1544nm，水蒸汽為944nm，氧氣為760nm等。
權(quán)利要求
用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是包括至少兩個(gè)半導(dǎo)體激光器(2)、高速光纖復(fù)用器(3)和輸出光纖準(zhǔn)直器(8)，每個(gè)半導(dǎo)體激光器(2)對應(yīng)連接一個(gè)激光電流溫度控制器(1)，所有半導(dǎo)體激光器(2)的輸出尾纖分別和高速光纖復(fù)用器(3)的輸入端口光纖相連；高速光纖復(fù)用器(3)包括透鏡光纖陣列(4)、電光光束偏轉(zhuǎn)器(5)、電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器(6)和光纖準(zhǔn)直器(7)，高速光纖復(fù)用器(3)的輸入端口光纖連接透鏡光纖陣列(4)，透鏡光纖陣列(4)、電光光束偏轉(zhuǎn)器(5)和光纖準(zhǔn)直器(7)依次連接，電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器(6)連接電光光束偏轉(zhuǎn)器(5)，光纖準(zhǔn)直器(7)的輸出和輸出光纖準(zhǔn)直器(8)相連；其中電光光束偏轉(zhuǎn)器(5)輸入端為多路光源，輸出端為一路光源，且為準(zhǔn)直光；輸出光纖準(zhǔn)直器(8)的出射光為平行光。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是半導(dǎo)體激光 器(2)的線寬小于待測氣體的吸收峰寬度的1/10，其波長掃描范圍大于待測氣體的吸收峰 寬度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是半導(dǎo)體激光 器(2)為光纖耦合輸出的分布反饋DFB半導(dǎo)體激光器或分布布拉格反射DBR半導(dǎo)體激光 器。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是透 鏡光纖陣列(4)的排列形狀為一維或者兩維。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是電 光光束偏轉(zhuǎn)器(5)的材料為高電光系數(shù)的晶體或陶瓷材料，電光系數(shù)大于17pm/V，其電極 形狀和電極級聯(lián)數(shù)量根據(jù)半導(dǎo)體激光器數(shù)量進(jìn)行設(shè)計(jì)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是電光光束偏 轉(zhuǎn)器(5)的材料為高電光系數(shù)的晶體或陶瓷材料，其電極形狀和電極級聯(lián)數(shù)量根據(jù)半導(dǎo)體 激光器數(shù)量進(jìn)行設(shè)計(jì)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是光 纖準(zhǔn)直器(7)發(fā)散角為10毫弧度量級；輸出光纖準(zhǔn)直器(8)發(fā)散角為1毫弧度量級。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是光纖準(zhǔn)直器 (7)發(fā)散角為10毫弧度量級；輸出光纖準(zhǔn)直器(8)發(fā)散角為1毫弧度量級。
9. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于測量多組分氣體的多波長激光器，其特征是光纖準(zhǔn)直器 (7)發(fā)散角為10毫弧度量級；輸出光纖準(zhǔn)直器(8)發(fā)散角為1毫弧度量級。
10. 權(quán)利要求l-9所述多波長激光器的測量方法，其特征是將不同波長的半導(dǎo)體激光 器的激光入1、A2、…An輸入電光光束偏轉(zhuǎn)器，各路激光A 1、 A2、…入n在電光光束偏 轉(zhuǎn)器中發(fā)生偏轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)為同一路光路輸出，所述輸出為準(zhǔn)直光，準(zhǔn)直光輸入光纖準(zhǔn)直器，由光 纖準(zhǔn)直器分別在不同時(shí)段T1、T2、…Tn導(dǎo)通到輸出光纖準(zhǔn)直器，實(shí)現(xiàn)對不同波長的半導(dǎo)體 激光器的激光進(jìn)行高速時(shí)分復(fù)用，形成多波長激光光源，在相應(yīng)時(shí)間段T1、 T2、 Tn內(nèi)，輸出 光纖準(zhǔn)直器出射激光Al、 A2、…An分別用于測量不同待測氣體。
全文摘要
用于測量多組分氣體的多波長激光器及其測量方法，多波長激光器包括至少兩個(gè)半導(dǎo)體激光器、高速光纖復(fù)用器和輸出光纖準(zhǔn)直器，每個(gè)半導(dǎo)體激光器對應(yīng)連接一個(gè)激光電流溫度控制器；高速光纖復(fù)用器包括透鏡光纖陣列、電光光束偏轉(zhuǎn)器、電光光束偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制器和光纖準(zhǔn)直器，將不同波長的半導(dǎo)體激光器的激光輸入電光光束偏轉(zhuǎn)器，各路激光在電光光束偏轉(zhuǎn)器中發(fā)生偏轉(zhuǎn)，復(fù)用為同一路光路輸出，由光纖準(zhǔn)直器分別在不同時(shí)段導(dǎo)通到輸出光纖準(zhǔn)直器，實(shí)現(xiàn)對不同波長激光的高速時(shí)分復(fù)用，形成多波長激光光源，在相應(yīng)時(shí)間段內(nèi)，輸出光纖準(zhǔn)直器出射激光分別用于測量不同待測氣體。本發(fā)明引入時(shí)分復(fù)用思想，具有激光功率損耗小、復(fù)用速度快、穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號G01N21/39GK101793822SQ201010103750
公開日2010年8月4日 申請日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者張國林, 蔡圣聞 申請人:南京樹聲科技有限公司