專利名稱：一種半導(dǎo)體專用設(shè)備的彈性傳感裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感裝置，特別是一種半導(dǎo)體專用設(shè)備的彈性傳感裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體專用設(shè)備在對晶片進(jìn)行加工的過程中，需要使用傳感裝置。在現(xiàn)代化的生 產(chǎn)設(shè)備中，常見的傳感裝置通常都是采用位置固定，直接感應(yīng)的方式，這種裝置在實(shí)際應(yīng)用 中存在一定的不足，如安裝不便，難于控制的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體專用設(shè)備彈性傳感裝置，要解決傳統(tǒng)調(diào)整機(jī)構(gòu)安 裝不便，難于控制的技術(shù)問題。本發(fā)明的技術(shù)方案為本發(fā)明包括壓銷，安裝板，軸用彈性擋圈，復(fù)位彈簧，傳感器 支座，傳感器；所述安裝板固定在傳感器支座之上，傳感器支座下固定有傳感器；傳感器支 座中央設(shè)有能穿過壓銷并能放入復(fù)位彈簧的沉孔，壓銷穿過安裝板中央的通孔，壓銷下部 伸入傳感器支座上設(shè)置的沉孔中，壓銷上固定有軸用彈性擋圈，復(fù)位彈簧套在壓銷下部，并 卡在軸用彈性擋圈和傳感器支座中央設(shè)置的沉孔底部之間，復(fù)位彈簧卡住壓銷使壓銷下端 不能伸出傳感器支座的下部。所述壓銷穿過安裝板，當(dāng)壓銷被壓下時(shí)，軸用彈性擋圈會將彈簧壓下，從而使壓銷 從傳感器支座下部伸出，進(jìn)入傳感器的感應(yīng)區(qū)域。當(dāng)壓銷的受力去除后，彈簧會自動復(fù)位， 從而將壓銷帶出傳感器的感應(yīng)區(qū)域。所述軸用彈性擋圈固定在壓銷上的凹槽內(nèi)。本發(fā)明的有益效果為和現(xiàn)有技術(shù)相比本發(fā)明是一種結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，簡單實(shí)用，安裝便利的傳感裝 置。由于采用了彈簧和壓銷的設(shè)計(jì)，使該裝置可以很好的實(shí)現(xiàn)晶片加工過程中，對傳感裝置 的需求，與現(xiàn)有技術(shù)相比，成本低廉，節(jié)省能耗，合理利用了工作空間，在外觀上比傳統(tǒng)傳感 器裝置的結(jié)構(gòu)更加精巧美觀，整體結(jié)構(gòu)性更強(qiáng)，可以廣泛利用在對晶片進(jìn)行加工的各類半 導(dǎo)體專用設(shè)備里，如片盒架等用戶能直觀接觸到的對外觀美感有設(shè)計(jì)要求的結(jié)構(gòu)中，以及 需要將傳感裝置隱藏于結(jié)構(gòu)之內(nèi)的部分。它有效地解決了，現(xiàn)有傳感裝置，往往只是利用擋 片，支架固定在工作空間，對工作造成不便，對結(jié)構(gòu)造成視覺上的整體性破壞的不足之處。 與傳統(tǒng)的傳感器裝置相比，極大地滿足了現(xiàn)代化機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，實(shí)用性與結(jié)構(gòu)感相結(jié)合 的需求，是機(jī)械設(shè)計(jì)與工業(yè)設(shè)計(jì)的有效結(jié)合。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖附圖標(biāo)記1-壓銷，2-安裝板，3-軸用彈性擋圈，4-復(fù)位彈簧，5-傳感器支座， 6_傳感器。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。如附圖所示，本發(fā)明并半導(dǎo)體專用設(shè)備彈性傳感裝置，其軸用彈性擋圈3固定在 壓銷1上開設(shè)的槽內(nèi)，復(fù)位彈簧4裝套在壓銷1上后，將壓銷1放入傳感器支座5，傳感器6 通過螺釘固定在傳感器支座5上，壓銷1穿過安裝板2伸入傳感器支座5內(nèi)，將傳感器支座 5固定在安裝板2上，將彈簧4封閉在傳感器支座5內(nèi)。本發(fā)明所述彈簧4封閉在傳感器支 座5內(nèi)，軸用彈性擋圈3與彈簧自然接觸，壓銷1無法從傳感器支座5下部伸出。當(dāng)壓銷1 被壓下時(shí)，軸用彈性擋圈3會將復(fù)位彈簧4壓下，從而使壓銷1從傳感器支座5下部伸出， 進(jìn)入傳感器6的感應(yīng)區(qū)域；當(dāng)壓銷1的受力去除后，復(fù)位彈簧4會自動復(fù)位，從而將壓銷1 帶出傳感器6的感應(yīng)區(qū)域，完成一個工作過程。
權(quán)利要求
一種半導(dǎo)體專用設(shè)備的彈性傳感裝置，其特征在于其包括壓銷(1)，安裝板(2)，軸用彈性擋圈(3)，復(fù)位彈簧(4)，傳感器支座(5)，傳感器(6)；所述安裝板(2)固定在傳感器支座(5)之上，傳感器支座(5)下固定有傳感器(6)；傳感器支座(5)中央設(shè)有能穿過壓銷(1)并能放入復(fù)位彈簧(4)的沉孔，壓銷(1)穿過安裝板(2)中央的通孔，壓銷(1)下部伸入傳感器支座(5)上設(shè)置的沉孔中，壓銷(1)上固定有軸用彈性擋圈(3)，復(fù)位彈簧(4)套在壓銷(1)下部，并卡在軸用彈性擋圈(3)和傳感器支座(5)中央設(shè)置的沉孔底部之間，復(fù)位彈簧(4)卡住壓銷(1)使壓銷(1)下端不伸出傳感器支座(5)的下部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種傳感裝置，特別是一種半導(dǎo)體專用設(shè)備的彈性傳感裝置。本發(fā)明包括壓銷，安裝板，軸用彈性擋圈，彈簧，傳感器支座，傳感器。軸用彈性擋圈固定在壓銷的槽內(nèi)，彈簧裝套在壓銷上后，將壓銷放入傳感器支座，傳感器通過螺釘固定在傳感器支座上，壓銷穿過安裝板將傳感器支座固定在安裝版上，將彈簧封閉在傳感器支座內(nèi)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡單，應(yīng)用方便的特點(diǎn)，是可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體專用設(shè)備的傳感裝置。
文檔編號G01D11/00GK101881636SQ20101019014
公開日2010年11月10日 申請日期2010年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月3日
發(fā)明者張敏杰, 衣忠波, 馬林 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所