專利名稱：攝像檢查方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種對設于等離子體顯示裝置、液晶顯示裝置、太陽能電池等基板上、 且一部分或全部具有重復圖案的圖案形狀進行攝像檢查的方法。
背景技術：
為了對設于等離子體顯示裝置、液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置、太陽能電池等 基板上的圖案的形狀進行檢查，如圖14所示有利用安裝于測定頭3的攝像機2對被檢查物 1進行掃描攝像、并利用圖像處理對該形狀的缺陷進行檢查的裝置。攝像機2主要使用線路 傳感器攝像機或TDI (TimeDelayed Integration 時間延遲積分)傳感器攝像機(以下簡 稱為攝像機)。該裝置中，在被檢查物1的圖案的一部分或全部為重復圖像那樣的情況下， 通過對重復圖案之間進行比較從而消去非缺陷的部分，僅提取作為缺陷的圖案。將其示于 圖15中。在被檢查物的拍攝圖像50中，有第1 第5重復部(分別為51、52、53、54、55) 這五組重復部。例如在第3重復部53中有缺陷57的情況下，通過對每一重復周期進行比 較，從而提取該缺陷57。比較后的結果為圖15的60。用白色示出與比較目標無差異的部分，用灰色示出 有差異的部分。對第1重復部51和第2重復部52進行比較的結果為61，對第2重復部52 和第3重復部53進行比較的結果為62，對第3重復部53和第4重復部54進行比較的結果 為63，對第4重復部54和第5重復部55進行比較的結果為64。從這些結果中提取有差異 的部分的缺陷66及缺陷67。這里雖提取多個缺陷，但僅選擇某一個。這樣，通過與相隔重 復周期的像素進行比較，從而能夠僅提取缺陷。這里拍攝到的圖像中的圖案的重復周期P[像素]根據(jù)被檢查物的重復周期 Ζ[ μ m]和圖像的分辨率R[ μ m/像素]，成為P = Z + R (數(shù)學式 1)。從對每一像素進行比較的角度考慮，最好是P為整數(shù)。例如圖16中，示出對被 檢查物11的拍攝圖像進行比較處理使得拍攝到的圖像中的重復周期P正好為“4”。拍攝圖 像為50a，比較結果為60a。這樣，在圖像的重復周期P為整數(shù)的情況下，在原理上能夠完全 消去非缺陷的部分的圖案。與此不同的是，示出對圖17的拍攝到的圖像中的重復周期P為“2. 6”那樣的被檢 查物的拍攝圖像50b進行比較處理的例子。由于實際的比較以像素為單位進行，因此使用 最接近的整數(shù)“3”進行比較。比較結果為60b。這樣，不能完全消去重復圖案，會產(chǎn)生殘像。 這種殘像成為將非缺陷誤識別為缺陷的所謂誤報的原因。雖然通過設定缺陷的閾值從而能 抑制誤報的產(chǎn)生，但會降低缺陷檢測的靈敏度。此外，至此為了說明，是以對每一像素進行 比較為前提，但即使是對像素間的信息進行插值、由此進行比較的情況也相同。這是由于攝 像機(線路傳感器)的開口率并非100%的緣故。為了將P設為整數(shù)，只要使得被檢查物的重復周期與圖像的分辨率成為整數(shù)比即 可。通常由于不能自由地選擇被檢查物的重復周期，因此考慮通過控制圖像的分辨率以使P
3成為整數(shù)。例如，考慮對分辨率R為10 [μ m]、重復周期Z為222 [μ m]的被檢查物進行攝像 的情況。此時，拍攝圖像中的重復周期P為22. 2[像素]。由于與其接近的整數(shù)為“22”或 “23”，因此只要以使P成為“22”那樣的分辨率R = 222 + 22 = 10. 09... [ μ m/像素]、或者 使P成為“23”那樣的分辨率R = 222 + 23 = 9. 652173…[μ m/像素]進行攝像即可。這 樣，若能夠使分辨率從最初的R = 10 [ μ m/像素]變化幾個百分點，則可能能夠進行使P成 為整數(shù)那樣的攝像。由線路傳感器(攝像機)得到的圖像的分辨率對于傳感器的排列方向X和傳感器 的掃描移動方向Y，分別獨立地決定。若將χ方向的分辨率設為Rx[ μ m/像素]，將傳感器 的像素大小設為C[ym]，將光學系統(tǒng)的倍率設為M，則X方向的分辨率由(數(shù)學式2)來表
7J\ οRx = C+M (數(shù)學式 2) 為了控制分辨率Rx，只要控制像素大小C或倍率M即可。這里，關于通過控制M從 而選擇使P成為整數(shù)那樣的Rx的方法，由專利文獻1等作了揭示。Y方向的分辨率由攝像機與被檢查物之間的相對速度和攝像機的每1行的掃描時 間(以下記為H間隔時間)決定。若將Y方向的分辨率設為Ry [y m/行]，將相對速度設為 V[ μ m/秒]，將H間隔時間設為Ht [秒/行]，則表示作為數(shù)學式(3)。Ry = VXHt (數(shù)學式 3)這里，(數(shù)學式3)在Rx和Ry的值相差較大的情況下有時不成立。根據(jù)(數(shù)學式3)，在輸入圖像的過程中，若相對速度V變化則Ry變化。在難以將 相對速度V保持為一定的情況下，有時利用某種手段測定攝像機與被檢查物的位置關系， 該位置每發(fā)生一定的變化，就進行1行的圖像讀取。由此，即使相對速度V有一些變化也能 夠將Ry保持為一定。另外，對攝像機與被檢查物的相對位置關系進行掌握的手段有多種， 例如常使用編碼器或線性標尺或激光位移計等。以下的說明中，為方便起見將該手段稱為線性編碼器。在使用線性編碼器的情況 下，若將用于進行1行的圖像讀取的線性編碼器讀出值的變化量(以下稱為H間隔距離) 設為Hd [ μ m/行]，則可表現(xiàn)為(數(shù)學式4)。Ry = Hd (數(shù)學式 4)此時，考慮選擇Ry以使P成為整數(shù)。根據(jù)(數(shù)學式4)，使Ry變化與使Hd變化相 同。然而，實際上Hd只能取離散的值。這是由于受限于線性編碼器的分辨率。在線性編碼 器的分辨率為l[ym]的情況下，Hd可取的值為{1，2，3，…}。在上述的例子中，需要設定 10. 09090909…[μ m/像素]以作為分辨率R，但該分辨率即使是使用例如0.01 [μ m]的線 性編碼器也不能準確地實現(xiàn)。另外，利用線性編碼器能夠進行測量的分辨率和精度有限制， 顯然較高的分辨率的線性編碼器其測量耗費時間，且價格高。即，以目前的技術，要一直實 現(xiàn)使P成為整數(shù)那樣的Ry實質上是不可能的。專利文獻日本國專利特開2003-329609號公報在對具有重復圖案的被檢查物進行攝像檢查時，需要利用圖像處理從拍攝到的圖 像中除去正常的重復圖案，僅提取缺陷部分。此時，在形成于被檢查物上的重復圖案在拍攝 圖像上未成為整數(shù)像素的周期的情況下，存在無法準確地除去重復圖案的問題。為了使得重復圖案在圖像上成為整數(shù)像素地來進行攝像，只要利用使得被檢查物的圖案的重復周期與拍攝圖像的分辨率成為整數(shù)比那樣的分辨率來進行攝像即可。為此， 只要具有僅使分辨率變化的機構即可。然而，在現(xiàn)有的結構中，未能具備這種機構。

發(fā)明內容
本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術的問題，其目的在于提供一種在進行攝像時僅使分辨率 變化的攝像檢查方法的結構及方法。為了達成上述目的，本申請發(fā)明所涉及的第1方面的攝像檢查方法的特征為，在 根據(jù)來自編碼器的信號對被檢查物上的等間隔的圖案的圖像進行攝像并檢查時，進行掃描 并攝像，該掃描中，所述進行攝像的間隔中的至少一個間隔成為與根據(jù)所述被檢查物的圖 案間的間隔而決定的來自所述編碼器的信號的輸出間隔不相等的間隔。另外，第2方面的發(fā)明在第1方面的攝像檢查方法中，其特征為，將來自所 述編碼器的信號的輸出間隔設為Hk，將成為Hk的模式的數(shù)量設為Nk時，在由Rs = Σ (NkXHk)+ Σ (Nk)得到的分辨率Rs成為所要的分辨率的條件下進行攝像。另外，第3方面的發(fā)明在第1方面的攝像檢查方法中，其特征為，在所述等間隔的 圖案的間隔與根據(jù)所述被檢查物的圖案間的間隔而決定的來自所述編碼器的信號的輸出 間隔之差的累積超過閾值的情況下，進行所述不相等的間隔的掃描。另外，第4方面的發(fā)明在第1方面的攝像檢查方法中，其特征為，對應于所述被檢 查物中的圖案的位置使攝像的間隔變化。另外，第5方面的發(fā)明在第1方面的攝像檢查方法中，其特征為，所述不相等的間 隔比根據(jù)所述被檢查物的圖案間的間隔而決定的來自所述編碼器的信號的輸出間隔大。另外，第6方面的發(fā)明在第1方面的攝像檢查方法中，其特征為，使用進行時間延 遲積分(TDI =Time Delayed Integration)動作的元件作為進行攝像的元件。根據(jù)本發(fā)明，起到如下效果即，即使是在被檢查物的重復周期不是拍攝圖像的分 辨率的整數(shù)倍的情況下，由于能夠調節(jié)圖像的分辨率使得被檢查物的重復周期與拍攝圖像 的分辨率成為整數(shù)比地拍攝被檢查物，因此也能利用圖像處理準確地除去形成在被檢查物 上的正常的重復圖案部，從而檢測出缺陷圖案。


圖1是表示本發(fā)明的實施方式1中的攝像檢查裝置的立體圖。圖2是表示本實施方式1中的攝像處理的流程圖。圖3是表示本實施方式1中的生成讀取圖像的定時的結構的圖。圖4是表示本實施方式1中的以等間距拍攝被檢查物得到的拍攝圖像的圖。圖5是表示本實施方式1中的以不相等的間距拍攝被檢查物得到的拍攝圖像的圖。圖6是表示本實施方式1中的以另一不相等的間距拍攝被檢查物得到的拍攝圖像 的圖。圖7是表示本實施方式1中的攝像機以預先設定的攝像間距進行的攝像處理的流 程圖。圖8是表示本發(fā)明的實施方式2中的攝像處理的流程圖。圖9是表示本實施方式2中的生成讀取圖像的定時的結構的圖。
圖10是表示本發(fā)明的實施方式3中的被檢查物的圖案的圖。
圖11是表示本實施方式3中的被檢查物的另一圖案的圖。
圖12是表示本實施方式3中的較薄的被檢查物的變形部分的圖。
圖13是表示本實施方式3中的生成讀取圖像的定時的結構的圖。
圖14是表示利用現(xiàn)有的圖像處理對圖案形狀的缺陷進行檢查的裝置的立體圖。
圖15是表示比較相鄰的圖案重復部、從結果中提取的缺陷的圖。
圖16是表示被檢查物和拍攝圖像的重復周期一致的情況下的比較處理的例子。
圖17是表示被檢查物和拍攝圖像的重復周期不一致的情況下的比較處理的例子的圖。
標號說明
1、11、101、201 被檢查物
2,102攝像機
3測定頭
50、50a、50b 拍攝圖像
51,52、53、54、55 重復部
60、60a、60b 比較結果
61,62>63,64相鄰重復部的比較結果
57,66>67缺陷
10Γ被檢查物的一部分
IOla圖案A
IOlb圖案B
IOlc圖案C
IOld圖案D
104攝像機掃描軸
105線性編碼器
105a線性編碼器固定件
105b線性編碼器可動件
106分頻器
107設定單元(分頻器)
108編碼器計數(shù)器
109設定單元(攝像間距)
110行數(shù)計數(shù)器
111乘法器
112比較器
113保存單元
202變形部分
具體實施例方式
下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明中的實施方式。此外，以下的說明中，對于相同的
6結構標注相同的標號，并適當?shù)厥÷哉f明。(實施方式1)圖1是表示本發(fā)明的實施方式1中的使用了線路傳感器(攝像機)的檢查裝置的 例子的圖。圖1中，使用攝像機102拍攝被檢查物101。攝像機102利用攝像機掃描軸104 進行移動掃描。攝像機掃描軸104的位置可利用線性編碼器固定件105a及線性編碼器可 動件105b來掌握。在線性編碼器固定件105a上刻有等間隔的方格，通過使用線性編碼器 可動件105b對其進行讀取，從而每移動一定距離就從線性編碼器可動件105b輸出信號。這里，為了說明本實施方式1的特征，說明作為比較對象的現(xiàn)有的方法。目前為止，利用如圖2所示的流程圖進行攝像。S卩，步驟Sl中，基于線性編碼器的 分辨率和攝像分辨率，決定攝像間距，使用該攝像間距，在步驟S2中對整個被檢查物進行 攝像。此時，線路傳感器(攝像機102)讀取圖像的定時例如由圖3那樣的結構來生成。 將來自線性編碼器105的信號輸入到分頻器106。分頻器106包括設定分頻周期的設定單 元107。將分頻器106的輸出信號輸入到攝像機102。然而，該結構中，攝像機102的讀取 周期局限于線性編碼器105的分辨率的整數(shù)倍。下面，說明相對于這種現(xiàn)有方法的本實施方式1的特征。此外，以下將線性編碼器 105的分辨率稱為H間隔。首先，設想作為H間隔可設定的最小單位為“1”那樣的情況。在設V為常數(shù)、H間 隔為等間隔的情況下可取的分辨率Ry的值為(數(shù)學式5)。Ry = {V，2V，3V，…}(數(shù)學式 5)這里，若設攝像機102中的攝像的間隔為不相等的間隔而并非等間隔，則能夠使Y 方向的每一像素的分辨率、即每一像素的攝像范圍的大小變化。在使攝像時的H間隔例如 以{1，2，1，2，···}那樣、“1”和“2”交替重復那樣的模式拍攝成不相等的間隔的情況下，所 得到的圖像成為混有Ry = IV的部分和Ry = 2V的部分。這里，該圖像的分辨率大致上可 看作Ry= (l+2)+2XV= 1.5V那樣的圖像。同樣地，若使H間隔例如以{1,2,2,1,2,2, ...}那樣、成為“ 1 ”和“2”和“2”
的組合那樣的模式拍攝成不相等的間隔，則所得到的圖像的分辨率Ry大致上為Ry = (1+2+2) +3XV = 2. 5V。這樣，通過將H間隔設為不相等的間隔來進行攝像，從而能在不受 作為H間隔可設定的最小單位的制約的情況下決定Ry。圖4 圖6中示出該效果的具體例。圖4表示以等間距拍攝被檢查物的情況。方 格的涂色分別表示被檢查物的顏色，其中涂色部為被檢查物的黑色部分，白色部為被檢查 物的白色部分。這里，關注被檢查物的一部分101’。在其長度為8 [ μ m]、其顏色每隔1 [ μ m]成為 {白，白，黑，黑，白，白，黑，白}的情況下，將H間隔設為1[μπ ]以等間隔進行攝像時，所得 到的拍攝圖像150的長度成為8個像素。如圖4所示，由于是以8個像素拍攝8 [ μ m]，因此 拍攝到的圖像的分辨率為l[ym/像素]。所得到的拍攝圖像為{白，白，黑，黑，白，白，黑，白}。這里，例如若使H間隔成為{1,1,2,1,1,1,1}那樣進行攝像，則所得到的圖像的長 度成為7個像素。圖5中示出該情況。由于是以7個像素拍攝被檢查物的一部分101’的
78[μπι]，因此大致上的圖像分辨率為8/7[μπι/像素]。所得到的拍攝圖像151為{白，白，
漂？白？白？漂？白} ο另外，即使使H間隔成為{1，1，1，2，1，1，1}那樣進行攝像，同樣地，所得到的圖像 的長度也為7個像素。圖6中示出該情況。大致上的圖像分辨率與圖5的例子相同。拍攝 被檢查物的一部分101’所得到的拍攝圖像152為{白，白，黑，灰，白，黑，白}。這樣，通過 以不相等的間隔進行攝像，從而能使大致上的圖像分辨率變化而不受到H間隔的最小分辨 率的制約。對使該攝像采用不相等的間隔的情況下、決定攝像的H間隔的模式的一個方法進 行敘述。使被檢查物的重復圖案在圖像上成為整數(shù)周期那樣進行攝像所需的條件如(數(shù)學 式6)所示。R = T + N (數(shù)學式 6)這里，R表示攝像的分辨率[μ m/像素]，T表示被檢查物的重復周期[μ m]，N表 示1以上的整數(shù)。一般來講，由于根據(jù)所要檢測的最小的缺陷大小等預先決定大致的分辨率R的 值，因此選擇滿足(數(shù)學式6)的分辨率R中、與預先決定的值最接近的分辨率。例如，當預 先決定的大致的分辨率R的值為10 [μ m/像素]時，在拍攝T= 157 [μ m]的被檢查物的情 況下，由(數(shù)學式6)得到N= 16時的分辨率R的值即R = 9. 8125 [μ m/像素]。N表示拍 攝到的圖像上的被檢查物的重復周期。只要預先求出最好地實現(xiàn)這種分辨率R那樣的H間 隔的模式，并按照該模式進行攝像即可。下面示出該方法。假設將H間隔的分辨率設為D從而可離散地選擇H間隔，若將該H間隔設為Hk，將 成為Hk的模式的數(shù)量設為Nk，則所得到的大致上的分辨率Rs由(數(shù)學式7)來表現(xiàn)。Rs = Σ (NkXHk) + Σ (Nk)(數(shù)學式 7)對于使得(數(shù)學式7)的Rs接近所要的R那樣的Nk、Hk的組合，例如可利用窮舉 法來尋找。利用(數(shù)學式7)來得到可看作與所要的R接近的、Rs的模式有多個。假設在從 Σ (Nk)取較小的值開始依次利用窮舉法進行搜索的情況下，只是以R和Rs接近即可的條 件的話一般解不出(數(shù)學式7)。這是由于Σ (Nk)的值越大越容易使R和Rs—致。因此， 需要在R和Rs接近到某種程度時停止計算。由于R和Rs —般允許有10%左右的誤差，因 此只要以此為基準停止計算即可。作為比利用窮舉法來求解更實用的方法，考慮對(數(shù)學式7)增加某種制約。例 如，考慮使用H間隔的分辨率D，增加制約使得僅使用成為(數(shù)學式8)、(數(shù)學式9)那樣的 2 種 R(Rl 及 Rh)。Rl = floor (R+D) X D (數(shù)學式 8)Rh = ceiling(R+D) XD (數(shù)學式 9)此外，(數(shù)學式8)的floor (X)及(數(shù)學式9)的Ceiling(X)分別表示關于X的 地板函數(shù)、天花板函數(shù)。若將(數(shù)學式8)及(數(shù)學式9)應用于上述的例子中，則成為(數(shù)學式10)、(數(shù) 學式11)，可見作為H間隔只要利用“9”和“10”這2種的組合來生成模式即可。Rl = floor (9. 8125 + 1) Xl = 9 (數(shù)學式 10)
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Rh = ceiling(9. 8125+1) Xl = 10 (數(shù)學式 11)將以H間隔“9”拍攝的像素的數(shù)量設為N9，將以H間隔“10”拍攝的像素的數(shù)量設 為Nltl，代入(數(shù)學式7)，則成為(數(shù)學式12)。Rs = (N9X9+N10X10) + (N9+N10)(數(shù)學式 12)(數(shù)學式12)中有時也會存在多個解。在這種情況下，只要對(數(shù)學式7)中的 Σ (Nk)、即(數(shù)學式12)中的(N9+N1Q)的值設定制約即可。例如，只要制約成使得模式的 周期(N9+N1CI)為拍攝到的圖像上的被檢查物的重復周期的約數(shù)即可。在上述的例子中其為 “16”。由于“16”的約數(shù)為“1，2，4，8，16”，因此模式的周期為其中的某一個，選擇使R最接 近9. 8125的那個周期。N9+N10 = {1,2,4,8,16}(數(shù)學式 13)若對(數(shù)學式12)及(數(shù)學式13)進行求解，以分別求出使得R最接近所希望的 值即9. 8125的那樣的N9及Nltl，則可得到N9 = 3，N10 = 13。此時，Rs正好成為與R相等的 9. 8125。但是，一般來講Rs和R并不一定如本例那樣正好一致。這樣，能夠預先計算出進行攝像的模式。此外，成為N9 = 3，N10 = 13的攝像模式 的數(shù)量B如下述的(數(shù)學式14)所表示的那樣有560種，但不管使用哪一種攝像模式皆可。B = 16 ！ +(3! X 13 ！ ) = 560 (數(shù)學式 14)攝像模式例如也可為{9,9,9,10，10，10，10，10，10，10，10，10，10，10，10，10}，也可 為{10，10，10，10，10，9，10，10，9，10，10，10，10，10，10,9}。這樣，通過預先設定進行攝像的H間隔的模式，并按照該模式進行攝像，從而能實 現(xiàn)最合適的接近R的分辨率。將其在圖7中作為流程圖示出。圖7中，首先，在步驟S5中，使用上述的(數(shù)學式6)來決定分辨率的目標值。接 著，在步驟S6中，使用(數(shù)學式12)及(數(shù)學式13)來決定攝像間距的模式。按照這樣決 定的模式，在步驟S7中對整個被檢查物進行攝像。此外，為了方便說明，作為攝像元件以線路傳感器為例，但線路傳感器的行方向的 元件數(shù)與這里所舉出的動作無關。因此，可以認為不僅是線路傳感器，對于只有一個元件的 傳感器也是相同的。(實施方式2)使用圖8、圖9說明本實施方式2中的被檢查物的攝像。本實施方式2中，利用拍 攝圖像的坐標和讀取間距之間的乘積來計算出攝像機下一個讀取的位置，從而能夠每次一 邊計算H間隔一邊進行攝像，而不是預先設定進行攝像的H間隔的模式。圖8中示出此時的流程圖。圖8中，與上述的圖7的步驟S5相同，在步驟Sll中計算并決定作為目標的分辨 率。這里，為了說明，將已進行攝像的行數(shù)設為N。該N在步驟S12中預先初始化為“1”。 步驟S13中，計算第N行的攝像位置。第N行的攝像位置等于由步驟Sll決定的作為目標 的分辨率與N之積。步驟S14中，等到被檢查物和攝像機正好到達該攝像位置后進行攝像。 在步驟S15中判斷是否已拍攝完整個被檢查物。若還沒有完成拍攝(S15的否)，則如步驟 S16所示使行數(shù)N增加“ 1 ”后返回至步驟S13。在圖9中示出能夠對此加以實現(xiàn)的結構例。想要進行攝像的間距由設定單元109 設定。不僅可設定整數(shù)而且可設定實數(shù)。實施方式1的例子中，設定的值為R = 9. 8125。每移動一定距離就從線性編碼器105向編碼器計數(shù)器108發(fā)送脈沖。與實施方式1的例子 相同，設脈沖的間距為1[μπι]間距。即，以l[ym]的分辨率來得到當前位置。比較器112 檢測出來自線性編碼器105的輸入值超過來自乘法器111的輸入值時，輸出1個脈沖。該 脈沖被輸入至讀取行數(shù)計數(shù)器110及攝像機102。最開始，設線性編碼器105的輸出為零，并從此單調增加。在讀取行第1行中，乘 法器111的輸出為1X9. 8125 = 9. 8125。線性編碼器105的值逐漸增加，第一次超過該值 是在線性編碼器105的值變成“10”時。此時從比較器112輸出脈沖，攝像機102接受該脈 沖并進行攝像。同時該脈沖被提供給讀取行數(shù)計數(shù)器110，讀取行數(shù)計數(shù)器110的值從“1” 進至“2”。由于乘法器111的輸入成為“2”，因此輸出成為2X9. 8125 = 19. 625。接下來，線性編碼器105的值超過該值是在變成“20”時。如本例所示，在R的值 不是線性編碼器105的分辨率的倍數(shù)的情況下，其結果是讀取間隔成為不相等的間距。此 外，構成方法并不限于這里所示的例子。例如在乘法器111中，也可采用如下結構即，以適 當?shù)奈粩?shù)舍入乘法結果，即進行舍去、四舍五入、進位處理，比較器112僅檢測與該結果是 否一致。另外，也可使用加法器使得在進行讀取的定時將讀取間距相加并保存，而不使用乘 法器111。(實施方式3)使用圖10 圖13說明本實施方式3中的被檢查物的攝像。根據(jù)被檢查物的圖案， 有時重復間距會因其位置不同而不同。例如，如圖10所示，存在下述那樣的被檢查物即， 在一個被檢查物101上制成有重復間距不同的多個部分、例如圖案AlOla及圖案BlOlb。或 者，如圖11所示，在形成于被檢查物101上的具有某一重復間距的圖案ClOlc的周邊，構成 有具有另一重復間距的圖案DIOld。而且，如圖12所示，在較薄的被檢查物201等情況下，有時會因制造工序中在被檢 查物201上產(chǎn)生伸縮等變形部分202等而使重復間距局部不同。在這種情況下也可通過使 用本實施方式3從而動態(tài)改變讀取間距來進行應對。不管是預先決定H間距的模式的方法， 還是每次一邊計算H間距一邊進行攝像的方法，都能對其進行實施。圖13中示出每次一邊計算H間隔一邊進行攝像的情況下的結構例。將與被檢查 物的位置對應的間距預先從攝像間距的設定單元109存儲到對被檢查物的位置與讀取間 距的關系進行保存的保存單元113中，并對應于讀取行數(shù)計數(shù)器110的值進行讀出，通過發(fā) 送到乘法器111從而使讀取間距動態(tài)改變。除此以外的動作與實施方式2的圖9所示的情 況相同。利用編碼器計數(shù)器108對來自線性編碼器105的輸出脈沖進行計數(shù)，利用比較器 112將該輸出與乘法器111的輸出進行比較，利用輸出的脈沖來決定攝像機102的攝像定 時。另外，例如當預先決定的大致的R的值為10 [μ m/像素]時，在對T= 157 [ μ m] 的被檢查物進行攝像的情況下，與 ο [μ m/像素]最接近的R為根據(jù)(數(shù)學式6)得到的N =16時的R的值即R = 9. 8125 [ μ m/像素]。然而，若R變小，則攝像機的速度有時會無法 應對。因此，需要使R成為由攝像機的性能等決定的、比預先設定的值大的值。這里，若假 設附加R比10 [ μ m/像素]要大的條件，則所得到的解根據(jù)(數(shù)學式6)，成為N = 15時的 R的值即R = 10. 4666…[μ m/像素]。這樣，通過在決定N時對R的值設定下限，從而能降 低對于攝像機所要求的性能。
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另外，通過使用TDI傳感器以作為線路傳感器，從而能減小對于每一檢查部位的
靈敏度偏差。通過使用TDI傳感器，從而分辨率發(fā)生變化的工作上的位置對應于TDI傳感器的 級數(shù)而分散。在使分辨率變化的模式的長度比TDI傳感器的級數(shù)充分短的情況下，其效果 顯著。由此，在使用并非TDI傳感器的傳感器的情況下，因使分辨率變化的模式的排列、和 對于被檢查物的掃描的開始點的變化，即使對相同被檢查物進行攝像，所得到的圖像也會 發(fā)生變化，但在使用TDI傳感器的情況下，起到可相對地抑制該圖像的變化的效果。工業(yè)上的實用性本發(fā)明所涉及的攝像檢查方法中，即使被檢查物的重復周期不是拍攝圖像的分辨 率的整數(shù)倍，也能調節(jié)成整數(shù)比來進行攝像，因此能夠除去被檢查物上的正常的重復圖案， 準確地檢測出缺陷的圖案，其作為對設于液晶顯示裝置、等離子體顯示裝置、有機EL顯示 裝置、太陽能電池等基板上、且一部分或全部具有重復圖案的圖案形狀進行檢查的方法是 有用的。
權利要求
一種攝像檢查方法，其特征在于，在根據(jù)來自編碼器的信號對被檢查物上的等間隔的圖案的圖像進行攝像并檢查時，進行掃描并攝像，該掃描中，所述進行攝像的間隔中的至少一個間隔成為與根據(jù)所述被檢查物的圖案間的間隔而決定的來自所述編碼器的信號的輸出間隔不相等的間隔。
2.如權利要求1所述的攝像檢查方法，其特征在于，將來自所述編碼器的信號的輸出間隔設為Hk、將成為Hk的模式的數(shù)量設為Nk時，在由 Rs =Σ (NkXHk)+ Σ (Nk)得到的分辨率Rs成為所要的分辨率的條件下進行攝像。
3.如權利要求1所述的攝像檢查方法，其特征在于，在所述等間隔的圖案的間隔與根據(jù)所述被檢查物的圖案間的間隔而決定的來自所述 編碼器的信號的輸出間隔之差的累積超過閾值的情況下，進行所述不相等的間隔的掃描。
4.如權利要求1所述的攝像檢查方法，其特征在于， 對應于所述被檢查物中的圖案的位置使攝像的間隔變化。
5.如權利要求1所述的攝像檢查方法，其特征在于，所述不相等的間隔比根據(jù)所述被檢查物的圖案間的間隔而決定的來自所述編碼器的 信號的輸出間隔大。
6.如權利要求1所述的攝像檢查方法，其特征在于，使用進行時間延遲積分(TDI =Time Delayed Integration)動作的元件作為進行攝像 的元件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在進行攝像時、僅使分辨率變化、準確地除去重復圖案、檢測出缺陷圖案的攝像檢查方法的結構及方法。在檢查具有重復圖案的被檢查物時，為了從拍攝到的圖像上除去正常的重復圖案，以使被檢查物的重復周期與拍攝圖像的分辨率成為整數(shù)比那樣的分辨率進行攝像。并決定適當?shù)亩〞r，使得攝像機進行攝像的定時采用不相等的間隔，使得利用攝像機對重復圖案的被檢查物的一部分101’進行攝像，得到拍攝圖像151。由此，以被檢查物的重復周期與拍攝圖像的分辨率成為整數(shù)比的分辨率進行攝像，能夠除去正常的重復圖案，且能夠檢測出缺陷圖案。
文檔編號G01N21/956GK101923060SQ201010200538
公開日2010年12月22日 申請日期2010年6月2日 優(yōu)先權日2009年6月4日
發(fā)明者巢之內聰裕, 福田雅典, 脅谷康一 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社