專利名稱：探針接觸電阻在線測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成電路芯片測(cè)量方法，具體涉及一種探針接觸電阻在線測(cè)量方法。
背景技術(shù)：
在集成電路的晶片測(cè)試中，必須要用到探針卡來作為被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)之間的接 口。通常的測(cè)試中，將已知信號(hào)輸入被測(cè)芯片，然后測(cè)量該芯片對(duì)輸入信號(hào)的反映，該信號(hào) 的路徑為在測(cè)試機(jī)通過電纜到測(cè)試頭，再通過測(cè)試頭到探針卡，然后通過探針到被測(cè)芯片 的焊盤(PAD)，并按原路徑返回。探針卡上的探針直接與被測(cè)芯片的焊盤相連接，在現(xiàn)有的 晶片測(cè)試中，有其是高溫晶片測(cè)試，隨著針扎次數(shù)的增加，探針慢慢被氧化和被沾污，探針 的接觸電阻會(huì)漸漸變大，探針的接觸電阻在很大程度上取決于探針的材料與形狀、PAD的材 料、觸點(diǎn)的壓力，以及探針的磨損和污染的狀況等。探針電阻變大，會(huì)影響到測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn) 確性，一般常用的做法是設(shè)定每扎針約幾百次就進(jìn)行清針一次，但是這樣操作不但浪費(fèi)資 源，而且探針越往后使用，其電阻就會(huì)越大。為了保證測(cè)試的準(zhǔn)確性和一致性，需要在每次測(cè)試時(shí)施加到PAD上的電壓、電流 等參數(shù)準(zhǔn)確一致，也就是說需要保證探針接觸電阻的變化越小越好。通常，針卡公司會(huì)從探 針的角度出發(fā)，尋找一種抗氧化抗沾污能力較強(qiáng)的探針，就目前來講，這種材料的探針也確 實(shí)存在，但是，費(fèi)用及其昂貴，用這種探針來對(duì)一些價(jià)格低廉的消費(fèi)類產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試得不償 失。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的測(cè)試探針電阻易變化影響測(cè)量精度的問題，本發(fā)明提 供一種增加測(cè)量精度的測(cè)量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種探針接觸電阻在線測(cè)量方法，包括以下步驟 探針卡連接被測(cè)芯片和測(cè)試機(jī)，所述探針卡上的測(cè)量探針直接與所述被測(cè)芯片上的焊盤相 連，所述焊盤上連接第一電線和第二電線，所述第一電線為高阻線，所述第二電線為低阻 線，所述測(cè)量探針和所述第二電線相連；增加一測(cè)試探針，所述測(cè)試探針和所述第一電線相 連；在所述第二電線上施加電壓，并測(cè)得所述第二電線上的電流值；測(cè)量所述第一電線端 的電壓值，即為所述測(cè)試探針上的電壓值；將所述第二電線上施加的電壓值與所述測(cè)試探 針上的電壓值之差除以所述第二電線上的電流值，獲得所述測(cè)量探針上的電阻；根據(jù)所述 電阻計(jì)算所述被測(cè)芯片的焊盤上的電壓修正值；在所述被測(cè)芯片的焊盤上施加經(jīng)修正后的 電壓?？蛇x的，所述測(cè)量探針和所述測(cè)試探針的材料均為銅?？蛇x的，所述電壓修正值等于通過所述測(cè)量探針的電流乘以所計(jì)算得出的測(cè)量探 針的電阻。本發(fā)明一種探針接觸電阻在線測(cè)量方法的有益效果主要表現(xiàn)在本發(fā)明提供的探針接觸電阻在線測(cè)量方法在測(cè)量過程中，同時(shí)測(cè)量探針的電阻，并實(shí)時(shí)修正施加在探針上 的電壓，抵消因探針電阻變大而引起的測(cè)量誤差，從而提高了測(cè)量的精度。


圖1為本發(fā)明探針接觸電阻在線測(cè)量方法的流程示意圖。圖2為本發(fā)明探針接觸電阻在線測(cè)量方法的實(shí)際應(yīng)用示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說明。首先，請(qǐng)參考圖1，圖1為本發(fā)明探針接觸電阻在線測(cè)量方法的流程示意圖，從圖 中可以看出，本發(fā)明探針接觸電阻在線測(cè)量方法包括以下步驟步驟20 探針卡連接被測(cè)芯片和測(cè)試機(jī)，所述探針卡上的測(cè)量探針直接與所述被 測(cè)芯片上的焊盤相連，所述焊盤上連接第一電線和第二電線，所述第一電線為高阻線，所述 第二電線為低阻線，所述測(cè)量探針和所述第二電線相連，該步驟為測(cè)量的基本步驟；步驟21 增加一測(cè)試探針，所述測(cè)試探針和所述第一電線相連，該測(cè)試探針和測(cè) 量探針是屬于同一批次的探針，材料也相同，本實(shí)施例中采用銅，因?yàn)椴牧舷嗤?，批次相同?因此測(cè)試探針和測(cè)量探針的電阻也相同；根據(jù)所述電阻計(jì)算所述被測(cè)芯片的焊盤上的電壓修正值；在所述被測(cè)芯片的焊盤 上施加經(jīng)修正后的電壓。步驟22 在所述第二電線上施加電壓，并測(cè)得所述第二電線上的電流，測(cè)電流一 般是在電路中串聯(lián)一個(gè)電流表，測(cè)得的該電流值也就是通過測(cè)量探針上的電流值；步驟23 測(cè)量所述第一電線端的電壓值，即為所述測(cè)試探針上的電壓值，測(cè)電壓 值是在測(cè)試探針上并聯(lián)一個(gè)電壓表，測(cè)量測(cè)試探針上的電壓值，是為了計(jì)算電阻；步驟24 將所述第二電線上施加的電壓值與所述測(cè)試探針上的電壓值之差除以 所述第二電線上的電流值，獲得所述測(cè)量探針上的電阻；步驟25 根據(jù)所述電阻計(jì)算所述被測(cè)芯片的焊盤上的電壓修正值，即原先在測(cè)量 探針上，會(huì)施加一定的電壓，通過一定的電流，以作測(cè)試，電壓修正值等于通過測(cè)量探針的 電流乘以所計(jì)算得出的測(cè)量探針的電阻，修正后的電壓等于原先的電壓值加上電壓修正 值；步驟26 在所述被測(cè)芯片的焊盤上施加經(jīng)修正后的電壓。接著，請(qǐng)參考圖2，圖2為本發(fā)明探針接觸電阻在線測(cè)量方法的實(shí)際應(yīng)用示意圖， 圖中可以看到，第一電線11和第二電線12均連接于焊盤10上，所述第一電線為高阻線，所 述第二電線為低阻線，測(cè)試探針連接于第一電線，測(cè)量探針連接于第二電線上。本發(fā)明提供的探針接觸電阻在線測(cè)量方法在測(cè)量過程中，同時(shí)測(cè)量探針的電阻， 并實(shí)時(shí)修正施加在探針上的電壓，抵消因探針電阻變大而引起的測(cè)量誤差，從而提高了測(cè) 量的精度。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技 術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤飾。因 此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種探針接觸電阻在線測(cè)量方法，包括以下步驟探針卡連接被測(cè)芯片和測(cè)試機(jī)，所述探針卡上的測(cè)量探針直接與所述被測(cè)芯片上的焊盤相連，所述焊盤上連接第一電線和第二電線，所述第一電線為高阻線，所述第二電線為低阻線，所述測(cè)量探針和所述第二電線相連；其特征在于所述測(cè)量方法還包括增加一測(cè)試探針，所述測(cè)試探針和所述第一電線相連；在所述第二電線上施加電壓，并測(cè)得所述第二電線上的電流值；測(cè)量所述第一電線端的電壓值，即為所述測(cè)試探針上的電壓值；將所述第二電線上施加的電壓值與所述測(cè)試探針上的電壓值之差除以所述第二電線上的電流值，獲得所述測(cè)量探針上的電阻；根據(jù)所述電阻計(jì)算所述被測(cè)芯片的焊盤上的電壓修正值；在所述被測(cè)芯片的焊盤上施加經(jīng)修正后的電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針接觸電阻在線測(cè)量方法，其特征在于所述測(cè)量探針和 所述測(cè)試探針的材料均為銅。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針接觸電阻在線測(cè)量方法，其特征在于所述電壓修正值 等于通過所述測(cè)量探針的電流乘以所計(jì)算得出的測(cè)量探針的電阻。
全文摘要
本發(fā)明提出一種探針接觸電阻在線測(cè)量方法，包括以下步驟探針卡連接被測(cè)芯片和測(cè)試機(jī)，探針卡上的測(cè)量探針直接與被測(cè)芯片上的焊盤相連，焊盤上連接第一電線和第二電線；增加一測(cè)試探針，測(cè)試探針和第一電線相連；在第二電線上施加電壓，并測(cè)得第二電線上的電流值；測(cè)述第一電線端的電壓值，即為測(cè)試探針上的電壓值；將第二電線上施加的電壓值與測(cè)試探針上的電壓值之差除以第二電線上的電流值，獲得測(cè)量探針上的電阻；根據(jù)電阻計(jì)算被測(cè)芯片的焊盤上的電壓修正值；在被測(cè)芯片的焊盤上施加經(jīng)修正后的電壓。本發(fā)明提供的測(cè)量方法能夠?qū)崟r(shí)的測(cè)量探針上的電阻從而提供修正后的電壓，減少了因探針電阻發(fā)生變化而導(dǎo)致測(cè)量誤差，提高了測(cè)量的精度。
文檔編號(hào)G01R27/08GK101937021SQ20101021648
公開日2011年1月5日 申請(qǐng)日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者余琨, 劉遠(yuǎn)華, 葉守銀, 張志勇, 湯雪飛, 牛勇, 王錦, 祁建華 申請(qǐng)人:上海華嶺集成電路技術(shù)有限責(zé)任公司