專(zhuān)利名稱(chēng)：一種短弧汞燈測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及燈管測(cè)試裝置，尤其涉及一種短弧汞燈測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
短弧汞燈是一種管內(nèi)封入水銀的超高壓汞燈，點(diǎn)燃時(shí)由于高壓汞蒸汽放電可產(chǎn)生 強(qiáng)紫外光譜，常用于工業(yè)光刻領(lǐng)域。由于短弧汞燈啟動(dòng)時(shí)有瞬間高壓，在穩(wěn)定工作狀態(tài)的時(shí) 候具有大電流、高溫、強(qiáng)紫外輻射等特點(diǎn)，人們?cè)跍y(cè)試其光電特性時(shí)，既要保證短弧汞燈能 夠在良好通風(fēng)散熱的環(huán)境下點(diǎn)燃測(cè)試，還要避免人體不被其所發(fā)出的強(qiáng)烈紫外線直接照射 導(dǎo)致?lián)p傷，因此，在對(duì)短弧燈進(jìn)行品質(zhì)測(cè)試時(shí)，對(duì)測(cè)試環(huán)境的要求較高。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種使用安全、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的短弧汞燈測(cè)
I式 ο本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種短弧汞燈測(cè)試裝置，包括 殼體、設(shè)置在所述殼體內(nèi)用于固定的短弧汞燈的燈座、與短弧汞燈電連接的接線電極、將短 弧汞燈產(chǎn)生的熱量排至所述殼體外的散熱組件，所述接線電極與所述殼體之間設(shè)有絕緣組 件，所述殼體上設(shè)有觀察短弧汞燈工作情況的觀察窗。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，所述接線電極包括與短弧汞燈第一電極電連接的第 一接線電極、與短弧汞燈第二電極電連接的第二接線電極；所述絕緣組件包括設(shè)置在所述 第一接線電極與所述殼體間的第一絕緣柱、設(shè)置在所述第二接線電極與所述殼體間的第二 絕緣柱；所述第一接線電極固定在所述燈座上，所述第一絕緣柱與所述燈座固定連接，所述 第二接線電極固定在所述第二絕緣柱上。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，短弧汞燈包括第一燈頭和第二燈頭，所述第一燈頭 與所述燈座固定連接，所述散熱組件包括正對(duì)所述第一燈頭的第一送風(fēng)管、正對(duì)所述第二 燈頭的第二送風(fēng)管、抽風(fēng)風(fēng)扇、設(shè)置在所述殼體上的散熱片。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，所述散熱片設(shè)置在所述殼體的內(nèi)表面，所述散熱片 上設(shè)置有凹槽。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，所述抽風(fēng)風(fēng)扇設(shè)置在所述殼體頂部。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，所述觀察窗上安裝有過(guò)濾紫外線的玻璃。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，所述殼體上設(shè)置有門(mén)。在上述短弧汞燈測(cè)試裝置中，所述殼體為由金屬制成的箱體。實(shí)施本實(shí)用新型短弧汞燈測(cè)試裝置具有以下有益效果通過(guò)設(shè)置殼體可有效的屏 蔽短弧汞燈測(cè)試時(shí)產(chǎn)生的強(qiáng)紫外線，設(shè)在殼體上的觀察窗可用來(lái)觀察短弧燈工作情況。絕 緣組件可防止殼體通電，提高了安全性能。散熱組件可將測(cè)試過(guò)程中短弧汞燈產(chǎn)生的熱量 及時(shí)排離殼體，避免溫度過(guò)高影響短弧汞燈的壽命和性能。整個(gè)短弧汞燈測(cè)試裝置安全性 高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中圖1是本實(shí)用新型短弧汞燈測(cè)試裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中散熱片的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型短弧汞燈測(cè)試裝置包括殼體1、燈座5、接線電極、散熱組 件、絕緣組件、觀察窗8。短弧汞燈2位于殼體1內(nèi)。殼體1是由金屬制成的箱體，殼體1上設(shè)置有門(mén)7。被測(cè)試的短弧汞燈2放置在 殼體1內(nèi)，殼體1可有效屏蔽短弧汞燈2工作時(shí)產(chǎn)生的強(qiáng)紫外線。短弧汞燈2包括第一燈 頭201和第二燈頭202，第一燈頭201固定在燈座5上。本實(shí)施中的汞燈2是垂直放置的。 接線電極包括與短弧汞燈2第一電極電連接的第一接線電極301、與短弧汞燈2第二電極電 連接的第二接線電極302。第一接線電極301與第二接線電極302之間有高電壓，保證短 弧汞燈2能夠正常工作。因?yàn)榈谝唤泳€電極301和第二接線電極302之間存在高壓，為了 防止高壓電對(duì)人體產(chǎn)生傷害，必須在接線電極與殼體1之間設(shè)置絕緣組件。絕緣組件包括 第一絕緣柱401和第二絕緣柱402。第一絕緣柱401設(shè)置在第一接線電極301與殼體1之 間，第一接線電極301固定在燈座5上，第一絕緣柱401設(shè)置在燈座5與殼體1之間，第一 絕緣柱401與燈座5固定連接。第二絕緣柱402設(shè)置在第二接線電極302與殼體1之間， 第二絕緣柱402固定在殼體1上，第二接線電極302固定在第二絕緣柱402上。第二接線 電極302的位置可以任意設(shè)置，但不能和第一接線電極301距離過(guò)近。觀察窗8設(shè)置在殼體1上，其可以設(shè)置在門(mén)7上，也可以設(shè)置在殼體1的其它位置， 只要能觀察到殼體1內(nèi)短弧汞燈2的工作情況即可。因?yàn)槎袒」療?工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)紫外 線，觀察窗8上須安裝能有效過(guò)濾紫外線的玻璃。散熱組件包括第一送風(fēng)管601、第二送風(fēng)管602、抽風(fēng)風(fēng)扇603、散熱片9。第一送 風(fēng)管601正對(duì)第一燈頭201，第二送風(fēng)管602正對(duì)第二燈頭202，第一送風(fēng)管601和第二送 風(fēng)管602內(nèi)通入涼風(fēng)，能有效的冷卻短弧汞燈2。抽風(fēng)風(fēng)扇603設(shè)置在殼體1的頂端，抽風(fēng) 風(fēng)扇603與送風(fēng)管之間形成空氣對(duì)流，能及時(shí)有效的將短弧汞燈2產(chǎn)生的熱量排離殼體1， 降低短弧汞燈2的環(huán)境溫度，保證短弧汞燈2的使用壽命和工作性能。散熱片9設(shè)置在殼 體的內(nèi)表面上，增加散熱效果。散熱片9上設(shè)置有凹槽901，設(shè)置凹槽901不僅可以增大散 熱片9的散熱面積，同時(shí)凹槽901還可以避免過(guò)多的光被反射回短弧汞燈2上而導(dǎo)致短弧 汞燈2溫度升高。將短弧汞燈2安裝好后，必須先檢查第一送風(fēng)管601、第二送風(fēng)管602和抽風(fēng)風(fēng)扇 603的工作情況，確認(rèn)送風(fēng)管和抽風(fēng)風(fēng)扇603正常工作后，關(guān)上門(mén)，第一接線電極301和第 二接線電極302通電，通過(guò)觀察窗8即可觀察短弧汞燈2的工作情況。殼體1可有效的屏 蔽短弧汞燈2測(cè)試時(shí)產(chǎn)生的強(qiáng)紫外線，絕緣組件可防止殼體1通電，提高了安全性能。散熱 組件可將測(cè)試過(guò)程中短弧汞燈2產(chǎn)生的熱量及時(shí)排離殼體1，避免溫度過(guò)高影響短弧汞燈2 的壽命和性能。整個(gè)短弧汞燈測(cè)試裝置安全性高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。雖然本實(shí)用新型是通過(guò)具體實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明的，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，在不脫離本實(shí)用新型范圍的情況下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種變換及等同替代。另外，針對(duì) 特定情形或材料，可以對(duì)本實(shí)用新型做各種修改，而不脫離本實(shí)用新型的范圍。因此，本實(shí) 用新型不局限于所公開(kāi)的具體實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)包括落入本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍內(nèi)的全部 實(shí)施方式。
權(quán)利要求1.一種短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，包括殼體(1)、設(shè)置在所述殼體(1)內(nèi)用于固 定被測(cè)短弧汞燈(2)的燈座(5)、與短弧汞燈(2)電連接的接線電極、將短弧汞燈(2)產(chǎn)生的 熱量排至所述殼體(1)外的散熱組件，所述接線電極與所述殼體(1)之間設(shè)有絕緣組件，所 述殼體(1)上設(shè)有觀察短弧汞燈(2 )工作情況的觀察窗(8 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，所述接線電極包括與短弧 汞燈(2)第一電極電連接的第一接線電極(301)、與短弧汞燈(2)第二電極電連接的第二接 線電極(302);所述絕緣組件包括設(shè)置在所述第一接線電極(301)與所述殼體(1)間的第一 絕緣柱(401)、設(shè)置在所述第二接線電極(302 )與所述殼體(1)間的第二絕緣柱(402 )；所述 第一接線電極(301)固定在所述燈座(5 )上，所述第一絕緣柱(401)與所述燈座(5 )固定連 接，所述第二接線電極(302)固定在所述第二絕緣柱(402)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，短弧汞燈(2)包括第一燈 頭(201)和第二燈頭(202)，所述第一燈頭(201)與所述燈座(5)固定連接，所述散熱組件 包括正對(duì)所述第一燈頭(201)的第一送風(fēng)管(601)、正對(duì)所述第二燈頭(202 )的第二送風(fēng)管 (602)、抽風(fēng)風(fēng)扇(603)、設(shè)置在所述殼體(1)上的散熱片(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，所述散熱片(9)設(shè)置在所述 殼體(1)的內(nèi)表面，所述散熱片(9)上設(shè)置有凹槽(901 )。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，所述抽風(fēng)風(fēng)扇(603)設(shè)置在 所述殼體(1)頂部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，所述觀察窗(8)上安裝有過(guò) 濾紫外線的玻璃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1任意一項(xiàng)所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，所述殼體(1)上設(shè) 置有門(mén)(7)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的短弧汞燈測(cè)試裝置，其特征在于，所述殼體(1)為 由金屬制成的箱體。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種短弧汞燈測(cè)試裝置，包括殼體(1)、設(shè)置在所述殼體(1)內(nèi)固定短弧汞燈(2)的燈座(5)、與短弧汞燈(2)電連接的接線電極、將短弧汞燈(2)產(chǎn)生的熱量排至所述殼體(1)外的散熱組件，所述接線電極與所述殼體(1)之間設(shè)有絕緣組件，所述殼體(1)上設(shè)有觀察短弧汞燈(2)工作情況的觀察窗(8)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型短弧汞燈測(cè)試裝置安全性高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)G01R31/24GK201867465SQ201020645750
公開(kāi)日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月7日
發(fā)明者尤玉尤, 蔡志國(guó) 申請(qǐng)人:深圳市凱世光電科技有限公司