專利名稱：缺陷檢查用圖像處理裝置和缺陷檢查用圖像處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢查片狀等被檢查物的缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)以及用于它的缺陷檢查用攝像裝置、缺陷檢查用圖像處理裝置、缺陷檢查用圖像處理程序、用于記錄缺陷檢查用圖像處理程序的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)和缺陷檢查用圖像處理方法。
背景技術(shù)：
一般地，在檢查片狀的被檢查物的缺陷時(shí)，經(jīng)常使用下述方法將光照射到被檢查物上，通過測(cè)量和分析其透射光或者反射光，來檢測(cè)被檢查物的缺陷。該方法根據(jù)缺陷檢查裝置的光學(xué)系統(tǒng)的配置，如圖15所示，大體分類為4 種。圖15 (a)所示的光學(xué)系統(tǒng)的配置被稱為正透射法，圖15 (b)所示的光學(xué)系統(tǒng)的配置被稱為透射散射法。一般地，如正透射法和透射散射法那樣，用于測(cè)量透射光的方法在檢查光透射率較高的被檢查物502時(shí)被使用。此外，圖15(c)所示的光學(xué)系統(tǒng)的配置被稱為正反射法，圖15(d)所示的光學(xué)系統(tǒng)的配置被稱為反射散射法。一般地，如正反射法和反射散射法那樣，用于測(cè)量反射光的方法在檢查光透射率較低的被檢查物502時(shí)被使用。此外，將以下方法稱為明視場(chǎng)法，即如正透射法和正反射法那樣，在從光源503照射的光的光軸上配置行傳感器(line sensor) 501,用行傳感器501測(cè)量來自被檢查物502的非散射光(正透射光或者正反射光)的方法。另一方面，將以下方法稱為暗視場(chǎng)法或者光軸錯(cuò)開法，即如透射散射法和反射散射法那樣，與從光源503照射的光的光軸上錯(cuò)開而配置行傳感器501，在光源503和被檢查物502之間配置遮光體(刀刃)504使得來自被檢查物502的非散射光不直接入射到行傳感器501，使行傳感器501的焦點(diǎn)與遮光體504的端部對(duì)準(zhǔn)，并且用行傳感器501測(cè)量來自被檢查物502的散射光(散射透射光或者散射反射光)的方法。而且，在暗視場(chǎng)法或者光軸錯(cuò)開法中，也可以省略遮光體504而配置行傳感器501使得來自被檢查物502的非散射光不直接入射到行傳感器501。在明視場(chǎng)法中，由于來自光源503的光由被檢查物502的缺陷進(jìn)行散射，因此行傳感器501接收的非散射光的光量會(huì)減少。在明視場(chǎng)法中，根據(jù)該行傳感器501接收的光的減少量(變化量)來判斷被檢查物502的缺陷的有無。對(duì)于明視場(chǎng)法，由于檢測(cè)靈敏度較低，因此是適合于檢測(cè)減少量大且缺陷較大的情況的方法。與暗視場(chǎng)法比較，由于光學(xué)系統(tǒng)的配置容易進(jìn)行，因此工作穩(wěn)定，易于實(shí)用化。另一方面，在暗視場(chǎng)法中，光傳感器501接收由被檢查物502的缺陷所散射的光，根據(jù)該光接收量來判斷被檢查物502的缺陷的有無。對(duì)于暗視場(chǎng)法，與明視場(chǎng)法相比，缺陷的檢測(cè)靈敏度較高，能夠檢測(cè)微小的凹凸(缺陷)。但是，由于需要將光學(xué)系統(tǒng)(行傳感器501、光源503和遮光體504)高精度地配置，因此實(shí)用化受到限制。一般地，由于能夠用目視確認(rèn)被檢查物較大的缺陷，因此希望缺陷檢查裝置能夠檢測(cè)微小的缺陷。因此，在缺陷檢查裝置中使用暗視場(chǎng)法的情況較多。但是，由于在暗視場(chǎng)法中如上述那樣在實(shí)用中光學(xué)系統(tǒng)的配置是困難的，因此存在難以精度良好地檢查被檢查物的缺陷的問題。
專利文獻(xiàn)I公開了用于解決該問題的技術(shù)。專利文獻(xiàn)I公開的技術(shù)，為了高精度地檢測(cè)被檢查物的缺陷的有無，對(duì)于光學(xué)系統(tǒng)的配置，規(guī)定了合適的遮光體的大小。(現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn))(專利文獻(xiàn))專利文獻(xiàn)I :日本特開2007-333563號(hào)公報(bào)(2007年12月27日公開)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2008-292171號(hào)公報(bào)(2008年12月4日公開)(發(fā)明概要)(發(fā)明所要解決的技術(shù)問題)但是，由于由被檢查物的缺陷引起怎樣的光線路徑的變化按照缺陷的類型(大小等)而不同，因此，合適的光學(xué)系統(tǒng)的配置(光源和光接收裝置之間的位置關(guān)系等)、遮光體的大小實(shí)際上按照缺陷的類型(大小等)而不同。在專利文獻(xiàn)I中還記載了為了檢測(cè)光學(xué)變形微小的缺陷，需要將線性透射照明裝置與光接收機(jī)構(gòu)的位置相鄰(第
段)。因此，對(duì)于上述那樣的現(xiàn)有技術(shù)，存在下述的問題一次性以足夠的精度對(duì)由缺陷產(chǎn)生的光線路徑的變化不同的各種類型的缺陷進(jìn)行檢查是困難的。在使用暗視場(chǎng)法的缺陷檢查裝置中，如上所述，由于需要高精度地配置光學(xué)系統(tǒng)，因此根據(jù)缺陷的類型來變更光學(xué)系統(tǒng)的配置和遮光體的大小在實(shí)用上是困難的。因此，在現(xiàn)有技術(shù)的使用暗視場(chǎng)法的缺陷檢查裝置中存在下述的問題通過選擇能夠?qū)^多存在的特定類型的缺陷進(jìn)行檢測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)的配置和遮光體的大小來進(jìn)行使用，有時(shí)并不能夠以足夠的精度來檢測(cè)一部分類型的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，能夠?qū)崿F(xiàn)一種一次性以足夠的精度對(duì)由缺陷產(chǎn)生的光線路徑的變化不同的各種類型的缺陷進(jìn)行檢測(cè)的缺陷檢查系統(tǒng)以及用于它的缺陷檢查用攝像裝置、缺陷檢查用圖像處理裝置、缺陷檢查用圖像處理程序、以及用于記錄缺陷檢查用圖像處理程序的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)和缺陷檢查用圖像處理方法。為了解決上述問題，本發(fā)明的缺陷檢查用圖像處理裝置，是處理在使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)下由攝像部在時(shí)間上連續(xù)拍攝到的上述被檢查物的二維圖像的圖像數(shù)據(jù)、且由此生成用于檢查上述被檢查物的缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)的缺陷檢查用圖像處理裝置，包括相同行提取機(jī)構(gòu)，其從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)中，分別提取圖像數(shù)據(jù)上位置相同的I行的行數(shù)據(jù)；以及行合成機(jī)構(gòu)，其將由上述相同行提取機(jī)構(gòu)所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成多行的行合成圖像數(shù)據(jù)，上述相同行提取機(jī)構(gòu)是對(duì)于上述圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置，分別提取上述行數(shù)據(jù)的機(jī)構(gòu)，上述行合成機(jī)構(gòu)是針對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置，將由上述相同行提取機(jī)構(gòu)所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成不同的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的機(jī)構(gòu)，該裝置還包括操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu)，其對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，生成I行或者多行的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)；以及累計(jì)機(jī)構(gòu)，其針按照每個(gè)像素來累計(jì)對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值，從而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。 此外，為了解決上述問題，本發(fā)明的缺陷檢查用圖像處理方法，是處理在使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)下由攝像部在時(shí)間上連續(xù)拍攝到的上述被檢查物的二維圖像的圖像數(shù)據(jù)、且由此生成用于檢查上述被檢查物的缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)的缺陷檢查用圖像處理方法，包括相同行提取步驟，從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)中，分別提取圖像數(shù)據(jù)上位置相同的I行的行數(shù)據(jù)；以及行合成步驟，將在上述相同行提取步驟所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成多行的合成圖像數(shù)據(jù)，上述相同行提取步驟是對(duì)于上述圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置，分別提取上述行數(shù)據(jù)的步驟，上述行合成步驟是針對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置，將在上述相同行提取步驟所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成不同的多個(gè)的行合成圖像數(shù)據(jù)的步驟，該方法還包括操作符運(yùn)算步驟，對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，生成I行或者多行的多個(gè)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)；以及累計(jì)步驟，按照每個(gè)像素來累計(jì)對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值，從而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
此外，根據(jù)上述構(gòu)成，從由攝像部在時(shí)間上連續(xù)拍攝到的上述被檢查物的二維圖像的多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)中，分別提取圖像數(shù)據(jù)上位置相同的I行的行數(shù)據(jù)，對(duì)于上述圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置，同樣地進(jìn)行該提取處理。然后，將提取的行數(shù)據(jù)按照上述圖像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置在時(shí)序上進(jìn)行排列，從而生成由多個(gè)行構(gòu)成的不同的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)。由于使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，因此上述不同的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)是與分別以不同的拍攝角度對(duì)上述被檢查物進(jìn)行了拍攝的圖像數(shù)據(jù)相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)。因此，通過生成上述行合成圖像數(shù)據(jù)，不變更攝像部相對(duì)于上述被檢查物的拍攝角度，就能夠得到以不同的拍攝角度對(duì)上述被檢查物進(jìn)行拍攝的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)。因此，在對(duì)因缺陷產(chǎn)生的光線路徑的變化不同的各種類型的缺陷分別進(jìn)行檢查時(shí)，能夠獲得以最佳的多個(gè)拍攝角度所拍攝到的行合成圖像數(shù)據(jù)。因此，獲得如下效果通過參考該多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，能夠?qū)σ蛉毕莓a(chǎn)生的光線路徑的變化不同的被檢查物上的各種類型的缺陷一次性以足夠的精度進(jìn)行檢測(cè)。即使光學(xué)系統(tǒng)的配置精度不高，由于得到的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的任何一個(gè)變成與在將光學(xué)系統(tǒng)精度良好地配置時(shí)所得到的圖像數(shù)據(jù)同等，因此能夠精度良好地檢測(cè)缺陷。此外，根據(jù)上述構(gòu)成，操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu)通過對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，來分別生成I行或者多行的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。因此，由于上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的各個(gè)像素上的亮度變化被強(qiáng)調(diào)，因此易于檢測(cè)出微小缺陷、細(xì)缺陷或者淺缺陷等。此外，根據(jù)上述構(gòu)成，按每個(gè)像素來累計(jì)對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值，從而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。通過進(jìn)行累計(jì)，能夠降低噪聲。此外，得到表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的方法沒有特別地限定，例如包括(1)在上述相同行提取之前，從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中分別確定表示相同部位的行數(shù)據(jù)，對(duì)各個(gè)行數(shù)據(jù)附加表示相同部位的識(shí)別符，在上述操作符運(yùn)算之后，在上述累計(jì)之前，基于上述識(shí)別符從上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中提取表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的方法；(2)在上述相同行提取之前，從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中分別確定表示相同部位的行數(shù)據(jù)，對(duì)各個(gè)行數(shù)據(jù)附加表示相同部位的識(shí)別符，在上述行合成之后，在上述操作符運(yùn)算之前，基于上述識(shí)別符從上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中提取表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，對(duì)提取的表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，通過進(jìn)行上述操作符運(yùn)算，生成表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的方法；(3)在上述操作符運(yùn)算之后，在上述累計(jì)之前，從多個(gè)不同的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中分別確定和提取表示相同部位的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的方法；(4)在上述行合成之后，在上述操作符運(yùn)算之前，從多個(gè)不同的行合成圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中分別確定和提取表示相同部位的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，對(duì)提取的表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，通過進(jìn)行上述操作符運(yùn)算，生成表示上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的方法；等等。此外，本發(fā)明的缺陷檢查用圖像處理裝置，優(yōu)選地，上述操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu)是通過對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行使用了微分操作符的運(yùn)算，來計(jì)算上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上的在各個(gè)像素中的沿著 與中心行正交的方向的亮度值的梯度，且將上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上的各個(gè)像素的亮度值置換成在各個(gè)像素中的亮度值的梯度的絕對(duì)值，從而生成新的I行的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的機(jī)構(gòu)。根據(jù)上述構(gòu)成，上述操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu)對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行使用了微分操作符的運(yùn)算，計(jì)算出上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上的在各個(gè)像素中的沿著與中心行正交的方向的亮度值的梯度，且將上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上的各個(gè)像素的亮度值置換成在各個(gè)像素中的亮度值的梯度的絕對(duì)值，從而生成新的I行的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。通過用絕對(duì)值處理亮度值，亮度值的梯度即使或者為正或者為負(fù)，都能夠?qū)烧邲]有區(qū)別地處理作為表示缺陷的數(shù)據(jù)。也就是說，由于能夠同樣地處理映在明側(cè)的缺陷和映在暗側(cè)的缺陷，因此即使光學(xué)系統(tǒng)的配置精度不高，也能夠精度良好地檢測(cè)缺陷。此外，通過按照每個(gè)像素將上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值進(jìn)行累計(jì)而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)，能夠使表示缺陷的數(shù)據(jù)不相抵消地進(jìn)行相加，因此，即使是對(duì)由于光學(xué)系統(tǒng)的配置而使得映在明側(cè)還是映在暗側(cè)會(huì)發(fā)生變化的這樣的缺陷，也能夠進(jìn)行檢測(cè)(經(jīng)驗(yàn)上可知實(shí)際上這樣的缺陷存在很多)。此外，本發(fā)明的缺陷檢查用圖像處理裝置，優(yōu)選地，上述累計(jì)機(jī)構(gòu)是對(duì)于分別表示上述被檢查物的多個(gè)部分的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，針對(duì)上述被檢查物的每個(gè)部位，將該強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值按照每個(gè)像素進(jìn)行累計(jì)，從而生成分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)的機(jī)構(gòu)，該裝置還包括圖像生成機(jī)構(gòu)，其使分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)與上述被檢查物的部位相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行排列，從而合成新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。根據(jù)上述構(gòu)成，圖像生成機(jī)構(gòu)通過與上述被檢查物的部位相對(duì)應(yīng)地排列，從而合成新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。由于圖像生成機(jī)構(gòu)合成的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)的位置與上述被檢查物的部位相對(duì)應(yīng)，因此能夠容易地檢測(cè)出在被檢查物整體的哪個(gè)位置上具有缺陷。此外，本發(fā)明的缺陷檢查用圖像處理裝置，優(yōu)選地，上述累計(jì)機(jī)構(gòu)，每當(dāng)上述攝像部進(jìn)行拍攝時(shí)，自上述被檢查物的開頭部位起按順序針對(duì)上述被檢查物的每個(gè)部位，將對(duì)上述被檢查物的相同部位的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值按照每個(gè)像素進(jìn)行累計(jì)，從而生成分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。根據(jù)上述構(gòu)成，上述累計(jì)機(jī)構(gòu)每當(dāng)上述攝像部進(jìn)行拍攝時(shí)，自上述被檢查物的開頭部位起按順序?qū)ι鲜霰粰z查物的每個(gè)部位，將對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值按照每個(gè)像素進(jìn)行累計(jì)，從而生成分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。因此，每當(dāng)上述攝像部進(jìn)行拍攝時(shí)，能夠根據(jù)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。因此，由于能夠輸出用于按每幀識(shí)別缺陷的有無的圖像，因此能夠?qū)崟r(shí)地進(jìn)行缺陷檢查。此外，本發(fā)明的缺陷檢查用攝像裝置，包括所述缺陷檢查用圖像處理裝置和在使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)下，在時(shí)間上連續(xù)拍攝述被檢查物的二維圖像的攝像部。根據(jù)上述構(gòu)成，由于包含所述缺陷檢查用圖像處理裝置，因此能夠提供一種缺陷檢查用攝像裝置，其能夠?qū)σ蛉毕莓a(chǎn)生的光線路徑的變化不同的各種類型的缺陷一次性以足夠的精度進(jìn)行檢測(cè)。此外，本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)，是用于檢查被檢查物的缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)，包括所述缺陷檢查用攝像裝置；和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使上述被檢查物和上述攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。根據(jù)上述構(gòu)成，由于包含所述缺陷檢查用攝像裝置，因此能夠提供一種缺陷檢查系統(tǒng)，其能夠?qū)σ蛉毕莓a(chǎn)生的光線路徑的變化不同的各種類型的缺陷一次性以足夠的精度進(jìn)行檢測(cè)。本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)，包括光源，其將光照射到上述被檢查物上；和遮光體，其將從上述光源經(jīng)上述被檢查物透射或者反射而入射到上述攝像部的光進(jìn)行一部分遮擋，該系統(tǒng)使用暗視場(chǎng)法來檢查被檢查物的缺陷。根據(jù)上述構(gòu)成，由于觀察區(qū)域內(nèi)包含從明視場(chǎng)的狀態(tài)過渡到暗視場(chǎng)的狀態(tài)之過程的各種各樣的光學(xué)條件，因此與單獨(dú)使用暗視場(chǎng)法或者明視場(chǎng)法的情況相比，能夠靈敏度良好地檢測(cè)缺陷，能夠檢測(cè)微小缺陷。而且，根據(jù)上述構(gòu)成，與使用需要將光學(xué)系統(tǒng)高精度配置的現(xiàn)有技術(shù)的暗視場(chǎng)法的缺陷檢查系統(tǒng)不同，不需要高精度地配置光學(xué)系統(tǒng)。此外，上述缺陷檢查用圖像處理裝置可以由計(jì)算機(jī)來實(shí)現(xiàn)，在該情況下，通過使計(jì)算機(jī)工作作為上述缺陷檢查用圖像處理裝置的各個(gè)機(jī)構(gòu)，由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)上述缺陷檢查用圖像處理裝置的控制程序、以及記錄它的能夠計(jì)算機(jī)讀取的記錄介質(zhì)也納入本發(fā)明的范疇。(發(fā)明效果)如上所述，本發(fā)明能夠得到對(duì)被檢查物的相同部分以不同的拍攝角度進(jìn)行了拍攝的多個(gè)數(shù)據(jù)。由此，通過參考該多個(gè)數(shù)據(jù)，獲得能夠檢測(cè)被檢查物上的各種類型的缺陷的效
果O


圖I是表示構(gòu)成本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)的作為圖像處理部的圖像分析裝置的主要部分的構(gòu)成的功能方框圖。圖2是表示包括區(qū)域相機(jī)(area camera)、線性光源和刀刃的缺陷檢查用光學(xué)系統(tǒng)的位置關(guān)系的示意圖，(a)是其立體圖，(b)是表示其yz平面的示意圖。圖3是表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)的概要的示意圖。圖4是表示行合成的處理的示意圖，(a)是表示區(qū)域相機(jī)拍攝的480張圖像以時(shí)序排列的概念圖，(b)是表示將該480張圖像數(shù)據(jù)(#1 #480)按順序從左開始并列排列的狀態(tài)的示意圖，(c)是表示從480張的各個(gè)圖像數(shù)據(jù)中提取第N號(hào)的行而排列的狀態(tài)的示意圖。 圖5(a)是表示區(qū)域相機(jī)拍攝的圖像的示意圖，(b)是表示從區(qū)域相機(jī)拍攝的480張的圖像數(shù)據(jù)中提取刀刃附近行并進(jìn)行行合成的圖像的示意圖。圖6是表示圖像處理的一個(gè)例子的示意圖，(a)是行合成的原始的圖像，(b)是對(duì)(a)所示的圖像進(jìn)行了 7X7垂直微分濾波處理的圖像，(C)是對(duì)(b)所示的圖像通過使用拉普拉斯操作符直方圖法根據(jù)固定的閾值而二值化的圖像。圖 7 是表不 RT-LCI (Real Time Line Composition and Integration :實(shí)時(shí)行合成累計(jì)；對(duì)于該內(nèi)容，后述)中的圖像分析裝置的各個(gè)部分的動(dòng)作流程的示意圖。圖8a是表示RT-LCI處理的概要的示意圖，是按每I幀對(duì)各個(gè)存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)和顯示部所顯示的圖像的狀態(tài)進(jìn)行表示的狀態(tài)轉(zhuǎn)移圖。圖8b是表示RT-LCI處理的概要的示意圖，是表示區(qū)域相機(jī)的拍攝范圍和被檢查物之間的關(guān)系的示意圖。 圖8c是表不RT-LCI處理的概要的不意圖，是表不用于生成最初所生成的RT-LCI數(shù)據(jù)的處理的示意圖。圖9是表示第2存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)、變化量計(jì)算部使用的微分操作符、變化量計(jì)算部計(jì)算的亮度數(shù)據(jù)的值的一個(gè)例子的示意圖。圖10是示意地表示由被檢查物的厚度或者翹曲引起的光軸的偏差發(fā)生的樣子的示意圖。圖11是表示實(shí)施例的情況，(a)是表示區(qū)域相機(jī)拍攝的圖像的一個(gè)例子的示意圖，(b)是表示由本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的缺陷檢查系統(tǒng)得到的RT-LCI圖像的一個(gè)例子的示意圖。圖12是表示實(shí)施例的情況，(a)是表示區(qū)域相機(jī)拍攝的圖像的一個(gè)例子的示意圖，(b)是表示行合成圖像的一個(gè)例子的示意圖，(C)是表示由本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的缺陷檢查系統(tǒng)得到的RT-LCI圖像的一個(gè)例子的示意圖。圖13是表示實(shí)施例的情況，(a)是表示區(qū)域相機(jī)拍攝的圖像的一個(gè)例子的示意圖，(b)是表示行合成圖像的一個(gè)例子的示意圖，(C)是表示由本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的缺陷檢查系統(tǒng)得到的RT-LCI圖像的一個(gè)例子的示意圖。圖14是表示實(shí)施例的情況，(a)是表示區(qū)域相機(jī)拍攝的圖像的一個(gè)例子的示意圖，(b)是表示行合成圖像的一個(gè)例子的示意圖，(C)是表示由本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的缺陷檢查系統(tǒng)得到的RT-LCI圖像的一個(gè)例子的示意圖。圖15是表示作為現(xiàn)有技術(shù)的缺陷檢查裝置的光學(xué)系統(tǒng)的配置的情況，(a)是正透射法的光學(xué)系統(tǒng)的配置，(b)是透射散射法的光學(xué)系統(tǒng)的配置，(C)是正反射法的光學(xué)系統(tǒng)的配置，(d)是反射散射法的光學(xué)系統(tǒng)的配置。
具體實(shí)施例方式參考附圖，以下說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。本實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)是用于檢測(cè)成型片的缺陷的系統(tǒng)。本實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)適合于光透射性的成型片、特別是由熱可塑性樹脂等樹脂構(gòu)成的成型片的檢查。作為由樹脂構(gòu)成的成型片，例如，可以舉出通過實(shí)施將從壓碾機(jī)壓出的熱可塑性樹脂通過輥的間隙并在表面上賦予平滑或者光澤的處理、并且通過收取輥在輸送輥上進(jìn)行冷卻并進(jìn)行收取而被成型的成型片。能夠適用于本實(shí)施方式的熱可塑性樹脂，例如是甲基丙烯酸酯樹脂、甲基丙烯酸甲酯苯乙烯共聚物、諸如聚乙烯或者聚丙烯的聚烯烴、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚乙烯醇、三乙酰纖維素樹脂等。成型片可以僅由這些熱可塑性樹脂當(dāng)中的一個(gè)構(gòu)成，也可以是將這些熱可塑性樹脂的多個(gè)種類進(jìn)行層疊的構(gòu)成(層疊片)。本實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)，適合于諸如偏振薄膜或者相位差薄膜等的光學(xué)薄膜的檢查，特別適合于卷成卷筒紙狀而保存和輸送的長(zhǎng)的光學(xué)薄膜的檢查。成型片可以具有任何的厚度，例如既可以具有一般被稱為薄膜那樣的比較薄的厚度，也可以具有一般被稱為板那樣的比較厚的厚度。作為成型片的缺陷的例子，包括諸如氣泡(成型時(shí)產(chǎn)生的缺陷等)、白點(diǎn)(魚眼fisheye)、異物、輪胎痕跡、碰撞痕跡、劃傷等的點(diǎn)缺陷；尼克斯(knicks)、條紋(因厚度的不同而產(chǎn)生的缺陷等)等。當(dāng)在暗視場(chǎng)法中使用行傳感器來檢測(cè)上述各種缺陷時(shí)，可考慮行傳感器的拍攝行的變動(dòng)允許值(一般在幾十 幾百微米左右)內(nèi)使行傳感器移動(dòng)。但是，如上所述，在暗視場(chǎng)法中，由于需要高精度地配置光學(xué)系統(tǒng)，因此在一點(diǎn)一點(diǎn)地改變行傳感器的拍攝行(拍攝角度)的同時(shí)，在相同條件下檢測(cè)缺陷是困難的。此外，盡管還可考慮使行傳感器多個(gè)并列來同時(shí)對(duì)多個(gè)拍攝行進(jìn)行拍攝的方法，但是通過配置多個(gè)行傳感器會(huì)使裝置系統(tǒng)變得復(fù)雜，而需要更高精度地配置光學(xué)系統(tǒng)。因此，本發(fā)明人考慮到根據(jù)以下的理由，如果是近軸條件下，則通過使用區(qū)域相機(jī)，能夠在與排列幾十個(gè)行傳感器的情況相同的光學(xué)條件下進(jìn)行拍攝?；趫D2，說明近軸條件下的區(qū)域相機(jī)的特性。圖2是表示包括區(qū)域相機(jī)5、線性光源4和刀刃7的缺陷檢查用光學(xué)系統(tǒng)的位置關(guān)系的示意圖。如圖2(a)所示，將區(qū)域相機(jī)5配置在線性光源4的上部，使得線性光源4的中心與拍攝范圍的中心一致，且以從區(qū)域相機(jī)5觀察時(shí)遮住一半的線性光源4的方式配置刀刃7。這里，將線性光源4的中心設(shè)為原點(diǎn)，將線性光源4的長(zhǎng)邊方向設(shè)為X軸，將線性光源4的短邊方向設(shè)為Y軸，將從區(qū)域相機(jī)5向著線性光源4的方向設(shè)為Z軸。圖2(b)是從圖2(a)的X軸方向觀察的圖。區(qū)域相機(jī)5包含CCD (電荷耦合器件)51和透鏡52。如果(XD51經(jīng)由透鏡52進(jìn)行拍攝的角度的半角Θ是 O. I度左右，則在(XD51進(jìn)行拍攝的范圍內(nèi)，拍攝距離的差(Ι-cos Θ )變成能夠忽視的程度。具體地，在透鏡52的焦距f = 35mm的情況下，透鏡52和被檢查物之間的距離是300mm左右，在使用分辨率為70微米/像素的區(qū)域相機(jī)5以X軸為中心對(duì)±7像素的范圍進(jìn)行拍攝的情況下，拍攝角度的半角Θ變成Θ = arc tan (70 [微米 / 像素]X IO3X 7 [像素]/300 [毫米])^ O. 09[度]。因此，拍攝距離的差由于是10_6的量級(jí)，因此是能夠忽視的程度。因此，在該情況下，能夠在與每個(gè)拍攝范圍是70微米的15個(gè)行傳感器(X軸上I個(gè)行傳感器和在其兩側(cè)分別每7個(gè)配置的行傳感器)并列而進(jìn)行拍攝的情況同等的光學(xué)條件下進(jìn)行拍攝。接著，基于圖3，以下說明使用區(qū)域相機(jī)5的本實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)I的構(gòu)成。圖3是表示缺陷檢查系統(tǒng)I的概要的示意圖。 如圖3所示，缺陷檢查系統(tǒng)I包括輸送器(移動(dòng)機(jī)構(gòu))3 ;線性光源4 ;區(qū)域相機(jī)(攝像部)5 ;圖像分析裝置(缺陷檢查用圖像處理裝置)6 ;顯示部30 ;刀刃7和照明擴(kuò)散板8。作為被檢查物的成型片2被配置在輸送器3上。缺陷檢查系統(tǒng)I是以下構(gòu)成在將矩形成型片2通過輸送器3在一定方向上輸送的同時(shí)，區(qū)域相機(jī)5對(duì)通過線性光源4照射光的成型片2在時(shí)間上進(jìn)行連續(xù)拍攝，基于區(qū)域相機(jī)5拍攝的成型片2的二維圖像數(shù)據(jù)，圖像分析裝置6檢測(cè)成型片2的缺陷。輸送器3將矩形成型片2在與其厚度方向正交的方向上特別是在與其長(zhǎng)邊方向上輸送，使得在成型片2中線性光源4所照射的位置進(jìn)行變化。輸送器3例如包括將成型片2在一定方向上進(jìn)行輸送的送出輥和收取輥，通過旋轉(zhuǎn)編碼器等測(cè)量輸送速度。輸送速度被設(shè)定成例如2m 12m/分鐘左右。輸送器3的輸送速度通過未圖示的信息處理裝置等設(shè)定和控制。線性光源4被配置使得其 長(zhǎng)邊方向變成與成型片2的輸送方向交叉的方向(例如與成型片2的輸送方向正交的方向)，并且被配置在夾著成型片2且與區(qū)域相機(jī)5對(duì)置的位置上使得從線性光源4照射的光透過成型片2而入射到區(qū)域相機(jī)5。對(duì)于線性光源4，只要其發(fā)出的光對(duì)成型片2的組成和特性未帶來影響，則沒有特別地限定，例如是熒光燈(特別是高頻熒光燈)、金屬鹵化物燈、或者鹵素線性光等。此外，還可以將線性光源4朝向成型片2而配置在與區(qū)域相機(jī)5相同側(cè)，并且配置線性光源4使得從線性光源4照射的光由成型片2反射后入射到區(qū)域相機(jī)5 (參考圖15(d)所示的反射散射法的光學(xué)系統(tǒng)的配置)。如上述那樣的由成型片2反射的光入射到區(qū)域相機(jī)5的構(gòu)成不僅適用于成型片2的缺陷的檢查，而且能夠適用于各種形狀和材料的被檢查物的缺陷的檢查。區(qū)域相機(jī)5接收透過成型片2的光，對(duì)成型片2的二維圖像在時(shí)間上進(jìn)行連續(xù)攝影。區(qū)域相機(jī)5將攝影的成型片2的二維圖像的數(shù)據(jù)輸出到圖像分析裝置6。區(qū)域相機(jī)5由用對(duì)二維圖像進(jìn)行拍攝的CCD或者CMOS (互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)等攝像元件構(gòu)成的區(qū)域傳感器構(gòu)成。區(qū)域相機(jī)5如果是輸出多個(gè)灰度的圖像數(shù)據(jù)則沒有特別地限定，在本實(shí)施方式中其能夠輸出8比特灰度色標(biāo)(256灰度)的圖像數(shù)據(jù)。由缺陷檢查系統(tǒng)I檢測(cè)的缺陷的大小，由于取決于區(qū)域相機(jī)5的分辨率，因此優(yōu)選地，通過與所要檢測(cè)的缺陷的大小相對(duì)應(yīng)來選定區(qū)域相機(jī)5的分辨率。由缺陷檢查系統(tǒng)I檢測(cè)的缺陷的立體形狀(寬對(duì)高之比)由于基本上不取決于區(qū)域相機(jī)5的分辨率，因此不需要根據(jù)所要檢測(cè)的缺陷的類型來選定相機(jī)分辨率。優(yōu)選地，將區(qū)域相機(jī)5配置成能夠?qū)Τ尚推?的寬度方向(與成型片2的輸送方向正交且與成型片2的厚度方向正交的方向)上的全部區(qū)域進(jìn)行拍攝。通過由區(qū)域相機(jī)5對(duì)成型片2的寬度方向的全部區(qū)域進(jìn)行拍攝，能夠檢查成型片2的全部區(qū)域的缺陷。區(qū)域相機(jī)5的拍攝間隔(幀速率)可以不被固定，可以成為根據(jù)用戶操作區(qū)域相機(jī)5本身而能夠變更，也可以成為能夠根據(jù)用戶操作來變更區(qū)域相機(jī)5所連接的信息處理裝置(沒有圖示；能夠省略)。此外，區(qū)域相機(jī)5的拍攝間隔雖可以是數(shù)字靜態(tài)相機(jī)的連續(xù)拍攝的時(shí)間間隔即幾分之一秒等，但是為了使檢查的效率提高，通過使用工業(yè)用CCD相機(jī)通常所具備的局部掃描功能且將I幀的行數(shù)設(shè)為所需的最小限，能夠縮短時(shí)間間隔。例如，在是有效像素?cái)?shù)為水平512X垂直480個(gè)像素且在全部像素讀出時(shí)為30巾貞每秒(以后稱為FPS)的相機(jī)的情況下，存在有利用局部掃描、且通過設(shè)為水平512X垂直60個(gè)像素，能夠以大約240FPS進(jìn)行讀出的相機(jī)。作為另一例子，在使用有效像素?cái)?shù)為水平1600X垂直1200個(gè)像素左右、全部像素讀出時(shí)幀速率15FPS的相機(jī)以及由水平1600X垂直32個(gè)像素的局部掃描來進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的情況下，存在有能夠以大約150FPS進(jìn)行讀出的相機(jī)。相機(jī)的有效像素?cái)?shù)和驅(qū)動(dòng)方法能夠根據(jù)被檢查物的輸送速度和檢測(cè)對(duì)象缺陷的大小等進(jìn)行合適地選定。圖像分析裝置6，接收從區(qū)域相機(jī)5輸出的圖像數(shù)據(jù)，并對(duì)該圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，由此生成用于檢查上述被檢查物的缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)，并將缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)輸出到顯示部30。圖像分析裝置6包括用于存儲(chǔ)圖像數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部20和用于對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理的圖像處理部10。缺陷檢查用攝像裝置由區(qū)域相機(jī)5和圖像分析裝置6構(gòu)成。對(duì)于圖像分析裝置6，如果是進(jìn)行二維圖像數(shù)據(jù)的圖像處理，則沒有特別地限定，例如，可以是安裝了圖像處理軟件的PC(個(gè)人計(jì)算機(jī))、安裝有記述了圖像處理電路的FPGA的圖像捕獲板、或者包括記述了圖像處理程序的處理器的相機(jī)(被稱為智能相機(jī)等)等。圖像分析裝置6進(jìn)行的圖像處理的細(xì)節(jié)將后述。
顯示部30是顯示缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)的器件。顯示部30可以是顯示圖像或者視頻的器件，例如，能夠?qū)C(液晶)顯示面板、等離子顯示面板、EL(電致發(fā)光)顯示面板等適用作為顯示部30。此外，還可以是圖像分析裝置6或者缺陷檢查用攝像裝置包括顯示部30的構(gòu)成。此外，既可以將顯示部30從缺陷檢查系統(tǒng)I中分離而作為外部的顯示裝置，也可以將顯示部30置換成其他的輸出裝置例如印刷裝置。刀刃7是用于遮蔽從線性光源4照射的光的刀形狀的遮光體。照明擴(kuò)散板8是為了將從線性光源4照射的光的光量均勻化而將光擴(kuò)散的板。接著，說明開發(fā)在本實(shí)施方式中使用的算法的情況。本實(shí)施方式中使用的算法是鑒于以下說明的利用簡(jiǎn)單行合成的缺陷檢測(cè)方法的問題而開發(fā)的算法。基于圖4，說明從由區(qū)域相機(jī)5拍攝的多個(gè)圖像中生成與多個(gè)并列排列的行傳感器拍攝的圖像同等的圖像的行合成的方法。在這里，假設(shè)用幀速率為60FPS(每秒幀數(shù))的區(qū)域相機(jī)5進(jìn)行8秒時(shí)間拍攝、從而得到480張的圖像的情況。在圖像數(shù)據(jù)中，通過沿著成型片2的寬度方向(與成型片2的輸送方向正交且與成型片2的厚度方向正交的方向)的至少一個(gè)的分割線均勻分割而成的多個(gè)部分圖像的每一個(gè)稱為行(line)。如果假設(shè)圖像整體的高度(沿著成型片2的長(zhǎng)邊方向的大小)是H個(gè)像素(H是自然數(shù))，圖像整體的寬度(沿著成型片2的寬度方向的大小)是W個(gè)像素(W是自然數(shù))，則行的大小是高H/L個(gè)像素(L是2或者以上的整數(shù))、寬W個(gè)像素。典型地，行是沿著成型片2的寬度方向在I直線上排列的I個(gè)像素XW個(gè)像素的部分圖像。圖4(a)是表示該480張圖像以時(shí)序排列的概念圖。圖4(b)是表示將該480張圖像數(shù)據(jù)(#1 #480)按順序從左開始并列排列的狀態(tài)的示意圖。如圖4(b)所示的各個(gè)圖像數(shù)據(jù)中，下部的暗部分是由刀刃7遮蔽住光的部分，中心附近的明亮部分是來自線性光源4的光透射的部分，上部的暗部分是線性光源4的光未照到的脫離檢查對(duì)象的部分。此外，被檢查物從圖4(b)的下向上進(jìn)行輸送。首先，對(duì)480張的各個(gè)圖像數(shù)據(jù)，從圖像數(shù)據(jù)上的相同位置提取I行(圖4(b)所示的紅線第N行)。此時(shí)提取的I行的寬度是在每I幀(1/60秒)中被檢查物移動(dòng)的距離。將提取的各個(gè)行從上開始按順序進(jìn)行排列，使得變成從#1的圖像數(shù)據(jù)提取的行、從#2的圖像數(shù)據(jù)提取的行、…、從#480的圖像數(shù)據(jù)提取的行。圖4(c)是表示從480張的各個(gè)圖像數(shù)據(jù)中提取第N行而排列的狀態(tài)的示意圖。如圖4(c)所示，通過將提取的行進(jìn)行排列后合成為I張的圖像數(shù)據(jù)，能夠生成與對(duì)第N行進(jìn)行拍攝的行傳感器所拍攝的圖像同等的圖像。這樣，將從區(qū)域相機(jī)5拍攝的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)中提取相同位置的行且生成與對(duì)該某一行進(jìn)行拍攝的行傳感器所拍攝的圖像同等的圖像的操作稱為行合成。通過從480張的各個(gè)圖像數(shù)據(jù)中不僅提取第N行而且還提取第N+1、第N+2、第N_1等行來進(jìn)行行合成，能夠根據(jù)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)，一次性生成以多個(gè)拍攝角度(拍攝位置)所拍攝的圖像數(shù)據(jù)。也就是說，通過對(duì)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行行合成，能夠生成與用多個(gè)行傳感器被并列配置的光學(xué)系統(tǒng)所拍攝的多個(gè)拍攝角度的圖像數(shù)據(jù)同等的多張的圖像數(shù)據(jù)。接著，說明根據(jù)區(qū)域相機(jī)5拍攝的480張的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行行合成的圖像的具體例子。圖5示出區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像和根據(jù)區(qū)域相機(jī)5拍攝的480張的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行行合成的圖像。圖5(a)是區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像。圖5(a)是與圖4(b)同樣的圖像，下部的暗部分是由刀刃7遮蔽住光的部分，中心附近的明亮部分是來自線性光源4的光透射的部分，上部的暗部分是線性光源4的光未照到的脫離檢查對(duì)象的部分 。從圖5(a)的下端向著上部而突出的暗部分是為了標(biāo)記而配置的物體的陰影。盡管在圖5(a)的由白圓圈包圍的區(qū)域上存在缺陷，但是在區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像原始圖像中，不能夠視認(rèn)缺陷。圖5(b)是從區(qū)域相機(jī)5拍攝的480張的圖像數(shù)據(jù)中提取刀刃7附近行并進(jìn)行行合成后的圖像。具體地，是提取從刀刃7的上端向著照明側(cè)離開210微米的位置的行且進(jìn)行行合成后的圖像。與圖5(a)同樣，從圖5(b)的下端向著上部而突出的暗部分是為了標(biāo)記而配置的物體的陰影。當(dāng)觀察圖5(b)時(shí)，僅能夠視認(rèn)洗衣板狀的條紋(棱標(biāo)記)那樣的輕微標(biāo)記。這樣，在區(qū)域相機(jī)5拍攝的原始圖像中不能夠視認(rèn)的缺陷，通過對(duì)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行行合成，變得能夠視認(rèn)。但是，在行合成后的原始圖像中，由于難以清楚地識(shí)別缺陷，因此對(duì)行合成圖像進(jìn)行圖像處理。作為該圖像處理的例子，具有圖6所示那樣的方法。圖6(a)是行合成后的原始的圖像，是與圖5(b)所示的圖像同樣的。圖6(b)是對(duì)圖6(a)所示的圖像進(jìn)行了 7X7垂直微分濾波處理后得到的圖像。圖6(c)是對(duì)圖6(b)所示的圖像通過使用拉普拉斯操作符直方圖法根據(jù)固定的閾值而二值化后得到的圖像。這樣，通過對(duì)行合成后的圖像實(shí)施圖像處理，能夠更加明顯地識(shí)別缺陷。這樣，通過對(duì)由區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)實(shí)施行合成，能夠一次性生成與在多個(gè)不同的光學(xué)條件(拍攝角度)下由行傳感器拍攝的圖像同等的在多個(gè)不同的光學(xué)條件下的圖像。因此，如果從生成的多個(gè)圖像當(dāng)中選擇缺陷能被最佳觀察到的圖像(最佳光學(xué)條件下的圖像；例如，如圖5(b)那樣的提取刀刃7附近的行且進(jìn)行行合成后的圖像)和使用所選擇的圖像來進(jìn)行缺陷檢測(cè)，則能夠得到與使用在最佳的光學(xué)條件下由行傳感器拍攝的圖像來進(jìn)行缺陷檢測(cè)的情況同樣的結(jié)果。由于與以使變成最佳的光學(xué)條件的方式使行傳感器的位置移動(dòng)相比，從通過由區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)的行合成所得到的多個(gè)圖像當(dāng)中選擇缺陷能被最佳觀察到的圖像是更為容易的，因此缺陷檢查的實(shí)施變得容易，缺陷檢查的效率提聞。而且，通過對(duì)生成的與多個(gè)拍攝角度對(duì)應(yīng)的各個(gè)行合成圖像進(jìn)行圖像處理且從實(shí)施了圖像處理的各個(gè)行合成圖像當(dāng)中選擇缺陷能被顯著顯示的圖像進(jìn)行參考，能夠清楚地識(shí)別被檢查物的各種各樣的缺陷。但是，從各個(gè)行合成圖像當(dāng)中或者從圖像處理后的各個(gè)行合成圖像當(dāng)中以手動(dòng)進(jìn)行圖像的選擇是不太有效率的。此外，當(dāng)在被檢查物中具有缺陷時(shí)，為了掌握在被檢查物的哪個(gè)部位具有缺陷，希望能夠?qū)崟r(shí)地識(shí)別在被檢查物的被拍攝的部分是否具有缺陷。因此，本發(fā)明人通過深入研究的結(jié)果，開發(fā)了通過全部使用生成的與多個(gè)拍攝角度對(duì)應(yīng)的各個(gè)行合成圖像，來生成能夠?qū)崟r(shí)地清楚地識(shí)別被檢查物的各種各樣缺陷的圖像的算法。將該開發(fā)的算法稱為 RT-LCI (Real Time Line Composition and Integration 實(shí)時(shí)行合成累計(jì))，以下說明RT-LCI。首先，基于圖1，說明進(jìn)行RT-LCI的 圖像分析裝置6的各個(gè)部分的構(gòu)成。這里，將進(jìn)行RT-LCI的圖像處理時(shí)使用的拍攝角度的種類數(shù)設(shè)為k(k是2以上的整數(shù))。將后述的微分操作符算法的行數(shù)設(shè)為m(m是自然數(shù))。拍攝角度的種類數(shù)k和微分操作符的行數(shù)m能夠任意地設(shè)定且預(yù)先確定。此外，為了使說明簡(jiǎn)化，將在區(qū)域相機(jī)5對(duì)某一圖像進(jìn)行拍攝之后到對(duì)下一個(gè)圖像進(jìn)行拍攝之前(I幀期間)被檢查物2移動(dòng)的距離設(shè)為移動(dòng)寬度，后述的數(shù)據(jù)提取部提取的行數(shù)據(jù)(I行的部分圖像數(shù)據(jù))的寬度所表示的實(shí)際距離(在被檢查物2表面上的距離)設(shè)為是與上述移動(dòng)寬度相同。此外，微分操作符的列數(shù)可以是2以上，但是在這里，假設(shè)為是I。圖I是表示圖像分析裝置6的主要部分的構(gòu)成的功能方框圖。如上所述，圖像分析裝置6包括圖像處理部10和存儲(chǔ)部20。圖像處理部10包括數(shù)據(jù)提取部(相同行提取機(jī)構(gòu))11 ;第I分區(qū)判定部12 ;數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部(行合成提取機(jī)構(gòu))13 ;全部分區(qū)判定部14 ;變化量計(jì)算部(操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu))15 ;相同部分判定提取部16 ;累計(jì)部(累計(jì)機(jī)構(gòu))17和圖像生成部(圖像生成機(jī)構(gòu))18。存儲(chǔ)部20包括第I存儲(chǔ)部21 ;第2存儲(chǔ)部22 ;第3存儲(chǔ)部23和第4存儲(chǔ)部24。第2存儲(chǔ)部22包括第I區(qū)域221、第2區(qū)域222、第k區(qū)域22k。第I區(qū)域221 第k區(qū)域22k分別被分割成m個(gè)分區(qū)。數(shù)據(jù)提取部11包括第I提取部111、第2提取部112、…、第k提取部Ilk。第I提取部111是從第I存儲(chǔ)部21所存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)中提取圖像數(shù)據(jù)上的規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)(例如最底下的行數(shù)據(jù))的提取部。這里，將第I提取部111提取的規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)設(shè)為第I個(gè)行數(shù)據(jù)。第2提取部112是從圖像數(shù)據(jù)上的上述規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)中提取相鄰于被檢查物2的移動(dòng)方向側(cè)的行數(shù)據(jù)(第2個(gè)行數(shù)據(jù))的提取部。第k提取部是從圖像數(shù)據(jù)上的上述規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)中向著被檢查物2的移動(dòng)方向提取第k個(gè)行數(shù)據(jù)的提取部?？傊?，數(shù)據(jù)提取部11是從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中分別提取圖像數(shù)據(jù)上的位置相同的I行的行數(shù)據(jù)的提取部，是對(duì)于上述圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置分別提取上述行數(shù)據(jù)的提取部。第I分區(qū)判定部12包括第I判定部121、第2判定部122、…、第k判定部12k。第I判定部121是用于判定行數(shù)據(jù)是否已經(jīng)被存儲(chǔ)在第2存儲(chǔ)部22的第I區(qū)域221的第I分區(qū)中的判定部。第2判定部122是用于判定行數(shù)據(jù)是否已經(jīng)被存儲(chǔ)在第2存儲(chǔ)部22的第2區(qū)域222的第I分區(qū)中的判定部。第k判定部12k是用于判定行數(shù)據(jù)是否已經(jīng)被存儲(chǔ)在第2存儲(chǔ)部22的第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中的判定部。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部13包括第I存儲(chǔ)部131、第2存儲(chǔ)部132、…、第k存儲(chǔ)部13k。第I存儲(chǔ)部131在第I分區(qū)判定部12的第I判定部121判定為在第I區(qū)域221的第I分區(qū)中沒有行數(shù)據(jù)時(shí)，將第I提取部111提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在第I區(qū)域221的第I分區(qū)中。另一方面，在第I分區(qū)判定部12的第I判定部121判定為在第I區(qū)域221的第I分區(qū)中有行數(shù)據(jù)時(shí)，第I存儲(chǔ)部131分別將第I區(qū)域221的各個(gè)分區(qū)中所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置各上移一個(gè)分區(qū)。也就是說，使第I分區(qū)中所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)移動(dòng)到第2分區(qū)，使第m-ι分區(qū)中所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)移動(dòng)到第m分區(qū)。此時(shí)，在第m分區(qū)存儲(chǔ)有行數(shù)據(jù)的情況下，將該行數(shù)據(jù)廢棄或者移動(dòng)到未圖示的備份用的位置。第I存儲(chǔ)部131在使各個(gè)分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置移動(dòng)之后，將第I提取部111提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第I區(qū)域221的第I分區(qū)中。此外，第I存儲(chǔ)部131在通過第I提取部111而提取了圖像數(shù)據(jù)上規(guī)定位置的多個(gè)行數(shù)據(jù)時(shí)，通過將提取的多個(gè)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第I區(qū)域221的連續(xù)的分區(qū)上，從而將提取的多個(gè)行數(shù)據(jù)合成為一個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)。第2存儲(chǔ)部132，與第I存儲(chǔ)部131同樣地，基于第I分區(qū)判定部12的第2判定部122的判定，將第2提取部112提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第2區(qū)域222的第I分區(qū)中。第2存儲(chǔ)部132在通過第2提取部112而提取了圖像數(shù)據(jù)上相同位置的多個(gè)行數(shù)據(jù)時(shí)，通過將提取的多個(gè)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第2區(qū)域222的連續(xù)的分區(qū)上，從而將提取的多個(gè)行數(shù)據(jù)合成為一個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)。第k存儲(chǔ)部13k，與第I存儲(chǔ)部131同樣地，基于第I分區(qū)判定部12的第k判定部12k的判定，將第k提取部Ilk提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中。第k存儲(chǔ)部13k在通過第k提取部Ilk而提取了圖像數(shù)據(jù)上相同位置的多個(gè)行數(shù)據(jù)時(shí)，通過將提取的多個(gè)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第k區(qū)域22k的連續(xù)的分區(qū)上，從而將提取的多個(gè)行數(shù)據(jù)合成為一個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)?？傊?，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部13，是將由數(shù)據(jù)提取部11提取的行數(shù)據(jù)以時(shí)序進(jìn)行排列而生成多個(gè)行的行合成圖像數(shù)據(jù)的部件，是將由數(shù)據(jù)提取部11提取的行數(shù)據(jù)按照?qǐng)D像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置以時(shí)序進(jìn)行排列而生成不同的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的部件。全部分區(qū)判定部14包括第I判定部141、第2判定部142、…、第k判定部14k。第I判定部141是用于判定行數(shù)據(jù)是否被存儲(chǔ)在第I區(qū)域221的全部分區(qū)(第I 第m分區(qū))中的判定部。第2判定部142是用于判定行數(shù)據(jù)是否被存儲(chǔ)在第2區(qū)域222的全部分區(qū)(第I 第m分區(qū))中的判定部。第k判定部14k是用于判定行數(shù)據(jù)是否被存儲(chǔ)在第k區(qū)域22k的全部分區(qū)(第I 第m分區(qū))中的判定部。變化量計(jì)算部15包括第I計(jì)算部151、第2計(jì)算部152、…、第k計(jì)算部15k。第I計(jì)算部151,在全部分區(qū)判定部14的第I判定部141判定為行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在全部分區(qū)中時(shí)，對(duì)由第I區(qū)域221中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，并將作為其結(jié)果而得到的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)(I行或者多行的圖像數(shù)據(jù))存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中。第2計(jì)算部152在全部分區(qū)判定部14的第2判定部142判定為行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在全部分區(qū)中時(shí)，對(duì)由第2區(qū)域222中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，并將作為其結(jié)果而得到的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)(I行或者多行的圖像數(shù)據(jù))存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中。第k計(jì)算部15k在全部分區(qū)判定部14的第k判定部14k判定為行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在全部分區(qū)中時(shí)，對(duì)由第k區(qū)域22k中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，并將作為其結(jié)果而得到的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)(I行或者多行的圖像數(shù)據(jù))存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中。此外，變化量計(jì)算部15進(jìn)行的運(yùn)算處理的細(xì)節(jié)將后述?？傊?，變化量計(jì) 算部15是通過對(duì)多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行使用了強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，分別生成I行或者多行的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的部件。相同部分判定提取部16，判定用于對(duì)被檢查物2的相同部分進(jìn)行表示的全部拍攝角度(k個(gè)種類)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)是否被存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中。相同部分判定提取部16在判定為存儲(chǔ)有表示相同部分的全部拍攝角度的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)時(shí)，分別提取該k個(gè)種類的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。累計(jì)部17按照每個(gè)像素將相同部分判定提取部16提取的對(duì)被檢查物2的相同部分進(jìn)行表示的k個(gè)種類的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值進(jìn)行累計(jì)，生成I行或者多行的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)(RT-LCI數(shù)據(jù))。累計(jì)部17將累計(jì)后的k個(gè)種類的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)所表示的被檢查物2的位置與累計(jì)后的結(jié)果的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)而存儲(chǔ)到第4存儲(chǔ)部24中。圖像生成部18，基于第4存儲(chǔ)部24所存儲(chǔ)的與各個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的被檢查物2的位置，將第4存儲(chǔ)部24所存儲(chǔ)的各個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)以與被檢查物2的位置關(guān)系同樣的方式進(jìn)行排列，從而合成新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)(RT-LCI數(shù)據(jù))，并將合成后的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)由顯示部30作為圖像進(jìn)行顯示。接著，基于圖7，說明進(jìn)行RT-LCI時(shí)的圖像分析裝置6的各個(gè)部分的動(dòng)作。圖7是表示RT-LCI處理中的圖像分析裝置6的各個(gè)部分的動(dòng)作流程的示意圖。首先，缺陷檢查系統(tǒng)I在開始RT-LCI的處理時(shí)，假設(shè)幀序號(hào)i = I (SlO)。用輸送器3輸送被檢查物2，同時(shí)用區(qū)域相機(jī)5開始拍攝。區(qū)域相機(jī)5將拍攝的圖像數(shù)據(jù)輸出到圖像分析裝置6，圖像分析裝置6將該圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第I存儲(chǔ)部21 (S20)。第I提取部111從第I存儲(chǔ)部21所存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)中提取規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)(例如從底部開始的第I個(gè)行數(shù)據(jù))(S41)。第I提取部111將提取的行數(shù)據(jù)所表示的被檢查物2的位置與該行數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)。例如，在移動(dòng)寬度與行數(shù)據(jù)表示的實(shí)際距離的寬度相同的情況下，第I提取部111給所提取的行數(shù)據(jù)附加“Pi”作為表示被檢查物2的位置的記號(hào)(i是幀序號(hào))。規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)預(yù)先任意地設(shè)定，且預(yù)先決定從哪個(gè)行中提取數(shù)據(jù)。第2提取部112，如果是i彡2(在S32為“是”)，則從第I提取部111提取的規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)中提取與被檢查物2的移動(dòng)方向側(cè)相鄰的行數(shù)據(jù)(S42)。第2提取部112將提取的行數(shù)據(jù)所表示的被檢查物2的位置與該行數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)。例如，在移動(dòng)寬度與行數(shù)據(jù)表示的實(shí)際距離的寬度相同的情況下，第2提取部112給所提取的行數(shù)據(jù)附加“P (i-Ι) ”作為表示被檢查物2的位置的記號(hào)。如果在S32中i = 1( “否”)，則進(jìn)入到S140。第k提取部11k，如果是i彡k (在S3k為“是”)，則從第I提取部111提取的規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)中向著被檢查物2的移動(dòng)方向提取第k個(gè)行數(shù)據(jù)(S4k)。第k提取部Ilk將提取的行數(shù)據(jù)所表示的被檢查物2的位置與該行數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)。例如，在移動(dòng)寬度與行數(shù)據(jù)表示的實(shí)際距離的寬度相同的情況下，第k提取部Ilk給所提取的行數(shù)據(jù)附加“p(i-k+l)”作為表示被檢查物2的位置的記號(hào)。如果在S3k中i < k( “否”)，則進(jìn)入到S140。接著，第I分區(qū)判定部12的第I判定部121判定在第2存儲(chǔ)部22的第I區(qū)域221的第I分區(qū)中是否已經(jīng)存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)(S51)。在第I判定部121判定為在第I 區(qū)域221的第I分區(qū)中有行數(shù)據(jù)時(shí)(在S51為“是”)，第I存儲(chǔ)部131分別將第I區(qū)域221的各個(gè)分區(qū)中所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置各上移一個(gè)分區(qū)(S61)。第I存儲(chǔ)部131在使各個(gè)分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置移動(dòng)之后，將第I提取部111提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第I區(qū)域221的第I分區(qū)中(S71)。另一方面，在第I判定部121判定為在第I區(qū)域221的第I分區(qū)中沒有行數(shù)據(jù)時(shí)(在S51為“否”)，第I存儲(chǔ)部131將第I提取部111提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第I區(qū)域221的第I分區(qū)中(S71)。此外，第I分區(qū)判定部12的第2判定部122判定在第2存儲(chǔ)部22的第2區(qū)域222的第I分區(qū)中是否已經(jīng)存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)(S52)。此外，在第2判定部122判定為在第2區(qū)域222的第I分區(qū)中有行數(shù)據(jù)時(shí)(在S52為“是”)，第2存儲(chǔ)部132分別將第2區(qū)域222的各個(gè)分區(qū)中所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置各上移一個(gè)分區(qū)(S62)。第2存儲(chǔ)部132在使各個(gè)分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置移動(dòng)之后，將第2提取部112提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第2區(qū)域222的第I分區(qū)中(S72)。另一方面，在第2判定部122判定為在第2區(qū)域222的第I分區(qū)中沒有行數(shù)據(jù)時(shí)(在S52為“否”)，第2存儲(chǔ)部132將第2提取部112提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第2區(qū)域222的第I分區(qū)中(S72)。此外，第I分區(qū)判定部12的第k判定部12k判 定在第2存儲(chǔ)部22的第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中是否已經(jīng)存儲(chǔ)了數(shù)據(jù)(S5k)。在第k判定部12k判定為在第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中有行數(shù)據(jù)時(shí)(在S5k為“是”)，第k存儲(chǔ)部13k分別將第k區(qū)域22k的各個(gè)分區(qū)中所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置上移一個(gè)分區(qū)(S6k)。第k存儲(chǔ)部13k在使各個(gè)分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)位置移動(dòng)之后，將第k提取部Ilk提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中(S7k)。另一方面，在第k判定部12k判定為在第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中沒有行數(shù)據(jù)時(shí)(在S5k為“否”)，第k存儲(chǔ)部13k將第k提取部Ilk提取的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第k區(qū)域22k的第I分區(qū)中(S7k)。接著，全部分區(qū)判定部14的第I判定部141判定在第I區(qū)域221的全部分區(qū)中是否存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)(S81)。在全部分區(qū)判定部14的第I判定部141判定為在全部分區(qū)中存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)時(shí)(在S81為“是”)，第I計(jì)算部151對(duì)由第I區(qū)域221中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，并將作為其結(jié)果而得到的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中(S91)。此時(shí)，對(duì)微分操作符運(yùn)算的結(jié)果即強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)附加與第I區(qū)域221的第m分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的位置的記號(hào)。另一方面，在第I判定部141判定為在全部分區(qū)中沒有存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)時(shí)(在S81中為“否“)，前進(jìn)到S140。此外，全部分區(qū)判定部14的第2判定部142判定在第2區(qū)域221的全部分區(qū)中是否存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)(S82)。在全部分區(qū)判定部14的第2判定部142判定為在全部分區(qū)中存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)時(shí)(在S82為“是”)，第2計(jì)算部152對(duì)由第2區(qū)域222中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，并將作為其結(jié)果而得到的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中(S92)。此時(shí)，對(duì)微分操作符運(yùn)算的結(jié)果即強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)附加與第2區(qū)域222的第m分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的位置的記號(hào)。另一方面，在第2判定部142判定為在全部分區(qū)中沒有存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)時(shí)(在S82中為“否”)，進(jìn)入到S140。此外，全部分區(qū)判定部14的第k判定部14k判定在第k區(qū)域22k的全部分區(qū)中是否存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)(S8k)。在全部分區(qū)判定部14的第k判定部14k判定為在全部分區(qū)中存儲(chǔ)了行數(shù)據(jù)時(shí)(在SSk為“是”)，第k計(jì)算部15k對(duì)由第k區(qū)域22k中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，并將作為其結(jié)果而得到的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在第3存儲(chǔ)部23中(S9k)。此時(shí)，對(duì)微分操作符運(yùn)算的結(jié)果即強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)附加與第k區(qū)域22k的第m分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的位置的記號(hào)。另一方面，在第k判定部14k判定為在全部分區(qū)中沒有存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)時(shí)(在SSk中為“否”)，進(jìn)入到S140。接著，相同部分判定提取部16參考與第3存儲(chǔ)部23所存儲(chǔ)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的位置的記號(hào)，判定是否存儲(chǔ)了對(duì)被檢查物2的相同部分進(jìn)行表示的全部拍攝角度(k個(gè)種類)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)(S100)。在相同部分判定提取部16判定為沒有存儲(chǔ)對(duì)被檢查物2的相同部分進(jìn)行表示的全部拍攝角度的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的情況下(在SlOO為“否”)，進(jìn)入到S140。另一方面，在相同部分判定提取部16判定為存儲(chǔ)了對(duì)被檢查物2的相同部分進(jìn)行表示的全部拍攝角度的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的情況下(在SlOO為“是”)，提取該全部拍攝角度即k個(gè)種類的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。累計(jì)部17按照每個(gè)像素對(duì)相同部分判定提取部16提取的k個(gè)種類的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值進(jìn)行累計(jì)(S110)。累計(jì)部17將與累計(jì)后的k個(gè)種類的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的位置的記號(hào)與累計(jì)后的結(jié)果的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)(RT-LCI數(shù)據(jù))建立對(duì)應(yīng)而存儲(chǔ)到第4存儲(chǔ)部中。圖像生成部18，基于與第4存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的各個(gè)RT-LCI數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的位置的記號(hào)，將第4存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的各個(gè)RT-LCI數(shù)據(jù)以與被檢查物2的位置關(guān)系同樣的方式進(jìn)行排列，從而合成新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)(RT-LCI數(shù)據(jù))(S120)。然后，圖像生成部18將該排列的RT-LCI數(shù)據(jù)顯示于顯示部30(S130)。在圖像生成部18將RT-LCI數(shù)據(jù)顯示于顯示部30之后，設(shè)為幀序號(hào)i = i+Ι，返回S20。這樣，通過對(duì)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)-行合成累計(jì)(RT-LCI)處理，能夠連續(xù)地得到作為多個(gè)拍攝角度的散射光學(xué)系統(tǒng)圖像的累計(jì)圖像。接著，為了更具體地說明RT-LCI的圖像處理，基于圖8a、圖8b和圖8c，說明第I 第4存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)和顯示部30所顯示的圖像。圖8a是按照每I幀對(duì)各個(gè)存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)和顯示部30所顯示的圖像的狀態(tài)進(jìn)行表示的狀態(tài)轉(zhuǎn)移圖。圖8a的橫軸表示時(shí)間(幀單位的時(shí)間)。假設(shè)設(shè)定為拍攝角度的種類數(shù)k = 3、微分操作符的行數(shù)m=5。此外，將區(qū)域相機(jī)5的像素?cái)?shù)設(shè)為寬η個(gè)像素(與被檢查物2的移動(dòng)方向正交的方向的大?。沪鞘?以上的整數(shù))X高(沿著被檢查物2的移動(dòng)方向的大小)9個(gè)像素，將I行的寬度設(shè)為I個(gè)像素。也就是說，將I行的像素?cái)?shù)設(shè)為η個(gè)像素X I個(gè)像素。在這里，還假設(shè)在每I幀中被檢查物2由輸送器3移動(dòng)的距離(移動(dòng)寬度)與I行的寬度所表示的實(shí)際距離是相同的。也就是說，假設(shè)I個(gè)像素所表示的實(shí)際距離(I個(gè)像素的分辨率)與上述移動(dòng)寬度是相同的。圖8b所示的400表示被檢查物2，在400上所記述的記號(hào)(pl、p2、…)表示被檢查物2的部位，各個(gè)部位(pl、p2、…)按照每個(gè)移動(dòng)寬度進(jìn)行分割。如圖8b所示，假設(shè)被檢查物2從區(qū)域相機(jī)5的拍攝范圍410的下側(cè)向著上側(cè)由輸送器3進(jìn)行輸送。圖8a所示的410表示第I存儲(chǔ)部21所存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)。也就是說，是區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像的原樣的圖像數(shù)據(jù)。圖像數(shù)據(jù)301 310分別是在幀序號(hào)i = I 10之時(shí)被拍攝的圖像數(shù)據(jù)。圖像數(shù)據(jù)301 310如上所述是η個(gè)像素Χ9個(gè)像素的像素?cái)?shù)，包含9個(gè)行數(shù)據(jù)。這里，將各個(gè)圖像數(shù)據(jù)301 310分割成9個(gè)行數(shù)據(jù)，從各個(gè)圖像數(shù)據(jù)301 310的底部開始，順序稱為第I行、第2行、…第9行。此外，由于是拍攝角度的種類數(shù)k =3，因此在這里，假設(shè)為從第I行、第2行、第3行中提取行數(shù)據(jù)。也就是說，將上述的規(guī)定位置的行數(shù)據(jù)設(shè)為第I行數(shù)據(jù)(最底下的行數(shù) 據(jù))。為了后面的圖像數(shù)據(jù)的說明，將第I行設(shè)為拍攝角度A，將第2行設(shè)為拍攝角度B，將第3行設(shè)為拍攝角度C。此外，為了便于說明，針對(duì)各個(gè)圖像數(shù)據(jù)301 310都標(biāo)注與每個(gè)行數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的被檢查物2的部位(pl、p2、…)和拍攝角度(A C)。具體地，例如，“pl-A”表示是與拍攝角度A，也就是說，是與第I行對(duì)應(yīng)的行數(shù)據(jù)、且是與被檢查物2的部位pi對(duì)應(yīng)的行數(shù)據(jù)。圖8a所示的420表示第2存儲(chǔ)部22所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)。421表示在第I區(qū)域221中所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)，422表示在第2區(qū)域222中所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)，423表示在第3區(qū)域223中所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)。也就是說，行合成圖像數(shù)據(jù)311 320是在第I區(qū)域221中所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)，行合成圖像數(shù)據(jù)321 330是在第2區(qū)域222中所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)，行合成圖像數(shù)據(jù)331 340 是在第3區(qū)域223中所存儲(chǔ)的I行以上且m行(在本例中為5行)以下的行數(shù)據(jù)。第I區(qū)域221 第3區(qū)域223，由于微分操作符的行數(shù)m = 5，因此各自被分割為5個(gè)分區(qū)。各個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)311 340由I個(gè)以上且5個(gè)以下的行數(shù)據(jù)構(gòu)成，表示從各個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)311 340的底部開始按順序被存儲(chǔ)在各個(gè)區(qū)域的第I分區(qū)、第2分區(qū)、…第5分區(qū)的行數(shù)據(jù)。為了便于說明，針對(duì)各個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)311 340都標(biāo)注與每個(gè)行數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的被檢查物2的部位(pl、p2、…)和拍攝角度(A C)。圖8a所示的430表示第3存儲(chǔ)部23中所存儲(chǔ)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。為了便于說明，針對(duì)430的各個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，按照每個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，都標(biāo)注對(duì)應(yīng)的被檢查物2的部位(p3、p4、…)和拍攝角度(A C)。此外，圖8a所示的440表示第4存儲(chǔ)部24所存儲(chǔ)的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)(RT-LCI數(shù)據(jù))。圖8a所示的450表示顯示部30所顯示的圖像。為了便于說明，針對(duì)RT-LCI數(shù)據(jù)361 370和圖像381 384，按照每行，也標(biāo)注對(duì)應(yīng)的被檢查物2的部位(p3、p4、…)ο此外，圖8c是表示用于生成最初所生成的RT-LCI數(shù)據(jù)的處理的示意圖。圖8c的縱軸表示時(shí)間(幀單位的時(shí)間)。與圖8a同樣地，假設(shè)設(shè)定為拍攝角度的種類數(shù)k = 3、微分操作符的行數(shù)m = 5。在圖Sc中，針對(duì)與圖8a所示的數(shù)據(jù)相同的數(shù)據(jù)賦予相同的參考符號(hào)。圖8c所不的吣3111表不微分操作符的第1、2、…m行的要素。根據(jù)這些，以下說明RT-LCI的具體的處理。假設(shè)在RT-LCI的處理開始時(shí)，在各個(gè)存儲(chǔ)部中沒有存儲(chǔ)任何的數(shù)據(jù)。此外，假設(shè)在被檢查物2的上端部pi進(jìn)入到區(qū)域相機(jī)5的拍攝范圍401時(shí)開始RT-LCI的處理。圖像數(shù)據(jù)301是在幀序號(hào)i = I時(shí)拍攝的數(shù)據(jù)，表示被檢查物2的上端部pi正逼近第I行的狀態(tài)。此時(shí)，第I提取部111從圖像數(shù)據(jù)301的第I行(規(guī)定的行)中提取行數(shù)據(jù)pl-A，第I存儲(chǔ)部131將由第I提取部111提取的行數(shù)據(jù)pl-A存儲(chǔ)在第I區(qū)域221的第I分區(qū)。行合成圖像數(shù)據(jù)311表示此時(shí)的第I區(qū)域221中所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)。由于幀序號(hào)i = 1，第2提取部112和第3提取部113不進(jìn)行處理，此外，由于在第I區(qū)域221的全部分區(qū)上也沒有行數(shù)據(jù)，因此等待過渡到下一幀。在幀序號(hào)i = 2時(shí)，被檢查物2的上端部pi位于第2行，p2處于第I行上。此時(shí)，區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)是圖像數(shù)據(jù)302。第I提取部111從圖像數(shù)據(jù)302的第I行中提取行數(shù)據(jù)P2-A。此時(shí)，由于第I分區(qū)判定部12的第I判定部121判定為在第I區(qū)域221的第I分區(qū)中具有行數(shù)據(jù)，因此第I存儲(chǔ)部131將處于第I區(qū)域221的第I分區(qū)中的行數(shù)據(jù)pl-A (與部位pi建立對(duì)應(yīng)的第I行的行數(shù)據(jù))移動(dòng)到第I區(qū)域221的第2分區(qū)中，將第I提取部111提取的行數(shù)據(jù)p2-A(與部位p2建立對(duì)應(yīng)的行數(shù)據(jù))存儲(chǔ)到第I區(qū)域221的第I分區(qū)中。此外，由于是幀序號(hào)i = 2，因此第2提取部112從圖像數(shù)據(jù)302的第2行中提取行數(shù)據(jù)Pl-B，第2存儲(chǔ)部132將由第2提取部112提取的行數(shù)據(jù)pl_B存儲(chǔ)到第2區(qū)域222的第I分區(qū)中。在這里，由于在第I區(qū)域221和第2區(qū)域222的全部分區(qū)上沒有行數(shù)據(jù)，因此等待過渡到下一幀。
在幀序號(hào)i = 3時(shí)，被檢查物2的上端部pi位于第3行，部位pi p3進(jìn)入?yún)^(qū)域相機(jī)5的拍攝范圍401。此時(shí)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)是圖像數(shù)據(jù)303。以與前面相同的方式，第I提取部111和第2提取部112分別從圖像數(shù)據(jù)303的第I行、第2行中提取行數(shù)據(jù)p3-A和p2-B，第I存儲(chǔ)部131、第2存儲(chǔ)部132分別將已經(jīng)存儲(chǔ)于第I區(qū)域221、第2區(qū)域222的行數(shù)據(jù)各上移I個(gè)分區(qū)，在第I區(qū)域221、第2區(qū)域222的第I分區(qū)中存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)p3-A和p2-B。這里，由于是幀序號(hào)i = 3，因此第3提取部113從圖像數(shù)據(jù)303的第3行中提取行數(shù)據(jù)Pl-C，第3存儲(chǔ)部將由第3提取部113提取的行數(shù)據(jù)pl-C存儲(chǔ)到第3區(qū)域223的第I分區(qū)中。在這里，由于在第I區(qū)域221、第2區(qū)域222和第3區(qū)域223的全部分區(qū)上沒有行數(shù)據(jù)，因此等待過渡到下一幀。在幀序號(hào)i = 4、5時(shí)也同樣地，第I 第3提取部111 113從圖像數(shù)據(jù)304、305的第I 第3行中分別提取行數(shù)據(jù)p4_A、p3_B、p2_C和行數(shù)據(jù)p5_A、p4-B、p3_C,第I 第3存儲(chǔ)部131 133分別將已經(jīng)存儲(chǔ)于第I 第3區(qū)域221 223的行數(shù)據(jù)各上移一個(gè)分區(qū)，在第I 第3區(qū)域221 223的第I分區(qū)中存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)p4_A、p3_B、p2_C和行數(shù)據(jù)p5_A、p4-B、p3-C。由此，第I區(qū)域221中所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)315變成將第I 第5幀的圖像數(shù)據(jù)301 305中的第I行(拍攝角度A)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)。在幀序號(hào)i=5中，如行合成圖像數(shù)據(jù)315所示，由于行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在第I區(qū)域221的全部分區(qū)中，因此全部分區(qū)判定部14的第I判定部141判定為在第I區(qū)域221的全部分區(qū)中存在行數(shù)據(jù)，第I計(jì)算部151對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)315進(jìn)行微分操作符運(yùn)算(用于實(shí)施微分濾波的運(yùn)算處理)，從而生成表示行合成圖像數(shù)據(jù)315的中心行數(shù)據(jù)即第I區(qū)域的第3分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)P3-A中的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)341，并存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)部23中。此時(shí)第I計(jì)算部151對(duì)微分操作符運(yùn)算結(jié)果的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)附加與第I區(qū)域的第3分區(qū)所存儲(chǔ)的行數(shù)據(jù)P3-A建立對(duì)應(yīng)的表示被檢查物2的部位的記號(hào)p3和行合成圖像數(shù)據(jù)315所對(duì)應(yīng)的表示拍攝角度的記號(hào)A。這里，相同部分判定提取部16判定在第3存儲(chǔ)部23中是否存儲(chǔ)了對(duì)被檢查物2的相同部分(部位)進(jìn)行表示的全部拍攝角度(3個(gè)種類)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，但是由于在第3存儲(chǔ)部23中僅有強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)341，因此等待過渡到下一幀。在幀序號(hào)i = 6中，第I 第3提取部111 113從圖像數(shù)據(jù)306的第I 第3行中分別提取行數(shù)據(jù)p6-A、p5-B、p4-C，第I 第3存儲(chǔ)部131 133分別將已經(jīng)存儲(chǔ)于第I 第3區(qū)域221 223的行數(shù)據(jù)各上移I個(gè)分區(qū)，在第I 第3區(qū)域221 223的第I分區(qū)中存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)p6-A、p5-B、p4-C。由此，第I區(qū)域221和第2區(qū)域222中所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)316和行合成圖像數(shù)據(jù)326變成將第2 第6幀的圖像數(shù)據(jù)302 306中的第I行(拍攝角度A)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)和將第2 第6幀的圖像數(shù)據(jù)302 306中的第2行(拍攝角度B)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)。由于行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在第I區(qū)域221、第2區(qū)域222的全部分區(qū)中，因此第I計(jì)算部151對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)316進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P4-A的亮度梯度的絕對(duì)值的行圖像數(shù)據(jù)344，第2計(jì)算部152對(duì)部分圖像數(shù)據(jù)326進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)p3-B的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)343，并將生成的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)344附加記號(hào)p4和記號(hào)A而存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)部23中，將生成的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)343附加記號(hào)p3和記號(hào)B而存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)部23中。這里，由于在第3存儲(chǔ)部23中沒有存儲(chǔ)對(duì)被檢查物2的相同部分(部位)進(jìn)行表示的全部拍攝角度(3個(gè)種類)的亮度數(shù)據(jù)，因此等待過渡到下一幀。在幀序號(hào)i = 7中，第I 第3提取部111 113從圖像數(shù)據(jù)307的第I 第3行中分別提取行數(shù)據(jù)p7-A、p6-B、p5-C，第I 第3存儲(chǔ)部131 133分別將已經(jīng)存儲(chǔ)于第I 第3區(qū)域221 223的行數(shù)據(jù)各上移I個(gè)分區(qū)，在第I 第3區(qū)域221 223的第I分區(qū)中存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)p7-A、p6-B、p5-C。由此，第I 第3區(qū)域221 223中所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)317、327、337變成將第3 第7幀的圖像數(shù)據(jù)303 307中的第I行(拍攝角度A)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)、將第3 第7幀的圖像數(shù)據(jù)303 307中的第2行(拍攝角度B)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)、以及將第3 第7幀的圖像數(shù)據(jù)303 307中的第3行(拍攝角度C)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)。由于行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在第I區(qū)域221、第2區(qū)域222、第3區(qū)域223的全部分區(qū)中，因此第I計(jì)算部151對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)317進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P5-A的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)350，第2計(jì)算部152對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)327進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P4-B的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)349，第3計(jì)算部153對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)337進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P3-C的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)347，并將生成的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)350、349、347存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)部23中。此時(shí)，由于在第3存儲(chǔ)部23中存儲(chǔ)了對(duì)被檢查物2的相同部位p3進(jìn)行表示的全部拍攝角度(A、B、C的3個(gè)種類)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)(強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)345 347)，因此，累計(jì)部17對(duì)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)345、346、347的亮度值進(jìn)行累計(jì)，生成部位P3的RT-LCI數(shù)據(jù)361，并存儲(chǔ)到第4存儲(chǔ)部24中。然后，圖像生成部18將部位P3的RT-LCI數(shù)據(jù)361作為新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)而輸出到顯示部30，顯示部30顯示缺陷檢查用圖像381。這里，基于圖8c，再次說明RT-LCI數(shù)據(jù)361的生成處理。如圖8c所示，在幀序號(hào)
i= 5(m)中，對(duì)將5(m)幀的圖像數(shù)據(jù)301 305的相同行進(jìn)行了合成的行合成圖像數(shù)據(jù)315進(jìn)行5(m)行I列的微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)p3-A的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)341 (在后續(xù)的幀中變成強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)342、345等)。接著，在幀序號(hào)i =6中，對(duì)將5幀的圖像數(shù)據(jù)302 306的相同行進(jìn)行了合成的行合成圖像數(shù)據(jù)326進(jìn)行5行I列的微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P3-B的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)343 (在后續(xù)的幀中變成強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)346等)。然后，在幀序號(hào)i = 7( = m+k-l)中，對(duì)將5幀的圖像數(shù)據(jù)303 307的相同行進(jìn)行了合成的行合成圖像數(shù)據(jù)337進(jìn)行5行I列的微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P3-C的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)347。將生成的3(k)幀的相同觀測(cè)位置的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)345 347的亮度值進(jìn)行累計(jì)，生成部位p3的 RT-LCI 數(shù)據(jù) 361。在幀序號(hào)i = 8中，第I 第3提取部111 113從圖像數(shù)據(jù)308的第I 第3行中分別提取行數(shù)據(jù)p8-A、p7-B、p6-C，第I 第3存儲(chǔ)部131 133分別將已經(jīng)存儲(chǔ)于第I 第3區(qū)域221 223的行數(shù)據(jù)各上移I個(gè)分區(qū)，在第I 第3區(qū)域221 223的第I分區(qū)中存儲(chǔ)行數(shù)據(jù)p8-A、p7-B、p6-C。由此，第I 第3區(qū)域221 223中所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)318、328、338變成將第4 第8幀的圖像數(shù)據(jù)304 308中的第I行(拍攝角度A)、第2行(拍攝角度B)、第3行(拍攝角度C)進(jìn)行合成后的行合成圖像數(shù)據(jù)。由于行數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在第I區(qū)域221、第2區(qū)域222、第3區(qū)域223的全部分區(qū)中，因此，第I計(jì)算部151對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)318進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P6-A的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)356，第2計(jì)算部152對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)328進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P5-B的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)355，第3計(jì)算部153對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)338進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，從而生成表示行數(shù)據(jù)P4-C的亮度梯度的絕對(duì)值的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)353，并分別將生成的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)356、355、353存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)部23中。此時(shí)，由于在第3存儲(chǔ)部23中存儲(chǔ)了對(duì)被檢查物2的相同部位p4進(jìn)行表示的全部拍攝角度(A、B、C的3個(gè)種類)的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)(強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)351 353)，因此累計(jì)部17對(duì)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)351 353的亮度值進(jìn)行累計(jì)，生成部位p4的RT-LCI數(shù)據(jù)363，并存儲(chǔ)到第4存儲(chǔ)部24中。然后，圖像生成部18從頂部開始以p3、p4順序?qū)T-LCI數(shù)據(jù)362、363進(jìn)行排列，使得將RT-LCI數(shù)據(jù)362、363與被檢查物2的位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)，從而合成新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)，并輸出到顯示部30。此時(shí)，顯示部30顯示部位p3、p4的缺陷檢查用圖像382。以下同樣地，在幀序號(hào)i = 9中，將部位p3、p4、p5的RT-LCI數(shù)據(jù)進(jìn)行排列而合成的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)輸出到顯示部30，顯示部30顯示部位p3、p4、p5的缺陷檢查用圖像,并且在幀序號(hào)i = 10中，將部位p3、p4、p5、p6的RT-LCI數(shù)據(jù)進(jìn)行排列而合成的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)輸出到顯示部30，顯示部30顯示部位p3、p4、p5、p6的缺陷檢查用圖像。例如，如果假設(shè)被檢查物2的部位是部位pi p478，則最終在幀序號(hào)i = 480中，將部位p3 P476的RT-LCI數(shù)據(jù)進(jìn)行排列而合成的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)輸出到顯示部30，顯示部30顯示部位P3 p478的缺陷檢查用圖像。因此，能夠得到與被檢查物2的大部分(474/478)相關(guān)的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。如果僅將被檢查物2的部位p3 p476設(shè)為被檢查物，則能夠得到與該被檢查物整體相關(guān)的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。接著，基于圖9，說明變化量計(jì)算部15進(jìn)行的運(yùn)算處理的細(xì)節(jié)。在這里，為了說明的簡(jiǎn)化，將區(qū)域相機(jī)5的像素?cái)?shù)設(shè)為橫向4個(gè)像素X縱向9個(gè)像素(η = 4)。除此之外，將圖8a 圖8c的說明中所使用的條件直接適用。圖9是表示由第2存儲(chǔ)部22所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)、變化量計(jì)算部15使用的微分操作符、變化量計(jì)算部15計(jì)算出的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的值的一個(gè)例子的示意圖。圖9所示的矩陣461是將由第2存儲(chǔ)部22所存儲(chǔ)的5個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)(相當(dāng)于圖8a和圖Sc所示的行合成圖像數(shù)據(jù)315、326、337等)的全部像素的亮度值設(shè)為要素的5行4列的矩陣。圖9所示的矩陣462是變化量計(jì)算部15使用的5行I列的微分操作符(微分濾波)。圖9所示的矩陣463是將變化量計(jì)算部15計(jì)算出的長(zhǎng)邊方向的亮度梯度設(shè)為要素的5行4列的矩陣。圖9所示的矩陣464是由矩陣463的絕對(duì)值組成的矩陣，表示圖8a所示的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)341 356的全部像素的亮度值。變化量計(jì)算部15對(duì)矩陣461乘以微分操作符的矩陣462。具體地，首先，對(duì)矩陣461的第I列乘以矩陣462，計(jì)算出矩陣463的第I列的值。也就是說，通過對(duì)矩陣461的第I列進(jìn)行以下的計(jì)算，計(jì)算出矩陣463的第I列的值。該計(jì)算是98X (-2)+99X (-1)+10 0X0+101X1+102X2 = 10。接著，對(duì)矩陣461的第2 4列同樣地乘以矩陣462，計(jì)算出矩陣463的第2 4列的值，將矩陣463生成作為行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行的亮度數(shù)據(jù)。這樣，變化量計(jì)算部15通過對(duì)由5個(gè)的行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)乘以微分操作符，計(jì)算出行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行數(shù)據(jù)的縱向方向亮度梯度，生成亮度數(shù)據(jù)。通過計(jì)算出行合成圖像數(shù)據(jù)的亮度值的梯度，使得易于檢測(cè)出位于被檢查物2上的微小缺陷、細(xì)缺陷、淺缺陷。此外，如果變化量計(jì)算部15計(jì)算出的亮度梯度不是O，則表示在被檢查物2的該部位上具有缺陷(但是，在亮度梯度接近于O時(shí)，存在不是缺陷而是噪聲的可能性)。當(dāng)在被檢查物2上具有缺陷的情況下，被檢查物2中，在來自線性光源4的光沒有被刀刃7遮光而入射的區(qū)域，缺陷變暗，在來自線性光源4的光被刀刃7遮光而不直接地入射的區(qū)域，缺陷變明亮，由此被拍攝。因此，亮度梯度的值的符號(hào)對(duì)缺陷的有無沒有影響，亮度梯度的大小在判斷缺陷的有無時(shí)變得重要。因此，如圖9所示的矩陣464那樣，變化量計(jì)算部15取變化量計(jì)算部15生成的亮度梯度的矩陣463的絕對(duì)值，從而生成矩陣464。如上所述，變化量計(jì)算部15將行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上的各個(gè)像素的亮度值置換成在各個(gè)像素中的長(zhǎng)邊方向亮度梯度的絕對(duì)值，從而生成新的I行的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。通過這樣使用亮度梯度的絕對(duì)值，使得映在明側(cè)上的缺陷和映在暗側(cè)上的缺陷都同樣地發(fā)揮增強(qiáng)(Plus)作用，從而使缺陷有無的識(shí)別變得更加容易。而且，由于能夠同樣地處理明側(cè)和暗側(cè)的缺陷，因此在進(jìn)行光學(xué)系統(tǒng)的位置決定時(shí)，通過僅配置區(qū)域相機(jī)5的拍攝范圍以使得跨越刀刃7就足夠了。而且，在進(jìn)行刀刃7的位置決定時(shí)，即使與區(qū)域相機(jī)5的水平方向不嚴(yán)密地對(duì)準(zhǔn)，也能夠精度良好地進(jìn)行檢查。即，與現(xiàn)有技術(shù)比較，不需要高精度地進(jìn)行暗視場(chǎng)法的光學(xué)系統(tǒng)的配置，從而使配置變得簡(jiǎn)單。因此，缺陷檢查系統(tǒng)的檢查能力以及缺陷檢查系統(tǒng)的裝置系統(tǒng)、特別是光學(xué)系統(tǒng)的維護(hù)性得以提高。而且，通過對(duì)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行RT-LCI處理，不會(huì)受到被檢查物2的厚度和翹曲的影響，能夠精度良好地檢測(cè)缺陷。在現(xiàn)有技術(shù)的透射散射法中，如圖10(a)和(b)所示，在被檢查物2較厚或者被檢查物2翹曲的情況下，當(dāng)從線性光源4照射的光透過被檢查物2時(shí)，有時(shí)會(huì)發(fā)生折射而從區(qū)域相機(jī)5的光軸偏離而入射。此外，在現(xiàn)有技術(shù)的反射散射法中，如圖10(c)所示，在被檢查物2較厚或者被檢查物2翹曲的情況下，當(dāng)從線性光源4照射的光在被檢查物2上反射時(shí)，有時(shí)會(huì)與在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)中所預(yù)料的反射角不同的角度來進(jìn)行反射，有時(shí)會(huì)從區(qū)域相機(jī)5的光軸偏離而進(jìn)行入射。這樣，由于受到被檢查物2的厚度和翹曲的影響而使來自線性光源4的光非所預(yù)料地偏離光軸而入射到區(qū)域相機(jī)5，從而不能夠區(qū)別由被檢查物2的缺陷引起的光軸的偏離，存在誤認(rèn)為在被檢查物2上具有缺陷的可能性。在透射散射法中，如圖10(a)所示，在被檢查物2較薄、被檢查物2的曲率較小、或者入射角(圖2所示的Z軸和到區(qū)域相機(jī)5的入射光的光軸之間的角度)較小的情況下，由于光軸的偏離很小，因此對(duì)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像的影響較小。另一方面，如圖10(b)所示，在被檢查物2較厚、被檢查物2的曲率較大、或者入射角較大的情況下，光軸的偏離變大，對(duì)區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像的影響變得不能忽視。在反射散射法中，除了上述之外，即使是反射角稍微不同的情況，與被檢查物2和區(qū)域相機(jī)5之間的距離成比例，光軸的偏離也變大。 即使在本實(shí)施方式中，與現(xiàn)有技術(shù)同樣，由于被檢查物2的厚度或者翅曲,有時(shí)光軸也發(fā)生偏離。但是，通過計(jì)算出區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)的亮度值的梯度，且對(duì)多個(gè)拍攝角度中的梯度的絕對(duì)值進(jìn)行累計(jì)，能夠抑制由被檢查物2的厚度或者翹曲引起的光軸的偏離的影響。盡管在本實(shí)施方式中，假設(shè)從區(qū)域相機(jī)5拍攝某一圖像之后到拍攝下一圖像之前(I幀期間)被檢查物2移動(dòng)的距離即移動(dòng)寬度和數(shù)據(jù)提取部11提取的行數(shù)據(jù)的寬度所表示的實(shí)際距離是相同的，但是不局限于此。例如，在輸送器3的輸送速度是5倍且被檢查物2在I幀期間移動(dòng)5個(gè)像素的情況下，如果將數(shù)據(jù)提取部11提取的行數(shù)據(jù)的寬度設(shè)定成5個(gè)像素，則能夠進(jìn)行同樣的RT-LCI處理。相反地，在輸送器的輸送速度是1/5倍且被檢查物2在I幀期間移動(dòng)1/5個(gè)像素的情況下，如果按每5幀，數(shù)據(jù)提取部11提取行數(shù)據(jù)(nX I個(gè)像素)，則能夠進(jìn)行同樣的RT-LCI處理。除此之外，在數(shù)據(jù)提取部11提取的行數(shù)據(jù)的寬度所表示的實(shí)際距離與移動(dòng)寬度不嚴(yán)密地對(duì)準(zhǔn)的情況下(例如，在區(qū)域相機(jī)5的每I個(gè)像素的分辨率與移動(dòng)寬度之比變成I :1. 05之類的不完整的值的情況下)，如果使用模式匹配(pattern matching)技術(shù)來補(bǔ)正行數(shù)據(jù)的位置,則 也能夠進(jìn)行同樣的RT-LCI處理。對(duì)于上述模式匹配技術(shù)，由于其硬件化是容易的且其各種技術(shù)是公知的，因此可以使用適合于RT-LCI處理的公知技術(shù)。此外，盡管本實(shí)施方式的圖像分析裝置6，作為用于存儲(chǔ)由數(shù)據(jù)提取部11提取的第I 第k行的行數(shù)據(jù)的機(jī)構(gòu)，包括第I 第k區(qū)域221 22k、第I 第k判定部121 12k、以及第I 第k存儲(chǔ)部131 13k，但是代替這些，也可以使用用于分別存儲(chǔ)由數(shù)據(jù)提取部11提取的第I 第k行的行數(shù)據(jù)的k個(gè)FIFO (先進(jìn)先出)存儲(chǔ)器。在該情況下，各個(gè)FIFO存儲(chǔ)器具有用于分別存儲(chǔ)I行的行數(shù)據(jù)的第I 第5分區(qū)，每當(dāng)接收新的行數(shù)據(jù)時(shí)，將接收的行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第I分區(qū)，使第2 第4分區(qū)所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)移動(dòng)到第3 第5分區(qū)，并且廢棄第5分區(qū)所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)。此外，盡管在本實(shí)施方式中，固定區(qū)域相機(jī)5，使用輸送器3來使被檢查物2移動(dòng)，但是，不局限于此，還可以使區(qū)域相機(jī)5和被檢查物2進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。此外，在本實(shí)施方式中，與RT-LCI處理沒有關(guān)系或者已經(jīng)使用的數(shù)據(jù)(圖像數(shù)據(jù)、行數(shù)據(jù)等)每次都可以廢棄，也可以作為備份用而保存到相同的存儲(chǔ)部或者其它的存儲(chǔ)部中。例如，圖8a所示的圖像數(shù)據(jù)301 310，雖然在行數(shù)據(jù)被提取之后不被使用在RT-LCI處理中，但是，可以被保存在第I存儲(chǔ)部21等中。此外，在變化量計(jì)算部15計(jì)算出行合成圖像數(shù)據(jù)的亮度值的梯度的前后，可以進(jìn)行平滑化的處理。代替用于計(jì)算行合成圖像數(shù)據(jù)的亮度值的梯度的變化量計(jì)算部15，還可以設(shè)置平滑化處理部，其用于對(duì)由第I 第k區(qū)域221 22k各自中所存儲(chǔ)的多個(gè)行數(shù)據(jù)構(gòu)成的行合成圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行使用了 m行I列的平滑化操作符的平滑化的處理，從而生成強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。通過進(jìn)行平滑化的處理，能夠檢測(cè)出含于噪聲中的小的(淺的、細(xì)的)缺陷。此時(shí)，作為上述平滑化操作符，能夠使用例如7行I列的矩陣(1，1，1，1，1，1，1)τ等的平滑化操作符。代替用于計(jì)算行合成圖像數(shù)據(jù)的亮度值的梯度的變化量計(jì)算部15，還可以設(shè)置操作符運(yùn)算處理部，其用于對(duì)行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的其他的操作符(鮮明化操作符等)的運(yùn)算。此外，還可以在用合適的閾值將亮度值進(jìn)行二值化之后輸出由圖像生成部18所合成的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。由此，去除噪聲，并且能夠輸出和顯示用于更加清楚且正確地示出缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。在進(jìn)行二值化的情況下，在與二值化后的圖像數(shù)據(jù)中的缺陷區(qū)域相當(dāng)?shù)膮^(qū)域(在本實(shí)施方式中為明亮區(qū)域)中，可以將規(guī)定大小以下的區(qū)域作為噪聲而去除。由此，能夠輸出和顯示用于更加正確地示出缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。而且，在進(jìn)行二值化的情況下，可以在二值化后的圖像數(shù)據(jù)中，基于各個(gè)像素的亮度值是否是表示缺陷的亮度(在本實(shí)施方式中為明亮亮度)，來進(jìn)行缺陷檢查。在本實(shí)施方式中，通過使用暗視場(chǎng)法來檢查被檢查物的缺陷，該暗視場(chǎng)法是使用刀刃7來對(duì)被檢查物的二維圖像進(jìn)行拍攝、且將缺陷檢測(cè)作為缺陷檢查用的圖像數(shù)據(jù)中的暗視場(chǎng)(來自線性光源4的光被刀刃7遮蔽而沒有直線地入射的部分)中的明部(起因于由被檢查物2的缺陷所散射的光)。但是，不局限于此，還可以通過使用明視場(chǎng)法來檢查被檢查物的缺陷，該明視場(chǎng)法是省去刀刃7而對(duì)被檢查物的二維圖像進(jìn)行拍攝、且將缺陷檢測(cè)作為缺陷檢查用的圖像數(shù)據(jù)中的明視場(chǎng)(由線性光源4所照明的部分)中的暗部(起因于由被檢查物2的缺陷引起的光的散射)。此外，盡管在本實(shí)施方式中，針對(duì)每I幀期間進(jìn)行RT-LCI處理，但是不局限于此，例如，既可以按每個(gè)規(guī)定的幀期間進(jìn)行RT-LCI處理，也可以在拍攝之后，將拍攝的圖像數(shù)據(jù)匯集，進(jìn)行與RT-LCI處理同樣的行合成累計(jì)的圖像處理。具體地，在作為區(qū)域相機(jī)5而使用高速相機(jī)的情況下，由于實(shí)時(shí)(針對(duì)每I幀期間)進(jìn)行RT-LCI處理是困難的，因此將由高速相機(jī)拍攝的圖像作為圖像數(shù)據(jù)一次性保存在硬盤等存儲(chǔ)裝置上，將保存的圖像數(shù)據(jù)以時(shí)序讀出，同時(shí)進(jìn)行與RT-LCI處理同樣的行合成累計(jì)的圖像處理。這樣，將非實(shí)時(shí)進(jìn)行的行合成累計(jì)的處理稱為軟件LCI處理。此外，盡管在本實(shí)施方式中，將圖像分析裝置6設(shè)為安裝了圖像處理軟件的PCJM是不局限于此，例如，既可以是區(qū)域相機(jī)5內(nèi)置的圖像分析裝置6，也可以為不是PC而是從區(qū)域相機(jī)5捕獲圖像數(shù)據(jù)的捕獲板(PC的擴(kuò)充卡)內(nèi)置的圖像分析裝置6。此外，盡管在本實(shí)施方式中，變化量計(jì)算部15對(duì)第2存儲(chǔ)部22的各個(gè)區(qū)域所存儲(chǔ)的部分圖像數(shù)據(jù)使用全部相同的微分操作符來進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，但是，不局限于此。例如，變化量計(jì)算部15的第I計(jì)算部對(duì)第I區(qū)域所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)(315等)，使用某一微分操作符A來進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，第2計(jì)算部對(duì)第2區(qū)域所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)(326等)，使用與微分操作符A不同的微分操作符B來進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，第3計(jì)算部對(duì)第3區(qū)域所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)(337等)，使用與微分操作符A和B不同的微分操作符C來進(jìn)行微分操作符運(yùn)算。此外，代替進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，還可以進(jìn)行使用諸如平滑化操作符等的用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的其他的操作符的運(yùn)算。例如，在使用明視場(chǎng)法來拍攝被檢查物時(shí)，存在從拍攝的各個(gè)圖像數(shù)據(jù)中提取的行合成圖像數(shù)據(jù)實(shí)質(zhì)上變成相同的情況。此時(shí)，對(duì)實(shí)質(zhì)上相同的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，可以分別使用不同的微分操作符運(yùn)算來生成強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。通過將該使用不同的微分操作符運(yùn)算所生成的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行累計(jì)，能夠檢測(cè)各種缺陷。此外，盡管在本實(shí)施方式中，在變化量計(jì)算部15進(jìn)行操作符運(yùn)算而生成強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)之后，相同部分判定提取部16提取了表示被檢查物2之相同部分的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，但是不局限于該順序。例如，可以在相同部分判定提取部16提取了表示被檢查物2的相同部分的行合成圖像數(shù)據(jù)之后，變化量計(jì)算部15對(duì)相同部分判定提取部16提取的行合成圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行操作符運(yùn)算而生成強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。 換言之，變化量計(jì)算部15通過對(duì)由數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部13合成的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，分別生成I行或者多行的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，相同部分判定提取部16從變化量計(jì)算部15生成的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中提取表示被檢查物2的相同部分的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，累計(jì)部17按照每個(gè)像素將相同部分判定提取部16提取的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值進(jìn)行累計(jì)，生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。相同部分判定提取部16從由數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部13合成的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中提取表示被檢查物2的相同部分的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，變化量計(jì)算部15通過對(duì)相同部分判定提取部16提取的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，分別生成I行或者多行的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，累計(jì)部17暫緩每個(gè)像素將變化量計(jì)算部15生成的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值進(jìn)行累計(jì)，生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
此外，盡管在本實(shí)施方式中，在數(shù)據(jù)提取部11從拍攝的圖像數(shù)據(jù)中提取行數(shù)據(jù)時(shí)，對(duì)提取的行數(shù)據(jù)，附加了用于確定(識(shí)別)在被檢查物2上的位置的記號(hào)(識(shí)別符)，但是不局限于此。也可以在相同部分判定提取部16進(jìn)行用于提取對(duì)被檢查物2的相同部分進(jìn)行表示的行合成圖像數(shù)據(jù)(或者強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù))的處理之前，在圖像數(shù)據(jù)(拍攝的圖像數(shù)據(jù)、行數(shù)據(jù)、行合成圖像數(shù)據(jù)、強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)等)上附加用于確定在被檢查物2上的位置的記號(hào)。此外，也可以對(duì)圖像數(shù)據(jù)不附加用于確定在被檢查物2上的位置的記號(hào)，而使相同部分判定提取部16確定和提取表示被檢查物2的相同部分的行合成圖像數(shù)據(jù)(或者強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù))。[實(shí)施例]下面，說明在圖3所示的缺陷檢查系統(tǒng)I中對(duì)由區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)實(shí)施RT-LCI處理的實(shí)施例。作為區(qū)域相機(jī)5的主體，使用了倍速逐行掃描黑白相機(jī)模件(索尼公司制造的XC-HR50)。此外,對(duì)于區(qū)域相機(jī)5的透鏡,使用了在株式會(huì)社Tamuron制造的透鏡(焦距f = 35mm)上安裝了 5mm近攝圈的透鏡。區(qū)域相機(jī)5的像素?cái)?shù)是512X480個(gè)像素，每I個(gè)像素的分辨率是70微米/像素。區(qū)域相機(jī)5的焦點(diǎn)與被檢查物的表面上對(duì)準(zhǔn)。區(qū)域相機(jī)5的幀速率是60FPS，在通常TV格式下進(jìn)行拍攝。用區(qū)域相機(jī)拍攝8秒時(shí)間，對(duì)480張的圖像進(jìn)行RT-LCI處理。輸送器3的輸送速度設(shè)定在4. 2mm/秒。也就是說，設(shè)定為在每I幀中被檢查物2移動(dòng)70微米。作為線性光源4，使用了 22kHz的高頻熒光燈。作為照明擴(kuò)散板8，使用了 3mm厚度的乳白色的PMMA(有機(jī)玻璃)片。作為刀刃7，使用了 NT刀具。至于被檢查物2，使用了具有諸如棱標(biāo)記或者麻點(diǎn)等缺陷的透明的PMMA片。作為RT-LCI處理中的圖像處理的設(shè)定，假設(shè)k = 15、m = 5或者7。將數(shù)據(jù)提取部11提取的行數(shù)據(jù)的像素?cái)?shù)設(shè)為512X1個(gè)像素，設(shè)定為移動(dòng)寬度與行數(shù)據(jù)的寬度表示的實(shí)際距離一致。首先，基于圖11，說明進(jìn)行RT-LCI處理的一個(gè)例子。圖11 (a)所示的圖像是原始圖像，是區(qū)域相機(jī)5拍攝的動(dòng)態(tài)圖像的最后幀(第480幀)的圖像。該原始圖像是與圖5(a)所示的圖像同類的圖像。與圖5(a)同樣，在圖11(a)所示的原始圖像中，下部的暗部分是由刀刃7遮蔽住光的部分，中心附近的明亮部分是來自線性光源4的光透射的部分，上部的暗部分是線性光源4的光未照到的脫離檢查對(duì)象的部分。從圖11(a)所示的原始圖像的下端向著上部而突出的暗的部分是為了標(biāo)記而配置的物體的陰影。圖11(b)所示的圖像是對(duì)原始圖像的刀刃7附近的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行RT-LCI處理且使RT-LCI數(shù)據(jù)與原始圖像相對(duì)應(yīng)而排列的RT-LCI圖像。示出在RT-LCI圖像的明亮部分的位置上具有缺陷。如果觀察RT-LCI圖像，知道條紋狀的棱標(biāo)記或者點(diǎn)狀的麻點(diǎn)等缺陷處于被檢查物2上。而且，由于被檢查物2的位置和圖像的位置對(duì)應(yīng)，因此通過觀察RT-LCI圖像，能夠容易地識(shí)別在被檢查物2上的哪個(gè)位置上具有怎樣的缺陷。
接著，基于圖11，說明當(dāng)在變化量計(jì)算部15中使用了不同的微分操作符的情況下的RT-LCI圖像的例子。圖11 (a)是區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像(第480幀)。圖11 (b)是表示通過假設(shè)m = 7，對(duì)原始圖像使用7行I列的矩陣(-3，-2，-1，0，1，2，3)τ作為微分操作符來進(jìn)行RT-LCI處理所得到的RT-LCI圖像的例子的示意圖。此外，圖11 (b)所示的RT-LCI圖像是進(jìn)行了使得對(duì)原始圖像的圖像數(shù)據(jù)的縱向方向的亮度梯度進(jìn)行強(qiáng)調(diào)的處理的圖像。該微分操作符是在檢測(cè)非常淺的凹凸即缺陷時(shí)所適用的運(yùn)算處理。此外，圖11(c)是通過假設(shè)m = 7，對(duì)原始圖像使用7行I列的矩陣(-1，-1，-1，6，-1,-1,-1)τ作為微分操作符來進(jìn)行RT-LCI處理所得到的RT-LCI圖像的例子的示意圖。該微分操作符是適用于僅強(qiáng)調(diào)中程度的點(diǎn)缺陷的運(yùn)算處理。此外，圖12示出使用另一個(gè)微分操作符的例子。圖12(a)是區(qū)域相機(jī)5拍攝的原始圖像。圖12(b)是原始圖像的邊緣附近的確定拍攝角度的行合成圖像。此外，圖12(c)是通過假設(shè)m = 7，對(duì)原始圖像使用了 5行I列的矩陣(-2，-1，0，1，2)τ作為微分操作符來進(jìn)行RT-LCI處理所得到的RT-LCI圖像。接著，圖13示出在刀刃相對(duì)于區(qū)域相機(jī)的水平方向傾斜的狀態(tài)下所拍攝的實(shí)施例。圖13(a)是區(qū)域相機(jī)5拍攝的原始圖像。圖13(b)是與由使用現(xiàn)有技術(shù)的行傳感器的缺陷檢查系統(tǒng)所得到的圖像相同的、原始圖像的邊緣附近的某一拍攝角度的行合成圖像。觀察圖13(b)可知圖像的左側(cè)變明亮，右側(cè)變暗。這樣，在使用了現(xiàn)有技術(shù)的行傳感器的缺陷檢查系統(tǒng)中，由行傳感器和刀刃之間的配置關(guān)系，會(huì)對(duì)拍攝的圖像具有大的影響。也就是說，對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，如果沒有將包括行傳感器和刀刃的光學(xué)系統(tǒng)的配置進(jìn)行高精度的位置決定，則不能得到精度良好的檢查結(jié)果。圖13(c)是通過假設(shè)m = 5，對(duì)原始圖像使用了5行I列的矩陣(_2，-1,0,1，2)τ作為微分操作符來進(jìn)行RT-LCI處理所得到的RT-LCI圖像。觀察圖13(c)可知與圖13(b)不同，在RT-LCI圖像中，沒有受到由刀刃7傾斜引起的影響。即，本發(fā)明的缺陷檢查系統(tǒng)I即使是刀刃7相對(duì)于區(qū)域相機(jī)5的水平方向而傾斜的情況，也能夠精度良好地檢測(cè)缺陷。接著，基于圖14，說明在RT-LCI處理上使用平滑化操作符的例子。圖14(a)是區(qū)域相機(jī)拍攝的原始圖像。圖14(b)是原始圖像的邊緣附近的某一拍攝角度的行合成圖像。圖14(c)是通過假設(shè)m= 7，對(duì)原始圖像代替微分操作符而使用了作為平滑化操作符的7行I列的矩陣(1，1，1，1，1，1，1)τ來進(jìn)行RT-LCI處理所得到的RT-LCI圖像。本發(fā)明不局限于上述的實(shí)施方式，在權(quán)利要求書所示的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。即，對(duì)于將在權(quán)利要求書所示的范圍內(nèi)進(jìn)行合適變更的技術(shù)手段進(jìn)行組合所得到的實(shí)施方式，也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。最后，圖像分析裝置6的各個(gè)模塊，特別是，數(shù)據(jù)提取部11、第I分區(qū)判定部12、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部13、全部分區(qū)判定部14、變化量計(jì)算部15、相同部分判定提取部16、累計(jì)部17和圖像生成部18，可以由FPGA(現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列)電路等的硬件模塊構(gòu)成，也可以如下那樣使用CPU通過軟件來實(shí)現(xiàn)。S卩，圖像分析裝置6能夠通過例如對(duì)用于實(shí)現(xiàn)m行I列的微分操作符運(yùn)算的FPGA電路，增加用于行提取的運(yùn)算器、區(qū)域FIFO存儲(chǔ)器、用于二值化的比較器等來實(shí)現(xiàn)。用于實(shí)現(xiàn)m行I列的微分操作符運(yùn)算的FPGA電路，能夠通過用于存儲(chǔ)各行的圖像數(shù)據(jù)的m個(gè)行FIFO存儲(chǔ)器、用于分別存儲(chǔ)微分操作符的系數(shù)(濾波系數(shù))的m個(gè)帶有使能(enable)端子的D型觸發(fā)器(DFFE)、將各行的圖像數(shù)據(jù)和微分操作符的系數(shù)相乘的m個(gè)乘法器、將乘法結(jié)果相加的加法電路等來實(shí)現(xiàn)。[變形例]變化量計(jì)算部15，可以通過與第2存儲(chǔ)部22所存儲(chǔ)的行合成圖像數(shù)據(jù)的行數(shù)相對(duì)應(yīng)來合適地設(shè)定所使用的微分操作符 的行數(shù)和列數(shù)。變化量計(jì)算部15計(jì)算出的結(jié)果所生成的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，如上所述，不局限于由I行所構(gòu)成的數(shù)據(jù)，計(jì)算出的結(jié)果也可以是由多行構(gòu)成的數(shù)據(jù)。此外，盡管在上述的實(shí)施方式和實(shí)施例中，變化量計(jì)算部15計(jì)算縱向方向的亮度梯度，但是不局限于此，也可以計(jì)算橫向方向的亮度梯度。此外，盡管在上述的實(shí)施方式和實(shí)施例中，通過與區(qū)域相機(jī)5拍攝的圖像數(shù)據(jù)的大小(像素?cái)?shù))相對(duì)應(yīng)來生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)，但是不局限于此，也可以將I個(gè)以上的RT-LCI數(shù)據(jù)生成作為缺陷檢查用的圖像數(shù)據(jù)，以此為基礎(chǔ)來檢測(cè)被檢查物上的缺陷。此外，圖像分析裝置6包括執(zhí)行用于實(shí)現(xiàn)各個(gè)功能的控制程序的命令的CPU(中央處理單元)；存儲(chǔ)上述程序的ROM(只讀存儲(chǔ)器)；展開上述程序的RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)；存儲(chǔ)上述程序和各種數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)裝置(記錄介質(zhì))等。本發(fā)明的目的即使通過下述也能夠?qū)崿F(xiàn)將以計(jì)算機(jī)能夠讀取地記錄了用于實(shí)現(xiàn)上述功能的軟件即圖像分析裝置6的控制程序的程序代碼(執(zhí)行格式程序、中間代碼程序、源程序)的記錄介質(zhì)提供給上述圖像分析裝置6，該計(jì)算機(jī)(或者CPU或者M(jìn)PU)讀出并執(zhí)行記錄介質(zhì)上所記錄的程序代碼。作為上述記錄介質(zhì)，例如能夠使用磁帶和盒式錄音帶等的帶媒體系列、包括軟盤(登記商標(biāo))/硬盤等的磁盤和⑶-R0M/M0/MD/DVD/⑶-R等的光盤的盤媒體系列、IC卡(包括存儲(chǔ)卡)/光卡等的卡媒體系列、或者掩模R0M/EPR0M/EEPR0M/閃爍ROM等的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器系列等。此外，可以構(gòu)成為能夠?qū)D像分析裝置6與通信網(wǎng)絡(luò)連接，經(jīng)由通信網(wǎng)絡(luò)來供給上述程序代碼。作為該通信網(wǎng)絡(luò)，沒有特別地限定，例如，能夠使用因特網(wǎng)、局域網(wǎng)、外部網(wǎng)、LAN、I SDN、VAN、CATV通信網(wǎng)、虛擬專用網(wǎng)、電話線網(wǎng)、移動(dòng)通信網(wǎng)、衛(wèi)星通信網(wǎng)等。此外，作為構(gòu)成通信網(wǎng)絡(luò)的傳輸媒體，沒有特別地限定，例如也能夠使用IEEE1394、USB、電力線輸送體、有線電視線路、電話線、ADSL線路等有線媒體，以及IrDA或者遠(yuǎn)程控制那樣的紅外線、藍(lán)牙(登記商標(biāo))、802. 11無線、HDR、便攜式電話網(wǎng)、衛(wèi)星線路、數(shù)字地面廣播網(wǎng)等無線媒體。而且，本發(fā)明即使用使上述程序代碼以電子傳輸實(shí)現(xiàn)的埋置于載波中的計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)信號(hào)的形式也能夠?qū)崿F(xiàn)。(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明能夠用于檢查片狀等被檢查物的缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)以及用于它的缺陷檢查用攝像裝置、缺陷檢查用圖像處理裝置、缺陷檢查用圖像處理程序、用于記錄缺陷檢查用圖像處理程序的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)和缺陷檢查用圖像處理方法。附圖符號(hào)說明
I缺陷檢查系統(tǒng)2被檢查物3輸送器(移動(dòng)機(jī)構(gòu))4線性光源5區(qū)域相機(jī)(攝像部、缺陷檢查用攝像裝置的一部分)6圖像分析裝置(缺陷檢查用圖像處理裝置)7 刀刃8照明擴(kuò)散板10圖像處理部(缺陷檢查用圖像處理裝置的一部分、缺陷檢查用攝像裝置的一部分)11數(shù)據(jù)提取部(相同行提取機(jī)構(gòu))12第I分區(qū)判定部13數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部(行合成機(jī)構(gòu))14全部分區(qū)判定部15變化量計(jì)算部(操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu))16相同部分判定提取部17累計(jì)部(累計(jì)機(jī)構(gòu))18圖像生成部(圖像生成機(jī)構(gòu))20存儲(chǔ)部(缺陷檢查用圖像處理裝置的一部分、缺陷檢查用攝像裝置的一部分)21第I存儲(chǔ)部22第2存儲(chǔ)部
23第3存儲(chǔ)部24第4存儲(chǔ)部30顯示部
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢查用圖像處理裝置，其處理在使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)下由攝像部在時(shí)間上連續(xù)拍攝到的上述被檢查物的二維圖像的圖像數(shù)據(jù)，且由此生成用于檢查上述被檢查物的缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)，該裝置的特征在于，包括 相同行提取機(jī)構(gòu)，其從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)中，分別提取圖像數(shù)據(jù)上位置相同的I行的行數(shù)據(jù)；以及 行合成機(jī)構(gòu)，其將由上述相同行提取機(jī)構(gòu)所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成多行的行合成圖像數(shù)據(jù)， 上述相同行提取機(jī)構(gòu)針對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置 ，分別提取上述行數(shù)據(jù)，上述行合成機(jī)構(gòu)針對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置，將由上述相同行提取機(jī)構(gòu)所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成不同的多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)， 上述裝置還包括 操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu)，其對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，生成I行或者多行的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)；以及 累計(jì)機(jī)構(gòu)，其按照每個(gè)像素來累計(jì)對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值，從而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I記載的裝置，其特征在于， 上述操作符運(yùn)算機(jī)構(gòu)，通過對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行使用了微分操作符的運(yùn)算，來計(jì)算上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上在各個(gè)像素中的沿著與中心行正交的方向的亮度值的梯度，且將上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)的中心行上各個(gè)像素的亮度值置換成在各個(gè)像素中的亮度值的梯度的絕對(duì)值，從而生成新的I行的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或者2記載的裝置，其特征在于， 上述累計(jì)機(jī)構(gòu)，對(duì)于分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)，針對(duì)上述被檢查物的每個(gè)部位，將該強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值按每個(gè)像素進(jìn)行累計(jì)，從而生成分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)， 上述裝置還包括 圖像生成機(jī)構(gòu)，其使分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)與上述被檢查物的部位相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行排列，從而合成新的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I到3任何一項(xiàng)記載的裝置，其特征在于， 上述累計(jì)機(jī)構(gòu)，每當(dāng)上述攝像部進(jìn)行拍攝時(shí)，自上述被檢查物的開頭部位起按順序針對(duì)上述被檢查物的每個(gè)部位，將對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值按照每個(gè)像素進(jìn)行累計(jì)，從而生成分別表示上述被檢查物的多個(gè)部位的多個(gè)缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
5.一種缺陷檢查用攝像裝置，其特征在于，包括 權(quán)利要求I到4的任何一項(xiàng)所述的裝置；以及 攝像部，其在使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)下，在時(shí)間上連續(xù)拍攝上述被檢查物的二維圖像。
6.一種缺陷檢查系統(tǒng)，用于檢查被檢查物的缺陷，其特征在于，包括 權(quán)利要求5記載的裝置；和 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述被檢查物和上述攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，包括 光源，其將光照射到上述被檢查物上；和 遮光體，其將從上述光源經(jīng)上述被檢查物透射或者反射而入射到上述攝像部的光進(jìn)行一部分遮擋， 上述系統(tǒng)使用暗視場(chǎng)法來檢查被檢查物的缺陷。
8.一種程序，是用于使權(quán)利要求I到4的任何一項(xiàng)所述的裝置工作的缺陷檢查用圖像處理程序，使計(jì)算機(jī)作為上述機(jī)構(gòu)的整體而發(fā)揮功能。
9.一種記錄有權(quán)利要求8記載的程序的計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)。
10.一種缺陷檢查用圖像處理方法，用于處理在使被檢查物和攝像部進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的 狀態(tài)下由攝像部在時(shí)間上連續(xù)拍攝到的上述被檢查物的二維圖像的圖像數(shù)據(jù)，且由此生成用于檢查上述被檢查物的缺陷的缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)，該方法的特征在于，包括 相同行提取步驟，從多個(gè)不同的圖像數(shù)據(jù)中，分別提取圖像數(shù)據(jù)上位置相同的I行的行數(shù)據(jù)；以及 行合成步驟，將由上述相同行提取步驟所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成多行的合成圖像數(shù)據(jù)， 在上述相同行提取步驟中，針對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置，分別提取上述行數(shù)據(jù)， 在上述行合成步驟中，針對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置，將在上述相同行提取步驟所提取的行數(shù)據(jù)按時(shí)序進(jìn)行排列，從而生成不同的多個(gè)的行合成圖像數(shù)據(jù)， 上述方法還包括 操作符運(yùn)算步驟，對(duì)上述多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)，分別進(jìn)行使用了用于強(qiáng)調(diào)亮度變化的操作符的運(yùn)算，生成I行或者多行的多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)；以及 累計(jì)步驟，按照每個(gè)像素來累計(jì)對(duì)上述被檢查物的相同部位進(jìn)行表示的上述多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值，從而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種缺陷檢查用圖像處理裝置等，其能夠用產(chǎn)生的光線路徑的不同變化來一次性以足夠的精度檢測(cè)出各種類型的缺陷。缺陷檢查用圖像處理裝置(圖像分析裝置)(6)是對(duì)將移動(dòng)中的成型片用區(qū)域相機(jī)(5)在時(shí)間上連續(xù)拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理的裝置，包括數(shù)據(jù)提取部(11)，其對(duì)于圖像數(shù)據(jù)上不同的多個(gè)位置，從不同的圖像數(shù)據(jù)中分別提取相同位置的行數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部(13)，其按照?qǐng)D像數(shù)據(jù)上的每個(gè)位置將多個(gè)行數(shù)據(jù)在時(shí)序上進(jìn)行排列，從而生成多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)；變化量計(jì)算部(15)，其對(duì)多個(gè)行合成圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分操作符運(yùn)算，生成多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)；相同部位判定提取部(16)，其從多個(gè)強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)中提取表示成型片的相同部位的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)；和累計(jì)部17，其按照每個(gè)像素將提取的強(qiáng)調(diào)圖像數(shù)據(jù)的亮度值進(jìn)行累計(jì)，從而生成缺陷檢查用圖像數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)G01N21/892GK102630299SQ201080048759
公開日2012年8月8日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月30日
發(fā)明者廣瀨修 申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社