專利名稱：濺鍍靶材檢測機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種濺鍍靶材檢測機構(gòu)，特別地涉及ー種可通用于圓筒形靶材、平面靶材或異型靶材進行靶材內(nèi)部缺陷、焊合缺陷等檢測工作的濺鍍靶材檢測機構(gòu)設計。
背景技術(shù)：
在半導體產(chǎn)品的制程中，為了在基材上形成預定材料的膜層，經(jīng)常通過濺鍍裝置利用離子化的氣體(電漿)沖擊濺鍍靶材而釋放出預定的粒子，使粒子附著于基材表面而形成所期望的該膜層。為了避免因濺鍍靶材中的缺陷影響濺鍍制造制程，所述濺鍍靶材通常通過濺鍍靶材檢測機構(gòu)進行靶材內(nèi)部缺陷檢測、焊合缺陷檢測等，進而從中篩選出不良的濺鍍靶材。在現(xiàn)有濺鍍靶材檢測機構(gòu)中，超音波檢測方式是濺鍍靶材進行非破壞性的已知技術(shù)中的一種。由于濺鍍靶材包括有平面型靶材、圓筒型靶材或異型靶材等多種型式，基于各型式靶材的形狀差異，濺鍍靶材檢測機構(gòu)各設計專用的機構(gòu)以適用各類型的靶材。如中國臺灣專利在2010年9月16日公開第201033607號發(fā)明專利申請案公開ー 種專用于“圓筒狀濺鍍靶材”的“超音波探傷裝置”，其主要是在可裝填液體的液體槽中將圓筒形濺鍍靶材組設其中，且浸置于液體內(nèi)，在該濺鍍靶材的軸兩端各設有齒輪，并以齒輪嚙合于液體槽底部的齒條上，通過動カ傳送機構(gòu)帶動濺鍍靶材旋轉(zhuǎn)，另外，在液體槽上方裝設探測器移動機構(gòu)，用以帶動探測器X方向與Y方向移動，如此，在探測移動機構(gòu)帶動下，利用探測器對圓筒形濺鍍靶材頂緣進行超音波檢測后，接著由動カ傳送機構(gòu)帶動濺鍍材旋轉(zhuǎn)ー 定角度，再由探測器對濺鍍靶材另一角度區(qū)段進行超音波檢測，如此進行，直至該圓筒形濺鍍靶材全面性完成檢測作業(yè)。但是，超音波探傷裝置雖可提供ー種濺鍍靶材檢測機構(gòu)，然而，該超音波探傷裝置的設計又僅是適用于圓筒型濺鍍靶材，不適用于平面形濺鍍靶材，因此，現(xiàn)有濺鍍靶材檢測機構(gòu)皆存在有無法通用于各類型(平面型、圓筒形、異型等)濺鍍靶材的問題，以致業(yè)者為能進行各式濺鍍靶材的檢測作業(yè)，就必須購置多部不同類型濺鍍靶材檢測機構(gòu)，而導致設備成本高的問題。由此可見，上述現(xiàn)有的超音波探傷裝置在使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一歩改進。為了解決超音波探傷裝置存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關業(yè)者急欲解決的問題。有鑒于上述現(xiàn)有的超音波探傷裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設計制造多年豐富的實務經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學理的運用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設一種新型結(jié)構(gòu)的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，能夠改進一般現(xiàn)有的超音波探傷裝置，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設計，并經(jīng)反復試作樣品及改進后，終于創(chuàng)設出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在干，克服現(xiàn)有的超音波探傷裝置存在的缺陷，而提供ー種新型結(jié)構(gòu)的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題是使其不僅適用于圓筒狀濺鍍靶材檢測作業(yè)，而且通用于各類型濺鍍靶材的檢測，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的ー種濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其包括
液體儲槽；
移動式超音波檢測機組，其包括移動裝置以及超音波檢測組件，所述移動裝置于液體儲槽上，且組接所述超音波檢測組件，用以驅(qū)動超音波檢測組件作三維空間位移；
靶材移動裝置，系包括多個滾軸以及ー滾軸驅(qū)動組件，該多個滾軸并列樞設于液體儲槽中，滾軸驅(qū)動組件連接該多個滾軸，用以驅(qū)動該多個滾軸同向旋轉(zhuǎn)；以及
控制器，其電連接移動裝置與滾軸驅(qū)動組件，用以控制移動裝置與滾軸驅(qū)動組件的エ作。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述移動裝置包括X軸向移動組件、Y軸向移動組件、Z軸向移動組件以及移動構(gòu)件；
所述X軸向移動組件設于所述液體儲槽的槽壁上，所述X軸向移動組件包括第一移動構(gòu)件，以及用以驅(qū)動所述第一移動構(gòu)件沿χ軸向移動的χ軸向驅(qū)動器；
所述Y軸向移動組件設于所述X軸向移動組件的第一移動構(gòu)件上，且可為X軸向移動組件帶動沿X軸向移動，所述Y軸向移動組件具有第二移動構(gòu)件，以及用以驅(qū)動所述第二移動構(gòu)件沿Y軸向移動的Y軸向驅(qū)動器；
所述Z軸向移動組件設于所述第二移動構(gòu)件上，所述Z軸向移動組件包括Z軸向驅(qū)動器，所述Z軸向驅(qū)動器與所述移動構(gòu)件相連接；
所述X軸向驅(qū)動器、Y軸向驅(qū)動器與Z軸向驅(qū)動器電連接控制器； 所述超音波檢測組件包括至少ー個超音波檢測單元，所述超音波檢測單元設于所述移動構(gòu)件上。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述滾軸驅(qū)動組件包括驅(qū)動馬達以及輪系傳動組，所述驅(qū)動馬達電連接控制器，驅(qū)動馬達的旋轉(zhuǎn)作動端結(jié)合輪系傳動組連接該多個滾軸。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述滾軸驅(qū)動組件包括驅(qū)動馬達以及輪系傳動組，所述驅(qū)動馬達電連接控制器，所述驅(qū)動馬達的旋轉(zhuǎn)作動端結(jié)合輪系傳動組連接該多個滾軸。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，該靶材移動裝置包括主動滾軸和從動滾軸，所述輪系傳動組為皮帶輪組，其包括主動輪、從動輪以及環(huán)狀皮帯，所述驅(qū)動馬達以旋轉(zhuǎn)作動端連接主動滾軸的端部，所述主動輪設于所述主動滾軸上，所述從動輪設于從動滾軸上，所述環(huán)狀皮帶環(huán)繞于所述主動輪與所述從動輪上。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述靶材移動裝置包括一調(diào)整組件，所述調(diào)整組件與從動滾軸相連接，所述調(diào)整組件用以調(diào)整所述主動滾軸與所述從動滾軸間的相對位置。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述滾軸為復合式滾軸，其包括有軸桿以及多個外套環(huán)，該多個外套環(huán)套設于該軸桿上。
前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述滾軸為復合式滾軸，其包括有軸桿以及多個外套環(huán)，該多個外套環(huán)套設于該軸桿上。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述濺鍍靶材檢測機構(gòu)進ー步包括兩個承載架， 該兩個承載架裝設于該液體儲槽內(nèi)部，且分位于該多個滾軸的外圍。前述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其中，所述濺鍍靶材檢測機構(gòu)進ー步包括兩個承載架， 該兩個承載架是裝設于該液體儲槽內(nèi)部，且分位于該多個滾軸的外圍。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)至少具有下列優(yōu)點
通過濺鍍靶材檢測機構(gòu)設計，其主要是利用液體儲槽上裝設可三維空間移動的移動裝置，以帶動超音波檢測組件位移，另液體儲槽中樞設多個并列的滾軸，該多個滾軸可承載待檢濺鍍靶材，使超音波檢測組件在其待檢濺鍍靶材上進行檢測，另外該多個滾軸由滾軸驅(qū)動組件所驅(qū)動而同向旋轉(zhuǎn)，使圓筒型或異型濺鍍靶材可為滾軸帶動旋轉(zhuǎn)，為超音波檢測組件進行濺鍍靶材另一角度位置的檢測，如此，使該濺鍍靶材檢測機構(gòu)可以ー機適用于平面型、圓筒形或異型等多種不同類型的濺鍍靶材檢測作業(yè)。綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，不僅適用于圓筒狀濺鍍靶材檢測作業(yè)，而且通用于各類型濺鍍靶材的檢測。其具有上述諸多的優(yōu)點及實用價值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似的結(jié)構(gòu)設計公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結(jié)構(gòu)上或功能上皆有較大的改進，在技術(shù)上有較大的進步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的超音波探傷裝置具有增進的多項功效，從而更加適于實用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、 進步、實用的新設計。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本發(fā)明的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。


圖1為本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)的ー個較佳實施例的立體示意圖。圖2為圖1所示濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例之另ー觀視角度立體示意圖。圖3為圖1所示濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例中之移動裝置的Y軸向移動組件的局部立體示意圖。圖4為圖1所示濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例中之移動裝置的Z軸向移動組件與移動構(gòu)件的局部立體示意圖。圖5為圖1所示濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例的俯視平面示意圖。圖6為圖1所示濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例的側(cè)視平面示意圖。圖7為本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例中的靶材移動裝置具有ニ個滾軸的較佳實施例與濺鍍靶材的立體示意圖。圖8為本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例中之靶材移動裝置具有ニ滾軸較佳實施例與濺鍍靶材的另ー觀視立體示意圖。圖9為本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)較佳實施例中之靶材移動裝置具有三滾軸較佳實施例與濺鍍靶材的立體示意圖。圖10為本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)中之滾軸另一較佳實施例濺鍍靶材的立體示意圖。附圖標記說明
1、液體儲槽；2、移動式超音波檢測機組；3、移動裝置；4、超音波檢測組件；5、靶材移動裝置；6、控制器；7、承載架；8、濺鍍靶材；30、X軸向移動組件；31、Y軸向移動組件；32、Z軸向移動組件；33、移動構(gòu)件；40、超音波檢測單元；50、滾軸；51、滾軸； 53、驅(qū)動馬達；54、輪系傳動組；301、第一移動構(gòu)件；302、X軸向驅(qū)動器；311、第二移動構(gòu)件；312、Υ_向驅(qū)動器；321、Z軸向驅(qū)動器；511、軸桿；512、外套環(huán)；Ml、主動輪； M2、從動輪；M3、環(huán)狀皮帶。
具體實施例方式為更進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的濺鍍靶材檢測機構(gòu)其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。如圖1及圖2所示，其示出了本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)的ー個較佳實施例，該濺鍍靶材檢測機構(gòu)系包括液體儲槽1、移動式超音波檢測機組2、靶材移動裝置5以及ー控制器 6，其中
所述液體儲槽1用以提供液體注入其中，以及將待檢濺鍍靶材置放其中而浸置于液體內(nèi)，所述液體根據(jù)待檢濺鍍靶材的材料而選用合適的液體。如圖1及圖2所示，所述移動式超音波檢測機組2系包括ー移動裝置3以及ー超音波檢測組件4，其中，所述移動裝置3是ー組可三維空間移動的機構(gòu)，且裝設于液體儲槽 1上；所述超音波檢測組件4系一組具備受控輸出超音波及接收反射的超音波等功能之組件，所述超音波檢測組件4設于移動裝置3中，而可被驅(qū)動作三維空間之移動，用以對液體儲槽1中的待檢濺鍍靶材進行檢測。如圖1至圖6所示，在本較佳實施例中，所述移動裝置3系包括一 X軸向移動組件 30、一 Y軸向移動組件31、一 Z軸向移動組件32以及ー移動構(gòu)件33，所述X軸向移動組件 30設于液體儲槽1的槽壁上，X軸向移動組件30具有一第一移動構(gòu)件301以及ー用以驅(qū)動第一移動構(gòu)件301沿X軸向移動的X軸向驅(qū)動器302，所述Y軸向移動組件31設于X軸向移動組件30的第一移動構(gòu)件301上，且可為X軸向移動組件帶動沿X軸向移動，所述Y軸向移動組件31具有一第二移動構(gòu)件311以及ー用以驅(qū)動第二移動構(gòu)件311沿Y軸向移動的Y軸向驅(qū)動器312，Z軸向移動組件32設于所述第二移動構(gòu)件311上，所述Z軸向移動組件32具有一 Z軸向驅(qū)動器321，并連接所述的移動構(gòu)件33，由此，結(jié)合X軸向移動組件30、 Y軸向移動組件31與Z軸向移動組件32，用以帶動移動構(gòu)件33作X軸向、Y軸向及Z軸向三維空間移動，所述X軸向驅(qū)動器、Y軸向驅(qū)動器與Z軸向驅(qū)動器電連接控制器，而由控制器6決定其作動與停止的時機。所述超音波檢測組件4系設于所述移動裝置3的移動構(gòu)件33上，并可為移動裝置 3帶動作X軸向、Y軸向及Z軸向三維空間移動，所述超音波檢測組件4包括有至少ー個超音波檢測單元40，且電連接控制器6，當超音波檢測組件4包括多個個超音波檢測單元40 吋，該多個個超音波檢測單元40間隔排列于移動構(gòu)件33上，用以對較大面積的待檢濺鍍靶材區(qū)分數(shù)個區(qū)段同時進行超音波檢測，所述超音波檢測單元40是包括可產(chǎn)生超音波的探測頭、提供探測頭能量的產(chǎn)生器、可擷取回波訊號的訊號擷取器以及一組用以傳動能量的傳輸線，傳輸線電連接訊號擷取器、產(chǎn)生器與控制器6。如圖7、圖8及圖9所示，所述靶材移動裝置5系包括多個滾軸50、51以及滾軸驅(qū)動組件52，該多個滾軸50、51系平行于X軸向而并列樞設于液體儲槽1中，所述滾軸50、51 外周面可套設橡膠包覆體，提供待檢濺鍍靶材的磨擦接觸面，另該多個滾軸50、51外周面的頂緣可位于同一水平高度，用以水平支撐平面型待檢濺鍍靶材，所述多個滾軸50、51的一端部密封防漏的穿出液體儲槽1タト，所述滾軸驅(qū)動組件52系連接該多個滾軸50、51，用以帶動該多個滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)，所述滾軸驅(qū)動組件52包括驅(qū)動馬達53以及輪系傳動組M，所述驅(qū)動馬達53電連接控制器，所述輪系傳動組M可為齒輪組或皮帶輪組等，且驅(qū)動馬達53的旋轉(zhuǎn)作動端結(jié)合輪系傳動組M連接該多個滾軸50、51伸出液體儲槽1外的端部，使驅(qū)動馬達53得以結(jié)合輪系傳動組M帶動該多個滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)。在本發(fā)明示出的一個較佳實施例中，如圖7及圖8所示，該靶材移動裝置5具有兩個滾軸50、51，其中ー滾軸50定義為主動滾軸，另ー滾軸51定義為從動滾軸，所述主動滾軸50可定點樞設于液體儲槽1中，從動滾軸51則可通過調(diào)整組件組設于液體儲槽1中，用以調(diào)整主動滾軸50與從動滾軸51間的相對位置，所述輪系傳動組M為皮帶輪組，其中包括有主動輪Ml、從動輪M2以及環(huán)狀皮帶M3，該驅(qū)動馬達53以旋轉(zhuǎn)作動端(即心軸)連接主動滾軸50之端部，主動輪541設于主動滾軸50上，從動輪542設于從動滾軸51上，環(huán)狀皮帶543環(huán)繞于主動輪541與從動輪542上，使驅(qū)動馬達53結(jié)合皮帶輪組帶動主動滾軸 50與從動滾軸51同向旋轉(zhuǎn)。如圖7及圖9所示，靶材移動裝置5尚可進ー步包括至少ー個滾軸輔助支撐架55， 所述滾軸輔助支撐架陽設于液體儲槽1中且支撐滾軸50、51，在本較佳實施例中，所述滾軸輔助支撐架陽具有架體以及樞設于架體上的滾輪，并以滾輪可滾動地接觸滾軸50、51，用以防止?jié)L軸50、51彎曲。所述滾軸50、51可為單ー構(gòu)件所構(gòu)成的滾軸，或可為復合式滾軸等型式，當滾軸 50,51為復合式滾軸時，如圖10所示，其包括有ー軸桿501、511以及多個個外套環(huán)502、 512，該多個個外套環(huán)502、512套設于該軸桿501、511上，使其可因應濺鍍靶材(如異型靶材)的不等厚度而藉由該多個外套環(huán)502、512于軸桿501、511上作相應的排列變化而組成相應的滾軸，所述外套環(huán)502、512可為橡膠材質(zhì)所制成環(huán)圈，作為橡膠包覆體，提供待檢濺鍍靶材的磨擦接觸面。本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)尚可進ー步包括兩個承載架7，該兩個承載架7是裝設于該液體儲槽1內(nèi)部，且分位于該多個滾軸50、51的外圍，用以搭配滾軸50、51輔助支撐待檢濺鍍靶材，承載架7的頂緣可與滾軸50、51外周面頂緣同高，所述承載架7可為多個架桿交錯組接而成。本發(fā)明濺鍍靶材檢濺機構(gòu)在使用吋，當濺鍍靶材為平面型吋，該平面型濺鍍靶材8 置于液體儲槽1且浸置于液體中，且該平面型濺鍍靶材8平置于該靶材移動裝置5的多個滾軸50、51上，或進ー步通過該多個滾軸50、51兩側(cè)的承載架7輔助支撐，其次，由控制器6 令移動裝置3帶動超音波檢測組件4三維空間位移，由超音波檢測組件4的超音波檢測單元40對平面型濺鍍靶材上發(fā)出超音波及接收反射的超音波，并將訊號傳送至控制器6，所述控制器6可包括顯示器，在顯示器的畫面中呈現(xiàn)檢測的結(jié)果，前述中平面型濺鍍靶材為大面積吋，可通過多個超音波檢測單元40區(qū)分數(shù)個區(qū)域同時進行超音波檢測，以縮短作業(yè)時間。當濺鍍靶材為圓筒型吋，該圓筒型濺鍍靶材8置于液體儲槽1且浸置于液體中，且該圓筒型濺鍍靶材8平置于該靶材移動裝置5之多個滾軸50、51上，其次，由控制器6令移動裝置帶動超音波檢測組件4相對于圓筒型濺鍍靶材8軸向位移，由超音波檢測組件4的超音波檢測單元40對圓筒型濺鍍靶材8上發(fā)出超音波及接收反射的超音波，將訊號傳送至控制器6，并透過控制器6的顯示器畫面呈現(xiàn)檢測的結(jié)果，接續(xù)由靶材移動裝置5之滾軸驅(qū)動組件52帶動多個滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)，而使?jié)L軸50、51上的圓筒型濺鍍靶材8旋轉(zhuǎn)ー預定角度后停止，再由移動裝置3帶動的超音波檢測組件4接續(xù)進行圓筒型濺鍍靶材另一角度位置進行超音波檢測，直至該圓筒型濺鍍材全面完成超音波檢測。當濺鍍靶材為異型吋，先依該異型濺鍍靶材調(diào)整改變該多個滾軸50、51形狀，使該多個滾軸50、51外形與該異型濺鍍靶材相符，再令該異型濺鍍靶材置于液體儲槽1且浸置于液體中，且該異型濺鍍靶材平置于該靶材移動裝置5之多個滾軸50、51上。其次，由控制器6令移動裝置3帶動超音波檢測組件4相對于異型濺鍍靶材8軸向位移，由超音波檢測組件4的超音波檢測單元40對異型濺鍍靶材8上發(fā)出超音波及接收反射的超音波，并將訊號傳送至控制器6，透過控制器6的顯示器畫面呈現(xiàn)檢測的結(jié)果，接續(xù)由靶材移動裝置5 之滾軸驅(qū)動組件52帶動多個滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)，而使?jié)L軸50、51上的異型濺鍍靶材8旋轉(zhuǎn)ー預定角度后停止，再由移動裝置3帶動的超音波檢測組件4接續(xù)進行異型濺鍍靶材另一角度位置進行超音波檢測，直至該異型濺鍍材全面完成超音波檢測為止。上述如此結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明濺鍍靶材檢測機構(gòu)的技術(shù)創(chuàng)新，對于現(xiàn)今同行業(yè)的技術(shù)人員來說均具有許多可取之處，而確實具有技術(shù)進步性。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當可利用上述掲示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，其包括 液體儲槽；移動式超音波檢測機組，其包括移動裝置以及超音波檢測組件，所述移動裝置于液體儲槽上，且組接所述超音波檢測組件，用以驅(qū)動超音波檢測組件作三維空間位移；靶材移動裝置，系包括多個滾軸以及ー滾軸驅(qū)動組件，該多個滾軸并列樞設于液體儲槽中，滾軸驅(qū)動組件連接該多個滾軸，用以驅(qū)動該多個滾軸同向旋轉(zhuǎn)；控制器，所述控制器電連接移動裝置與滾軸驅(qū)動組件，用以控制所述移動裝置與滾軸驅(qū)動組件的工作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述移動裝置包括X軸向移動組件、Y軸向移動組件、Z軸向移動組件以及移動構(gòu)件； 所述X軸向移動組件設于所述液體儲槽的槽壁上，所述X軸向移動組件包括第一移動構(gòu)件，以及用以驅(qū)動所述第一移動構(gòu)件沿X軸向移動的X軸向驅(qū)動器；所述Y軸向移動組件設于所述X軸向移動組件的第一移動構(gòu)件上，且可為X軸向移動組件帶動沿X軸向移動，所述Y軸向移動組件具有第二移動構(gòu)件，以及用以驅(qū)動所述第二移動構(gòu)件沿Y軸向移動的Y軸向驅(qū)動器；所述Z軸向移動組件設于所述第二移動構(gòu)件上，所述Z軸向移動組件包括Z軸向驅(qū)動器，所述Z軸向驅(qū)動器與所述移動構(gòu)件相連接；所述X軸向驅(qū)動器、Y軸向驅(qū)動器與Z軸向驅(qū)動器電連接控制器； 所述超音波檢測組件包括至少ー個超音波檢測單元，所述超音波檢測單元設于所述移動構(gòu)件上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述滾軸驅(qū)動組件包括驅(qū)動馬達以及輪系傳動組，所述驅(qū)動馬達電連接控制器，驅(qū)動馬達的旋轉(zhuǎn)作動端結(jié)合輪系傳動組連接該多個滾軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述滾軸驅(qū)動組件包括驅(qū)動馬達以及輪系傳動組，所述驅(qū)動馬達電連接控制器，所述驅(qū)動馬達的旋轉(zhuǎn)作動端結(jié)合輪系傳動組連接該多個滾軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，該靶材移動裝置包括主動滾軸和從動滾軸，所述輪系傳動組為皮帶輪組，其包括主動輪、從動輪以及環(huán)狀皮帯，所述驅(qū)動馬達以旋轉(zhuǎn)作動端連接主動滾軸的端部，所述主動輪設于所述主動滾軸上， 所述從動輪設于從動滾軸上，所述環(huán)狀皮帶環(huán)繞于所述主動輪與所述從動輪上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述靶材移動裝置包括一調(diào)整組件，所述調(diào)整組件與從動滾軸相連接，所述調(diào)整組件用以調(diào)整所述主動滾軸與所述從動滾軸間的相對位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述滾軸為復合式滾軸，其包括有軸桿以及多個外套環(huán)，該多個外套環(huán)套設于該軸桿上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述滾軸為復合式滾軸，其包括有軸桿以及多個外套環(huán)，該多個外套環(huán)套設于該軸桿上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述濺鍍靶材檢測機構(gòu)進一歩包括兩個承載架，該兩個承載架裝設于該液體儲槽內(nèi)部，且分位于該多個滾軸的外圍。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其特征在干，所述濺鍍靶材檢測機構(gòu)進一歩包括兩個承載架，該兩個承載架是裝設于該液體儲槽內(nèi)部，且分位于該多個滾軸的外圍。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種濺鍍靶材檢測機構(gòu)，其主要在液體儲槽上裝設可三維空間移動的移動裝置帶動一超音波檢測組件位移，另外，液體儲槽中樞設多個并列的滾軸，該多個滾軸由滾軸驅(qū)動組件所驅(qū)動而同向旋轉(zhuǎn)，通過利用該多個滾軸于液體儲槽中承載待檢濺鍍靶材，為超音波檢測組件進行檢測，并可利用滾軸帶動濺鍍靶材旋轉(zhuǎn)，使該濺鍍靶材檢測機構(gòu)可以一機適于平面型、圓筒形或異型等多種不同型式的濺鍍靶材檢測作業(yè)。
文檔編號G01N29/265GK102565190SQ20111044204
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者林勝國 申請人:昆山全亞冠環(huán)保科技有限公司