專利名稱：用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，屬于一種固定裝置，尤其涉及一種用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體行業(yè)中，single die指的是孤立的單個(gè)晶粒，比如從blue tape (藍(lán)膜)上取下來的晶?；蛘唛_封后的晶粒等。手動(dòng)探針臺(tái)是半導(dǎo)體測(cè)試分析中常用的工具，主要用于半導(dǎo)體產(chǎn)品的DC參數(shù)測(cè)試。使用手動(dòng)探針臺(tái)測(cè)試單個(gè)晶粒時(shí)，為了方便扎針需要將它們固定在載物臺(tái)上，通常的方法是將單個(gè)晶粒用熱熔膠把它們粘在載玻片上，這種方法不僅麻煩，而且熱熔膠很容易涂到焊盤上，并且載玻片一般不重復(fù)多次利用而造成浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置， 可以同時(shí)對(duì)多個(gè)不同規(guī)格的晶粒進(jìn)行測(cè)試，使用方便且可重復(fù)利用。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，所述手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上設(shè)有與抽真空裝置相連的氣孔，該裝置為一個(gè)由絕緣材料制成的容置殼體，所述容置殼體上設(shè)有多個(gè)不同尺寸的方形凹坑，每個(gè)方形凹坑中容納一個(gè)晶粒，所述容置殼體的側(cè)面和底面具有光滑金屬層，容置殼體通過光滑金屬層吸附在手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上。進(jìn)一步地，所述容置殼體呈方形，其上設(shè)有多排方形凹坑，每一排的方形凹坑尺寸相同。所述容置殼體由塑料制成。所述方形凹坑呈正方形，邊長(zhǎng)為Imm 10mm。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，可重復(fù)利用，不但適用于各種大小的晶粒，而且可以同時(shí)固定多個(gè)晶粒進(jìn)行測(cè)試，顯著提高了測(cè)試效率。
以下結(jié)合附圖
與具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明附圖是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中附圖標(biāo)記說明如下1為容置殼體；2為方形凹坑；3為光滑金屬層。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，所述手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上設(shè)有與抽真空裝置相連的氣孔。如附圖所示，該裝置為一個(gè)由絕緣材料制成的容置殼體1， 所述容置殼體1上設(shè)有多個(gè)不同尺寸的方形凹坑2，每個(gè)方形凹坑2中可容納一個(gè)晶粒，所述容置殼體1的側(cè)面和底面具有光滑金屬層3，容置殼體1通過光滑金屬層3吸附在手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上。
3[0012]在本實(shí)施例中，所述容置殼體1由塑料制成，例如聚氯乙烯、聚酯材料等。所述容置殼體1呈方形，其上設(shè)有八排方形凹坑2，每一排的方形凹坑2尺寸相同。所述方形凹坑 2呈正方形，邊長(zhǎng)為Imm 10mm，方形凹坑2的深度與晶粒的厚度一致。所述光滑金屬層3 由鋼或鋁或者合金制成。該裝置在使用時(shí)，將其放在手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上，打開手動(dòng)探針臺(tái)內(nèi)部的抽真空裝置，該裝置通過底部的光滑金屬層被真空吸力固定在載物臺(tái)上。然后根據(jù)尺寸將需要測(cè)試的晶粒放入合適的方形凹坑中進(jìn)行測(cè)試即可。采用該裝置固定晶粒，在探針測(cè)量的過程中晶粒不會(huì)發(fā)生移動(dòng)，可以保證探針準(zhǔn)確地扎在焊盤上。本實(shí)用新型的固定裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，可重復(fù)利用，不但適用于各種大小的晶粒，而且可以同時(shí)固定多個(gè)晶粒進(jìn)行測(cè)試，顯著提高了測(cè)試效率。以上通過具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在不脫離本實(shí)用新型原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可對(duì)容置殼體的形狀、凹坑的形狀尺寸等做出許多變形和等效置換，這些也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，所述手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上設(shè)有與抽真空裝置相連的氣孔，其特征在于該裝置為一個(gè)由絕緣材料制成的容置殼體(1)，所述容置殼體(1)上設(shè)有多個(gè)不同尺寸的方形凹坑O)，每個(gè)方形凹坑O)中容納一個(gè)晶粒，所述容置殼體(1)的側(cè)面和底面具有光滑金屬層(3)，容置殼體(1)通過光滑金屬層C3)吸附在手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，其特征在于所述容置殼體(1)呈方形，其上設(shè)有多排方形凹坑O)，每一排的方形凹坑( 尺寸相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，其特征在于所述容置殼體(1)由塑料制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，其特征在于所述方形凹坑⑵呈正方形，邊長(zhǎng)為Imm 10mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于手動(dòng)探針臺(tái)固定單個(gè)晶粒的裝置，所述手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上設(shè)有與抽真空裝置相連的氣孔，該裝置為一個(gè)由絕緣材料制成的容置殼體，所述容置殼體上設(shè)有多個(gè)不同尺寸的方形凹坑，每個(gè)方形凹坑中容納一個(gè)晶粒，所述容置殼體的側(cè)面和底面具有光滑金屬層，容置殼體通過光滑金屬層吸附在手動(dòng)探針臺(tái)的載物臺(tái)上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，可重復(fù)利用，不但適用于各種大小的晶粒，而且可以同時(shí)固定多個(gè)晶粒進(jìn)行測(cè)試，顯著提高了測(cè)試效率。
文檔編號(hào)G01R31/26GK202196091SQ20112032472
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者謝杰, 馬香柏 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司