專利名稱：圖像獲取裝置，圖案檢查裝置及圖像獲取方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于獲取形成在基材上的薄膜圖案的圖像的技木。
背景技術(shù)：
以往，在各種領(lǐng)域，對(duì)形成在薄膜狀或板狀的基材上的圖案進(jìn)行檢查。例如，在日本特開2006 — 112845號(hào)公報(bào)所公開的圖案檢查裝置中，對(duì)形成在樹脂薄膜上的配線圖案進(jìn)行檢查。在圖案檢查裝置中，使用僅放射波長在500nm以上的光的LED(Light EmittingDiode :發(fā)光二極管)作為光源，由此可得到對(duì)比度好的圖像。此外，在日本特開2004 — 101505號(hào)公報(bào)所公開的膜厚測(cè)量裝置中，使用半導(dǎo)體激光器將光照射至透明聚酯薄膜上，并用使用硅光電ニ極管來檢測(cè)正反射光強(qiáng)度。利用步進(jìn)電機(jī)使半導(dǎo)體激光器和硅光電ニ極管在從0°到90°的范圍內(nèi)移動(dòng)，由此變更光入射角。 可是，近年來在各種電子設(shè)備上設(shè)置FPD(Flat Panel Display :平板顯示器)。在制造這樣的顯示裝置時(shí)，在對(duì)透明電極等透明的圖案進(jìn)行外觀檢查的情況下，例如通過將光照射至玻璃基板上并接收反射光來獲取圖案圖像。對(duì)獲取的圖像進(jìn)行處理之后，對(duì)進(jìn)行處理而得到的圖像和參照?qǐng)D像進(jìn)行比較，由此判斷圖案有無缺陷。在檢查裝置中，使用燈、LED (發(fā)光二極管)、LD (Laser Diode :激光二極管)等來作為光源，因檢查對(duì)象上的光干涉而導(dǎo)致在圖案和背景之間產(chǎn)生亮度之差，即，產(chǎn)生對(duì)比度。在利用光干渉來獲取圖案圖像時(shí)，因圖案和在位于圖案上的薄膜的厚度以及對(duì)它們的光學(xué)常數(shù)等的影響而導(dǎo)致能夠獲取對(duì)比度良好的圖像的波長發(fā)生變化。因此，設(shè)置燈和用于切換多個(gè)干擾濾波器(interference filter)的機(jī)構(gòu)，或者設(shè)置可出射多個(gè)波長的多個(gè)LED，來作為光源。在采用這樣的方法時(shí)，光源被大型化，導(dǎo)致檢查裝置的制造成本増加。另外，在利用多個(gè)波長的光時(shí)，需利用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)多個(gè)波長實(shí)現(xiàn)消色差及像差修正，因此學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及制作的難度加大，從而需要増加光量，或光學(xué)系統(tǒng)的制造成本増加。除此之外，例如在檢查對(duì)象包含感光性保護(hù)層的情況下，不能照射短波長區(qū)域(wavelength region)的光,從而存在不能使用理想波長的光來檢查圖案的情況。另外,在觀察(顯示)透明圖案的外觀的情況下，也存在與上述同樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明面向用于獲取形成在基材上的薄膜圖案的圖像的圖像獲取裝置，其目的是以低成本實(shí)現(xiàn)對(duì)比度高的圖像。本發(fā)明的圖像獲取裝置具有光照射部，其出射對(duì)于所述薄膜圖案具有透光性的波長的光；線性傳感器，其接收來自被照射所述光的線狀的拍攝區(qū)域的光；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述基材相對(duì)于所述拍攝區(qū)域而在與所述拍攝區(qū)域交叉的方向上移動(dòng)；角度變更機(jī)構(gòu)，其以保持照射角和檢測(cè)角相等的方式，變更所述照射角及所述檢測(cè)角，所述照射角是從所述光照射部至所述拍攝區(qū)域的光軸和所述基材的法線所成的角，所述檢測(cè)角是從所述拍攝區(qū)域至所述線性傳感器的光軸和所述法線所成的角。若采用本發(fā)明，則能夠以低成本實(shí)現(xiàn)對(duì)比度高的圖像的獲取。在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選的方式中，圖像獲取裝置獲取用于檢查薄膜圖案的檢查圖像。在本發(fā)明的另ー優(yōu)選的方式中，圖像獲取裝置還具有顯示部，該顯示部基于來自線性傳感器的輸出信息來顯示薄膜圖案的圖像。由此，能夠以低成本實(shí)現(xiàn)對(duì)比度高的圖案圖像顯示。在本發(fā)明的又一優(yōu)選的方式中，圖像獲取裝置還具有控制部；線性傳感器設(shè)在受光部上；受光部還具有光學(xué)系統(tǒng)，該光學(xué)系統(tǒng)將來自拍攝區(qū)域的光引導(dǎo)至線性傳感器。角度變更機(jī)構(gòu)具有檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)，其變更作為光學(xué)系統(tǒng)的光軸和基材的法線所成的角的檢測(cè)角；受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其沿著光軸移動(dòng)受光部；光照射部、受光部及角度變更機(jī)構(gòu)設(shè)在用于拍攝拍攝區(qū)域的拍攝單元上；控制部，基于檢測(cè)角的變化量來控制受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)，由 此，將光軸上的與線性傳感器的受光面共軛的位置配置在薄膜圖案上。由此，能夠容易地一邊變更檢測(cè)角一邊對(duì)受光部進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整。本發(fā)明面向用于檢查形成在基材上的薄膜圖案的圖案檢查裝置，進(jìn)而，還面向用于獲取形成在基材上的薄膜圖案的圖像的圖像獲取方法。上述的目的及其他的目的、特征、方式及優(yōu)點(diǎn)，通過下面參照附圖進(jìn)行的對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)說明得以明確。


圖I是示出了第一實(shí)施方式的圖案檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖2是圖像獲取部的正視圖。圖3是圖像獲取部的俯視圖。圖4是圖像獲取部的后視圖。圖5是示出了圖案檢查裝置的功能結(jié)構(gòu)的框圖。圖6是示出了圖案檢查裝置的動(dòng)作流程的圖。圖7是示出了關(guān)系曲線(profile)的例子的圖。圖8是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖9是不出了圖像獲取部的另一例的正視圖。圖IOA是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖IOB是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖IOC是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖IlA是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖IlB是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖IlC是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖IlD是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖12是示出了第二實(shí)施方式的圖案檢查裝置的功能結(jié)構(gòu)的一部分的圖。圖13是示出了圖案檢查裝置的動(dòng)作流程的一部分的圖。圖14是示出了第三實(shí)施方式的圖案檢查裝置的圖。
圖15是示出了第四實(shí)施方式的圖案圖像顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖16是圖像獲取部的正視圖。圖17是圖像獲取部的俯視圖。圖18是圖像獲取部的后視圖。圖19是示出了圖案圖像顯示裝置的功能結(jié)構(gòu)的框圖。圖20是示出了圖案圖像顯示裝置的動(dòng)作流程的圖。
圖21是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖22是示出了玻璃基板上的多個(gè)矩形區(qū)域的圖。圖23是示出了圖像獲取部的另一例的正視圖。圖24是示出了第五實(shí)施方式的圖案圖像顯示裝置的功能結(jié)構(gòu)的一部分的圖。圖25是示出了圖案圖像顯示裝置的動(dòng)作流程的一部分的圖。圖26是示出了第六實(shí)施方式的圖案圖像顯示裝置的圖。圖27是示出了圖像獲取部的另一例的圖。圖28是示出了第七實(shí)施方式的圖像獲取裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖29是拍攝單元的側(cè)視圖。圖30是光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的后視圖。圖31是示出了拍攝單元的圖。圖32是示出了圖像獲取裝置的功能結(jié)構(gòu)的框圖。圖33是示出了圖像獲取裝置的動(dòng)作流程的圖。圖34是示出了關(guān)系曲線的例子的圖。圖35是示出了調(diào)整角度的動(dòng)作的流程的圖。圖36用于說明角度調(diào)整動(dòng)作的圖。圖37用于說明角度調(diào)整動(dòng)作的圖。圖38用于說明角度調(diào)整動(dòng)作的圖。圖39是示出了圖像獲取裝置的另一例的圖。圖40是示出了光照射部的另一例的圖。圖41是示出了圖像獲取裝置的又一例的圖。圖42是示出了圖像獲取裝置的又一例的圖。圖43是示出了圖像獲取裝置的又一例的圖。附圖標(biāo)記的說明IlUla圖案檢查裝置19、29a、39a 膜材(web)19a、29、39 玻璃基板21、21a圖案圖像顯示裝置31、31a 31c圖像獲取裝置32拍攝單元110、IlOa檢查圖像獲取裝置lll、llla、211a、311a 搬送機(jī)構(gòu)112、212、312 膜厚儀
131、231、331、關(guān)系曲線獲取部132、232、332 角度決定部134>336 檢查部190,290,390 拍攝區(qū)域211、311 移動(dòng)機(jī)構(gòu)214輔助拍攝部130,230,330 整體控制部234、334 顯示器
235輸入接受部321、321a、1131、2131、2131a 光照射部322光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)323受光部324受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)325受:光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)344滑動(dòng)部移動(dòng)機(jī)構(gòu)346 棍(roller)升降機(jī)構(gòu)1132、2132、3231 線性傳感器1133、2133、2133a 角度變更機(jī)構(gòu)1136,2136 起偏鏡1137、2137 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1331檢查圖像數(shù)據(jù)3232光學(xué)系統(tǒng)J1、J2 光軸N 法線P焦點(diǎn)位置S113 S115、S213、S214、S216、S217、S315、S3141、S3144、S3146 步驟a角度范圍y變化量0 I照射角0 2檢測(cè)角
具體實(shí)施例方式圖I是示出了本發(fā)明的第一實(shí)施方式的圖案檢查裝置11的概略結(jié)構(gòu)的正視圖。圖案檢查裝置11獲取作為形成在基材上的多層薄膜圖案的圖像的檢查圖像，并基于檢查圖像來對(duì)薄膜圖案進(jìn)行檢查。在圖I中，基材是樹脂薄膜的膜材，即連續(xù)薄膜。薄膜圖案例如是透明電極膜，在本實(shí)施方式中基材及薄膜圖案被透明膜覆蓋。實(shí)際上，在基材上還設(shè)有反射防止膜等其他層。在下面的說明中，將薄膜圖案簡稱為“圖案”。將基材及基材上的膜統(tǒng)稱為“膜材19”或“檢查對(duì)象”。膜材19用于制造靜電電容式觸摸面板。圖案檢查裝置11具有用于搬送膜材19的搬送機(jī)構(gòu)111、膜厚儀(film thicknessmeter) 112以及圖像獲取部113，還具有后述的整體控制部及檢查部等。搬送機(jī)構(gòu)111、膜厚儀112及圖像獲取部113，與包含在圖案檢查裝置11中的檢查圖像獲取裝置110相對(duì)應(yīng)。搬送機(jī)構(gòu)111具有在圖I中位于右側(cè)的供給部1111和位于左側(cè)的回收部1112。供給部1111使用滾筒(roll) 191支撐檢查前的膜材19，井向左方向放出膜材19。回收部1112使用滾筒192支撐檢查后的膜材19，并回收膜材19。從供給部1111到回收部1112的方向依次配置膜厚儀112和圖像獲取部113。膜厚儀112是光干涉光譜膜厚儀，通過將測(cè)量光照射至膜材19來獲取反射光的光譜(spectre)。以預(yù)先設(shè)定的膜結(jié)構(gòu)為前提，在計(jì)算中改變各層的膜厚，并使計(jì)算出的光譜與測(cè)量獲取的光譜相擬合(fitting),由此求出各層的膜厚。圖2是圖像獲取部113的正視圖，圖3是俯視圖，圖4則是后視圖。圖像獲取部113具有光照射部1131，其向膜材19上的拍攝區(qū)域190出射光；線性傳感器1132，其接收來自拍攝區(qū)域190的反射光；角度變更機(jī)構(gòu)1133，其對(duì)光照射部1131的光的照射角以及線 性傳感器1132的檢測(cè)角進(jìn)行變更。也可以認(rèn)為圖像獲取部113包含搬送機(jī)構(gòu)111的一部分。在這里，照射角是指，在從光照射部1131至拍攝區(qū)域190的光軸Jl與膜材19的法線N之間形成的角0 I。檢測(cè)角是指，在從拍攝區(qū)域190至線性傳感器1132的光軸J2與法線N之間形成的角0 2。光照射部1131出射對(duì)于圖案具有透光性的波長的光。光至少照射到線狀的拍攝區(qū)域190。光照射部1131具有多個(gè)LED，它們排列在與膜材19的搬送方向及上下方向垂直的方向上；光學(xué)系統(tǒng)，其將來自LED的光均勻地導(dǎo)至拍攝區(qū)域190。線性傳感器1132具有一維拍攝元件；光學(xué)系統(tǒng)，其使拍攝區(qū)域190與拍攝元件的受光面光學(xué)共軛。搬送機(jī)構(gòu)111向與拍攝區(qū)域190交叉的方向搬送膜材19。S卩，搬送機(jī)構(gòu)111是使膜材19的基材相對(duì)于拍攝區(qū)域190移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，向與拍攝區(qū)域190垂直的方向搬送膜材19，但拍攝區(qū)域190也可以相對(duì)于搬送方向傾斜。此外，在下面的說明中，根據(jù)需要來區(qū)分基材和圖案進(jìn)行說明，但檢查對(duì)象(膜材19)的大部分是基材，關(guān)于對(duì)檢查對(duì)象的說明處理等，不嚴(yán)格區(qū)分檢查對(duì)象和基材來進(jìn)行說明。角度變更機(jī)構(gòu)1133以保持照射角0 I和檢測(cè)角0 2相等的方式，變更照射角0 I及檢測(cè)角Q 2。因此,在下面的說明中，檢測(cè)角的大小也是照射角的大小,且照射角的大小也是檢測(cè)角的大小。光照射部1131及線性傳感器1132被角度變更機(jī)構(gòu)1133支撐在基壁1134上?；?134是與搬送方向及上下方向平行的板構(gòu)件。在基壁1134上，設(shè)有以拍攝區(qū)域190為中心的圓弧狀的第一開ロ 1201及第ニ開ロ 1202。支撐光照射部1131的第一支撐部121插入在第一開ロ 1201中。支撐線性傳感器1132的第二支撐部122插入在第二開ロ 1202中。第一支撐部121及第ニ支撐部122是角度變更機(jī)構(gòu)1133的一部分。角度變更機(jī)構(gòu)1133還具有第一引導(dǎo)部1231、第一馬達(dá)1241及第ー齒條(rack)1251，它們用于使光照射部1131移動(dòng)；第二引導(dǎo)部1232、第二馬達(dá)1242及第ニ齒條1252，它們用于使線性傳感器1132移動(dòng)。第一引導(dǎo)部1231沿著第一開ロ 1201而設(shè)在基壁1134上的靠近光照射部1131 —偵牝并且引導(dǎo)光照射部1131在圓周方向上以拍攝區(qū)域190為中心移動(dòng)。第一支撐部121的移動(dòng)體1211沿著第一引導(dǎo)部1231移動(dòng)。第一支撐部121還具有支撐板1212，其位于基壁1134上的與光照射部1131相反的ー側(cè)，并且該支撐板1212支撐第一馬達(dá)1241。第一齒條1251沿著第一開ロ 1201而設(shè)在基壁1134上的與光照射部1131相反的ー側(cè)。第一齒條1251與設(shè)在第一馬達(dá)1241的輸出軸上的小齒輪相嚙合，并通過將驅(qū)動(dòng)力傳遞至第一支撐部121來使光照射部1131移動(dòng)。使線性傳感器1132移動(dòng)的機(jī)構(gòu)與使光照射部1131移動(dòng)的機(jī)構(gòu)相同。即，第二引導(dǎo)部1232沿著第二開ロ 1202而設(shè)在基壁1134上的靠近線性傳感器1132 —側(cè)，并且引導(dǎo)線性傳感器1132在圓周方向上以拍攝區(qū)域190為中心移動(dòng)。第二支撐部122的移動(dòng)體1221沿著第二引導(dǎo)部1232移動(dòng)。第二支撐部122還具有支撐板1222，其位于基壁1134上的與線性傳感器1132相反的ー側(cè)，并且該支撐板1222支撐第二馬達(dá)1242。第二齒條1252沿著第二開ロ 1202而設(shè)在基壁1134上的與線性傳感器1132相反的ー側(cè)。第二齒條1252與設(shè)在第二馬達(dá)1242的輸出軸上的小齒輪相嚙合，并通過將驅(qū)動(dòng)力傳遞至第二支撐部122來使線性傳感器1132移動(dòng)。圖5是示出了圖案檢查裝置11的功能結(jié)構(gòu)的框圖。用虛線包圍的結(jié)構(gòu)是圖I所示的結(jié)構(gòu)。圖案檢查裝置11具有關(guān)系曲線(profile)獲取部131，其接收來自膜厚儀112·的輸出信息；角度決定部132，其接收由關(guān)系曲線獲取部131求出的后述的關(guān)系曲線；整體控制部130，其對(duì)整體進(jìn)行控制；圖像存儲(chǔ)部133，其接收來自線性傳感器1132的輸出信息；檢查部134 ;輸出部135，其對(duì)操作員或其他裝置輸出檢查結(jié)果。關(guān)系曲線獲取部131、角度決定部132、圖像存儲(chǔ)部133及整體控制部130是檢查圖像獲取裝置110的一部分。圖6是圖案檢查裝置11的動(dòng)作的流程圖。在圖案檢查裝置11中，首先，通過控制搬送機(jī)構(gòu)111，將在膜材19上的存在圖案的區(qū)域配置在膜厚儀112的下方，并由膜厚儀112獲取各層的膜厚。進(jìn)而，通過控制搬送機(jī)構(gòu)111，將作為圖案周圍區(qū)域的背景區(qū)域配置在膜厚儀112的下方，并且也獲取背景區(qū)域的各層的膜厚(步驟S111)。此外，也可以僅獲取存在圖案的區(qū)域的各層的膜厚，井根據(jù)這些膜厚來推定背景上的各層膜厚。將膜厚的測(cè)量結(jié)果輸入至關(guān)系曲線獲取部131。在關(guān)系曲線獲取部131中，基于基材上的層結(jié)構(gòu)及各層的膜厚，通過計(jì)算來求出關(guān)系曲線，該關(guān)系曲線表示檢測(cè)角(及照射角)和對(duì)比度之間的關(guān)系(步驟S112)。圖7是例示了獲取的關(guān)系曲線的圖。實(shí)線1811表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為900nm的透明膜的情況的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為900nm的透明膜。照射光的波長為570nm。在這里，對(duì)比度是指，在基材上存在包含圖案的多層膜的情況下入射至線性傳感器1132的光的強(qiáng)度，與在基材上僅存在從上述多層膜除去了圖案的膜的情況下入射至線性傳感器1132的光的強(qiáng)度之比。換言之，對(duì)比度是圖案和背景之間的亮度比(=(圖案區(qū)域的亮度)/(背景區(qū)域的亮度))。亮度與其波長的反射率相對(duì)應(yīng)，且亮度比也是反射率比。顯然,就對(duì)比度而言,也可以利用亮度和反射率之差等其他值。在圖7中，通常在對(duì)比度在0. 5以下或在2以上的情況下能夠?qū)崿F(xiàn)良好的圖案檢查。在實(shí)線1811的情況下，在檢測(cè)角大約在0°以上且在28°以下或者在40°以上且在45°以下的情況下，可獲取恰當(dāng)?shù)臋z查圖像。其中，45°只不過是圖7的形式上的上限。此夕卜，只要對(duì)比度在0. 77以下或在I. 3以上，就能夠根據(jù)條件進(jìn)行檢查。對(duì)比度優(yōu)選在0. 67以下或在I. 5以上。另外，“對(duì)比度高”表示對(duì)比度良好，表示能夠明確區(qū)分明暗的狀態(tài)。對(duì)比度高不一定表示對(duì)比度值大。
圖7的虛線1812表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為960nm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為960nm的透明膜。單點(diǎn)劃線1813表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為IOOOnm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為IOOOnm的透明膜。照射光的波長為570nm。如曲線1811 1813所示，可知因透明膜的厚度發(fā)生變化而使得可獲取對(duì)比度高的檢查圖像的檢測(cè)角大幅度變化。S卩，若改變檢測(cè)角，則因經(jīng)由透明的各層的光的光路長度發(fā)生變化，進(jìn)而導(dǎo)致光的干涉狀態(tài)發(fā)生變化，由此，即使在利用特定的檢測(cè)角時(shí)得不到高對(duì)比度的情況下，也能夠通過改變檢測(cè)角來得到高對(duì)比度，而不需改變波長。再換句話來說，通過改變檢測(cè)角，能夠?qū)崿F(xiàn)與通過利用白色光源及多個(gè)濾光器從多個(gè)波長中選擇波長來進(jìn)行的圖案檢查等同的檢
查。 在角度決定部132中，基于獲取的關(guān)系曲線，來決定應(yīng)設(shè)定為照射角及檢測(cè)角的角度(下面，稱之為“設(shè)定角度”)(步驟S113)。在決定設(shè)定角度時(shí)，要考慮光照射部1131及線性傳感器1132的可動(dòng)范圍及其它檢查條件。通過將設(shè)定角度輸入至整體控制部130，并由整體控制部130控制角度變更機(jī)構(gòu)1133，來使照射角及檢測(cè)角成為設(shè)定角度(步驟S114)。若完成上述準(zhǔn)備工作，則開始從光照射部1131出射光，并且搬送機(jī)構(gòu)111開始搬送膜材19 (步驟S115)。線性傳感器1132高速地反復(fù)獲取線狀的拍攝區(qū)域190的線性圖像。由此，圖像存儲(chǔ)部133獲取作為表示圖案的ニ維圖像數(shù)據(jù)的檢查圖像數(shù)據(jù)1331 (步驟S116)。另ー方面，在圖像存儲(chǔ)部133中，還存儲(chǔ)有成為基準(zhǔn)的參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)1332。檢查圖像數(shù)據(jù)1331及參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)1332被送到檢查部134，并由檢查部134對(duì)雙方進(jìn)行比較，由此判斷有無缺陷(步驟S117)。每當(dāng)將膜材19被搬送恒定距離時(shí)，反復(fù)執(zhí)行步驟5116及S117，若完成對(duì)膜材19的全部檢查，則停止照射光和搬送膜材19，并結(jié)束檢查(步驟S118)。如上述說明，在圖案檢查裝置11中，不需變更照射至拍攝區(qū)域190的光的波長，也能夠獲取圖案和背景之間的對(duì)比度高的檢查圖像。由此，不需要用于變更波長的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，不需進(jìn)行與多個(gè)波長的光相對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及繁雜調(diào)整，從而能夠消減檢查圖像獲取裝置110及圖案檢查裝置11的制造成本。進(jìn)而，例如，如在圖案上面的層中包含感光性保護(hù)層的情況等下，能夠避開不能使用的波長的光來容易地進(jìn)行圖案檢查。另外，關(guān)系曲線獲取部131獲取關(guān)系曲線，因而角度決定部132能夠容易地決定最優(yōu)選的角度。通過使用膜厚儀112，能夠快速地獲取關(guān)系曲線，從而能夠有效地進(jìn)行檢查。圖8是例示了圖案的膜厚薄的情況下的關(guān)系曲線的圖。實(shí)線1821示出了在30nm的透明電極膜上形成了 650nm的透明膜的情況下的關(guān)系曲線。長虛線1822、短虛線1823、單點(diǎn)劃線1824是分別將透明電極膜的厚度變更為20nm、10nm、5nm時(shí)的關(guān)系曲線，且透明膜的厚度為650nm。假設(shè)在背景上僅存在650nm的透明膜，在下面的類似的圖中也與此相同。如圖8所示，從實(shí)用方面考慮，圖案的厚度優(yōu)選在IOnm以上。另外，在透明電極上形成有圖案的情況下，圖案的厚度通常在IOOnm以下。在用不同的膜種類形成透明圖案的情況下，圖案的厚度通常也在2000nm以下。對(duì)于圖案能夠應(yīng)用各種材料，例如也可以是鉻(Cr)薄膜。圖8的上述內(nèi)容，在其他實(shí)施方式中也相同。
圖9是示出了圖像獲取部113的另一例的正視圖。在圖9所示的圖像獲取部113中，在拍攝區(qū)域190和線性傳感器1132之間配置起偏鏡1136。由此，在來自膜材19的反射光中，僅P偏振光入射至線性傳感器1132。圖案檢查裝置11的其他結(jié)構(gòu)與圖I相同。在包括圖9的圖像獲取部113的圖案檢查裝置11中，關(guān)系曲線獲取部131獲取與P偏振光相關(guān)的關(guān)系曲線。即，可獲取因檢測(cè)角的變化而發(fā)生的特定對(duì)比度的變化來作為關(guān)系曲線，上述特定對(duì)比度是來自形成有圖案的區(qū)域的P偏振光的強(qiáng)度與來自背景的P偏振光的強(qiáng)度之比。圖10A、圖IOB及圖IOC是分別在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為900nm、960nm及IOOOnm的透明膜的情況下的關(guān)系曲線。光的波長為570nm。實(shí)線1841、1843、1845是p偏振光的關(guān)系曲線，虛線1842、1844、1846是s偏振光的關(guān)系曲線。從這些關(guān)系曲線可知，對(duì)于圖IOB及圖IOC所示的膜結(jié)構(gòu)，若利用p偏振光，則與不利用偏振光的情況相比，能夠獲取對(duì)比度更高的檢查圖像。另外，還可了解到，優(yōu)選的檢測(cè)角根據(jù)透明膜的厚度而大幅度變化。
在圖案檢查裝置11中，基于P偏振光的關(guān)系曲線來決定照射角及檢測(cè)角。于是，通過使用線性傳感器1132接收p偏振光，來獲取對(duì)比度高的圖像，從而提高圖案檢查的精度。此外，在接收s偏振光時(shí)可獲取對(duì)比度高的檢查圖像的情況下，設(shè)置用于使線性傳感器1132接收s偏振光的起偏鏡1136。在圖案非常薄的情況下，特別適合利用偏振光。圖11A、圖11B、圖IlC及圖IlD分別示出了 30nm、20nm、10nm及5nm的厚度的透明電極圖案的關(guān)系曲線。光的波長為570nm。實(shí)線1851、1853、1855、1857示出了 p偏振光的關(guān)系曲線，虛線1852、1854、1856、1858示出了 s偏振光的關(guān)系曲線。從這些關(guān)系曲線中也可了解到，通過利用P偏振光，能夠獲取比不使用偏振光時(shí)的對(duì)比度更高的檢查圖像。另外，可了解到，從實(shí)用方面考慮，在圖案的膜厚在IOnm以上的情況下，能夠利用對(duì)比度進(jìn)行檢查。一般而言，在圖案薄的情況下，能夠通過増大檢測(cè)角來得到高對(duì)比度。圖IOA至圖IOC以及圖IlA至圖IlD的上述內(nèi)容，在其他實(shí)施方式中也相同。圖12是示出了第二實(shí)施方式的圖案檢查裝置11的關(guān)系曲線獲取部131周圍的功能結(jié)構(gòu)的圖。在第二實(shí)施方式中，從圖案檢查裝置11中省略了膜厚儀112。其他結(jié)構(gòu)與第ー實(shí)施方式相同，下面，對(duì)同樣的結(jié)構(gòu)標(biāo)注同一附圖標(biāo)記。關(guān)系曲線獲取部131控制角度變更機(jī)構(gòu)1133，并接收來自線性傳感器1132的信息。在獲取關(guān)系曲線時(shí)，首先，由搬送機(jī)構(gòu)111對(duì)膜材19進(jìn)行定位，以使圖案及背景存在于拍攝區(qū)域190。接著，一邊由關(guān)系曲線獲取部131變更照射角及檢測(cè)角，一邊由線性傳感器1132反復(fù)獲取拍攝區(qū)域190的線性圖像。在關(guān)系曲線獲取部131中，每當(dāng)由線性傳感器1132獲取到線性圖像時(shí)，求出來自圖案區(qū)域的光強(qiáng)度和來自背景區(qū)域的光強(qiáng)度之比來作為對(duì)比度。在保持照射角和檢測(cè)角相等的同時(shí)，將照射角及檢測(cè)角從最小角變更至最大角。由此，獲取表示檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系的關(guān)系曲線(圖13 :步驟S121)。將獲取的關(guān)系曲線發(fā)送至角度決定部132來決定設(shè)定角度(圖6 :步驟S113)。此后，通過進(jìn)行與第一實(shí)施方式同樣的動(dòng)作來檢查圖案。在第二實(shí)施方式中，也不需變更照射至拍攝區(qū)域190的光的波長，就能夠獲取圖案和背景之間的對(duì)比度高的檢查圖像。由此，能夠消減檢查圖像獲取裝置110及圖案檢查裝置11的制造成本。并且，由于能夠省略膜厚儀，能夠進(jìn)一歩消減檢查圖像獲取裝置110及圖案檢查裝置11的制造成本。圖14是示出了第三實(shí)施方式的圖案檢查裝置Ila的檢查圖像獲取裝置IlOa的圖。其他結(jié)構(gòu)與圖5相同。圖案檢查裝置Ila具有搬送機(jī)構(gòu)111a、膜厚儀112及圖像獲取部113，并且除了搬送機(jī)構(gòu)Illa的結(jié)構(gòu)以及圖像獲取部113的一部分結(jié)構(gòu)與圖I不同這點(diǎn)之外，其他結(jié)構(gòu)與第ー實(shí)施方式相同。另外，檢查對(duì)象是形成有透明電極膜及透明膜等的玻璃基板19a。搬送機(jī)構(gòu)Illa具有載物臺(tái)141，其用上表面保持玻璃基板19a ;導(dǎo)軌142，其引導(dǎo)載物臺(tái)141在左右方向上移動(dòng)；馬達(dá)143 ;傳遞機(jī)構(gòu)，其傳遞馬達(dá)143的驅(qū)動(dòng)力，并對(duì)其省略了圖示。搬送機(jī)構(gòu)Illa是使作為玻璃基板19a的主要部分的基材相對(duì)于拍攝區(qū)域190移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在圖像獲取部113中，在拍攝區(qū)域190和線性傳感器1132之間配置有起偏鏡1136，還設(shè)置有使起偏鏡1136以光軸為中心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1137。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1137是變更起偏鏡1136的偏振方向的偏振光切換機(jī)構(gòu)。

當(dāng)進(jìn)行檢查時(shí)，在載物臺(tái)141上保持作為檢查對(duì)象的玻璃基板19a，如雙點(diǎn)劃線所示，膜厚儀112的下方配置玻璃基板19a。并且，獲取玻璃基板19a的基材上的各層的膜厚(圖6 :步驟S111)。接著，關(guān)系曲線獲取部131基于膜厚儀112的測(cè)量結(jié)果，來獲取第一關(guān)系曲線和第二關(guān)系曲線來作為關(guān)系曲線，其中，上述第一關(guān)系曲線表示圖案和背景之間的P偏振光的第一對(duì)比度，上述第二關(guān)系曲線表示圖案和背景之間的s偏振光的第二對(duì)比度(步驟 S112)。角度決定部132求出第一對(duì)比度和第二對(duì)比度的乘積，并將該乘積與I大不相同時(shí)的角度決定為設(shè)定角度(步驟S113)。在第一對(duì)比度及第ニ對(duì)比度均接近1，但乘積與I不同的情況下，適合使用該方法。此外，只要實(shí)質(zhì)上可求出第一對(duì)比度和第二對(duì)比度的乘積，則從嚴(yán)格的意義來說不需準(zhǔn)備第一關(guān)系曲線及第ニ關(guān)系曲線。例如，也可以通過求出第一乘積與第二乘積的比，來求出相當(dāng)于第一對(duì)比度與第二對(duì)比度的乘積的值，其中，第一乘積是圖案的P偏振光的亮度和s偏振光的亮度的乘積，第二乘積是背景的p偏振光的亮度和s偏振光的亮度的乘積。這樣，不需要具有嚴(yán)格區(qū)分關(guān)系曲線獲取部131和角度變更機(jī)構(gòu)1133的功能。若照射角及檢測(cè)角被設(shè)定為設(shè)定角度(步驟S114)，則開始進(jìn)行光的照射和載物臺(tái)141的移動(dòng)，并由圖像獲取部113獲取p偏振光的第一檢查圖像。然后，由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1137使起偏鏡1136旋轉(zhuǎn)，并再次進(jìn)行光的照射和載物臺(tái)141的移動(dòng)，由此獲取s偏振光的第二檢查圖像(步驟S115、S116)。在檢查部134中，求出第一檢查圖像的各像素值和第二檢查圖像的(與第一檢查圖像的像素相)對(duì)應(yīng)的像素值的乘積，并基于將該乘積作為像素值的圖像來執(zhí)行圖案檢查(步驟S117)。在圖案檢查裝置Ila中，由于使用p偏振光的強(qiáng)度和s偏振光的強(qiáng)度的乘積來進(jìn)行檢查，因而在圖案和背景之間的該乘積之差大的情況下能夠?qū)崿F(xiàn)恰當(dāng)?shù)臋z查。另外，由于利用不同種類的兩個(gè)圖像，因而也提高檢查可靠性。在圖案檢查裝置Ila中，也不需要用于切換光源的波長的機(jī)構(gòu)，因而能夠消減檢查圖像獲取裝置IlOa和圖案檢查裝置Ila的制造成本。在圖案檢查裝置IIa中，也可以與第一實(shí)施方式同樣地不設(shè)置起偏鏡1136而進(jìn)行檢查，還可以僅利用p偏振光或s偏振光來進(jìn)行檢查。另外，也可以省略膜厚儀112而執(zhí)行圖13所示的動(dòng)作。在玻璃基板19a的寬度比拍攝區(qū)域190的長度更大的情況下，通過在搬送機(jī)構(gòu)Illa上追加使載物臺(tái)141在與圖14的紙面垂直的方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，來使玻璃基板19a在與紙面垂直的方向上移動(dòng)，從而反復(fù)進(jìn)行圖像的獲取及檢查。上面對(duì)本發(fā)明的第一至第三實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但能夠?qū)ι鲜鰧?shí)施方式實(shí)現(xiàn)各種變形。檢查對(duì)象的基材也可以由樹脂板等其他材料形成，而并不限定于薄膜或玻璃基板。在基材上形成的膜結(jié)構(gòu)可以是上述的各種結(jié)構(gòu)，通常具有比上述實(shí)施方式所例示的結(jié)構(gòu)更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。作為檢查對(duì)象的圖案也可以是多種，而并不限于ー種。此時(shí)，當(dāng)對(duì)各檢查對(duì)象的圖案進(jìn)行檢查時(shí)，將與該圖案重疊的其他圖案作為背景來進(jìn)行處理。在上述實(shí)施方式中，說明了背景是ー種的情況，但背景并不限于ー種。在背景為多種的情況下，求出各背景的關(guān)系曲線，并由角度決定部132決定對(duì)哪個(gè)背景來說對(duì)比度都高的照射角及檢測(cè)角。
薄膜圖案的組成結(jié)構(gòu)只要相對(duì)于照射光具有某一程度的透光性即可，也可以是由其他材料形成的結(jié)構(gòu)，并不需要一定對(duì)可視光透明。圖案也可以是其他用途的圖案，并不限定于透明電極。其中，就圖案檢查裝置的用途而言，特別適合檢查即使照射可視光也不形成陰影的透明電極。使基材相對(duì)于拍攝區(qū)域移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，也可以是使基材固定而使圖像獲取部113移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。角度變更機(jī)構(gòu)1133也可以是使照射角及檢測(cè)角聯(lián)動(dòng)的機(jī)構(gòu)，而不是個(gè)別(分別)地變更照射角及檢測(cè)角的機(jī)構(gòu)。角度變更機(jī)構(gòu)1133例如也可以是只能對(duì)照射角及檢測(cè)角變更數(shù)階段的機(jī)構(gòu)，而不需要連續(xù)地變更照射角及檢測(cè)角的機(jī)構(gòu)。另外，角度變更機(jī)構(gòu)1133也可以是手動(dòng)變更角度的機(jī)構(gòu)。在圖14中，設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1137來作為偏振光切換機(jī)構(gòu)，但也可以設(shè)置用于更換偏振方向不同的兩個(gè)起偏鏡的機(jī)構(gòu)來作為偏振光切換機(jī)構(gòu)。也可以使光照射部1131能夠選擇性地出射多個(gè)波長的光，而不限定于出射單波長的光。光源并不限定于LED，也可以設(shè)置LD。并且，也可以設(shè)置鹵素?zé)舻葻艉蜑V光器的組合來作為光源。膜厚儀112也可以是光譜橢圓偏振儀(spectroscopic ellipsometer)。只要已知檢查對(duì)象的膜結(jié)構(gòu)及各層的膜厚，也可以通過由操作員將這些信息直接輸入至關(guān)系曲線獲取部131，來省略膜厚儀112。進(jìn)而，也可以省略關(guān)系曲線獲取部131及角度決定部132而利用另行求出的照射角及檢測(cè)角。另外，也可以從在上述實(shí)施方式中說明的圖案檢查裝置ll、lla中省略檢查部134而僅利用檢查圖像獲取裝置IlOUlOa的功能。檢查圖像獲取裝置IlOUlOa作為圖像獲取裝置，能夠用于獲取檢查以外的各種用途的圖像。能夠利用各種類型檢查部134，而不一定需要執(zhí)行與參照?qǐng)D像進(jìn)行比較的檢查。圖15是示出了本發(fā)明的第四實(shí)施方式的圖案圖像顯示裝置21的概略結(jié)構(gòu)的圖。作為圖像獲取裝置的圖案圖像顯示裝置21獲取并顯示圖案圖像，該圖案圖像是形成在基材上的多層薄膜圖案的圖像。在圖15中，基材是玻璃基板。薄膜圖案例如是透明電極膜，在本實(shí)施方式中，基材及薄膜圖案被透明膜覆蓋。實(shí)際上，在基材上還設(shè)有反射防止膜等其他層。在下面的說明中，將薄膜圖案簡稱為“圖案”。將基材及基材上的膜統(tǒng)稱為“玻璃基板29”或“顯示對(duì)象”。玻璃基板29用于制造靜電電容式觸摸面板。圖案圖像顯示裝置21具有用于移動(dòng)玻璃基板29的移動(dòng)機(jī)構(gòu)211、膜厚儀212、圖像獲取部213、輔助拍攝部214及計(jì)算機(jī)23。移動(dòng)機(jī)構(gòu)211具有載物臺(tái)241，其用上表面保持玻璃基板29 ;X方向移動(dòng)部242，其在與玻璃基板29的主表面平行的圖15中的X方向上移動(dòng)載物臺(tái)241 ;Y方向移動(dòng)部243，其在與玻璃基板29的主表面平行且與X方向垂直的Y方向上移動(dòng)X方向移動(dòng)部242。移動(dòng)機(jī)構(gòu)211是使作為玻璃基板29的主要部分的基材相對(duì)于后述的拍攝區(qū)域290移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。此外，也可以在移動(dòng)機(jī)構(gòu)211上追加設(shè)置以下機(jī)構(gòu)在與X方向和Y方向垂直的圖15中的Z方向上移動(dòng)載物臺(tái)241的機(jī)構(gòu)，或使載物臺(tái)241以與Z方向平行的軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。膜厚儀212是光干渉式光譜膜厚儀，通過將測(cè)量光照射至玻璃基板29來獲取反射光的頻譜。以預(yù)先設(shè)定的膜結(jié)構(gòu)為前提，在計(jì)算中改變各層的膜厚，并使計(jì)算出的光譜與測(cè)量獲取的光譜相擬合(fitting)，由此求出各層的膜厚 。在輔助拍攝部214中，ニ維排列多個(gè)受光元件來獲取玻璃基板29的圖像。為了與由圖像獲取部213獲取的圖像相區(qū)分，將由輔助拍攝部214獲取的圖像稱為輔助圖像。圖16是圖像獲取部213的正視圖，圖17是俯視圖，圖18則是后視圖。圖像獲取部213具有光照射部2131，其向玻璃基板29上的拍攝區(qū)域290出射光；線性傳感器2132，其接收來自拍攝區(qū)域290的反射光；角度變更機(jī)構(gòu)2133，其變更光照射部2131的光的照射角和線性傳感器2132的檢測(cè)角。在這里，照射角是指，在從光照射部2131至拍攝區(qū)域290的光軸Jl與玻璃基板29的法線N之間形成的角0 I。檢測(cè)角是指，在從拍攝區(qū)域290至線性傳感器2132的光軸J2與法線N之間形成的角0 2。光照射部2131出射對(duì)于圖案具有透光性的波長的光。光至少照射線狀的拍攝區(qū)域290。光照射部2131具有多個(gè)LED，它們排列在X方向上；光學(xué)系統(tǒng)，其將來自LED的光均勻地引導(dǎo)至拍攝區(qū)域290。線性傳感器2132具有一維拍攝元件；光學(xué)系統(tǒng)，其使拍攝區(qū)域290與拍攝元件的受光面光學(xué)共軛。此外，在圖像獲取部213上也可以設(shè)有自動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)，該自動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)使光照射部2131、線性傳感器2132及角度變更機(jī)構(gòu)2133以一體方式在玻璃基板29的法線N的方向上移動(dòng)。在獲取后述的圖案圖像時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)211在與拍攝區(qū)域290交叉的方向上移動(dòng)玻璃基板29。S卩，移動(dòng)機(jī)構(gòu)211是使玻璃基板29的基材相對(duì)于拍攝區(qū)域290移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，使玻璃基板29在與拍攝區(qū)域290垂直的Y方向上移動(dòng)，但拍攝區(qū)域290也可以相對(duì)于移動(dòng)方向傾斜。也可以認(rèn)為圖像獲取部213包含移動(dòng)機(jī)構(gòu)211的一部分。此外，在下面的說明中，根據(jù)需要區(qū)分基材和圖案來進(jìn)行說明，但顯示對(duì)象(玻璃基板29)的大部分是基材，關(guān)于對(duì)顯示對(duì)象的說明處理等，不嚴(yán)格地區(qū)分顯示對(duì)象和基材來進(jìn)行說明。角度變更機(jī)構(gòu)2133以保持照射角0 I和檢測(cè)角0 2相等的方式，變更照射角0 I及檢測(cè)角Q 2。因此,在下面的說明中的檢測(cè)角的大小也是照射角的大小,且照射角的大小也是檢測(cè)角的大小。光照射部2131及線性傳感器2132被角度變更機(jī)構(gòu)2133支撐在基壁2134上。基壁2134是與Y方向及Z方向平行的板構(gòu)件。在基壁2134上，設(shè)有以拍攝區(qū)域290為中心的圓弧狀的第一開ロ 2201及第ニ開ロ 2202。支撐光照射部2131的第一支撐部221插入在第一開ロ 2201中。支撐線性傳感器
2132的第二支撐部222插入在第二開ロ 2202中。第一支撐部221及第ニ支撐部222是角度變更機(jī)構(gòu)2133的一部分。角度變更機(jī)構(gòu)2133還具有第一引導(dǎo)部2231、第一馬達(dá)2241及第ー齒條2251，它們用于使光照射部2131移動(dòng)；第二引導(dǎo)部2232、第二馬達(dá)2242及第ニ齒條2252，它們使線性傳感器2132移動(dòng)。第一引導(dǎo)部2231沿著第一開ロ 2201而設(shè)在基壁2134上的靠近光照射部2131 —偵牝并且引導(dǎo)光照射部2131在圓周方向上以拍攝區(qū)域290為中心移動(dòng)。第一支撐部221的移動(dòng)體2211沿著第一引導(dǎo)部2231移動(dòng)。第一支撐部221還具有支撐板2212，其位于基壁2134上的與光照射部2131相反的ー側(cè)，并且該支撐板2212支撐第一馬達(dá)2241。第一齒條2251沿著第一開ロ 2201而設(shè)在基壁2134上的與光照射部2131相反的ー側(cè)。第一齒條2251與設(shè)在第一馬達(dá)2241的輸出軸上的小齒輪相嚙合，并通過將驅(qū)動(dòng)力傳遞至第一支撐部221來使光照射部2131移動(dòng)。使線性傳感器2132移動(dòng)的機(jī)構(gòu)與使光照射部2131移動(dòng)的機(jī)構(gòu)相同。即，第二引導(dǎo)部2232沿著第二開ロ 2202而設(shè)在基壁2134上的靠近線性傳感器2132 —側(cè)，并且引導(dǎo)線性傳感器2132在圓周方向上以拍攝區(qū)域290為中心移動(dòng)。第二支撐部222的移動(dòng)體2221沿著第二引導(dǎo)部2232移動(dòng)。第二支撐部222還具有支撐板2222，其位于基壁2134上的與線性傳感器2132相反的ー側(cè)，并且該支撐板2222支撐第二馬達(dá)2242。第二齒條2252沿著第二開ロ 2202而設(shè)在基壁2134上的與線性傳感器2132相反的ー側(cè)。第二齒條2252與設(shè) 在第二馬達(dá)2242的輸出軸上的小齒輪相嚙合，并通過將驅(qū)動(dòng)力傳遞至第二支撐部222來使線性傳感器2132移動(dòng)。圖19是示出了圖案圖像顯示裝置21的功能結(jié)構(gòu)的框圖。用虛線包圍的結(jié)構(gòu)是圖15所示的結(jié)構(gòu)，并且，其他結(jié)構(gòu)由計(jì)算機(jī)23實(shí)現(xiàn)。圖案圖像顯示裝置21具有關(guān)系曲線獲取部231，其接收來自膜厚儀212的輸出信息；角度決定部232，其接收由關(guān)系曲線獲取部231求出的后述的關(guān)系曲線；整體控制部230，其控制整體；顯示控制部233，其接收來自線性傳感器2132的輸出信息；顯示器234，其是顯示部；輸入接受部235，其接受來自操作員等的各種信息的輸入。圖20是圖案圖像顯示裝置21的動(dòng)作的流程圖。在圖案圖像顯示裝置21中，首先，通過控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)211，將在玻璃基板29上的存在圖案的區(qū)域配置在膜厚儀212的下方(即，在圖15中用雙點(diǎn)劃線表示的位置)，并且由膜厚儀212獲取各層的膜厚。進(jìn)而，通過控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)211，將作為圖案周圍區(qū)域的背景區(qū)域配置在膜厚儀212的下方，并且也獲取背景區(qū)域的各層的膜厚(步驟S211)。此外，也可以僅獲取存在圖案的區(qū)域的各層的膜厚，井根據(jù)這些膜厚來推定背景上的各層的膜厚。將膜厚的測(cè)量結(jié)果輸入至關(guān)系曲線獲取部231。在關(guān)系曲線獲取部231中，基于基材上的層結(jié)構(gòu)及各層的膜厚，通過計(jì)算求出關(guān)系曲線，該關(guān)系曲線表示檢測(cè)角(及照射角)和對(duì)比度之間的關(guān)系(步驟S212)。圖21是例示了獲取的關(guān)系曲線的圖。實(shí)線2811表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為900nm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)背景上僅存在厚度為900nm的透明膜。照射光的波長為570nm。在這里，對(duì)比度是指第一強(qiáng)度與第二強(qiáng)度之比，所述第一強(qiáng)度是在基材上存在包含圖案的多層膜的情況下入射至線性傳感器2132的光的強(qiáng)度，所述第二強(qiáng)度是在基材上僅存在從上述多層膜除去了圖案的膜的情況下入射至線性傳感器2132的光的強(qiáng)度。換言之，對(duì)比度是圖案和背景之間的亮度比(=(圖案區(qū)域的亮度)/ (背景區(qū)域的亮度))。亮度與其波長的反射率相對(duì)應(yīng)，且亮度比也是反射率比。顯然，就對(duì)比度而言，也可以利用亮度和反射率之差等其他值。
在圖21中，通常在對(duì)比度在0. 5以下或在2以上的情況下能夠?qū)崿F(xiàn)良好的圖案顯示。在實(shí)線2811的情況下，在檢測(cè)角大約在在0°以上且在28°以下或者在40°以上且在45°以下的情況下，可獲取恰當(dāng)?shù)膱D案圖像。其中，45°只不過是圖21的形式上的上限。此外，只要對(duì)比度在0. 77以下或在I. 3以上，就能夠根據(jù)條件來觀察圖案。對(duì)比度優(yōu)選在0.67以下或在1.5以上。另外，“對(duì)比度高”表示對(duì)比度良好，表示能夠明確區(qū)分明暗的狀態(tài)。對(duì)比度高不一定表示對(duì)比度值大。圖21的虛線2812表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為960nm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為960nm的透明膜。單點(diǎn)劃線2813表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為IOOOnm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為IOOOnm的透明膜。照射光的波長為570nm。如曲線2811 2813所示，可知道因透明膜的厚度發(fā)生變化而可獲取對(duì)比度高的檢查圖像的檢測(cè)角大幅度變化。S卩，若改變檢測(cè)角，則因經(jīng)由透明的各層的光的光路長度發(fā)生變化而導(dǎo)致光的干 涉狀態(tài)發(fā)生變化，由此，即使在利用特定的檢測(cè)角得不到高對(duì)比度的情況下，也能夠通過改變檢測(cè)角來得到高對(duì)比度，而不需改變波長。再換句話來說，通過改變檢測(cè)角，能夠?qū)崿F(xiàn)與通過利用白色光源及多個(gè)濾光器從多個(gè)波長中選擇波長來進(jìn)行的圖案檢查時(shí)等同的檢查。在角度決定部232中，基于獲取的關(guān)系曲線，來決定應(yīng)設(shè)定為照射角及檢測(cè)角的角度(下面，稱之為“設(shè)定角度”)(步驟S213)。在決定設(shè)定角度時(shí)，要考慮光照射部2131及線性傳感器2132的可動(dòng)范圍及其它條件。通過將設(shè)定角度輸入至整體控制部230，并由整體控制部230控制角度變更機(jī)構(gòu)2133，來使照射角及檢測(cè)角成為設(shè)定角度(步驟S214)。若完成了上述準(zhǔn)備工作，則輸入接受部235接受表示玻璃基板29上的所希望的顯示對(duì)象位置的坐標(biāo)輸入(步驟S215)，并且整體控制部230通過控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)211，將顯示對(duì)象位置配置在光照射部2131及線性傳感器2132的下方附近。接著，開始從光照射部2131出射光，并且移動(dòng)機(jī)構(gòu)211在Y方向上移動(dòng)玻璃基板29，以使顯示對(duì)象位置通過拍攝區(qū)域290。與玻璃基板29的移動(dòng)并行地，線性傳感器2132高速地反復(fù)獲取線狀的拍攝區(qū)域290的線性圖像(步驟S216)。將線性圖像的數(shù)據(jù)輸入至顯示控制部233，由此，將表示顯示對(duì)象位置上的薄膜圖案的ニ維圖案的圖像顯示在計(jì)算機(jī)23的顯示器234上(步驟S217)。此夕卜，也可以在步驟S215中設(shè)定多個(gè)顯示對(duì)象位置，并以此獲取多個(gè)顯示對(duì)象位置上的圖案的圖像，并將它們顯示在顯示器234上。如上所述，基于來自線性傳感器2132的輸出信息來顯示(可視化)形成在透明電極膜上的透明的薄膜圖案的圖像，由此能夠使工作人員確認(rèn)該薄膜圖案的形狀等，從而能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜圖案的形成エ藝的改善等。另外，在圖案圖像顯示裝置21中，可通過使用輸入部在顯示在顯示器234上的圖案圖像上選擇任意兩點(diǎn)，來顯示(或輸出)這兩點(diǎn)之間的距離。并且，能夠基于圖案圖像的數(shù)據(jù)來顯示任意位置上的剖面關(guān)系曲線，還能夠顯示該剖面關(guān)系曲線上的任意兩點(diǎn)之間的距離。另外，通過預(yù)先登錄載物臺(tái)241上的玻璃基板29的基準(zhǔn)位置及朝向，還能夠指定顯示器234上的圖案圖像上的任意位置來顯示該位置的坐標(biāo)(相對(duì)于基準(zhǔn)位置的坐標(biāo))。在利用其它測(cè)量器對(duì)玻璃基板29進(jìn)行各種測(cè)量時(shí)，難以確定與薄膜圖案相結(jié)合的測(cè)量位置，但通過利用由圖案圖像顯示裝置21獲取的上述坐標(biāo)，能夠利用該測(cè)量器容易地確定測(cè)量位置。在圖案圖像顯示裝置21中，也可以基于由輔助拍攝部214獲取的輔助圖像來輸入顯示對(duì)象位置。例如，在圖22所示的玻璃基板29中，在主表面上設(shè)定有分別是觸摸面板的多個(gè)矩形區(qū)域293，并且在各矩形區(qū)域293的外緣部用金屬材料形成規(guī)定圖案(例如是與透明電極膜相連接的引出電極的圖案，下面，稱之為“可視圖案”)2931。在這樣的情況下，在輔助拍攝部214的輔助圖像中，雖然不能與背景相區(qū)分地映出透明電極膜的薄膜圖案，但能夠以視覺辨認(rèn)可視圖案2931。因此，操作員通過一邊參照輔助圖像中的可視圖案293 —邊進(jìn)行規(guī)定的輸入，來在X方向及Y方向上移動(dòng)玻璃基板29，由此可將玻璃基板29上的所希望的區(qū)域配置在輔助拍攝部214的拍攝范圍內(nèi)。由此，可在顯示器234上顯示表示該區(qū)域的輔助圖像。操作員進(jìn)行指示輔助圖像上的所希望的位置來作為顯示對(duì)象位置的輸入操作，由此，輸入接受部235接受該輸入(步驟S215)，從而，玻璃基板29上的顯示對(duì)象位置被配置在光照射部2131及線性傳感器2132的下方附近。接著，光照射部2131開始出射光，并且 移動(dòng)機(jī)構(gòu)211在Y方向上移動(dòng)玻璃基板29，以使顯示對(duì)象位置通過拍攝區(qū)域290。由此，獲取表示顯示對(duì)象位置上的薄膜圖案的圖案圖像，來將它們顯示在顯示器234上(步驟S216、S217)。此外，也可以獲取輔助圖像所表示的玻璃基板29的大致整個(gè)區(qū)域的圖案圖像。另夕卜，也可以將輔助圖像及圖案圖像分別顯示在兩個(gè)顯示器上，此時(shí)，這兩個(gè)顯示器成為顯示部。并且，可視圖案除了可以是引出電極的圖案以外，例如還可以是在顯示裝置用面板上構(gòu)成像素的各単元的外緣部(通常，由金屬材料形成)等。如上述說明，在圖案圖像顯示裝置21中，不需變更照射至拍攝區(qū)域290的光的波長，也能夠獲取圖案和背景之間的對(duì)比度高的圖案圖像來進(jìn)行顯示。由此，不需要用于變更波長的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，而且不需進(jìn)行與多個(gè)波長的光相對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及繁雜的調(diào)整，從而能夠消減圖案圖像顯示裝置21的制造成本。進(jìn)而，例如，即使在圖案上面的層中包含感光性保護(hù)層的情況等下，也能夠避開不能使用的波長的光來容易地顯示圖案圖像。另外，關(guān)系曲線獲取部231獲取關(guān)系曲線，因而角度決定部232能夠容易地決定最優(yōu)選的角度。通過使用膜厚儀212，能夠快速地獲取關(guān)系曲線，從而能夠有效地顯示圖案圖像。在圖案圖像顯示裝置21中，輸入接受部235接受指示玻璃基板29上的顯示對(duì)象位置的輸入，由此可自動(dòng)進(jìn)行獲取顯示對(duì)象位置上的圖案圖像的處理。由此，能夠容易地將玻璃基板29上的所希望的位置的圖像顯示在顯示器234上。另外，由輔助拍攝部214獲取玻璃基板29的輔助圖像，并且由整體控制部230控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)211，以使輔助圖像所表示的玻璃基板29上的位置通過拍攝區(qū)域290。此時(shí)，也能夠容易地將玻璃基板29上的所希望的位置的圖案圖像顯示在顯示器234上。如上述的利用圖8進(jìn)行的說明，從實(shí)用方面考慮，圖案的厚度優(yōu)選在IOnm以上。另夕卜，在透明電極上形成圖案的情況下，圖案的厚度通常在IOOnm以下。在用不同的膜種類形成透明圖案的情況下，圖案的厚度通常也在2000nm以下。圖案能夠應(yīng)用各種材料，例如也
可以是鉻薄膜。圖23是示出了圖像獲取部213的另一例的正視圖。在圖23所示的圖像獲取部213中，在拍攝區(qū)域290和線性傳感器2132之間配置起偏鏡2136。由此，在來自玻璃基板29的反射光中，只有p偏振光入射至線性傳感器2132。圖案圖像顯示裝置21的其他結(jié)構(gòu)與圖15相同。在包括圖23的圖像獲取部213的圖案圖像顯示裝置21中，關(guān)系曲線獲取部231獲取與P偏振光相關(guān)的關(guān)系曲線。即，可獲取因檢測(cè)角的變化而使特定對(duì)比度發(fā)生變化的狀態(tài)來作為關(guān)系曲線，其中，上述特定對(duì)比度是指，來自形成有圖案的區(qū)域的P偏振光的強(qiáng)度和來自背景的P偏振光的強(qiáng)度之比(參照上述的圖IOA至圖10C)。在上述的圖IOB及圖IOC所不的膜結(jié)構(gòu)中，若利用p偏振光,貝U與不利用偏振光的情況相比，能夠獲取對(duì)比度更高的檢查圖像。另外，還可了解到，因透明膜的厚度而使優(yōu)選的檢測(cè)角大幅度變化。在圖案圖像顯示裝置21中，基于p偏振光的關(guān)系曲線來決定照射角及檢測(cè)角。然后，線性傳感器2132接收p偏振光，由此獲取并顯示對(duì)比度高的圖像，從而提高圖案的觀察精度。此外，在接收s偏振光時(shí)可獲取對(duì)比度高的圖案圖像的情況下，設(shè)置用于使線性傳感器2132接收s偏振光的起偏鏡2136。在圖案非常薄的情況下，特別適合利用偏振光。
如參照?qǐng)DIlA至圖IlD上述的那樣，通過利用p偏振光，從而與不使用偏振光的情況相比，能夠獲取并顯示對(duì)比度更高的圖案圖像。另外，從實(shí)用方面考慮，在圖案的膜厚在IOnm以上的情況下，能夠利用對(duì)比度來觀察圖案。一般而言，在圖案薄的情況下，能夠通過増大檢測(cè)角來得到高對(duì)比度。圖24是示出了第五實(shí)施方式的圖案圖像顯示裝置21的關(guān)系曲線獲取部231的周圍的功能結(jié)構(gòu)的圖。在第五實(shí)施方式中，從圖案圖像顯示裝置21中省略了膜厚儀212。其他結(jié)構(gòu)與第四實(shí)施方式相同，下面，對(duì)同樣的結(jié)構(gòu)標(biāo)注同一附圖標(biāo)記。關(guān)系曲線獲取部231控制角度變更機(jī)構(gòu)2133，并接收來自線性傳感器2132的信息。在獲取關(guān)系曲線時(shí)，首先，由移動(dòng)機(jī)構(gòu)211對(duì)玻璃基板29進(jìn)行定位，以使圖案及背景存在于拍攝區(qū)域290內(nèi)。接著，一邊由關(guān)系曲線獲取部231變更照射角及檢測(cè)角，一邊由線性傳感器2132反復(fù)獲取拍攝區(qū)域290的線性圖像。在關(guān)系曲線獲取部231中，每當(dāng)由線性傳感器2132獲取到線性圖像時(shí)，求出來自圖案區(qū)域的光強(qiáng)度與來自背景的區(qū)域的光強(qiáng)度之比來作為對(duì)比度。在保持照射角和檢測(cè)角相等的同時(shí)，將照射角及檢測(cè)角從最小角變更至最大角。由此，獲取表示檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系的關(guān)系曲線(圖25 :步驟S221)。將獲取的關(guān)系曲線發(fā)送至角度決定部232來決定設(shè)定角度(圖20 :步驟S213)。此后，通過進(jìn)行與第四實(shí)施方式同樣的動(dòng)作來顯示圖案圖像。在第五實(shí)施方式中，也不需變更照射至拍攝區(qū)域290的光的波長，就能夠獲取并顯示圖案和背景之間的對(duì)比度高的圖案圖像。由此，能夠消減圖案圖像顯示裝置21的制造成本。并且，由于能夠省略膜厚儀，能夠進(jìn)一歩消減圖案圖像顯示裝置21的制造成本。圖26是示出了第六實(shí)施方式的圖案圖像顯示裝置21a的圖。圖案圖像顯示裝置21a具有搬送機(jī)構(gòu)211a、膜厚儀212、圖像獲取部213、輔助拍攝部214及計(jì)算機(jī)23，并且除了搬送機(jī)構(gòu)211a的結(jié)構(gòu)及圖像獲取部213的一部分結(jié)構(gòu)與圖15不同這點(diǎn)之外，其他結(jié)構(gòu)與第四實(shí)施方式相同。另外，顯示對(duì)象是形成有透明電極膜或透明膜等的樹脂薄膜的膜材，即連續(xù)薄膜。搬送機(jī)構(gòu)211a具有在圖26中位于右側(cè)((+ Y)側(cè))的供給部2111和位于左側(cè)((一 Y)側(cè))的回收部2112。供給部2111使用滾筒291來支撐膜材29a，井向左方向放出膜材29a?；厥詹?112使用滾筒292來支撐膜材29a，并回收膜材29a。搬送機(jī)構(gòu)211a是使作為膜材29a的主要部分的基材相對(duì)于拍攝區(qū)域290移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在圖26的圖案圖像顯示裝置21a中，以橫跨膜材29a的大致整體寬度的方式設(shè)置拍攝區(qū)域290，但也可以使拍攝區(qū)域290的長度小于膜材29a的寬度，并另行設(shè)置使圖像獲取部213在X方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。從供給部2111至回收部2112的方向，依次配置膜厚儀212、輔助拍攝部214及圖像獲取部213。在圖像獲取部213上，在拍攝區(qū)域290和線性傳感器2132之間配置起偏鏡2136，還設(shè)置有使起偏鏡2136以光軸為中心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2137。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2137是變更起偏鏡2136的偏振方向的偏振光切換機(jī)構(gòu)。在顯示圖案圖像時(shí)，在膜厚儀212的下方配置膜材29a。然后，獲取膜材29a的基材上的各層膜厚(圖20 :步驟S211)。接著，關(guān)系曲線獲取部231基于膜厚儀212的測(cè)量結(jié)果，來獲取第一關(guān)系曲線和第二關(guān)系曲線來作為關(guān)系曲線，其中，上述第一關(guān)系曲線表示圖案和背景之間的P偏振光的第一對(duì)比度，上述第二關(guān)系曲線表示圖案和背景之間的s偏振光的第二對(duì)比度(步驟S212)。 角度決定部232求出第一對(duì)比度和第二對(duì)比度的乘積，并將該乘積與I大不相同時(shí)的角度設(shè)定為設(shè)定角度(步驟S213)。在第一對(duì)比度及第ニ對(duì)比度均接近1，但乘積與I不同的情況下，適合使用該方法。此外，只要實(shí)質(zhì)上可求出第一對(duì)比度和第二對(duì)比度的乘積，則從嚴(yán)格的意義來說不需準(zhǔn)備第一關(guān)系曲線及第ニ關(guān)系曲線。例如，也可以通過求出第一乘積與第二乘積之比，來求出相當(dāng)于第一對(duì)比度和第二對(duì)比度的乘積的值，所述第一乘積是圖案的P偏振光的亮度和s偏振光的亮度的乘積，所述第二乘積是背景的p偏振光的亮度和s偏振光的亮度的乘積。這樣，不需要具有嚴(yán)格區(qū)分關(guān)系曲線獲取部231和角度決定部232的功能。若照射角及檢測(cè)角被設(shè)定成設(shè)定角度(步驟S214)，則接受指示顯示對(duì)象位置的輸入(步驟S215)。然后，將膜材29a上的顯示對(duì)象位置配置在圖像獲取部213的下方，并開始進(jìn)行照射光的處理和移動(dòng)膜材29a的處理。由此，圖像獲取部213獲取顯示對(duì)象位置的P偏振光的第一圖案圖像。并且，由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2137使起偏鏡2136旋轉(zhuǎn)，并再次進(jìn)行照射光的處理和移動(dòng)膜材29a的處理(向與之前移動(dòng)的方向相反的方向移動(dòng))，由此獲取顯示對(duì)象位置的s偏振光的第二圖案圖像(步驟S216)。在顯示控制部233中，求出第一檢查圖像的各像素的值和第二檢查圖像的(與第一檢查圖像的像素相)對(duì)應(yīng)的像素的值的乘積，并顯示將該乘積作為像素值的圖像，以作為圖案圖像(步驟S217)。在圖案圖像顯示裝置21a中，由于使用p偏振光的強(qiáng)度和s偏振光的強(qiáng)度的乘積來顯示圖案圖像，因而在圖案和背景之間的該乘積之差大的情況下，可實(shí)現(xiàn)恰當(dāng)?shù)膱D像顯示。另外，由于利用不同種類的兩個(gè)圖像，因而也可減少圖像上的噪聲等的影響。在圖案圖像顯示裝置21a中，也不需要用于切換光源的波長的機(jī)構(gòu)，因而能夠消減圖案圖像顯示裝置21a的制造成本。在圖案圖像顯示裝置21a中，也可以與第四實(shí)施方式同樣地不設(shè)置起偏鏡2136而顯示圖案圖像，還可以僅利用P偏振光或s偏振光來顯示圖像。另外，也可以省略膜厚儀212而執(zhí)行圖25所示的動(dòng)作。在上面對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式至第六實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但能夠?qū)ι鲜鰧?shí)施方式實(shí)現(xiàn)各種變形。
顯示對(duì)象的基材也可以由樹脂板等其他材料形成，而并不限定于薄膜或玻璃基板。在基材上形成的膜結(jié)構(gòu)可以是如上述的各種結(jié)構(gòu)，通常具有比上述實(shí)施方式所例示的結(jié)構(gòu)更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。作為顯示對(duì)象的圖案也可以是多種，而并不限于ー種。此時(shí)，當(dāng)顯示各顯示對(duì)象的圖案時(shí)，將與該圖案重疊的其他圖案作為背景來進(jìn)行處理。在上述實(shí)施方式中，說明了背景是ー種的情況，但背景并不限于ー種。在背景為多種的情況下，求出各背景的關(guān)系曲線，并由角度決定部232決定對(duì)任一背景來說對(duì)比度都高的照射角及檢測(cè)角。薄膜圖案的組成結(jié)構(gòu)只要相對(duì)于照射光具有某一程度的透光性即可，也可以是由其他材料形成的結(jié)構(gòu)，并不需要一定對(duì)可視光透明。圖案也可以是其他用途的圖案，并不限定于透明電極。其中，就圖案圖像顯示裝置的用途而言，特別適合顯示即使照射可視光也不形成陰影的透明電極的圖案圖像。例如，將圖27所示的光照射部2131a設(shè)在圖案圖像顯示裝置上。在圖27的光照 射部2131a中，在以拍攝區(qū)域290為中心的圓弧狀的支撐部21310上排列有多個(gè)LED21311，并且來自多個(gè)LED21311的光經(jīng)由擴(kuò)散板21312照射至拍攝區(qū)域290。這樣，圖27的光照射部2131a，在以拍攝區(qū)域290為中心的規(guī)定的角度范圍a內(nèi)，向拍攝區(qū)域290照射光。在具有光照射部2131a的圖案圖像顯示裝置中，角度變更機(jī)構(gòu)2133a僅使線性傳感器2132移動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng))，而不移動(dòng)光照射部2131a，但在與拍攝區(qū)域290垂直的面上，只要以拍攝區(qū)域290為中心從玻璃基板29的法線N向與光軸J2相反的一側(cè)傾斜了檢測(cè)角0 2后的角度位置被包含在角度范圍a中，就能夠認(rèn)為在該角度位置配置有從光照射部2131a至拍攝區(qū)域290的光軸。因此，僅移動(dòng)線性傳感器2132的圖27的角度變更機(jī)構(gòu)2133a，也實(shí)質(zhì)上以保持照射角和檢測(cè)角相等的方式，變更照射角及檢測(cè)角。使基材相對(duì)于拍攝區(qū)域移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，也可以是使基材固定而使圖像獲取部213移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。角度變更機(jī)構(gòu)2133也可以使照射角及檢測(cè)角聯(lián)動(dòng)的機(jī)構(gòu)，而不是個(gè)別(分另IJ)地變更照射角及檢測(cè)角的機(jī)構(gòu)。角度變更機(jī)構(gòu)2133例如也可以是只能對(duì)照射角及檢測(cè)角變更數(shù)階段的機(jī)構(gòu)，而不需要連續(xù)地變更照射角及檢測(cè)角的機(jī)構(gòu)。另外，角度變更機(jī)構(gòu)2133也可以是手動(dòng)變更角度的機(jī)構(gòu)。在圖26中，設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2137來作為偏振光切換機(jī)構(gòu)，但也可以設(shè)置用于更換偏振方向不同的兩個(gè)起偏鏡的機(jī)構(gòu)來作為偏振光切換機(jī)構(gòu)。也可以使光照射部2131能夠選擇性地出射多個(gè)波長的光，而不限定于出射單波長的光。光源并不限定于LED，也可以設(shè)置LD。并且，也可以設(shè)置鹵素?zé)舻葻艉蜑V光器的組合來作為光源。膜厚儀212也可以是光譜橢圓偏振儀。只要已知顯示對(duì)象的膜結(jié)構(gòu)及各層的膜厚，就可以通過由操作員將這些信息直接輸入至關(guān)系曲線獲取部231，來省略膜厚儀212。進(jìn)而，也可以省略關(guān)系曲線獲取部231及角度決定部232而利用另行求出的照射角及檢測(cè)角。如上所述，通過變更在從拍攝區(qū)域至受光部的光軸和基材的法線之間形成的檢測(cè)角，從而改變接收光的干涉狀態(tài)來高精度獲取對(duì)比度高的圖像，此時(shí)，若轉(zhuǎn)動(dòng)受光部來變更檢測(cè)角，則與受光部的受光面共軛的位置從基材的表面偏離，因而需要使基材在上下方向升降從而將與該受光面共軛的位置配置在基材的表面上的(即，進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整)機(jī)構(gòu)。然而，會(huì)產(chǎn)生以下各種限制，如要升降大型基材則需要大型升降機(jī)構(gòu)，或者，在同時(shí)獲取基材上的多個(gè)位置的圖像時(shí)不能對(duì)多個(gè)位置進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整等。下面，對(duì)ー邊變更檢測(cè)角ー邊對(duì)受光部進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整的其他容易的方法進(jìn)行闡述。圖28是本發(fā)明的第七實(shí)施方式的圖像獲取裝置31的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖像獲取裝置31獲取并顯示圖案圖像，該圖案圖像是形成在基材上的多層薄膜圖案的圖像。在圖28中，基材是玻璃基板。薄膜圖案例如是透明電極膜，在本實(shí)施方式中，基材及薄膜圖案被透明膜覆蓋。實(shí)際上，在基材上還設(shè)有反射防止膜等其他層。在下面的說明中，在下面的說明中，將薄膜圖案簡稱為“圖案”。將基材及基材上的膜統(tǒng)稱為“玻璃基板39”或“顯示對(duì)象”。玻璃基板39用于制造靜電電容式觸摸面板。圖像獲取裝置31具有用于移動(dòng)玻璃基板39的移動(dòng)機(jī)構(gòu)311、膜厚儀312、拍攝單元32及計(jì)算機(jī)33。移動(dòng)機(jī)構(gòu)311具有載物臺(tái)341，其用上表面保持玻璃基板39 ;第ー移動(dòng)部342，其在與玻璃基板39的主表面平行的圖28中的X方向上移動(dòng)載物臺(tái)341 ;第ニ移動(dòng)部343，其在與玻璃基板39的主表面平行且與X方向垂直的Y方向上移動(dòng)第一移動(dòng)部342。第一移動(dòng)部342及第ニ移動(dòng)部343分別具有馬達(dá)、滾珠絲杠、導(dǎo)軌等。移動(dòng)機(jī)構(gòu)311是使作 為玻璃基板39的主要部分的基材相對(duì)于后述的拍攝區(qū)域390移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。此外，也可以在移動(dòng)機(jī)構(gòu)311上追加設(shè)置如下機(jī)構(gòu)使載物臺(tái)341以與特定方向平行的軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)，其中，上述特定方向是與X方向及Y方向垂直的圖28中的Z方向。膜厚儀312是光干渉式光譜膜厚儀，通過將測(cè)量光照射至玻璃基板39來獲取反射光的頻譜。以預(yù)先設(shè)定的膜結(jié)構(gòu)為前提，在計(jì)算中改變各層的膜厚，并使計(jì)算出的光譜與測(cè)量獲取的光譜相擬合(fitting)，由此求出各層的膜厚。拍攝單元32具有光照射部321，其向玻璃基板39上的拍攝區(qū)域390出射光；受光部323，其接收來自拍攝區(qū)域390的反射光。光照射部321出射對(duì)于圖案具有透光性的波長的光。光至少照射在X方向上延伸的線狀的拍攝區(qū)域390 (后述的圖29中用粗線示出)。光照射部321具有多個(gè)LED，它們排列在X方向上；光學(xué)系統(tǒng)，其將來自LED的光均勻地引導(dǎo)至拍攝區(qū)域390。受光部323具有線性傳感器3231，其以直線狀(ー維地)排列有多個(gè)受光元件，光學(xué)系統(tǒng)3232，其將來自拍攝區(qū)域390的光引導(dǎo)至線性傳感器3231 ;并且線性傳感器3231及光學(xué)系統(tǒng)3232設(shè)在鏡筒3233的內(nèi)部。在圖28中，使用點(diǎn)P表示光學(xué)系統(tǒng)3232的光軸J2上的與線性傳感器3231的受光面光學(xué)共軛的位置(下面，稱之為“焦點(diǎn)位置”)。在獲取后述的圖案圖像時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)311在與拍攝區(qū)域390交叉的方向上移動(dòng)玻璃基板39。S卩，移動(dòng)機(jī)構(gòu)311是使玻璃基板39的基材相對(duì)于拍攝區(qū)域390移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，玻璃基板39在與拍攝區(qū)域390垂直的Y方向上移動(dòng)，但拍攝區(qū)域390也可以相對(duì)于移動(dòng)方向傾斜。此外，在下面的說明中，根據(jù)需要區(qū)分基材和圖案來進(jìn)行說明，但顯示對(duì)象(玻璃基板39)的大部分是基材，因此關(guān)于對(duì)顯示對(duì)象的說明處理等，不嚴(yán)格地區(qū)分檢查對(duì)象和基材來進(jìn)行說明。圖29是拍攝單元32的側(cè)視圖。在圖29中，為了方便圖示，示出了受光部323的(光學(xué)系統(tǒng)3232的)光軸J2與Z方向平行的狀態(tài)下的拍攝單元32 (后述的圖30也相同)。拍攝單元32還具有光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322 (參照后述的圖30)，其使光照射部321轉(zhuǎn)動(dòng)；受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324，其使受光部323轉(zhuǎn)動(dòng)；受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325，其使受光部323沿著光軸J2移動(dòng)。受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324具有安裝在支撐塊3201上的馬達(dá)(例如，步進(jìn)電機(jī))3241，并且馬達(dá)3241的旋轉(zhuǎn)軸的前端被固定在受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325的基部3251上?；?251是在ー個(gè)方向(下面，還稱為“長度方向”)上伸長的形狀，并且在基部3251上安裝有在長度方向上延伸的導(dǎo)軌、在長度方向上延伸的滾珠絲杠以及借助傳遞機(jī)構(gòu)使?jié)L珠絲杠旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)3252。在滾珠絲杠的螺母(移動(dòng)部)上固定有受光部323的基部3234，并且在基部3234上安裝有上述的鏡筒3233。在拍攝單元32中，通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3252使受光部323在基部3251的長度方向上移動(dòng)?；?251的長度方向與受光部323的光軸J2平行，因此受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325能夠使受光部323沿著光軸J2移動(dòng)。圖30是光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322的后視圖。光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322具有以焦點(diǎn)位置P為中心的圓弧狀的導(dǎo)板3221，并且導(dǎo)板3221固定在受光部323的鏡筒3233上。導(dǎo)板3221是與Y方向及Z方向平行的板構(gòu)件。在光照射部321上設(shè)有以與X方向平行的軸為中心旋轉(zhuǎn)的齒輪3223及兩個(gè)導(dǎo)輥3224。在導(dǎo)板3221上，在相對(duì)于焦點(diǎn)位置P而位于外側(cè)的圓弧狀的邊緣(即，兩個(gè)圓弧狀的邊緣中的遠(yuǎn)離焦點(diǎn)位置P的一側(cè)的緣)上設(shè)有齒條3222，并且齒輪3223與齒條3222相嚙合。另外，在導(dǎo)板3221的內(nèi)側(cè)的圓弧狀的緣上形成有與導(dǎo)輥3224卡合的導(dǎo)槽。在拍攝單元32中，省略了圖示的馬達(dá)使齒輪3223旋轉(zhuǎn)，由此，光照射部321沿著導(dǎo)板3221的圓弧狀的邊緣移動(dòng)。即，光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322使光照射部321以 與拍攝區(qū)域390平行且穿過焦點(diǎn)位置P的軸(假想軸)為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，齒輪3223及導(dǎo)輥3224是光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322的一部分。如上述，在圖29及圖30中，為了方便圖示，示出了受光部323的光軸J2(g卩，受光部323的移動(dòng)方向)與Z方向平行的狀態(tài)的拍攝單元32，但如圖31所示，在實(shí)際的拍攝單元32上，從拍攝區(qū)域390至受光部323的光軸J2相對(duì)于Z方向傾斜。于是，將受光部323的光軸J2和玻璃基板39的法線N之間形成的角0 2作為檢測(cè)角，通過受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324(參照?qǐng)D29)來變更檢測(cè)角0 2。另外，將從光照射部321至拍攝區(qū)域390的光軸Jl和法線N之間形成的角0 I作為照射角，通過光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322來變更照射角0 1。在圖28及圖31中，用標(biāo)注附圖標(biāo)記K來示出受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324的旋轉(zhuǎn)軸(在后述的圖36至圖38、圖40及圖41中也相同)。圖32是示出了圖像獲取裝置31的功能結(jié)構(gòu)的框圖。用虛線包圍的結(jié)構(gòu)是圖28至圖30所示的結(jié)構(gòu)，而其他結(jié)構(gòu)由計(jì)算機(jī)33來實(shí)現(xiàn)。圖像獲取裝置31具有關(guān)系曲線獲取部331，其接收來自膜厚儀312的輸出信息，角度決定部332，其接收由關(guān)系曲線獲取部331求出的后述的關(guān)系曲線；整體控制部330，其對(duì)整體進(jìn)行控制；顯示控制部333，其接收來自受光部323的輸出信息；顯示器334，其是顯示部。圖33是圖像獲取裝置31的動(dòng)作的流程圖。在圖像獲取裝置31中，首先，通過控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)311，來將玻璃基板39上的存在圖案的區(qū)域配置在膜厚儀312的下方(S卩，在圖28中用雙點(diǎn)劃線表示的位置)，并由膜厚儀312獲取各層的膜厚。進(jìn)而，通過控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)311，來將作為圖案周圍區(qū)域的背景區(qū)域配置在膜厚儀312的下方，并且也獲取背景區(qū)域的各層的膜厚(步驟S311)。此外，也可以僅獲取存在圖案的區(qū)域的各層的膜厚，井根據(jù)這些膜厚來推定背景上的各層的膜厚。將膜厚的測(cè)量結(jié)果輸入至關(guān)系曲線獲取部331。關(guān)系曲線獲取部331基于基材上的層結(jié)構(gòu)及各層的膜厚，來通過計(jì)算求出關(guān)系曲線，該關(guān)系曲線表示檢測(cè)角(及照射角)和對(duì)比度之間的關(guān)系(步驟S312)。圖34是例示了所獲取的關(guān)系曲線的圖。實(shí)線3811表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為900nm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為900nm的透明膜。照射光的波長為570nm。如后所述，在由拍攝單元32獲取圖像時(shí)，以使照射角0 1和檢測(cè)角92—致的方式，控制光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322及受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324。因此，在對(duì)關(guān)系曲線的說明中的檢測(cè)角的大小也是照射角的大小，照射角的大小也是檢測(cè)角的大小。在這里，對(duì)比度是指，在基材上存在包含圖案的多層膜的情況下入射至受光部323的光的強(qiáng)度，與在基材上僅存在從上述多層膜除去了圖案的膜的情況下入射至受光部323的光的強(qiáng)度之比。換言之，對(duì)比度是圖案和背景之間的亮度比(=(圖案區(qū)域的亮度)/ (背景區(qū)域的亮度))。亮度與其波長的反射率相對(duì)應(yīng)，且亮度比也是反射率比。顯然，就對(duì)比度而言，也可以利用亮度和反射率之差等其他值。在圖34中，通常在對(duì)比度在0. 5以下或在2以上的情況下能夠?qū)崿F(xiàn)良好的圖案顯示。在實(shí)線3811的情況下，在檢測(cè)角大約在在0°以上且在28°以下或者在40°以上且在45°以下的情況下，可獲取恰當(dāng)?shù)膱D案圖像。其中，45°只不過是圖34的形式上的上限。此外，只要對(duì)比度在0. 77以下或在I. 3以上，就能夠根據(jù)條件觀察圖案。優(yōu)選地，對(duì)比度在
0.67以下或在1.5以上。另外，“對(duì)比度高”表示對(duì)比度良好，表示能夠明確區(qū)分明暗的狀態(tài)。對(duì)比度高并不一定表示對(duì)比度值大。圖34的虛線3812表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為960nm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為960nm的透明膜。單點(diǎn)劃線3813表示在厚度為30nm的透明電極圖案上形成了厚度為IOOOnm的透明膜的情況下的檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系。假設(shè)在背景上僅存在厚度為IOOOnm的透明膜。照射光的波長為570nm。如曲線3811 3813所示，可知因透明膜的厚度發(fā)生變化而使可獲取對(duì)比度高的圖案圖像的檢測(cè)角大幅度變化。S卩，若改變檢測(cè)角，則因經(jīng)由透明的各層光的光路長度發(fā)生變化而導(dǎo)致光的干渉狀態(tài)發(fā)生變化，由此，即使在利用特定的檢測(cè)角得不到高對(duì)比度的情況下，也能夠通過改變檢測(cè)角來得到高對(duì)比度，而不需改變波長。再換句話來說，通過改變檢測(cè)角，能夠?qū)崿F(xiàn)與通過利用白色光源及多個(gè)濾光器從多個(gè)波長中選擇波長來獲取圖案圖像時(shí)等同的圖像獲取效果。在角度決定部332中，基于獲取的關(guān)系曲線，來決定應(yīng)設(shè)定為照射角及檢測(cè)角的角度(下面，稱之為“設(shè)定角度”)(步驟S313)。在決定設(shè)定角度時(shí)，要考慮光照射部321及受光部323的可動(dòng)范圍及其他條件。通過將設(shè)定角度輸入至整體控制部330，來進(jìn)行調(diào)整角度的動(dòng)作(步驟S314)。圖35是示出了調(diào)整角度的動(dòng)作的流程的圖，示出了在圖33的步驟S314中進(jìn)行的處理。在調(diào)整角度的動(dòng)作中，首先，由受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324 (參照?qǐng)D29)使受光部323轉(zhuǎn)動(dòng)，由此變更檢測(cè)角0 2來使其成為設(shè)定角度(步驟S3141)。在圖36中，用雙點(diǎn)劃線表示變更檢測(cè)角0 2之前的受光部323，并用實(shí)線表示變更檢測(cè)角0 2之后的受光部323。接著，光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322基于受光部323的檢測(cè)角0 2的變化量Y (即，對(duì)檢測(cè)角e 2進(jìn)行變更前后的角度差)來使光照射部321轉(zhuǎn)動(dòng)，由此將照射角e I變更為設(shè)定角度(步驟S3142)。在圖37中，用雙點(diǎn)劃線表示轉(zhuǎn)動(dòng)之前的光照射部321，并用實(shí)線表示轉(zhuǎn)動(dòng)之后的光照射部321。在剛剛進(jìn)行調(diào)整角度的動(dòng)作之前照射角0 1和檢測(cè)角0 2相等的情況下，照射角9 I的變化量是檢測(cè)角9 2的變化量Y的二倍，而且光照射部321的轉(zhuǎn)動(dòng)方向是與受光部323的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反的方向。與上述動(dòng)作并行地，在整體控制部330中，基于檢測(cè)角0 2的變化量Y來獲取位置Rl和位置R2之間的距離(在圖36中標(biāo)注了附圖標(biāo)記D的雙向箭頭所示的距離，下面，稱之為“位移量”)，其中，位置Rl是指在變更檢測(cè)角0 2之前的受光部323的光軸J2與玻璃基板39的薄膜圖案(即，玻璃基板39的表面)相交的位置(在圖36中標(biāo)注了附圖標(biāo)記Rl的位置，下面，稱之為“關(guān)注位置R1”)，上述位置R2是指在變更檢測(cè)角0 2之后的光軸J2與薄膜圖案相交的位置(步驟S3143)。于是，移動(dòng)機(jī)構(gòu)311使玻璃基板39相對(duì)于拍攝區(qū)域390向從關(guān)注位置Rl至位置R2的方向移動(dòng)了位移量D (步驟S3144)。由此，如圖37所示，變更檢測(cè)角0 2之后的光軸J2與玻璃基板39上的關(guān)注位置Rl相交。另外，在整體控制部330中，基于檢測(cè)角0 2的變化量Y來獲取光軸J2與玻璃基板39的表面相交的位置和焦點(diǎn)位置P之間的距離(下面，稱之為“焦點(diǎn)調(diào)整距離”)(步驟S3145)。于是，受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325使受光部323沿著光軸J2移動(dòng)了焦點(diǎn)調(diào)整距離，由此，如圖38所示，在光軸J2上的與線性傳感器3231的受光面共軛的焦點(diǎn)位置P被配置在位于 關(guān)注位置Rl的薄膜圖案上(即，進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整)(步驟S3146)。通過上面的調(diào)整角度的動(dòng)作，照射角9 I及檢測(cè)角9 2成為設(shè)定角度，并且拍攝區(qū)域390相對(duì)于玻璃基板39而位于與變更檢測(cè)角0 2之前的位置相同的位置，從而也完成了受光部323的焦點(diǎn)調(diào)整。此外，也可以大致并行地進(jìn)行以下處理，這些處理是指步驟S3141的變更檢測(cè)角e 2的處理；步驟S3142的轉(zhuǎn)動(dòng)光照射部321的處理；步驟S3144的移動(dòng)玻璃基板39的處理；步驟S3146的移動(dòng)受光部323的處理。另外，在將焦點(diǎn)位置P配置在薄膜圖案上的焦點(diǎn)調(diào)整處理中，也可以進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦動(dòng)作。在自動(dòng)對(duì)焦動(dòng)作中，例如，將受光部323分別配置在多個(gè)位置，并由線性傳感器3231獲取線性圖像，其中，上述多個(gè)位置是指，以在步驟S3145中求出的焦點(diǎn)調(diào)整距離所示的位置為中心，在光軸J2的前后方向依次遠(yuǎn)離微小距離的多個(gè)位置(也包含焦點(diǎn)調(diào)整距離所示的位置)。并且，將受光部323配置在所述多個(gè)位置中的特定位置，該特定位置是指，在該線性圖像所表示的剖面關(guān)系曲線上，與薄膜圖案相當(dāng)?shù)牟课坏倪吘壣系南袼刂档淖兓?微分值)最大的位置(即，對(duì)比度最高的位置)。此外，優(yōu)選將該剖面關(guān)系曲線顯示在計(jì)算機(jī)33的顯示器334上。另外，在調(diào)整角度的動(dòng)作中，也可以對(duì)光照射部321的角度位置進(jìn)行微調(diào)。例如，將光照射部321分別配置在多個(gè)位置，并由線性傳感器3231獲取線性圖像，其中，上述多個(gè)位置是指，從變更照射角9 I之后的光照射部321的角度位置，向順時(shí)針方向及逆時(shí)針方向，依次遠(yuǎn)離規(guī)定微小角度的多個(gè)角度位置。然后，將光照射部321配置在所述多個(gè)角度位置中的特定角度位置，該特定角度位置是指，在該線性圖像所表示的剖面關(guān)系曲線上，與薄膜圖案相當(dāng)?shù)牟课坏倪吘壣系南袼刂档淖兓孔畲蟮慕嵌任恢?。此時(shí)，也可以再進(jìn)行上述自動(dòng)對(duì)焦動(dòng)作。并且，也可以在操作員進(jìn)行指示的時(shí)刻進(jìn)行調(diào)整角度的各動(dòng)作。例如，也可以在顯示在顯示器334的窗口上通過點(diǎn)擊鼠標(biāo)等來選擇(按下)載物臺(tái)移動(dòng)按鈕，由此進(jìn)行步驟S3144的移動(dòng)玻璃基板39的處理，從而使受光部323的光軸J2與玻璃基板39的表面相交的位置在變更檢測(cè)角0 2前后相一致。同樣地，也可以通過在窗口上選擇(按下)自動(dòng)對(duì)焦按鈕,來進(jìn)行上述自動(dòng)對(duì)焦動(dòng)作。若如上面那樣完成調(diào)整角度的動(dòng)作(圖33 :步驟S314)，則開始從光照射部321出射光，并且移動(dòng)機(jī)構(gòu)311開始在Y方向上連續(xù)移動(dòng)玻璃基板39。并且，與玻璃基板39的移動(dòng)處理并行地，受光部323的線性傳感器3231高速地反復(fù)獲取線狀的拍攝區(qū)域390的線性圖像(步驟S315)。將線性圖像的數(shù)據(jù)輸入至顯示控制部333，由此獲取表示薄膜圖案的ニ維圖案圖像的數(shù)據(jù)(即，存儲(chǔ))，并將圖案圖像顯示在計(jì)算機(jī)33的顯示器334上(步驟S316)。如上所述，基于來自受光部323的輸出信息來顯示(可視化)形成在透明電極膜上的透明薄膜圖案的圖像，由此能夠使工作人員確認(rèn)該薄膜圖案的形狀等，從而能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜圖案的形成エ藝的改善等。另外，在圖像獲取裝置31中，可通過使用輸入部在顯示在顯示器234上的圖案圖像上選擇任意的兩點(diǎn)，來顯示(或輸出)這兩點(diǎn)之間的距離。并且，能夠基于圖案圖像的數(shù)據(jù)來顯示任意位置上的剖面關(guān)系曲線，還能夠顯示該剖面關(guān)系曲線上的任意兩點(diǎn)之間的距離。在這里，假設(shè)通過在Z方向上升降大型玻璃基板39來進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整的情況下，需要大型升降機(jī)構(gòu)。相對(duì)于此，在圖像獲取裝置31中，受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325基于受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324的檢測(cè)角的變化量，來使受光部323沿著光軸J2移動(dòng)，由此使在光軸J2上的與線 性傳感器3231的受光面共軛的焦點(diǎn)位置P配置在薄膜圖案上。由此，能夠一邊變更檢測(cè)角ー邊容易地對(duì)受光部323進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整。另外，在拍攝單元32中，通過設(shè)置光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322，能夠容易地使照射角與檢測(cè)角相一致，上述光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322使光照射部321以與拍攝區(qū)域90平行且穿過焦點(diǎn)位置P的軸為中心而轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，整體控制部330基于檢測(cè)角的變化量來控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)311，由此，在變更檢測(cè)角前后，拍攝區(qū)域390相對(duì)于玻璃基板39的位置一致。由此，能夠防止因變更檢測(cè)角而導(dǎo)致拍攝區(qū)域390相對(duì)于玻璃基板39的位置偏離，其結(jié)果，在獲取多種方式變更了檢測(cè)角及照射角的圖案圖像的情況等下，能夠容易地獲取玻璃基板39上的相同區(qū)域的圖像。在圖像獲取裝置31上，不需變更照射至拍攝區(qū)域390的光的波長，也能夠獲取并顯示圖案和背景之間的對(duì)比度高的圖案圖像。由此，不需要用于變更波長的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，不需進(jìn)行與多個(gè)波長的光相對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)即繁雜的調(diào)整，從而能夠消減圖像獲取裝置31的制造成本。進(jìn)而，例如，即使在圖案上面的層中包含感光性保護(hù)層的情況等下，也能夠避開不能使用的波長的光來容易地顯示圖案圖像。圖像獲取裝置31除了顯示圖案圖像以外，也可以進(jìn)行圖案檢查。例如，在圖32中的虛線的矩形所示的受光部323上連接檢查部336。在檢查圖案吋，與玻璃基板39的移動(dòng)同步地，從受光部323向檢查部336反復(fù)輸出線性圖像，由此檢查部336獲取圖案圖像的數(shù)據(jù)。另外，在檢查部336中存儲(chǔ)有作為基準(zhǔn)的參照?qǐng)D像的數(shù)據(jù)，由此，檢查部336通過對(duì)圖案圖像的數(shù)據(jù)和參照?qǐng)D像的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較來判斷有無缺陷。此外，在將圖像獲取裝置31用作圖案檢查裝置的情況下，為了連續(xù)獲取圖案圖像，例如也可以設(shè)置用于對(duì)光軸J2方向上的受光部323和玻璃基板39之間的距離進(jìn)行檢測(cè)的傳感器，由此，受光部323基于該傳感器的輸出來沿著光軸J2移動(dòng)，從而在獲取圖案圖像時(shí)可實(shí)時(shí)地進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整。另外，也可以在其他圖像獲取裝置上設(shè)置檢查部336。在圖像獲取裝置31中，如圖39所示，也可以通過沿X方向以交錯(cuò)狀排列多個(gè)拍攝単元32，從而，玻璃基板39每向Y方向移動(dòng)一次，就獲取一次玻璃基板39的寬度整體的圖案圖像。就各拍攝單元32而言，除了支撐塊3201固定在另行設(shè)置的最上層板(天板)上這點(diǎn)之外，其它結(jié)構(gòu)是與圖29及圖30的拍攝單元32同樣的結(jié)構(gòu)。在圖39的圖像獲取裝置31中，能夠?qū)Χ鄠€(gè)拍攝単元32的受光部323逐個(gè)地進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整，能夠容易地與玻璃基板39的起伏及載物臺(tái)341上的玻璃基板39的傾斜等相對(duì)應(yīng)地，在各拍攝單元32中高精度地獲取圖案圖像。也可以在其他圖像獲取裝置是設(shè)置多個(gè)拍攝単元32。圖40是光照射部的另一例的圖。在具有圖40的光照射部321a的拍攝單元32中，可省略光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322。在光照射部321a中，設(shè)置以與線狀的拍攝區(qū)域390平行且穿過焦點(diǎn)位置P的軸為中心的圓弧狀的支撐部3210，并且支撐部3210固定在受光部323上。在支撐部3210上排列有多個(gè)LED3211，并且來自多個(gè)LED3211的光經(jīng)由擴(kuò)散板3212而均勻地照射至拍攝區(qū)域390。這樣，圖40的光照射部321a，在與拍攝區(qū)域390平行且穿過焦點(diǎn)位置P的軸為中心的規(guī)定的角度范圍a內(nèi)，向拍攝區(qū)域390照射光。在具有光照射部321a的拍攝單元32中，在與該軸垂直的面上，只要以該軸為中心從玻璃基板39的法線N向與光軸J2相反的一側(cè)傾斜檢測(cè)角0 2的角度位置(在圖40中用標(biāo)注了附圖標(biāo)記Al的單點(diǎn)劃線表示)，被包含在角度范圍a中，就能夠認(rèn)為從光照射部321a至拍攝區(qū)域390的光軸配置在該角度位置上，從而照射角與檢測(cè)角相等。因此，在具有 光照射部321a的圖像獲取裝置31中，能夠容易地獲取對(duì)比度高的圖案圖像。另外，可省略使光照射部321轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)，因而能夠使對(duì)拍攝単元的控制簡單化。也可以在其他圖像獲取裝置上利用圖40的光照射部321a。圖41是示出了圖像獲取裝置的另一例的圖。圖41的圖像獲取裝置31a具有搬送機(jī)構(gòu)31 la、膜厚儀312、拍攝單元32及計(jì)算機(jī)33，除了搬送機(jī)構(gòu)31 Ia的結(jié)構(gòu)與圖28的移動(dòng)機(jī)構(gòu)311不同這點(diǎn)之外，其他結(jié)構(gòu)與圖28的圖像獲取裝置31相同。另外，顯示對(duì)象是形成有透明電極膜或透明膜等的樹脂薄膜的膜材，即，連續(xù)薄膜。搬送機(jī)構(gòu)311a具有在圖41中位于右側(cè)((+ Y)側(cè))的供給部3111和位于左側(cè)((-Y) fi)的回收部3112。供給部3111使用滾筒391來支撐膜材39a，井向左方向放出膜材39a。回收部3112使用滾筒392來支撐膜材39a，并回收膜材39a。搬送機(jī)構(gòu)311a是使作為膜材39a的主要部分的基材相對(duì)于拍攝區(qū)域390移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在圖41的圖像獲取裝置31a中，拍攝區(qū)域390設(shè)置為橫跨膜材39a的大致整個(gè)寬度，但也可以使拍攝區(qū)域390的長度小于膜材39a的寬度，并另行設(shè)置使拍攝單元32在X方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在從供給部3111至回收部3112的方向上，依次配置膜厚儀312及拍攝單元32。圖像獲取裝置31a獲取圖案圖像的動(dòng)作，與圖28的圖像獲取裝置31相同。在圖像獲取裝置31a中，也通過利用受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325使受光部323沿著光軸J2移動(dòng)，來將焦點(diǎn)位置P配置在膜材39a的表面上。由此，能夠ー邊變更檢測(cè)角ー邊容易地對(duì)受光部323進(jìn)行焦點(diǎn)調(diào)整。另外，不需要用于切換光源的波長的機(jī)構(gòu)，因而能夠消減圖像獲取裝置31a的制造成本。在上面的圖像獲取裝置31、31a中，由使受光部23轉(zhuǎn)動(dòng)的受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324來實(shí)現(xiàn)用于變更檢測(cè)角的檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)，但也可以由用于使基材傾斜的機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)。例如，在圖42的圖像獲取裝置31b中，支撐部345能夠以與X方向平行的軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)支撐移動(dòng)機(jī)構(gòu)311的第二移動(dòng)部343的(一 Y)側(cè)的端部。于是，滑動(dòng)部移動(dòng)機(jī)構(gòu)344通過使與第二移動(dòng)部343的底表面抵接的滑動(dòng)部3441在Y方向上移動(dòng)，來使玻璃基板39與移動(dòng)機(jī)構(gòu)311 —起以支撐部345為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，由此變更在受光部323的光軸J2和玻璃基板39的法線N之間形成的檢測(cè)角。這樣，在圖42的圖像獲取裝置31b中，由滑動(dòng)部移動(dòng)機(jī)構(gòu)344 (及支撐部345)來實(shí)現(xiàn)檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)，從而可省略圖28的受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324。另夕卜，受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325通過使受光部323沿著光軸J2 (S卩，在Z方向上)移動(dòng)，來將焦點(diǎn)位置P配置在玻璃基板39的表面。于是，通過第二移動(dòng)部343移動(dòng)玻璃基板39從而獲取圖案圖像。另外，在圖43的圖像獲取裝置31c中，在Y方向上，供給部3111和拍攝單元32之間設(shè)置有在X方向上延伸的輥3461，并且在受光部323和回收部3112之間設(shè)置有在X方向上延伸的另ー個(gè)輥3462。另外，能夠由輥升降機(jī)構(gòu)346通過使輥3461在Z方向上移動(dòng)，從而變更輥3461的Z方向的位置，由此變更處于拍攝單元32的下方附近的膜材39a的法線N的方向。在圖43的圖像獲取裝置31c中，由輥升降機(jī)構(gòu)346 (及輥3461)來實(shí)現(xiàn)用于變更在受光部323的光軸J2和膜材39a的法線N之間形成的檢測(cè)角的檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)，由此可省略圖28的受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324。另外，由受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325使受光部323沿著光軸J2 (即，在Z方向上)移動(dòng)，由此將焦點(diǎn)位置P配置在膜材39a的表面。于是，通過由搬送機(jī)構(gòu)311a移動(dòng)膜材39a來獲取圖案圖像。此外，在圖像獲取裝置31、31a 31c中，檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)及受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)325是角度變更機(jī)構(gòu)的一部分。上面，對(duì)本發(fā)明的第七實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但能夠?qū)ι鲜鰧?shí)施方式實(shí)現(xiàn)各種變形。在圖像獲取裝置31中，也可以以保持照射角和檢測(cè)角相等的方式，將照射角及檢測(cè)角變更為多個(gè)角度，并在由受光部323以各角度獲取的線性圖像上，求出來自圖案的區(qū)域的光強(qiáng)度和來自背景的區(qū)域的光強(qiáng)度之比來作為對(duì)比度，由此獲取表示檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系的關(guān)系曲線。此時(shí)，可從圖像獲取裝置31中省略膜厚儀312。另外，通過利用p偏振光或s偏振光中的一個(gè)偏振光，能夠獲取對(duì)比度比不利用偏振光時(shí)的對(duì)比度更高的圖案圖像，此時(shí)，也可以在拍攝區(qū)域390和受光部323之間配置起偏鏡。此時(shí)，僅向受光部323入射來自玻璃基板39的反射光中的p偏振光或s偏振光。另外，也可以通過設(shè)置使起偏鏡以光軸J2為中心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，來切換入射至受光部323的偏振光。并且，也可以基于P偏振光來獲取第一圖案圖像，并基于s偏振光來獲取第二圖案圖像。此時(shí)，例如求出第一圖案圖像的各像素的值和第二圖案圖像的(與第一圖案圖像的各像素相)對(duì)應(yīng)的像素的值的乘積，并獲取基于將乘積作為像素值的圖像來作為圖案圖像。在這樣的圖案圖像中，由于利用不同種類的兩個(gè)圖像，能夠降低圖像上的噪聲等的影響。顯示對(duì)象(或檢查對(duì)象)的基材也可以是樹脂板等，而并不限定于薄膜或玻璃基板。形成在基材上的膜結(jié)構(gòu)也可以是各種結(jié)構(gòu)，通常具有比上述實(shí)施方式所例示的結(jié)構(gòu)更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。作為顯示對(duì)象的圖案也可以是多種，而并不限于ー種。此時(shí)，當(dāng)顯示各顯示對(duì)象的圖案時(shí)，將與該圖案重疊的其他圖案作為背景來進(jìn)行處理。在上述實(shí)施方式中，說明了背景是ー種的情況，但背景并不限于ー種。在背景為多種的情況下，求出各背景的關(guān)系曲線，并決定對(duì)任一背景來說對(duì)比度都高的照射角及檢測(cè)角。薄膜圖案的組成結(jié)構(gòu)只要相對(duì)于照射光具有某一程度的透光性即可，也可以是由其他材料形成的結(jié)構(gòu)，并不需要一定對(duì)可視光透明。圖案也可以是其他用途的圖案，并不限定于透明電極。其中，就圖案檢查裝置的用途而言，特別適合檢查即使照射可視光也不形成陰影的透明電極。使基材相對(duì)于拍攝區(qū)域移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，也可以是使基材固定而使拍攝單兀32移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322及受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324也可以是以使照射角及檢測(cè)角聯(lián)動(dòng)的方式變更照射角及檢測(cè)角的機(jī)構(gòu)，而不一定需要由相互獨(dú)立的機(jī)構(gòu)構(gòu)成光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322及受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324。在光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)322及受光部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)324中，例如也可以只能對(duì)照射角及檢測(cè)角變更數(shù)階段，而不需連續(xù)地變更照射角及檢測(cè)角(在圖42的滑動(dòng)部移動(dòng)機(jī)構(gòu)344及圖43的輥升降機(jī)構(gòu)346中也相同)。也可以使光照射部能夠選擇性地出射多個(gè)波長的光，而不限定于出射單波長的光。光源并不限定于LED，也可以設(shè)置LD。并且，也可以設(shè)置鹵素?zé)舻葻艉蜑V光器的組合來作為光源。膜厚儀312也可以是光譜橢圓偏振儀。只要相互不產(chǎn)生矛盾，就可以適宜組合上述實(shí)施方式及各變形例的結(jié)構(gòu)。
雖然詳細(xì)描述說明了本發(fā)明，但所述說明僅為例示，并非限制。因此，只要不脫離本發(fā)明的范圍，就能夠?qū)崿F(xiàn)多種變形或方式。
權(quán)利要求
1.ー種圖像獲取裝置，用于獲取形成在基材上的薄膜圖案的圖像，其特征在干， 具有: 光照射部，其出射對(duì)于所述薄膜圖案具有透光性的波長的光， 線性傳感器，其接收來自被照射所述光的線狀的拍攝區(qū)域的光， 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述基材相對(duì)于所述拍攝區(qū)域在與所述拍攝區(qū)域交叉的方向上移動(dòng)，角度變更機(jī)構(gòu)，其以保持照射角和檢測(cè)角相等的方式，變更所述照射角及所述檢測(cè)角，所述照射角是從所述光照射部至所述拍攝區(qū)域的光軸和所述基材的法線所成的角，所述檢測(cè)角是從所述拍攝區(qū)域至所述線性傳感器的光軸和所述法線所成的角。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有 關(guān)系曲線獲取部，其獲取關(guān)系曲線，該關(guān)系曲線表示所述照射角及所述檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系，該對(duì)比度是所述薄膜圖案和背景之間的對(duì)比度； 角度決定部，其根據(jù)所述關(guān)系曲線來求出所述照射角及所述檢測(cè)角的設(shè)定角度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 所述關(guān)系曲線獲取部，基于所述基材上的層結(jié)構(gòu)及各層的膜厚來求出所述關(guān)系曲線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有膜厚儀，該膜厚儀用于求出所述各層的膜厚； 所述關(guān)系曲線獲取部，基于來自所述膜厚儀的輸出信息來求出所述關(guān)系曲線。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有起偏鏡，該起偏鏡配置在所述拍攝區(qū)域和所述線性傳感器之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有 起偏鏡，其配置在所述拍攝區(qū)域和所述線性傳感器之間， 偏振光切換機(jī)構(gòu)，其變更所述起偏鏡的偏振方向； 所述關(guān)系曲線獲取部獲取第一關(guān)系曲線和第二關(guān)系曲線來作為所述關(guān)系曲線，所述第ー關(guān)系曲線表示所述薄膜圖案和所述背景之間的P偏振光的第一對(duì)比度，所述第二關(guān)系曲線表示所述薄膜圖案和所述背景之間的s偏振光的第二對(duì)比度； 所述角度決定部，使用所述第一對(duì)比度和所述第二對(duì)比度的乘積來求出所述設(shè)定角度； 所述線性傳感器，獲取P偏振光的第一圖像和s偏振光的第二圖像來作為所述圖像。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中任一項(xiàng)所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 所述薄膜圖案的膜厚在IOnm以上且在2000nm以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有顯示部，該顯示部基于來自所述線性傳感器的輸出信息來顯示所述薄膜圖案的圖像。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有 關(guān)系曲線獲取部，其獲取關(guān)系曲線，該關(guān)系曲線表示所述照射角及所述檢測(cè)角和對(duì)比度之間的關(guān)系，該對(duì)比度是所述薄膜圖案與背景之間的對(duì)比度，角度決定部，其根據(jù)所述關(guān)系曲線來求出所述照射角及所述檢測(cè)角的設(shè)定角度。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有 輸入接受部，其接受針對(duì)所述基材上的顯示對(duì)象位置的輸入操作， 控制部，其利用所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基材相對(duì)于所述拍攝區(qū)域移動(dòng)，以使所述顯示對(duì)象位置通過所述拍攝區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有 輔助拍攝部，其以ニ維排列有多個(gè)受光元件，用于獲取所述基材的輔助圖像， 控制部，其對(duì)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制； 所述輔助圖像顯示在所述顯示部上； 所述控制部利用所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基材相對(duì)于所述拍攝區(qū)域移動(dòng)，以使所述輔助圖像所示出的所述基材上的位置通過所述拍攝區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有控制部； 所述線性傳感器設(shè)在受光部上； 所述受光部還具有光學(xué)系統(tǒng)，該光學(xué)系統(tǒng)將來自所述拍攝區(qū)域的光引導(dǎo)至所述線性傳感器； 所述角度變更機(jī)構(gòu)具有 檢測(cè)角變更機(jī)構(gòu)，其變更所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸和所述基材的法線所成的角即所述檢測(cè)角， 受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其沿著所述光軸移動(dòng)所述受光部； 所述光照射部、所述受光部及所述角度變更機(jī)構(gòu)設(shè)在用于拍攝所述拍攝區(qū)域的拍攝單元上; 所述控制部，基于所述檢測(cè)角的變化量來控制所述受光部移動(dòng)機(jī)構(gòu)，由此，將所述光軸上的與所述線性傳感器的受光面共軛的位置配置在所述薄膜圖案上。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 所述拍攝單元還具有光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述光照射部以特定軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，所述特定軸是與所述拍攝區(qū)域平行且穿過所述共軛的位置的軸； 所述光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在所述受光部上； 所述控制部，基于所述檢測(cè)角的變化量來對(duì)所述光照射部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，由此，使所述照射角與所述檢測(cè)角一致。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 所述光照射部，在以與所述拍攝區(qū)域平行且穿過所述共軛的位置的軸為中心的規(guī)定角度范圍內(nèi)，向所述拍攝區(qū)域照射所述光； 所述光照射部固定在所述受光部上； 在與所述軸垂直的面上，以所述軸為中心從所述法線向與所述光軸相反的一側(cè)傾斜了所述檢測(cè)角的角度位置，位于所述規(guī)定角度范圍內(nèi)。
15.根據(jù)權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的圖像獲取裝置，其特征在干，所述控制部，基于所述檢測(cè)角的變化量來對(duì)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，由此，使變更所述檢測(cè)角前后的所述拍攝區(qū)域相對(duì)于所述基材的位置一致。
16.根據(jù)權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的圖像獲取裝置，其特征在干， 還具有與所述拍攝単元的結(jié)構(gòu)相同的另ー個(gè)拍攝單元。
17.ー種圖案檢查裝置，用于檢查形成在基材上的薄膜圖案，其特征在干， 具有 圖像獲取裝置， 檢查部，其基于由所述圖像獲取裝置獲取的圖像，來對(duì)所述薄膜圖案進(jìn)行檢查； 所述圖像獲取裝置具有 光照射部，其出射對(duì)于所述薄膜圖案具有透光性的波長的光， 線性傳感器，其接收來自被照射所述光的線狀的拍攝區(qū)域的光， 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述基材相對(duì)于所述拍攝區(qū)域在與所述拍攝區(qū)域交叉的方向上移動(dòng)，角度變更機(jī)構(gòu)，其以保持照射角和檢測(cè)角相等的方式，變更所述照射角及所述檢測(cè)角，所述照射角是從所述光照射部至所述拍攝區(qū)域的光軸和所述基材的法線所成的角，所述檢測(cè)角是從所述拍攝區(qū)域至所述線性傳感器的光軸和所述法線所成的角。
18.ー種圖像獲取方法，用于獲取形成在基材上的薄膜圖案的圖像，其特征在干， 包括以下エ序 a)エ序，求出照射角的設(shè)定角度，所述照射角是從光照射部至線狀的拍攝區(qū)域的光軸和所述基材的法線所成的角，所述光照射部用于出射對(duì)于所述薄膜圖案具有透光性的波長的光； b)エ序，將所述照射角設(shè)定為所述設(shè)定角度，并且將檢測(cè)角也設(shè)定為所述設(shè)定角度，所述檢測(cè)角是從所述拍攝區(qū)域至線性傳感器的光軸和所述法線所成的角； c)エ序，使所述基材在與所述拍攝區(qū)域交叉的方向上相對(duì)于所述拍攝區(qū)域移動(dòng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的圖像獲取方法，其特征在干， 在所述c)エ序之后還包括如下エ序 d)エ序，基于來自所述線性傳感器的輸出信息來將所述薄膜圖案的圖像顯示在顯示部上。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的圖像獲取方法，其特征在干， 由圖像獲取裝置獲取所述圖像； 所述圖像獲取裝置具有 所述光照射部， 受光部，其具有所述線性傳感器和光學(xué)系統(tǒng)，該光學(xué)系統(tǒng)將來自所述拍攝區(qū)域的光引導(dǎo)至所述線性傳感器； 所述b)エ序還包括以下エ序 bl)エ序，變更所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸和所述基材的法線所成的角即所述檢測(cè)角，b2)エ序，通過沿著所述光軸移動(dòng)所述受光部，來將所述光軸上的與所述線性傳感器的受光面共軛的位置配置在所述薄膜圖案上。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的圖像獲取方法，其特征在干， 所述b)エ序還包括如下エ序b3)エ序 ，通過使所述基材相對(duì)于所述拍攝區(qū)域移動(dòng)，來使在變更所述檢測(cè)角前后的所述拍攝區(qū)域相對(duì)于所述基材的位置一致。
全文摘要
提供圖像獲取裝置及方法、圖像檢查裝置。圖案檢查裝置的圖像獲取部具有光照射部；線性傳感器；角度變更機(jī)構(gòu)；搬送機(jī)構(gòu)，其搬送作為檢查對(duì)象的膜材(web)。從光照射部出射對(duì)于膜材的薄膜圖案具有透光性的波長的光。來自光照射部的光的照射角與線性傳感器進(jìn)行拍攝的檢測(cè)角始終相同，并且由角度變更機(jī)構(gòu)變更這些角度。在圖案檢查裝置中，預(yù)先求出使檢查圖像的對(duì)比度變高的照射角及檢測(cè)角的設(shè)定角度，并將照射角及檢測(cè)角設(shè)定為設(shè)定角度。由此線性傳感器能夠利用單波長的光源來獲取對(duì)比度高的檢查圖像，從而能夠消減圖案檢查裝置的制造成本。
文檔編號(hào)G01N21/892GK102809567SQ20121017984
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月1日
發(fā)明者藤原成章, 深尾直志 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社