專利名稱:一種繞制光纖精確長度的計(jì)量系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于測試與控制技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種繞制光纖精確長度計(jì)量系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù):
光纖環(huán)是光纖陀螺中的關(guān)鍵器件,它是光纖陀螺中用于敏感輸入角速度引起的兩相向傳播光波之間的Sagnac相位差的部件,由Sagnac效應(yīng)的原理可知,光纖環(huán)的面積及其上所繞制的光纖長度都直接影響著光纖陀螺的精度。因此,在制備光纖陀螺使用的光纖環(huán)的過程中需要對(duì)光纖的長度進(jìn)行實(shí)時(shí)精確地計(jì)量。在光纖環(huán)繞制過程中,對(duì)光纖長度進(jìn)行計(jì)量最常使用的是光電編碼盤,使用光電編碼盤可以簡單便捷的對(duì)在繞制光纖的長度進(jìn)行計(jì)量,但是由于光電編碼盤是通過統(tǒng)計(jì)輸出的脈沖數(shù)來計(jì)光纖環(huán)繞制的圈數(shù),進(jìn)而根據(jù)光纖環(huán)的半徑求取繞制光纖長度的,但是隨著繞制層數(shù)的增加,光纖繞制的半徑也會(huì)變化,并且半徑的變化并不簡單的是光纖直徑的 累加,因此,光電編碼盤輸出固定脈沖個(gè)數(shù)所對(duì)應(yīng)的繞制長度就會(huì)發(fā)生變化。雖然光纖的直徑一般是微米級(jí)的,但是這種方法計(jì)量光纖的長度還是不夠精確,存在一定的累積誤差。而且一般的方法是在假定光纖繞制過程中無任何故障出現(xiàn)的情況下進(jìn)行計(jì)量的,在實(shí)際的光纖繞制過程中會(huì)出現(xiàn)待繞制光纖環(huán)空轉(zhuǎn)、光纖回疊等現(xiàn)象,在這種情況下,用光電編碼盤不能對(duì)實(shí)際長度進(jìn)行精確計(jì)量。鑒于這些原因,本發(fā)明提出了使用機(jī)器視覺結(jié)合光電編碼盤和行程開關(guān)的方法來對(duì)光纖環(huán)繞制光纖的長度進(jìn)行精確計(jì)量。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有繞制光纖長度計(jì)量中的問題,提供一種在光纖繞絲機(jī)上使用光電編碼盤和行程開關(guān)結(jié)合機(jī)器視覺對(duì)正在繞制光纖的長度進(jìn)行精確計(jì)量的系統(tǒng)及方法,以確保在任何情況下對(duì)光纖長度的計(jì)量實(shí)時(shí)、精確。隨著機(jī)器視覺測量技術(shù)的發(fā)展,這種技術(shù)逐漸被使用在高精度測量領(lǐng)域。機(jī)器視覺測量技術(shù)是測量被測對(duì)象時(shí),從圖像中提取有用的信號(hào),把被測對(duì)象的數(shù)字圖像當(dāng)作檢測和傳遞信息的手段或載體加以利用的方法。這是一種綜合的技術(shù),由圖像成像和采集技術(shù)、計(jì)算機(jī)接口技術(shù)、數(shù)字圖像處理技術(shù)等交叉而來。由于光纖直徑很小,生產(chǎn)批量大,使用傳統(tǒng)的單一方法對(duì)光纖精確測量有難度,因此,為了解決上述繞制光纖長度計(jì)量的問題,本發(fā)明的技術(shù)方案如下一種繞制光纖精確長度的計(jì)量系統(tǒng),包括繞制光纖機(jī),其特征是還包括機(jī)器視覺裝置、工控機(jī)、單片機(jī)子系統(tǒng)、行程開關(guān)與光電編碼盤;所述機(jī)器視覺裝置包括光源和高清攝像機(jī);所述工控機(jī)包括內(nèi)置嵌入式圖像處理軟件的中央微處理器和顯示器;所述單片機(jī)子系統(tǒng)包括信號(hào)采集模塊和數(shù)據(jù)通信模塊;所述高清攝像機(jī)、單片機(jī)子系統(tǒng)、顯示器均與工控機(jī)的中央微處理器相連接;其中所述光源采用LED線性光源,光源的位置設(shè)在機(jī)架的底板上,在繞制光纖機(jī)的繞制光纖環(huán)的一方(正下方);所述高清攝像機(jī)采用高清攝像機(jī),高清攝像機(jī)的位置設(shè)在繞制光纖機(jī)的繞制光纖環(huán)另一方(正上方),高清攝像機(jī)的位置與光源的位置相對(duì)應(yīng);所述光電編碼盤安裝在繞制光纖機(jī)的主軸上,即與繞制光纖環(huán)同軸;所述行程開關(guān)安裝在繞制光纖機(jī)的機(jī)架底板上,即控制繞制光纖機(jī)的平移的精密絲杠的兩端部;所述行程開關(guān)與光電編碼盤與所述單片機(jī)子系統(tǒng)的信號(hào)采集模塊連接并通過數(shù)據(jù)通信模塊與工控機(jī)連接及數(shù)據(jù)通信;一種繞制光纖精確長度的計(jì)量方法,其特征是首先,使用光電編碼盤和行程開關(guān)來對(duì)光纖環(huán)繞制過程中的繞制匝數(shù)及層數(shù)進(jìn)行檢測;并通過所述單片機(jī)子系統(tǒng)的信號(hào)采集模塊及數(shù)據(jù)通信模塊傳輸給工控機(jī),由工控機(jī)進(jìn)行每層的匝數(shù)統(tǒng)計(jì)及層數(shù)統(tǒng)計(jì),并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與計(jì)算繞制光纖的長度; 其次,使用機(jī)器視覺裝置進(jìn)行自動(dòng)采集光纖繞制圖像,在規(guī)定時(shí)間內(nèi)經(jīng)過一系列圖像處理后得到已繞制光纖的像素點(diǎn)坐標(biāo)信息,并傳輸給工控機(jī),再由工控機(jī)根據(jù)高清攝像機(jī)的像素點(diǎn)尺寸求取每次繞制光纖的實(shí)時(shí)半徑變化,進(jìn)而得出繞制光纖的長度的誤差修正值;最后,由工控機(jī)將繞制光纖環(huán)上的匝數(shù)及層數(shù)統(tǒng)計(jì)數(shù),精確計(jì)算繞制光纖的長度;在顯示器上顯示精確的光纖長度、繞制匝數(shù)及層數(shù)。所述層數(shù)統(tǒng)計(jì)是根據(jù)采集行程開關(guān)的輸出脈沖數(shù)并結(jié)合機(jī)器視覺裝置處理的圖像結(jié)果來實(shí)現(xiàn)的;光纖環(huán)上每繞制一層光纖,行程開關(guān)輸出一個(gè)脈沖,行程開關(guān)每輸出一個(gè)脈沖,并在處理結(jié)果的圖像中顯示,且在單片機(jī)子系統(tǒng)中使用中斷的方式進(jìn)行層數(shù)統(tǒng)計(jì);所述每層的匝數(shù)統(tǒng)計(jì)是通過光電編碼盤的脈沖數(shù)及機(jī)器視覺裝置處理的圖像結(jié)果來計(jì)算的,光纖環(huán)上每繞制一匝光纖,光電編碼盤輸出固有數(shù)量的脈沖,并在圖像處理結(jié)果中顯示,且在單片機(jī)子系統(tǒng)中使用中斷的方式進(jìn)行匝數(shù)統(tǒng)計(jì);所述繞制光纖的長度的誤差需要結(jié)合機(jī)器視覺的處理結(jié)果,來不斷修正光纖環(huán)上繞制光纖的半徑;其中在繞制過程中,根據(jù)光電編碼盤的輸出脈沖數(shù)和機(jī)器視覺裝置識(shí)別出的光纖狀態(tài)相結(jié)合可以保證光纖繞制過程中打滑時(shí)發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤;從光纖繞制特性及排列順序可知,第二層每根光纖的排列是在第一層相鄰光纖的間隙中,因此,第二層以上光纖的繞制半徑的變化并不是簡單的光纖環(huán)原始半徑和光纖直徑的相加,而是小于光纖直徑的一個(gè)值,這個(gè)值通過機(jī)器視覺裝置的高清攝像機(jī)處理的圖像中光纖的像素點(diǎn)坐標(biāo)信息精確的得到,相鄰兩層的像素點(diǎn)坐標(biāo)差乘以機(jī)器視覺裝置的高清攝像機(jī)的像素點(diǎn)尺寸就可以算出第i+Ι層相對(duì)于第i層的光纖繞制半徑變化。本發(fā)明的突出實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的有益效果是本發(fā)明的可以避免在光纖繞制過程中出現(xiàn)故障時(shí),例如光纖環(huán)打滑和光纖回疊時(shí)對(duì)光纖長度的計(jì)量產(chǎn)生誤差,確??梢詫?duì)光纖長度進(jìn)行實(shí)時(shí)準(zhǔn)確無誤的計(jì)量。
圖I光纖長度計(jì)量系統(tǒng)構(gòu)成示意圖。圖2光纖繞制層數(shù)統(tǒng)計(jì)中斷服務(wù)流程圖。圖3光纖繞制匝數(shù)統(tǒng)計(jì)中斷服務(wù)流程圖。
圖4實(shí)時(shí)繞制光纖精確長度計(jì)量系統(tǒng)主程序流程圖。圖5實(shí)時(shí)繞制光纖精確長度計(jì)量子程序流程圖。圖6實(shí)時(shí)計(jì)算光纖繞制半徑子程序流程圖。圖中1_機(jī)架,2-工控機(jī),3-顯不器,4-單片機(jī)子系統(tǒng),5-穩(wěn)壓電源,6-待繞制光纖環(huán),7-光電編碼盤,8-高清攝像機(jī),9-光源,10-第一個(gè)行程開關(guān),11-第二個(gè)行程開關(guān),12-精密絲杠。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖I所示,本發(fā)明一種繞制光纖精確長度計(jì)量系統(tǒng),它包括機(jī)架I、機(jī)器視覺裝 置、工控機(jī)2、單片機(jī)子系統(tǒng)4、待繞制光纖環(huán)6、光電編碼盤7、行程開關(guān)10、行程開關(guān)11,精密絲杠12 ;機(jī)器視覺裝置包括光源9和高清攝像機(jī)8 ;工控機(jī)2包括內(nèi)置嵌入式圖像處理軟件的中央微處理器和顯示器3 ;高清攝像機(jī)8、單片機(jī)子系統(tǒng)4、顯示器3均與工控機(jī)2的中央微處理器相連接。光源9采用LED線性光源,位置在所述機(jī)架I的底板上,在所述待繞制光纖環(huán)6的正下方,即采用背光照明方式。高清攝像機(jī)8采用CCD高清攝像機(jī),位置在所述待繞制光纖環(huán)6正上方,并通過其上的接口與所述工控機(jī)2之間傳輸信息;工控機(jī)主機(jī)設(shè)置于機(jī)架2的底板上。單片機(jī)子系統(tǒng)4主要包括信號(hào)采集模塊和通信模塊,其中信號(hào)采集模塊采集行程開關(guān)10,11和光電編碼盤7輸出的脈沖信號(hào),并將此信號(hào)通過通信模塊傳給工控機(jī)的中央微處理器;行程開關(guān)10,11用兩個(gè)反射式光電傳感器實(shí)現(xiàn),一個(gè)在精密絲杠12移動(dòng)的起始位置正下方,另一個(gè)在精密絲杠12移動(dòng)的終點(diǎn)位置正下方。整個(gè)系統(tǒng)通過穩(wěn)壓電源5供電。本發(fā)明中使用光電編碼盤和行程開關(guān)結(jié)合機(jī)器視覺采集回的圖像對(duì)在繞制光纖進(jìn)行精確計(jì)量的具體實(shí)施方式
如下(I)層數(shù)統(tǒng)計(jì)光纖環(huán)上層數(shù)的統(tǒng)計(jì)根據(jù)采集精密絲杠下安裝的行程開關(guān)的輸出脈沖數(shù)結(jié)合機(jī)器視覺處理的圖像結(jié)果來實(shí)現(xiàn)。光纖環(huán)上每繞制完成一層光纖,精密絲杠移動(dòng)一段固定的距離,這段距離與光纖環(huán)的規(guī)格尺寸有關(guān),這樣隨著光纖環(huán)上光纖不停的繞制,精密絲杠在這段固定的距離內(nèi)來回往復(fù)運(yùn)動(dòng),因此安裝在精密絲杠下的行程開關(guān),在光纖環(huán)上的光纖每繞制完一層即精密絲杠到達(dá)這個(gè)固定位置時(shí)就會(huì)輸出一個(gè)脈沖,行程開關(guān)每輸出一個(gè)脈沖且圖像處理結(jié)果中顯示開始新一層繞制時(shí)說明光纖繞制完一層,這樣可以避免光纖回疊時(shí)誤認(rèn)為換層的情況發(fā)生。在單片機(jī)子系統(tǒng)中使用中斷的方式實(shí)現(xiàn)層數(shù)統(tǒng)計(jì),其流程圖,如圖2所示。(2)匝數(shù)統(tǒng)計(jì)光纖環(huán)上每繞制一阻光纖,與其同軸的光電編碼盤就會(huì)輸出固有數(shù)量的脈沖。光纖環(huán)每層的匝數(shù)通過計(jì)與主軸同軸的光電編碼盤的脈沖數(shù)及機(jī)器視覺裝置處理的圖像結(jié)果來計(jì)算,這樣可以避免光纖繞機(jī)上待繞制光纖環(huán)打滑時(shí)錯(cuò)誤的統(tǒng)計(jì)匝數(shù)。采用光電編碼盤每輸出固定個(gè)數(shù)的脈沖且圖像處理結(jié)果中顯示有一根新的光纖繞制在光纖環(huán)上,說明主軸轉(zhuǎn)過一圈,此時(shí)光纖環(huán)繞制完成一匝。在單片機(jī)子系統(tǒng)中使用中斷的方式實(shí)現(xiàn)匝數(shù)統(tǒng)計(jì),其光纖繞制匝數(shù)統(tǒng)計(jì)中斷服務(wù)流程圖,如圖3所示。
( 3 )光纖長度計(jì)量修正在繞制過程中,根據(jù)光電編碼盤的輸出脈沖數(shù)和機(jī)器視覺裝置識(shí)別出的光纖狀態(tài)相結(jié)合可以保證光纖繞制過程中打滑時(shí)發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤,重新纏繞以實(shí)現(xiàn)正確纏繞和準(zhǔn)確的計(jì)量長度。計(jì)量繞制光纖長度主程序流程圖,如圖4所示。從光纖繞制特性及排列順序可知,第二層每根光纖的排列是在第一層相鄰光纖的間隙中,因此,第二層以上光纖的繞制半徑的變化并不是簡單的光纖環(huán)原始半徑和光纖直徑的相加,而是小于光纖直徑的一個(gè)值,這個(gè)值·可以通過處理的圖像中光纖的像素點(diǎn)坐標(biāo)信息精確的得到,相鄰兩層的像素點(diǎn)坐標(biāo)差乘以機(jī)器視覺裝置的高清攝像機(jī)的像素點(diǎn)尺寸就可以算出第i+Ι層相對(duì)于第i層的光纖繞制半徑變化。實(shí)時(shí)獲取光纖繞制半徑流程圖,如圖5所示。為了給出計(jì)量光纖繞制長度的公式,在此給出各個(gè)指標(biāo)取值范圍及其標(biāo)號(hào)。實(shí)時(shí)計(jì)算光纖繞制半徑子程序流程,如圖6所示,具體計(jì)算過程如下假設(shè)待繞制光纖環(huán)原始半徑為IV機(jī)器視覺裝置的高清攝像機(jī)的像素點(diǎn)尺寸為a μ m*a μ m, k為每層光纖匝數(shù)(k=0,1,2…200),繞制層數(shù)p (p=0,1,2…500),根據(jù)采集回的圖像處理后得到光纖環(huán)第一層第一根光纖的像素點(diǎn)最上最左坐標(biāo)信息為(xn,yn),第二層第一根光纖的像素點(diǎn)最上最左坐標(biāo)信息為(x21,y21),依次類推,第i層第j根光纖的像素點(diǎn)坐標(biāo)信息為(Xij, Yij) (i=l, 2··· 100, j=l, 2··· 200),光電編碼器一共可以輸出的脈沖個(gè)數(shù)為m,光電編碼器已輸出的脈沖個(gè)數(shù)為Hi1,在繞制完后。第一層第k根光纖后的長度計(jì)算公式是k *2πτ0 +/W1 * ——-(公式 I)
m第二層光纖長度計(jì)算公式為當(dāng)前光纖繞制半徑Rpi,當(dāng)前光纖繞制層數(shù)Pi,當(dāng)前光纖繞制匝數(shù)Iiik. ^'2ηΚη1(公式 2 )
1. m其中Rpi=(X21-X11)a+r0據(jù)此可以得出當(dāng)前已繞制光纖長度計(jì)算公式為L= kl *2 π Rpi + 所i *』!ι +!<*2 Tl R ρι (公式 3 )
m據(jù)以上方法計(jì)量長度的誤差計(jì)算公式為
2nR.tAl =——i (公式 4)
m若不依據(jù)機(jī)器視覺處理的結(jié)果求取繞制半徑,則誤差計(jì)算公式為Δ/=2 咖 W(公式 5)
m由公式5可以看出隨著光纖繞制層數(shù)的增加此累積誤差會(huì)越來越大。因此,隨著光纖環(huán)上光纖的繞制,光纖層數(shù)增加,光電編碼盤輸出固定個(gè)數(shù)脈沖所對(duì)應(yīng)的光纖繞制長度隨著層數(shù)不同而不同,計(jì)量光纖長度要結(jié)合機(jī)器視覺的處理結(jié)果,來不斷修正光纖環(huán)上繞制光纖的半徑
權(quán)利要求
1.一種繞制光纖精確長度的計(jì)量系統(tǒng),包括繞制光纖機(jī),其特征是還包括機(jī)器視覺裝置、工控機(jī)、單片機(jī)子系統(tǒng)、行程開關(guān)與光電編碼盤;所述機(jī)器視覺裝置包括光源和高清攝像機(jī);所述工控機(jī)包括內(nèi)置嵌入式圖像處理軟件的中央微處理器和顯示器;所述單片機(jī)子系統(tǒng)包括信號(hào)采集模塊和數(shù)據(jù)通信模塊;所述高清攝像機(jī)、單片機(jī)子系統(tǒng)、顯示器均與工控機(jī)的中央微處理器相連接;其中 所述光源采用LED線性光源,光源的位置設(shè)在機(jī)架的底板上,在繞制光纖機(jī)的繞制光纖環(huán)的一方;所述高清攝像機(jī)采用高清攝像機(jī),高清攝像機(jī)的位置設(shè)在繞制光纖機(jī)的繞制光纖環(huán)另一方,高清攝像機(jī)的位置與光源的位置相對(duì)應(yīng); 所述光電編碼盤安裝在繞制光纖機(jī)的主軸上,即與繞制光纖環(huán)同軸;所述行程開關(guān)安裝在繞制光纖機(jī)的機(jī)架底板上,即控制繞制光纖機(jī)平移的精密絲杠的兩端部;所述行程開關(guān)與光電編碼盤與所述單片機(jī)子系統(tǒng)的信號(hào)采集模塊連接并通過數(shù)據(jù)通信模塊與工控機(jī)連接及數(shù)據(jù)通信。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種繞制光纖精確長度的計(jì)量系統(tǒng)的計(jì)量方法,其特征是首先,使用光電編碼盤和行程開關(guān)來對(duì)光纖環(huán)繞制過程中的繞制匝數(shù)及層數(shù)進(jìn)行檢測;并通過所述單片機(jī)子系統(tǒng)的信號(hào)采集模塊及數(shù)據(jù)通信模塊傳輸給工控機(jī),由工控機(jī)進(jìn)行每層的匝數(shù)統(tǒng)計(jì)及層數(shù)統(tǒng)計(jì),并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與計(jì)算繞制光纖的長度;其次,使用機(jī)器視覺裝置進(jìn)行自動(dòng)采集光纖繞制圖像,在規(guī)定時(shí)間內(nèi)經(jīng)過一系列圖像處理后得到已繞制光纖的像素點(diǎn)坐標(biāo)信息,并傳輸給工控機(jī),再由工控機(jī)根據(jù)高清攝像機(jī)的像素點(diǎn)尺寸求取每次繞制光纖的實(shí)時(shí)半徑變化,進(jìn)而得出繞制光纖長度的誤差修正值;最后,由工控機(jī)將繞制光纖環(huán)上的匝數(shù)及層數(shù)統(tǒng)計(jì)數(shù),計(jì)算繞制光纖的精確長度;在顯示器上顯示精確的光纖長度、繞制匝數(shù)及層數(shù)。
3.依據(jù)權(quán)利要求2所述的一種繞制光纖精確長度的計(jì)量方法,其特征是 所述層數(shù)統(tǒng)計(jì)是根據(jù)采集行程開關(guān)的輸出脈沖數(shù)并結(jié)合機(jī)器視覺裝置處理的圖像結(jié)果來實(shí)現(xiàn)的;光纖環(huán)上每繞制一層光纖,行程開關(guān)輸出一個(gè)脈沖,行程開關(guān)每輸出一個(gè)脈沖,并在處理結(jié)果的圖像中顯示,且在單片機(jī)子系統(tǒng)中使用中斷的方式進(jìn)行層數(shù)統(tǒng)計(jì);所述每層的匝數(shù)統(tǒng)計(jì)是通過光電編碼盤的脈沖數(shù)及機(jī)器視覺裝置處理的圖像結(jié)果來計(jì)算的,光纖環(huán)上每繞制一匝光纖,光電編碼盤輸出固有數(shù)量的脈沖,并在圖像處理結(jié)果中顯示,且在單片機(jī)子系統(tǒng)中使用中斷的方式進(jìn)行匝數(shù)統(tǒng)計(jì); 所述繞制光纖的長度的誤差需要結(jié)合機(jī)器視覺的處理結(jié)果,來不斷修正光纖環(huán)上繞制光纖的半徑;其中 在繞制過程中,根據(jù)光電編碼盤的輸出脈沖數(shù)和機(jī)器視覺裝置識(shí)別出的光纖狀態(tài)相結(jié)合可以保證光纖繞制過程中打滑時(shí)發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤; 從光纖繞制特性及排列順序可知,第二層每根光纖的排列是在第一層相鄰光纖的間隙中,因此,第二層以上光纖的繞制半徑的變化并不是簡單的光纖環(huán)原始半徑和光纖直徑的相加,而是小于光纖直徑的一個(gè)值,這個(gè)值通過機(jī)器視覺裝置的高清攝像機(jī)處理的圖像中光纖的像素點(diǎn)坐標(biāo)信息精確的得到,相鄰兩層的像素點(diǎn)坐標(biāo)差乘以機(jī)器視覺裝置的高清攝像機(jī)的像素點(diǎn)尺寸就可以算出第i+1層相對(duì)于第i層的光纖繞制半徑變化。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種繞制光纖精確長度計(jì)量系統(tǒng)及方法,系統(tǒng)包括繞制光纖機(jī),其特征是還包括機(jī)器視覺裝置、工控機(jī)、單片機(jī)子系統(tǒng)、行程開關(guān)與光電編碼盤;所述機(jī)器視覺裝置包括光源和高清攝像機(jī);所述工控機(jī)包括內(nèi)置嵌入式圖像處理軟件的中央微處理器和顯示器;所述單片機(jī)子系統(tǒng)包括信號(hào)采集模塊和數(shù)據(jù)通信模塊;本發(fā)明中使用光電編碼盤和行程開關(guān)結(jié)合機(jī)器視覺采集回的圖像對(duì)在繞制光纖進(jìn)行精確計(jì)量,可以避免在光纖繞制過程中出現(xiàn)故障時(shí),例如光纖環(huán)打滑和光纖回疊時(shí)對(duì)光纖長度的計(jì)量產(chǎn)生誤差,確??梢詫?duì)光纖長度進(jìn)行實(shí)時(shí)準(zhǔn)確無誤的計(jì)量。
文檔編號(hào)G01D5/36GK102706284SQ201210210979
公開日2012年10月3日 申請日期2012年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月25日
發(fā)明者張鵬, 楊瑞峰, 武錦輝, 賈建芳, 郭晨霞 申請人:中北大學(xué)