專利名稱：激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于激光器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光系統(tǒng)的參數(shù)測(cè)量裝置，特別是激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置，其特別適用于準(zhǔn)分子激光器。
背景技術(shù)：
在激光器的研發(fā)及使用過(guò)程中，都需要對(duì)激光器的各種參數(shù)(輸出能量、輸出能量穩(wěn)定性、中心波長(zhǎng)、脈寬、線寬、發(fā)散角、光斑質(zhì)量等)進(jìn)行測(cè)量，從而確定激光器的工作狀態(tài)及性能。傳統(tǒng)的測(cè)量方法一般都是一次只針對(duì)一個(gè)參數(shù)進(jìn)行測(cè)量，不能同時(shí)測(cè)出激光器在某一時(shí)刻幾個(gè)參數(shù)的數(shù)值及相互關(guān)系。并且對(duì)于有些參數(shù)(如發(fā)散角)，其測(cè)量光路距離較長(zhǎng)、較為復(fù)雜，增加了測(cè)量難度及測(cè)量誤差，同時(shí)也造成了時(shí)間的浪費(fèi)。針對(duì)傳統(tǒng)的測(cè)量方法，本實(shí)用新型提出將所有的參數(shù)測(cè)量光路集成于一個(gè)裝置中，合理優(yōu)化各個(gè)參數(shù)測(cè)量的光路，使測(cè)量模塊更緊湊，測(cè)量數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。利用該參數(shù)測(cè)量裝置，可以同時(shí)測(cè)量激光器的任意參數(shù)，并且所測(cè)數(shù)據(jù)具有較高的準(zhǔn)確性、實(shí)時(shí)性，同時(shí)可大量節(jié)約測(cè)試時(shí)間。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題傳統(tǒng)的測(cè)量方法不能同時(shí)測(cè)出激光器在某一時(shí)刻幾個(gè)參數(shù)的數(shù)值及相互關(guān)系，并且對(duì)于有些參數(shù)(如發(fā)散角)，其測(cè)量光路距離較長(zhǎng)、較為復(fù)雜，增加了測(cè)量難度及測(cè)量誤差，同時(shí)也造成了時(shí)間的浪費(fèi)。( 二 )技術(shù)方案為解決傳統(tǒng)測(cè)量方法存在的上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出的技術(shù)方案中使用多個(gè)45°全反鏡在二維方向上展開(kāi)光路，縮短測(cè)量裝置中光路兩端間的直線距離，使測(cè)量裝置更緊湊，測(cè)量數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確，并且通過(guò)使用多個(gè)45°全反鏡可以同時(shí)測(cè)量激光器的任意參數(shù)，具有實(shí)時(shí)性，同時(shí)可大量節(jié)約測(cè)試時(shí)間。一種激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置，包括激光器1、第一衰減片2、聚焦透鏡
3、第二衰減片9和光束質(zhì)量分析儀4，其特征在于，該裝置還包括6個(gè)45°全反鏡5，通過(guò)使用所述6個(gè)45°全反鏡5將光路在二維方向上展開(kāi)，使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3到達(dá)光束質(zhì)量分析儀4的傳播距離為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度。同時(shí)，本實(shí)用新型還提出激光器參數(shù)測(cè)量裝置，包括激光器1、聚焦透鏡3、光束質(zhì)量分析儀4，其特征在于，該測(cè)量裝置還包括第一分光鏡6、功率計(jì)7、4個(gè)45°全反鏡5、第二分光鏡10、第三分光鏡11、波長(zhǎng)計(jì)12和光電探測(cè)器8，通過(guò)使用所述4個(gè)45°全反鏡5將光路在二維方向上展開(kāi)，使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3到達(dá)光束質(zhì)量分析儀4的傳播距離為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度。(三)有益效果與傳統(tǒng)的測(cè)量技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的用于激光系統(tǒng)的參數(shù)測(cè)量裝置可以實(shí)時(shí)測(cè)量激光器的所有參數(shù)，節(jié)約測(cè)量時(shí)間，增加參數(shù)測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性及可對(duì)比性，并且測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)緊湊，減少了有些參數(shù)測(cè)量的空間限制。

圖1為傳統(tǒng)激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置光路圖。圖2為本實(shí)用新型激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置光路圖。圖3為本實(shí)用新型激光器參數(shù)測(cè)量裝置光路圖。圖4為本實(shí)用新型激光器參數(shù)測(cè)量裝置立體圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。傳統(tǒng)的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量方法所使用的裝置及光路如圖1所示。所述傳統(tǒng)的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置包括激光器1、第一衰減片2、聚焦透鏡3、第二衰減片9和光束質(zhì)量分析儀4。其原理為激光器I輸出光經(jīng)過(guò)第一衰減片2后再經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3聚焦后再經(jīng)過(guò)第二衰減片9進(jìn)入在聚焦透鏡3的焦點(diǎn)處放置的光束質(zhì)量分析儀4中。使用光束質(zhì)量分析儀得到光的發(fā)散角及光斑形狀參數(shù)是本領(lǐng)域的公知技術(shù)，在此不做贅述。圖1中所示距離f即為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度。在光路中放置衰減片是為了防止激光能量過(guò)高而損壞聚焦透鏡及光束質(zhì)量分析儀。所述傳統(tǒng)的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量方法要求聚焦透鏡的焦距大于50厘米，優(yōu)選焦距為I米的聚焦透鏡。這樣便造成圖1所示的光路過(guò)長(zhǎng)，從而限制了其適用范圍。為解決上述光路過(guò)長(zhǎng)的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型對(duì)圖1所示的傳統(tǒng)測(cè)量光路進(jìn)行改進(jìn)，如圖2所示。除激光器1、第一衰減片2、聚焦透鏡3、第二衰減片9和光束質(zhì)量分析儀4之外，本實(shí)用新型提供的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置中還包括6個(gè)45°全反鏡5。第一個(gè)45。全反鏡設(shè)置在激光器i與第一衰減片2之間，優(yōu)選的，第一個(gè)45°全反鏡的鏡面與激光器I射出的光成45°角，并且經(jīng)過(guò)第一個(gè)45°全反鏡的反射光和入射光成直角，從第一個(gè)45°全反鏡反射出的光垂直射入第一衰減片2。透過(guò)第一衰減片2的光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3后射入第二個(gè)45°全反鏡，并依次在第二個(gè)45°全反鏡、第三個(gè)45°全反鏡、第四個(gè)45°全反鏡、第五個(gè)45°全反鏡、第六個(gè)45°全反鏡之間反射，從第六個(gè)45°全反鏡射出的光垂直射入第二個(gè)衰減片9，透過(guò)第二個(gè)衰減片9的光射入光束質(zhì)量分析儀4。如圖2所示，將圖1中的光路在二維方向上展開(kāi)，使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3后到達(dá)光束質(zhì)量分析儀4的傳播距離仍為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度，優(yōu)選的為I米，從而使測(cè)量光路更為緊湊。為了使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3后到達(dá)光束質(zhì)量分析儀4的傳播距離仍為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度，后續(xù)5個(gè)45°全反鏡(即第二個(gè)45°全反鏡、第三個(gè)45°全反鏡、第四個(gè)45°全反鏡、第五個(gè)45°全反鏡、第六個(gè)45°全反鏡)相互之間的角度和位置關(guān)系可以有許多種設(shè)置方式，只要保證經(jīng)過(guò)上述5個(gè)45°全反鏡的光在聚焦透鏡3和光束質(zhì)量分析儀4之間的傳播距離為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度即可。圖2示出了所述多種設(shè)置方式中的一個(gè)實(shí)施例。參照?qǐng)D2所述五個(gè)45°全反鏡的布置方式具體為第二個(gè)45°全反鏡的鏡面與聚焦透鏡3的平面截面成45°角，透過(guò)所述聚焦透鏡3的光射向所述第二個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第二個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第三個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第二個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第二個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第三個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第三個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第四個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第三個(gè)45°全反鏡的鏡面成直角，使得從所述第三個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第四個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第四個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第五個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第四個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第四個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第五個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第五個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第六個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第五個(gè)45°全反鏡的鏡面成直角，使得從所述第五個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第六個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第六個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第六個(gè)45°全反鏡的鏡面與第二衰減片9的平面方向成45°角，使得從第六個(gè)45°全反鏡射出的光垂直射入第二衰減片9。本實(shí)用新型的激光器參數(shù)測(cè)量裝置光路圖如圖3所示。除激光器1、聚焦透鏡3、光束質(zhì)量分析儀4之外，所述激光器參數(shù)測(cè)量裝置還包括第一分光鏡6、功率計(jì)7、4個(gè)45°全反鏡5、第二分光鏡10、第三分光鏡11、波長(zhǎng)計(jì)12和光電探測(cè)器8。其原理為激光器I的輸出光經(jīng)過(guò)第一分光鏡6后大部分透射并入射到功率計(jì)7的探頭上，從而可以得到激光的輸出能量及能量穩(wěn)定性兩個(gè)參數(shù)；第一分光鏡6將一小部分光反射直接進(jìn)入聚焦透鏡3，因?yàn)榉瓷涔獾哪芰亢艿退酝哥R前無(wú)需增加衰減片，反射光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3后沿圖3所示的光路傳播到第二分光鏡10上進(jìn)行分光，透射過(guò)來(lái)的透射光則直接照射到光電探測(cè)器8上，光電探測(cè)器8的輸出信號(hào)可以輸出給示波器(示波器為本領(lǐng)域的公知技術(shù)，圖3未示出)從而獲得激光的脈寬參數(shù)，而第二分光鏡10上反射出來(lái)的光照射到第三分光鏡11上進(jìn)行分光，從第三分光鏡11上反射出來(lái)的光直接通過(guò)光纖耦合進(jìn)波長(zhǎng)計(jì)12中，從波長(zhǎng)計(jì)12中可以獲得激光的線寬及中心波長(zhǎng)等參數(shù)，從第三分光鏡11上透射出來(lái)的光由于能量較低，直接可以照射到光束質(zhì)量分析儀4的探頭上，無(wú)需增加衰減片，從光束質(zhì)量分析儀4中可直接測(cè)量激光的發(fā)散角、光斑形狀、光束質(zhì)量等參數(shù)。如圖3所示，也是將圖1中的光路在二維方向上展開(kāi)，使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3后到達(dá)光束質(zhì)量分析儀4的傳播距離仍為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度，優(yōu)選的為I米，從而使測(cè)量光路更為緊湊。 為了使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡3后到達(dá)光束質(zhì)量分析儀4的傳播距離仍為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度，所述4個(gè)45°全反鏡相互之間的角度和位置關(guān)系可以有許多種設(shè)置方式，只要保證經(jīng)過(guò)上述4個(gè)45°全反鏡的光在聚焦透鏡3和光束質(zhì)量分析儀4之間的傳播距離為聚焦透鏡3的焦距長(zhǎng)度即可。圖3示出了所述多種設(shè)置方式中的一個(gè)實(shí)施例。參照?qǐng)D3所示，激光器參數(shù)測(cè)量裝置中4個(gè)45°全反鏡的布置方式具體為第一個(gè)45°全反鏡的鏡面與聚焦透鏡3的平面截面成45°角，透過(guò)所述聚焦透鏡3的光射向所述第一個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第一個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第二個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第一個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第一個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第二個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第二個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第三個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第二個(gè)45°全反鏡的鏡面成直角，使得從所述第二個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第三個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第三個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第四個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第三個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第三個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第四個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第四個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第四個(gè)45°全反鏡的鏡面與第二分光鏡10的平面方向成直角，使得從第四個(gè)45°全反鏡射出的光射入第二分光鏡10，并且使得經(jīng)過(guò)第二分光鏡10和第三分光鏡11的入射光和反射光成直角。綜上所述，利用圖3所示的激光器參數(shù)測(cè)量裝置，可以同時(shí)測(cè)量激光器的輸出能量、輸出能量穩(wěn)定性、發(fā)散角、光斑形狀、光束質(zhì)量、脈寬、線寬、中心波長(zhǎng)及中心波長(zhǎng)穩(wěn)定性。由于所有參數(shù)均為同時(shí)測(cè)量，所以增加了所測(cè)數(shù)據(jù)的可對(duì)比性。本實(shí)用新型的激光器參數(shù)測(cè)量裝置立體圖如圖4所示。所述激光器參數(shù)測(cè)量裝置是將圖3所不的三個(gè)分光鏡6、10、11、聚焦透鏡3、4片45°全反鏡5按光路順序集成于一個(gè)金屬盒子中，該金屬盒子的尺寸為60厘米長(zhǎng)、25厘米寬、10厘米高，結(jié)構(gòu)比較緊湊。以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置，包括激光器(I)、第一衰減片(2)、聚焦透鏡(3)、第二衰減片(9)和光束質(zhì)量分析儀(4)，其特征在于，該裝置還包括6個(gè)45°全反鏡(5)，通過(guò)使用所述6個(gè)45°全反鏡(5)將光路在二維方向上展開(kāi)，使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡(3)到達(dá)光束質(zhì)量分析儀(4)的傳播距離為聚焦透鏡(3)的焦距長(zhǎng)度。
2.如權(quán)利要求1所述的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置，其特征還在于，所述6個(gè)45°全反鏡(5)中，第一個(gè)45°全反鏡設(shè)置在激光器(I)與第一衰減片(2)之間；透過(guò)第一衰減片(2)的光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡(3)后射入第二個(gè)45°全反鏡，并依次在第二個(gè)45°全反鏡、第三個(gè)45°全反鏡、第四個(gè)45°全反鏡、第五個(gè)45°全反鏡、第六個(gè)45°全反鏡之間反射，從第六個(gè)45°全反鏡射出的光射入第二個(gè)衰減片(9)，透過(guò)第二個(gè)衰減片(9)的光射入光束質(zhì)量分析儀(4)。
3.如權(quán)利要求2所述的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置，其特征還在于，所述6個(gè)45°全反鏡(5)中，第二個(gè)45°全反鏡、第三個(gè)45°全反鏡、第四個(gè)45°全反鏡、第五個(gè)45°全反鏡、第六個(gè)45°全反鏡相互之間的角度和位置關(guān)系為第二個(gè)45°全反鏡的鏡面與聚焦透鏡(3)的平面截面成45°角，透過(guò)所述聚焦透鏡(3)的光射向所述第二個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第二個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第三個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第二個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第二個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第三個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第三個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第四個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第三個(gè)45°全反鏡的鏡面成直角，使得從所述第三個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第四個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第四個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第五個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第四個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第四個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第五個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第五個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第六個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第五個(gè)45°全反鏡的鏡面成直角，使得從所述第五個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第六個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第六個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第六個(gè)45°全反鏡的鏡面與第二衰減片(9)的平面方向成45°角，使得從第六個(gè)45°全反鏡射出的光射入第二衰減片(9)。
4.如權(quán)利要求1所述的激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置，其特征還在于，所述聚焦透鏡(3)的焦距長(zhǎng)度為I米。
5.一種激光器參數(shù)測(cè)量裝置，包括激光器(I)、聚焦透鏡(3)、光束質(zhì)量分析儀(4)，其特征在于，該測(cè)量裝置還包括第一分光鏡￠)、功率計(jì)(7)、4個(gè)45°全反鏡(5)、第二分光鏡(10)、第三分光鏡(11)、波長(zhǎng)計(jì)(12)和光電探測(cè)器(8)，通過(guò)使用所述4個(gè)45°全反鏡(5)將光路在二維方向上展開(kāi)，使得激光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡(3)到達(dá)光束質(zhì)量分析儀(4)的傳播距離為聚焦透鏡(3)的焦距長(zhǎng)度。
6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)量裝置，其特征還在于， 激光器(I)的輸出光經(jīng)過(guò)第一分光鏡(6)后大部分透射并入射到功率計(jì)(7)的探頭上； 第一分光鏡(6)將一小部分光反射直接進(jìn)入聚焦透鏡(3)，反射光經(jīng)過(guò)聚焦透鏡(3)后傳播到第二分光鏡(10)上進(jìn)行分光，第二分光鏡(10)上反射的光直接照射到第三分光鏡(11)上進(jìn)行分光，第三分光鏡(11)上反射的光直接通過(guò)光纖耦合到波長(zhǎng)計(jì)(12)中，第三分光鏡(11)上透射的光直接照射到光束質(zhì)量分析儀(4)的探頭上；從所述第二分光鏡(10)上透射過(guò)來(lái)的透射光則直接照射到光電探測(cè)器(8)上，光電探測(cè)器⑶的輸出信號(hào)可以輸出給不波器。
7.如權(quán)利要求6所述的測(cè)量裝置，其特征還在于，通過(guò)功率計(jì)(7)得到激光的輸出能量及能量穩(wěn)定性參數(shù)；通過(guò)光束質(zhì)量分析儀(4)得到激光的發(fā)散角、光斑形狀、光束質(zhì)量參數(shù)；通過(guò)光電探測(cè)器(8)和示波器得到脈寬參數(shù)；通過(guò)波長(zhǎng)計(jì)(12)得到激光的線寬及中心波長(zhǎng)參數(shù)。
8.如權(quán)利要求5所述的測(cè)量裝置，其特征還在于，所述4個(gè)45°全反鏡(5)相互之間的角度和位置關(guān)系為第一個(gè)45°全反鏡的鏡面與聚焦透鏡3的平面截面成45°角，透過(guò)所述聚焦透鏡(3)的光射向所述第一個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第一個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第二個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第一個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第一個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第二個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第二個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第三個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第二個(gè)45°全反鏡的鏡面成直角，使得從所述第二個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第三個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第三個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第四個(gè)45°全反鏡的鏡面與所述第三個(gè)45°全反鏡的鏡面平行相對(duì)，使得從所述第三個(gè)45°全反鏡反射出的光射入所述第四個(gè)45°全反鏡，并且經(jīng)過(guò)第四個(gè)45°全反鏡的反射光與入射光成直角；第四個(gè)45°全反鏡的鏡面與第二分光鏡(10)的平面方向成直角，使得從第四個(gè)45°全反鏡射出的光射入第二分光鏡(10),并且使得經(jīng)過(guò)第二分光鏡(10)和第三分光鏡(11)的入射光和反射光成直角。
9.如權(quán)利要求5所述的測(cè)量裝置，其特征還在于，所述聚焦透鏡(3)的焦距長(zhǎng)度為I米。
10.如權(quán)利要求5所述的測(cè)量裝置，其特征還在于，所述測(cè)量裝置按光路集成于金屬盒子中。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種激光器發(fā)散角及光斑形狀測(cè)量裝置。所述測(cè)量裝置中使用多個(gè)45°全反鏡在二維方向上展開(kāi)光路，縮短測(cè)量裝置中光路兩端間的直線距離，使測(cè)量裝置更緊湊，測(cè)量數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確，并且通過(guò)使用多個(gè)45°全反鏡可以同時(shí)測(cè)量激光器的任意參數(shù)，具有實(shí)時(shí)性，同時(shí)可大量節(jié)約測(cè)試時(shí)間。
文檔編號(hào)G01B7/30GK202869779SQ201220465469
公開(kāi)日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月13日
發(fā)明者沙鵬飛, 宋興亮, 趙江山, 李慧, 彭卓君, 鮑洋, 周翊, 王宇 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電研究院