技術(shù)編號：7230090
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及靜電吸盤。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體裝置的制造過程中，在作為基板的半導(dǎo)體晶片的表面實施成膜、加熱、蝕刻以及洗凈等處理。在進行這些處理時，為了保持半導(dǎo)體晶片，使用靜電吸盤。該靜電吸盤在與放置于靜電吸盤的保持面上的半導(dǎo)體晶片之間產(chǎn)生靜電力，利用該靜電力保持半導(dǎo)體晶片。靜電吸盤與利用真空吸引保持半導(dǎo)體晶片的裝置或機械地把持半導(dǎo)體晶片的裝置相比，可以使用的氛圍氣體的限制少，粒子或晶片污染的危險少。一般說來，靜電吸盤具備埋設(shè)了電極的陶瓷基材，該電極用于在保持基板的...
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