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      流量計(jì)測裝置制造方法

      文檔序號:6167446閱讀:122來源:國知局
      流量計(jì)測裝置制造方法
      【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種高精度的流量計(jì)測裝置,其包括:將在主通路中流動的流體的一部分取入的副通路;計(jì)測在上述通路內(nèi)流動的流體的溫度的第一測溫單元;計(jì)測在上述副通路內(nèi)流動的流體的溫度的第二測溫單元;檢測在上述副通路內(nèi)流動的流體的流量的檢測單元;和基于上述第一測溫單元的輸出和上述第二測溫單元的輸出以及上述檢測單元的輸出,測定在上述主通路內(nèi)流動的流體的流量的測定單元。
      【專利說明】流量計(jì)測裝置

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及流量計(jì)測裝置,特別是涉及設(shè)置在汽車發(fā)動機(jī)的吸氣系統(tǒng)中適用于檢測發(fā)動機(jī)的吸入空氣量的流量計(jì)測裝置。

      【背景技術(shù)】
      [0002]近年來,為了降低汽車導(dǎo)致的環(huán)境負(fù)荷,要求汽車的內(nèi)燃機(jī)中的燃燒控制的高精度化,鑒于這樣的情況,希望達(dá)到對吸入到內(nèi)燃機(jī)的吸入空氣量進(jìn)行測定的流量計(jì)測裝置的高精度化。其中,因汽車的內(nèi)燃機(jī)周圍的溫度由于各種各樣的原因而發(fā)生較大的變動,所以在大多情況下設(shè)置于內(nèi)燃機(jī)附近的流量計(jì)測裝置中,降低由溫度導(dǎo)致的計(jì)測誤差的技術(shù)成為了重要的技術(shù)。
      [0003]例如,基于經(jīng)驗(yàn)可知,當(dāng)由于內(nèi)燃機(jī)產(chǎn)生的熱量導(dǎo)致流量計(jì)測裝置的溫度上升時,因吸入的空氣與流量計(jì)測裝置的溫度差而產(chǎn)生計(jì)測誤差。作為抑制該計(jì)測誤差的現(xiàn)有技術(shù),有專利文獻(xiàn)I和專利文獻(xiàn)2中公開的技術(shù)。
      [0004]先行技術(shù)文獻(xiàn)
      [0005]專利文獻(xiàn)
      [0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006 - 153694號公報(bào)
      [0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開2009-8619號公報(bào)
      [0008]專利文獻(xiàn)I中公開的技術(shù)是,在使背面?zhèn)嚷冻鲇谥魍返慕饘侔宓恼鎮(zhèn)扰渲秒娐坊搴土髁繖z測元件,由此,易于使主通路的流體溫度傳導(dǎo)到流量檢測元件,并且,通過將流量檢測元件與主通路管壁離開地設(shè)置,抑制主通路管壁的熱量傳導(dǎo)到流量檢測元件。
      [0009]根據(jù)專利文獻(xiàn)1,即使在主通路的內(nèi)外產(chǎn)生溫度差,流量檢測元件的溫度也易于追隨流體的溫度。即,由于流量檢測元件與流體之間難以產(chǎn)生溫度差,所以能夠?qū)崿F(xiàn)準(zhǔn)確的流量檢測。
      [0010]專利文獻(xiàn)2公開的技術(shù)是,在例如由聚對苯二甲酸丁二醇酯形成的樹脂板上配置電路基板和流量檢測元件,由此抑制主通路管壁和電路基板的熱量傳導(dǎo)到流量檢測元件的技術(shù)。
      [0011]根據(jù)專利文獻(xiàn)2,即使在主通路的內(nèi)外產(chǎn)生溫度差,由于樹脂板的熱傳導(dǎo)率小,所以能夠抑制從主通路管壁對流量檢測元件的熱影響。即,由于流量檢測元件與流體之間難以產(chǎn)生溫度差,所以能夠?qū)崿F(xiàn)準(zhǔn)確的流量檢測。
      [0012]根據(jù)以上所說明的專利文獻(xiàn)I和專利文獻(xiàn)2中記載的技術(shù),通過獲得使流量檢測元件的溫度接近例如流體的溫度等的適當(dāng)?shù)臏囟鹊慕Y(jié)構(gòu),能夠降低流體檢測元件與流體的溫度差導(dǎo)致的計(jì)測誤差。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0013]發(fā)明要解決的課題
      [0014]但是,基于本申請
      【發(fā)明者】研討的結(jié)果發(fā)現(xiàn),除了由于所吸入的空氣與流量檢測元件的溫度差而產(chǎn)生的計(jì)測誤差以外,由于在主通路內(nèi)流通的流體的溫度與在副通路內(nèi)流通的流體的溫度的差異也可以導(dǎo)致產(chǎn)生計(jì)測誤差。
      [0015]上述的現(xiàn)有技術(shù)中,并沒有考慮到由于在主通路內(nèi)流通的流體的溫度與在副通路內(nèi)流通的流體的溫度的差異所導(dǎo)致的計(jì)測誤差,不能抑制上述計(jì)測誤差。
      [0016][發(fā)明目的]
      [0017]本發(fā)明的目的在于提供高精度的流量計(jì)測裝置。
      [0018]用于解決課題的方法
      [0019]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的流量計(jì)測裝置包括:將在主通路中流動的流體的一部分取入的副通路;計(jì)測在上述主通路中流動的流體的溫度的第一溫度傳感器;和設(shè)置在上述副通路內(nèi)的、計(jì)測與在上述主通路中流動的流體的溫度不同的流體的溫度的第二溫度傳感器。
      [0020]發(fā)明效果
      [0021]根據(jù)本發(fā)明,能夠提供高精度的流量計(jì)測裝置。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0022]圖1表示構(gòu)成第一實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
      [0023]圖2表示構(gòu)成第一實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的電路圖。
      [0024]圖3表示流量計(jì)測裝置的檢測特性的概略圖。
      [0025]圖4表示計(jì)測誤差的比較圖。
      [0026]圖5表示構(gòu)成第二實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
      [0027]圖6表示構(gòu)成第三實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
      [0028]圖7表示構(gòu)成第四實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
      [0029]圖8表示構(gòu)成第四實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的A-A’截面圖。
      [0030]圖9表示構(gòu)成第五實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
      [0031]圖10表示構(gòu)成第六實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的結(jié)構(gòu)圖。
      [0032]圖11表示構(gòu)成第六實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的A-A’截面圖。
      [0033]圖12表示構(gòu)成第六實(shí)施例的變形例的流量計(jì)測裝置的A-A’截面圖。
      [0034]圖13表示在副通路12內(nèi)部流動的流體的溫度分布圖。
      [0035]圖14表示構(gòu)成第八實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的電路圖。
      [0036]圖15表示構(gòu)成第九實(shí)施例的流量計(jì)測裝置的功能塊結(jié)構(gòu)。

      【具體實(shí)施方式】
      [0037]以下,使用附圖對用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
      [0038]利用圖1?圖4對第一實(shí)施例進(jìn)行說明。
      [0039]如圖1所示,構(gòu)成第一實(shí)施例的流量計(jì)測裝置構(gòu)成為,在用于對汽車的內(nèi)燃機(jī)(未圖示)中供給吸入空氣I的配管6形成的主通路7內(nèi),設(shè)置有殼體8、基板13、電路元件14、傳感器兀件15、第一溫度傳感器36和第二溫度傳感器37。
      [0040]殼體8包括:突出到配管6外部的連接器部9 ;將殼體8固定于配管6的凸緣部10 ;電路室11 ;和將在主通路7中流通的主流2即吸入空氣I的一部分取入的副通路12。
      [0041]傳感器元件15由Si等的半導(dǎo)體基板構(gòu)成,具備對半導(dǎo)體基板進(jìn)行加工形成的薄壁狀的膜片(diaphragm) 19,在膜片19形成:加熱器電阻24 ;電阻值與加熱器電阻24的溫度相應(yīng)地發(fā)生變化的加熱器溫度監(jiān)測電阻25 ;電阻值與在副通路12中流通的支流3的溫度相應(yīng)地發(fā)生變化的參照電阻26、參照電阻27、參照電阻28 ;相對于支流3的主流動方向位于加熱器電阻24的上游側(cè)的上游側(cè)測溫電阻31、上游側(cè)測溫電阻32 ;和相對于支流3的主流動方向位于加熱器電阻24的下游側(cè)的下游側(cè)測溫電阻33、下游側(cè)測溫電阻34。
      [0042]此外,作為本實(shí)施例的變形例,也可以將參照電阻26、參照電阻27、參照電阻28設(shè)置在膜片19的外部并且位于傳感器元件15上。另外,除膜片19以外也可以將第二膜片設(shè)置在傳感器元件15上,在第二膜片上形成參照電阻26、參照電阻27、參照電阻28。
      [0043]基板13支承電路元件14和傳感器元件15,電路元件14和傳感器元件15通過焊絲和基板13電連接。另外,以膜片19暴露于支流3中的方式使基板13的一部分突出到副通路12。
      [0044]第一溫度傳感器36利用從電路室11延伸到殼體8的外部的支承部件56,配置在暴露于吸入空氣I中的位置。另外,支承部件56兼作將第一溫度傳感器36和電路元件14電連接的連接媒介。
      [0045]第二溫度傳感器37利用從電路室11延伸到副通路12內(nèi)的支承部件57,配置在暴露于支流3中的位置。另外,支承部件57兼作將第二溫度傳感器37和電路元件14電連接的連接媒介。
      [0046]構(gòu)成第一實(shí)施例的流量計(jì)測裝置,為了保持流量計(jì)測靈敏度一定,以加熱器電阻24總是比支流3高一定溫度的方式進(jìn)行反饋控制(以下將本控制稱為“加熱器溫度控制”)。
      [0047]如圖2所示,作為檢測加熱器電阻24的溫度的機(jī)構(gòu),構(gòu)成包括加熱器溫度監(jiān)測電阻25、參照電阻26、參照電阻27和參照電阻28的橋接電路。接著,將加熱器溫度監(jiān)測電阻25與參照電路26的中間電位Vl、和參照電阻27與參照電阻28的中間電位V2輸入到電路元件14,通過裝載于電路元件14的AD轉(zhuǎn)換器42將Vl和V2的電壓差轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號si。
      [0048]接著,將數(shù)字信號Si輸入到裝載于電路元件14的數(shù)字信號處理電路48(以下稱為DSP48),DSP48執(zhí)行加熱器溫度控制程序49輸出加熱器溫度控制信號s2。接著,將加熱器溫度控制信號s2通過裝載于電路兀件14的DA轉(zhuǎn)換器46轉(zhuǎn)換為加熱器驅(qū)動信號s3,施加于加熱器電阻24。
      [0049]此外,加熱器溫度控制程序49以數(shù)字信號Si成為零的方式進(jìn)行控制。因此,當(dāng)忽略AD轉(zhuǎn)換器42的器件偏置時,執(zhí)行加熱器溫度控制時的Vl和V2為同電位。
      [0050]在此,如果假定支流3的溫度例如上升3K,則在參照電阻26、參照電阻27和參照電阻28產(chǎn)生與3K的溫度上升相當(dāng)?shù)碾娮柚底兓Mǔ?,由于參照電?6、參照電阻27和參照電阻28的電阻值的溫度變化率為同程度,在加熱器電阻24的溫度不變的情況下,這時的橋接電路的輸出僅Vl發(fā)生變化。于是,加熱器溫度控制程序49使加熱器溫度控制信號s2、即加熱器驅(qū)動信號s3變化,使加熱器電阻24的溫度上升3K,以使得Vl和V2成為同電位。
      [0051]通過以上的動作實(shí)現(xiàn)加熱器溫度控制。
      [0052]為了計(jì)測流量,構(gòu)成包括上游側(cè)測溫電阻31、上游側(cè)測溫電阻32、下游側(cè)測溫電阻33、下游側(cè)測溫電阻34的橋接電路。接著,將上游側(cè)測溫電阻31與下游側(cè)測溫電阻33的中間電位V3、和上游側(cè)測溫電阻32與下游側(cè)測溫電阻34的中間電位V4輸入到電路元件14,通過裝載于電路元件14的AD轉(zhuǎn)換器43將V3和V4的電壓差轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號s4輸入到 DSP48。
      [0053]另外,為了計(jì)測吸入空氣I的溫度Tl,構(gòu)成包括第一溫度傳感器36和固定電阻29的串聯(lián)電阻電路40,將第一溫度傳感器36與固定電阻29的中間電位V5輸入到電路兀件14,通過裝載于電路元件14的AD轉(zhuǎn)換器44轉(zhuǎn)換為數(shù)字溫度信號Stl輸入到DSP48。
      [0054]并且,為了計(jì)測支流3的溫度T2,構(gòu)成包括第二溫度傳感器37和固定電阻30的串聯(lián)電阻電路41,將第二溫度傳感器37與固定電阻30的中間電位V6輸入到電路元件14,通過裝載于電路元件14的AD轉(zhuǎn)換器45轉(zhuǎn)換為數(shù)字溫度信號St2輸入到DSP48。
      [0055]這時,在吸入空氣I的溫度Tl和支流3的溫度T2相對于基準(zhǔn)溫度Tb為Tl關(guān)Tb、T2 Φ Tb,Tl Φ T2的關(guān)系時,數(shù)字信號s4成為包括由Tl與T2之差導(dǎo)致的計(jì)測誤差(以下稱為起因于溫度差誤差);以及Tl或T2與Tb不同導(dǎo)致的計(jì)測誤差(以下稱為起因于絕對溫度誤差)的信號,檢測特性例如表示為圖3中的曲線3。
      [0056]DSP48對上述的起因于溫度差誤差和起因于絕對溫度誤差進(jìn)行修正生成流量信號s8。流量信號s8的檢測特性例如為圖3中的曲線I。起因于溫度差誤差的修正使用起因于溫度差誤差修正部50a,起因于絕對溫度誤差的修正使用起因于絕對溫度誤差修正部50b。
      [0057]起因于溫度差誤差修正部50a利用修正量導(dǎo)出程序53導(dǎo)出用于修正起因于溫度差誤差的修正量s5。這時的導(dǎo)出方法可以基于算術(shù)運(yùn)算而導(dǎo)出,也可以利用數(shù)據(jù)映射(datamap)導(dǎo)出。
      [0058]接著,修正程序51基于修正量s5對數(shù)字信號s4加以修正,生成修正了起因于溫度差誤差之后的修正信號s6。該修正信號s6例如是吸入空氣I和支流3的溫度都為T2時的輸出特性,修正信號s6的檢測特性例如是圖3中的曲線2所示。此外,修正信號s6是包含因T2與基準(zhǔn)溫度Tb不同導(dǎo)致的起因于絕對溫度誤差的信號。
      [0059]接著,修正信號s6被輸入到起因于絕對溫度誤差修正部50b。起因于絕對溫度誤差修正部50b利用修正量導(dǎo)出程序54導(dǎo)出用于修正起因于絕對溫度誤差的修正量s7。此夕卜,修正量s7是抵消修正信號s6所含的起因于絕對溫度誤差的量。
      [0060]接著,修正程序52基于修正量s7對數(shù)字信號s6修正起因于絕對溫度誤差生成流量信號s8。
      [0061]通過以上說明的修正動作,能夠生成不包含吸入空氣I的溫度Tl和支流3的溫度T2與基準(zhǔn)溫度Tb的差異導(dǎo)致的計(jì)測誤差的、高精度的流量信號s8。
      [0062]接著,流量信號s8通過裝載于電路元件14的DA轉(zhuǎn)換器47轉(zhuǎn)換為輸出信號s9,從連接器部9輸出到設(shè)置于配管6的外部的發(fā)動機(jī)控制單元60(以下,稱為E⑶60)。
      [0063]此外,向ECU60的信號傳輸媒介并沒有特別限定。例如,可以代替DA轉(zhuǎn)換器47而設(shè)置通信驅(qū)動器,代替將模擬信號作為傳輸媒介的輸出方法,而使用將數(shù)字通信作為傳輸媒介的輸出方法。另外,可以代替DA轉(zhuǎn)換器47設(shè)置可變頻率振蕩器,采用將頻率信號作為傳輸媒介的輸出方法。另外,可以代替DA轉(zhuǎn)換器47設(shè)置調(diào)制器,采用將調(diào)制信號作為傳輸媒介的輸出方法。
      [0064]接著,對用于修正量導(dǎo)出程序53導(dǎo)出修正量s5的基本原理進(jìn)行說明。
      [0065]如專利文獻(xiàn)I和專利文獻(xiàn)2所公開那樣的現(xiàn)有的流量計(jì)測裝置,將在主通路內(nèi)流通的流體的一部分取入到副通路中,通過設(shè)置在副通路內(nèi)的流量檢測元件檢測在副通路內(nèi)流通的流體的流量,基于該檢測結(jié)果推定在主通路內(nèi)流通的流體的流量,由此實(shí)現(xiàn)流量計(jì)測功能。
      [0066]該功能的實(shí)現(xiàn)必須要已知在主通路內(nèi)流通的流體的流量和在副通路內(nèi)流通的流體的流量比率(以下,稱為流量比)。如果流量比從已知的值發(fā)生了變化的情況下,則不能夠根據(jù)在副通路內(nèi)設(shè)置的流量檢測元件的檢測結(jié)果準(zhǔn)確地推定主通路內(nèi)的流量,因而產(chǎn)生計(jì)測誤差。
      [0067]根據(jù)本發(fā)明的
      【發(fā)明者】們的研討可知,流量比依賴于在主通路內(nèi)流通的流體的溫度和在副通路內(nèi)流通的流體的溫度。
      [0068]以下,對流量比依賴于各通路的流體溫度的原理進(jìn)行說明。
      [0069]用式I表示流路的管摩擦損失Λ P。此外,λ:管摩擦系數(shù);L:流路長度;P:空氣密度;U:流速;d:流路直徑。
      [0070]ΔΡ = 0.5λ?ρ U2/d.--式 I
      [0071]在由I個流路分支為2個并且再匯合的流路中,設(shè)一個流路(以下記作流路I)和另一個流路(以下記作流路2)的管摩擦損失分別為ΛΡ1、ΛΡ2,則ΔΡ1 = ΛΡ2。如果根據(jù)該方程式求在流路I中通過的質(zhì)量流量Ql和在流路2中通過的質(zhì)量流量Q2的流量比Q1/Q2,則成為由式2表示的函數(shù)。另外,管摩擦系數(shù)λ成為空氣粘度μ的函數(shù)。另外,Α、α、β、Y、Δ為依賴于流量的常數(shù)。

      【權(quán)利要求】
      1.一種流量計(jì)測裝置,其特征在于,包括: 將在主通路中流動的流體的一部分取入的副通路; 設(shè)置在所述副通路內(nèi)的傳感器元件; 計(jì)測在所述主通路中流動的流體的溫度的第一溫度傳感器;和設(shè)置在所述副通路內(nèi)的、計(jì)測與在所述主通路中流動的流體的溫度不同的流體的溫度的第二溫度傳感器。
      2.如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 基于通過所述第一溫度傳感器和所述第二溫度傳感器測定的溫度信息測定空氣流量。
      3.如權(quán)利要求2所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 具有測定單元,所述測定單元基于所述第一溫度傳感器的輸出、所述第二溫度傳感器的輸出和所述傳感器元件的輸出,測定在所述主通路內(nèi)流動的流體的流量。
      4.如權(quán)利要求3所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述測定單元包括修正電路,所述修正電路基于所述第一溫度傳感器的輸出和所述第二溫度傳感器的輸出修正所述傳感器兀件的輸出。
      5.如權(quán)利要求4所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述修正電路包括: 導(dǎo)出單兀,其基于所述第一溫度傳感器的輸出和所述第二溫度傳感器的輸出,導(dǎo)出基于所述主通路與所述副通路的流量比的修正值;和 轉(zhuǎn)換單元,其基于所述修正值將所述傳感器元件的輸出轉(zhuǎn)換為在所述主通路內(nèi)流動的流體的流量。
      6.如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述傳感器元件包括:形成于半導(dǎo)體基板的膜片;設(shè)置在所述膜片上的發(fā)熱電阻體;和相對于所述發(fā)熱電阻體設(shè)置于流體的流動的上游側(cè)和下游側(cè)的測溫電阻體。
      7.如權(quán)利要求6所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 在所述半導(dǎo)體基板設(shè)置有副膜片, 在所述副膜片上設(shè)置所述第二溫度傳感器。
      8.如權(quán)利要求6所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 將所述傳感器元件和所述修正電路裝載于引線框, 形成有將所述傳感器元件、所述修正電路和所述引線框一體地模塑密封而成的傳感器組件, 所述傳感器組件具備模塑開口部,以使得所述膜片暴露于流體中。
      9.如權(quán)利要求8所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 在所述傳感器組件內(nèi)設(shè)置所述第二溫度傳感器,在所述傳感器組件表面設(shè)置有凹凸部。
      10.如權(quán)利要求9所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 將設(shè)置所述第二溫度傳感器的部分的傳感器組件表面做成凹凸形狀。
      11.如權(quán)利要求7所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 將所述傳感器元件和所述修正電路裝載于引線框, 形成有將所述傳感器元件、所述修正電路和所述引線框一體地模塑密封而成的傳感器組件, 所述傳感器組件具備模塑開口部,以使得所述膜片和所述副膜片暴露于流體中。
      12.如權(quán)利要求6~10中任一項(xiàng)所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述副通路具有彎曲部,相對于所述彎曲部在流體的流動的下游側(cè)設(shè)置所述傳感器元件。
      13.如權(quán)利要求6~10中任一項(xiàng)所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述副通路包括:具備2個以上與所述主通路連通的開口部的第一副通路;和具備一個以上與所述第一副通路連通的開口部的第二副通路,在所述第二副通路內(nèi)設(shè)置所述傳感器元件。
      14.如權(quán)利要求13所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述第二副通路相對于在所述第一副通路內(nèi)流動的流體的主流動方向成90度以上的角度,并且具備一個以上與所述第一副通路連通的開口部。
      15.如權(quán)利要求12~14中任一項(xiàng)所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述第二溫度傳感器設(shè)置于所述傳感器元件附近。
      16.如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述第一溫度傳感器以暴露于在所述主通路中流動的流體的方式配置, 所述第二溫度傳感器以暴露于在所述副通路中流動的流體的方式配置。
      17.如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于: 所述第一溫度傳感器相對于所述第二溫度傳感器配置在流體的流動的上游側(cè)。
      18.如權(quán)利要求6所述的流量計(jì)測裝置,其特征在于,包括: 檢測所述發(fā)熱電阻體的溫度的發(fā)熱溫度檢測電阻體;和 檢測在所述副通路內(nèi)移動的流體的溫度的流體溫度檢測電阻體, 控制所述發(fā)熱電阻體的發(fā)熱量,以使得所述發(fā)熱溫度檢測電阻體的溫度比所述流體溫度檢測電阻體的溫度高規(guī)定溫度, 將所述流體溫度檢測電阻體作為所述第二溫度傳感器。
      【文檔編號】G01F1/684GK104081169SQ201280066660
      【公開日】2014年10月1日 申請日期:2012年1月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月10日
      【發(fā)明者】淺野哲, 松本昌大, 中野洋, 半澤惠二, 土井良介 申請人:日立汽車系統(tǒng)株式會社
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