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      處理裝置和測(cè)試方法

      文檔序號(hào):6174874閱讀:161來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:處理裝置和測(cè)試方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及處理裝置和測(cè)試方法。
      背景技術(shù)
      以前,處理裝置與用于測(cè)試被測(cè)器件的測(cè)試裝置相連,在將被測(cè)器件裝載于測(cè)試盤(pán)上的狀態(tài)下進(jìn)行傳送,裝載在該測(cè)試盤(pán)上的被測(cè)器件與該測(cè)試裝置電連接(例如,參照專利文獻(xiàn)I 5)。專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)2000-147055號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開(kāi)2000-46902號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特開(kāi)2009-2860號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:特開(kāi)2011-39059號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5:特開(kāi)2 011-40758號(hào)公報(bào)

      發(fā)明內(nèi)容
      發(fā)明要解決的問(wèn)題:然而,如果被測(cè)器件所具有的電極尺寸以及該電極的間距很小,則處理裝置就必須將該被測(cè)器件精確地裝載于測(cè)試盤(pán)上。例如,處理裝置很難做到在保持精度的同時(shí),在短時(shí)間內(nèi)裝載數(shù)百個(gè)被測(cè)器件。解決問(wèn)題的方案:在本發(fā)明的第一方式中提供一種處理裝置,用于傳送多個(gè)被測(cè)器件并使這些被測(cè)器件與設(shè)置于測(cè)試裝置的測(cè)試頭上的多個(gè)插座相連,其中包括:位置調(diào)整部,用于在裝載有多個(gè)被測(cè)器件的測(cè)試盤(pán)上使各個(gè)被測(cè)器件移動(dòng),并調(diào)整相對(duì)于各個(gè)插座的位置;以及,器件裝設(shè)部,用于將由位置調(diào)整部進(jìn)行位置調(diào)整后的多個(gè)被測(cè)器件裝設(shè)于多個(gè)插座上。另外,上述發(fā)明的概要并未列舉出本發(fā)明的全部必要特征,所述特征組的子組合也能構(gòu)成發(fā)明。


      圖1將本實(shí)施方式所述處理裝置100的結(jié)構(gòu)例與測(cè)試頭110、測(cè)試盤(pán)20及用戶盤(pán)10共同表不。圖2將本實(shí)施方式所述測(cè)試頭110的插座板120的結(jié)構(gòu)例與插座攝像部228共同表示。圖3將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的結(jié)構(gòu)例與測(cè)試盤(pán)20共同表示。圖4表示本實(shí)施方式所述處理裝置100及測(cè)試裝置的動(dòng)作流程。圖5表示本實(shí)施方式所述處理裝置100將被測(cè)器件裝設(shè)于插座上的動(dòng)作流程。圖6表示本實(shí)施方式所述固定部510被測(cè)試盤(pán)20的基準(zhǔn)針422固定的步驟的結(jié)構(gòu)例。
      圖7表示本實(shí)施方式所述測(cè)試盤(pán)20解除測(cè)試盤(pán)20的內(nèi)單元410的鎖定的步驟。圖8表示由本實(shí)施方式所述致動(dòng)器520使內(nèi)單元410移動(dòng)的步驟。圖9表示由本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218使內(nèi)單元410結(jié)束移動(dòng),并當(dāng)內(nèi)單元410鎖定后從測(cè)試盤(pán)20移開(kāi)的步驟。圖10表示由本實(shí)施方式所述傳送部240將測(cè)試盤(pán)20載入到測(cè)試部220的步驟。圖11表示由本實(shí)施方式所述器件裝設(shè)部222將被測(cè)器件22裝設(shè)于插座122上的步驟。圖12將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第一變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共問(wèn)表不。圖13表示由本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第一變形例保持測(cè)試盤(pán)20的外單元420的步驟。圖14將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第二變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共問(wèn)表不。圖15將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第三變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共問(wèn)表不。圖16表示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第三變形例嵌合于測(cè)試盤(pán)20的外單元420的基準(zhǔn)針422上的步驟。圖17將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第四變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共問(wèn)表不。圖18表示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第四變形例嵌合于測(cè)試盤(pán)20的外單元420的基準(zhǔn)針422上的步驟。附圖標(biāo)記說(shuō)明10用戶盤(pán)、20測(cè)試盤(pán)、22被測(cè)器件、24電極、100處理裝置、110測(cè)試頭、120插座板、122插座、124基準(zhǔn)針插入部、126電極、200第一裝載裝置、210加熱部、212溫度控制部、214溫度控制單元、216器件攝像部、218位置調(diào)整部、220測(cè)試部、222器件裝設(shè)部、224推壓部、226驅(qū)動(dòng)部、228插座攝像部、230除熱部、240傳送部、250第二裝載裝置、260檢出部、270控制部、280溫度控制部、410內(nèi)單元、420外單元、422基準(zhǔn)針、424釋放針、430釋放部、510固定部、512基準(zhǔn)針插入部、514推針部、520致動(dòng)器、522彈簧部、610基體部、612定位針、614彈簧部、622定位針插入部、710驅(qū)動(dòng)部、720驅(qū)動(dòng)部。
      具體實(shí)施例方式以下通過(guò)發(fā)明的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明,以下實(shí)施方式并非對(duì)權(quán)利要求所表述的發(fā)明進(jìn)行限定,并且實(shí)施方式中說(shuō)明的特征的組合也并非全部為本發(fā)明的必要特征。圖1將本實(shí)施方式所述處理裝置100的結(jié)構(gòu)例與測(cè)試頭110、測(cè)試盤(pán)20和用戶盤(pán)10共同表示。處理裝置100與測(cè)試裝置的測(cè)試頭110相連,用于傳送多個(gè)被測(cè)器件22,使其與設(shè)置在測(cè)試裝置的測(cè)試 頭110上的多個(gè)插座相連。此處,測(cè)試頭110包括具有多個(gè)插座的插座板120,通過(guò)這些插座分別與多個(gè)被測(cè)器件22電連接。測(cè)試頭110是測(cè)試裝置的一部分,該測(cè)試裝置向各個(gè)被測(cè)器件22分別輸入基于測(cè)試多個(gè)被測(cè)器件22用的測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào),基于由各個(gè)被測(cè)器件22針對(duì)測(cè)試信號(hào)而輸出的輸出信號(hào),判斷多個(gè)被測(cè)器件22的好壞。測(cè)試裝置對(duì)模擬電路、數(shù)字電路、模擬/數(shù)字混合電路、存儲(chǔ)器及片上系統(tǒng)(System On Chip,S0C)等多種被測(cè)器件22進(jìn)行測(cè)試。各個(gè)被測(cè)器件22可以分別具有BGA(Ball Grid Array,球柵陣列)或LGA (Land Grid Array,柵格陣列)等電極。或者可選地,也可以具有SOJ (Small Outline J-leaded,小外形J形引腳)、PLCC(Plastic Leaded Chip Carrier,塑料帶引線芯片載體)、QFP (Quad Flat Package,四方扁平封裝)或SOP (Small Outline Package,小外形封裝)等端子。插座板120具有能夠與待測(cè)試的被測(cè)器件22的電極或端子等進(jìn)行電連接的插座。處理裝置100包括:第一裝載裝置200、加熱部210、測(cè)試部220、除熱部230、傳送部240、第二裝載裝置250、檢出部260、控制部270。第一裝載裝置200用于將多個(gè)被測(cè)器件22從承載有這些被測(cè)器件22的用戶盤(pán)10裝載到測(cè)試盤(pán)20上。第一裝載裝置200可以具有用于吸附被測(cè)器件22的臂部,將該被測(cè)器件22吸附固定,并從用戶盤(pán)10移動(dòng)到測(cè)試盤(pán)20上。測(cè)試盤(pán)20可以將多個(gè)被測(cè)器件22沿行方向和列方向排列裝載。用于制成裝載多個(gè)被測(cè)器件22的測(cè)試盤(pán)20的材質(zhì)即使放在由測(cè)試裝置執(zhí)行的高/低溫測(cè)試的溫度條件下也不會(huì)產(chǎn)生使被測(cè)器件22開(kāi)裂、破損或變形等的應(yīng)力。加熱部210具有載入器,由該載入器將裝載有測(cè)試前的多個(gè)被測(cè)器件22的測(cè)試盤(pán)20載入到加熱部210內(nèi)。加熱部210在進(jìn)行測(cè)試之前對(duì)被測(cè)器件22的溫度進(jìn)行控制,使其達(dá)到測(cè)試溫度。然后,在加熱部210內(nèi)調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22在測(cè)試盤(pán)20上的位置。加熱部210具有:溫度控制部212、器件攝像部216和位置調(diào)整部218。溫度控制部212承載測(cè)試盤(pán)20,用于對(duì)測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22的溫度進(jìn)行控制。溫度控制部212對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22的溫度進(jìn)行控制,使其達(dá)到與測(cè)試裝置執(zhí)行測(cè)試時(shí)的溫度條件大致相同的溫度。溫度控制部212可以具有多個(gè)溫度控制單元214。對(duì)應(yīng)于多個(gè)被測(cè)器件22分別設(shè)置多個(gè)溫度控制單元214,從各個(gè)被測(cè)器件22與插座板120的插座相連的電極面或端子面的相對(duì)面進(jìn)行單獨(dú)加熱或冷卻。溫度控制單元214可以為珀耳帖元件等熱電元件,或者可選地,也可以為使制冷劑或制熱劑進(jìn)行循環(huán)的制冷器或加熱器。當(dāng)溫度控制單元214對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22從被測(cè)器件22的背面直接控制溫度時(shí),加熱部210無(wú)需對(duì)腔室整體的溫度進(jìn)行精確控制,從而能夠高速且低耗電地控制多個(gè)被測(cè)器件22的溫度?;蛘呖蛇x地,溫度控制部212將加熱部210內(nèi)的溫度控制為大致相同的溫度。器件攝像部216用于對(duì)承載于測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝。器件攝像部216可以對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝,或者可選地,也可以對(duì)兩個(gè)以上的被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝。器件攝像部216具有可動(dòng)部,從而可以對(duì)測(cè)試盤(pán)20上承載的多個(gè)被測(cè)器件22進(jìn)行拍攝。例如,器件攝像部216具有攝像機(jī)等,使該攝像機(jī)的拍攝方向沿著與測(cè)試盤(pán)20承載被測(cè)器件22的承載面相平行的方向進(jìn)行排列,通過(guò)可動(dòng)部上承載的鏡部對(duì)測(cè)試盤(pán)20上的被測(cè)器件22進(jìn)行拍攝。此時(shí),為了能夠?qū)⒈粶y(cè)器件22的像反射給該攝像機(jī),鏡部可以相對(duì)于測(cè)試盤(pán)20的承載面具有約45度的角度。
      另外,器件攝像部216可以使該鏡部沿著與攝像機(jī)的拍攝方向大致相同方向的測(cè)試盤(pán)20的承載面的平行方向移動(dòng),從而對(duì)在該平行方向并排承載的多個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝?;蛘呖蛇x地,器件攝像部216可以使鏡部和攝像機(jī)沿著與拍攝方向大致相同的方向移動(dòng),從而對(duì)在該平行方向并排承載的多個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝。此處,將測(cè)試盤(pán)20的承載面的該平行方向作為承載面的行方向的一例。在此情形中,器件攝像部216可以使攝像機(jī)和鏡部沿著與攝像機(jī)的拍攝方向大致垂直且與測(cè)試盤(pán)20的承載面大致平行的方向移動(dòng)。據(jù)此,器件攝像部216對(duì)測(cè)試盤(pán)20的承載面的列方向上排列的多個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝。此時(shí),可以將攝像機(jī)承載于位置調(diào)整部218上。據(jù)此,器件攝像部216可以具有攝像機(jī)、鏡部和可動(dòng)部,對(duì)測(cè)試盤(pán)20的承載面的行方向及列方向上排列的多個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝。或者可選地,器件攝像部216可以將攝像機(jī)等的拍攝方向設(shè)置為朝向測(cè)試盤(pán)20的承載面,使該攝像機(jī)可以沿承載面的行方向及列方向移動(dòng),從而對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22的承載位置進(jìn)行拍攝。此時(shí),攝像機(jī)可以承載于位置調(diào)整部218上。位置調(diào)整部218使各個(gè)被測(cè)器件22在裝載有多個(gè)被測(cè)器件22的測(cè)試盤(pán)20上移動(dòng),以調(diào)整相對(duì)于各個(gè)插座的位置。位置調(diào)整部218在加熱部210內(nèi)調(diào)整各個(gè)被測(cè)器件22的位置。位置調(diào)整部218可以在加熱部210內(nèi)調(diào)整被控制為測(cè)試溫度的多個(gè)被測(cè)器件22的各自位置。另外,可以在加熱部210內(nèi)設(shè)置多個(gè)位置調(diào)整部218,以分別調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22的位置。測(cè)試部220是用于測(cè)試多個(gè)被測(cè)器件22的空間,加熱部210內(nèi)的測(cè)試盤(pán)20被傳送到該空間中。測(cè)試部220與測(cè)試裝置相連,該測(cè)試裝置的測(cè)試頭110上承載的插座板120排列在腔室內(nèi)。在測(cè)試部220內(nèi),測(cè)試盤(pán)20被傳送到插座板120,多個(gè)被測(cè)器件22與相應(yīng)的插座電連接。測(cè)試部220具有器件裝設(shè)部222、驅(qū)動(dòng)部226、插座攝像部228。器件裝設(shè)部222將由位置調(diào)整部218進(jìn)行位置調(diào)整后的多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于插座板120的多個(gè)插座中。器件裝設(shè)部222具有多個(gè)推壓部224。對(duì)應(yīng)于多個(gè)被測(cè)器件22設(shè)置有多個(gè)推壓部224。推壓部224將各個(gè)被測(cè)器件22與插座連接的電極面或端子面相反的面朝插座板120的方向進(jìn)行推,從而將各個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座中。另外,器件裝設(shè)部222控制測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22的溫度。器件裝設(shè)部222控制多個(gè)被測(cè)器件22的溫度,使其達(dá)到測(cè)試裝置執(zhí)行測(cè)試的溫度條件。器件裝設(shè)部222使多個(gè)推壓部224控制多個(gè)被測(cè)器件22的溫度。此處,多個(gè)推壓部224各自的溫度可以分別進(jìn)行控制,或者可選地,也可以對(duì)兩個(gè)以上的推壓部224的溫度進(jìn)行統(tǒng)一控制。此時(shí),推壓部224從各個(gè)被測(cè)器件22的電極面或端子面的相對(duì)面單獨(dú)進(jìn)行加熱或冷卻。推壓部224可以包含珀耳帖元件等熱電元件,或者可選地,可以包含使制冷劑或制熱劑循環(huán)的制冷器或加熱器。由于推壓部224從被測(cè)器件22的背面對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22直接進(jìn)行溫度控制,因此,無(wú)需對(duì)測(cè)試部220整個(gè)腔室的溫度進(jìn)行精確控制,便能夠高速且低耗電地控制多個(gè)被測(cè)器件22的溫度。驅(qū)動(dòng)部226用于驅(qū)動(dòng)器件裝設(shè)部222。驅(qū)動(dòng)部226控制器件裝設(shè)部222的移動(dòng),將測(cè)試盤(pán)20送往插座板120,使其與多個(gè)被測(cè)器件22相應(yīng)的插座進(jìn)行電連接。另外,驅(qū)動(dòng)部226也可以驅(qū)動(dòng)推壓部224的加熱或冷卻。
      插座攝像部228用于對(duì)插座板120所具有多個(gè)插座的安裝位置進(jìn)行拍攝。插座攝像部228可以對(duì)每個(gè)插座的安裝位置進(jìn)行拍攝,或者可選地,也可以對(duì)兩個(gè)以上插座的安裝位置進(jìn)行拍攝。插座攝像部228可以具有可動(dòng)部從而對(duì)多個(gè)插座進(jìn)行拍攝。例如,插座攝像部228具有攝像機(jī)等,使該攝像機(jī)的拍攝方向沿著與插座板120安裝有插座的安裝面平行的方向排列,通過(guò)承載在可動(dòng)部上的鏡部對(duì)安裝面上的插座進(jìn)行拍攝。此時(shí),為了使插座的像反射給該攝像機(jī),鏡部可以相對(duì)于插座板120的安裝面具有大致45度的角度。另外,插座攝像部228使該鏡部沿著作為攝像機(jī)拍攝方向的插座板120安裝面的平行方向移動(dòng),從而對(duì)在該平行方向上并排安裝的多個(gè)插座的安裝位置進(jìn)行拍攝。此處,以插座板120的安裝面的該平行方向作為安裝面的行方向的一例。此時(shí),插座攝像部228可以使攝像機(jī)及鏡部沿著與攝像機(jī)的拍攝方向大致垂直且與插座板120的安裝面大致平行的方向移動(dòng)。據(jù)此,插座攝像部228對(duì)沿著插座板120的安裝面的列方向排列的多個(gè)插座的安裝位置進(jìn)行拍攝。如此,插座攝像部228具有攝像機(jī)、鏡部及可動(dòng)部,可以對(duì)在插座板120的安裝面的行方向及列方向上排列的多個(gè)插座的安裝位置進(jìn)行拍攝?;蛘呖蛇x地,插座攝像部228也可以將攝像機(jī)等的拍攝方向設(shè)置為朝向插座板120的安裝面,并使該攝像機(jī)沿安裝面的行方向及列方向移動(dòng),從而對(duì)多個(gè)插座的安裝位置進(jìn)行拍攝。除熱部230是將測(cè)試盤(pán)20從測(cè)試部220送入的空間,被送入的測(cè)試盤(pán)20向該除熱部230的外部送出。除熱部230具有載出器,通過(guò)該載出器,將裝載有測(cè)試后的多個(gè)被測(cè)器件22的測(cè)試盤(pán)20載出到除熱部230的外部。除熱部230具有溫度控制部280。溫度控制部280在除熱部230內(nèi)對(duì)送入的測(cè)試盤(pán)20的溫度進(jìn)行控制。溫度控制部280將從測(cè)試部220內(nèi)送入的處于測(cè)試溫度左右的多個(gè)被測(cè)器件22加熱或冷卻到與室溫同等程度的預(yù)定溫度范圍。溫度控制部280可以包含珀耳帖元件等熱電元件,或者可選地,也可以包含使制冷劑或制熱劑循環(huán)的制冷器或加熱器。傳送部240用于將測(cè)試盤(pán)20從加熱部210傳送到測(cè)試部220,或者從測(cè)試部220傳送到除熱部230。傳送部240可以接收從加熱部210所具有的載入器送入的測(cè)試盤(pán)20?;蛘?,傳送部240也可以將測(cè)試盤(pán)20傳遞到除熱部230所具有的載出器上。第二裝載裝置250將多個(gè)被測(cè)器件22從承載有這些被測(cè)器件22的測(cè)試盤(pán)20裝載到用戶盤(pán)10上。第二裝載裝置250可以具有用于吸附被測(cè)器件22的臂部,將該被測(cè)器件22吸附固定后從測(cè)試盤(pán)20移動(dòng)到用戶盤(pán)10上。檢出部260用于根據(jù)由器件攝像部216及插座攝像部228拍攝的圖像,檢測(cè)出測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22各自的排列以及插座板120所具有的多個(gè)插座各自的排列。檢出部260針對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22,將測(cè)試盤(pán)20上的排列與該被測(cè)器件22所連接的插座的排列進(jìn)行比較,從而檢測(cè)出需要調(diào)整相對(duì)于該插座的位置的被測(cè)器件22。檢出部260用于檢測(cè)出該需要調(diào)整的被測(cè)器件22的移動(dòng)方向及移動(dòng)量作為調(diào)整量。檢出部260可以檢測(cè)出測(cè)試盤(pán)上的XY方向及各方向上的移動(dòng)量作為調(diào)整量,另外,也可以檢測(cè)出測(cè)試盤(pán)上的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)角Θ作為調(diào)整量。檢出部260將檢測(cè)結(jié)果發(fā)送給控制部270??刂撇?70接收檢出部260的檢測(cè)結(jié)果,基于該檢測(cè)結(jié)果,將需要調(diào)整的測(cè)器件22及調(diào)整量通知位置調(diào)整部218,使其對(duì)該被測(cè)器件22的位置進(jìn)行調(diào)整。另外,控制部270可以與第一裝載裝置200、傳送部240、驅(qū)動(dòng)部226、第二裝載裝置250、載入器、載出器等相連,以便控制多個(gè)被測(cè)器件22的裝載、測(cè)試盤(pán)20的載入/載出、器件裝設(shè)部222的驅(qū)動(dòng)以及測(cè)試盤(pán)20的傳送。另外,控制部270還可以與溫度控制部212、器件裝設(shè)部222及溫度控制部280相連,以便對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22的溫度進(jìn)行控制。另外,控制部270可以在將多個(gè)被測(cè)器件22分別裝設(shè)到相應(yīng)的插座中之后,向測(cè)試裝置通知多個(gè)被測(cè)器件22的裝設(shè)完畢。圖2將本實(shí)施方式所述測(cè)試頭110的插座板120的結(jié)構(gòu)例與插座攝像部228共同表示。本圖表示插座板120的截面示意結(jié)構(gòu)。插座板120具有插座122和基準(zhǔn)針插入部124。插座122用于與被測(cè)器件22電連接,在將由測(cè)試裝置提供的測(cè)試信號(hào)傳遞給被測(cè)器件22的同時(shí),還將與測(cè)試信號(hào)對(duì)應(yīng)的應(yīng)答信號(hào)傳遞給測(cè)試裝置。在插座板120上可以具有多個(gè)插座122,沿行方向及列方向排列安裝在與插座板120的測(cè)試頭110相對(duì)的面上。插座122包含有能夠與被測(cè)器件22所具有的電極或端子等電連接的多個(gè)電極126?;鶞?zhǔn)針插入部124設(shè)置于插座板120的安裝有插座122的面上,其中用于插入測(cè)試盤(pán)20所包含的基準(zhǔn)針。針對(duì)于一個(gè)插座122可以具有兩個(gè)以上的基準(zhǔn)針插入部124?;鶞?zhǔn)針插入部124最好分別設(shè)置于插座122的四個(gè)角附近。插座攝像部228對(duì)每個(gè)插座122及相應(yīng)的基準(zhǔn)針插入部124共同進(jìn)行拍攝。插座攝像部228對(duì)插座122及相應(yīng)的基準(zhǔn)針插入部124進(jìn)行拍攝,作為插座122的安裝位置。檢出部260根據(jù)所拍攝的圖像,提取出圖中的線A-A’所示的插座122的中心位置、線B-B’及線C-C’所示的基準(zhǔn)針插入部124中用于插入基準(zhǔn)針的中心位置。即,檢出部260檢測(cè)出插座122的中心位置與基準(zhǔn)針的中心位置之間的相對(duì)位置作為插座122的安裝位置。圖3將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的結(jié)構(gòu)例與測(cè)試盤(pán)20共同表示。本圖表示截面的示意結(jié)構(gòu)。位置調(diào)整部218對(duì)兩個(gè)以上的被測(cè)器件22中的每個(gè)進(jìn)行巡檢,調(diào)整被測(cè)器件22相對(duì)于插座122的位置。位置調(diào)整部218可以具有可動(dòng)部,以便在測(cè)試盤(pán)20上進(jìn)行巡檢。此處,測(cè)試盤(pán)20具有內(nèi)單元410、外單元420和基準(zhǔn)針422,分別與多個(gè)被測(cè)器件22相對(duì)應(yīng)。而且,位置調(diào)整部218具有固定部510和致動(dòng)器520。內(nèi)單元410用于裝載各個(gè)被測(cè)器件22。內(nèi)單元410在進(jìn)行裝載時(shí)使被測(cè)器件22的中心位于預(yù)定位置。例如,內(nèi)單元410進(jìn)行裝載并使被測(cè)器件22的中心位于圖中的線d-d’所示的位置。內(nèi)單元410可以包含彈簧,用于沿著與測(cè)試盤(pán)20的裝載面相平行的方向施加力,從而將被測(cè)器件22固定。內(nèi)單元410可以形成有通孔,使被測(cè)器件22在溫度控制部212側(cè)的一部分露出。外單元420具有鎖定機(jī)構(gòu),固定于測(cè)試盤(pán)20上,用于在將內(nèi)單元410鎖定與使其保持可移動(dòng)之間進(jìn)行機(jī)械切換。外單元420包含釋放部430作為該鎖定機(jī)構(gòu)。釋放部430可以根據(jù)控制部270的指令或位置調(diào)整部218的鎖定解除動(dòng)作等,解除對(duì)內(nèi)單元410的鎖定。外單元420形成有通孔,使內(nèi)單元410在溫度控制部212側(cè)的一部分露出。多個(gè)基準(zhǔn)針422排列于測(cè)試盤(pán)20的裝載面上的預(yù)定位置處,用于分別插入設(shè)置在插座板120上的多個(gè)基準(zhǔn)針插入部124中。在圖中表示基準(zhǔn)針422以線e_e’及線f-f’所示的位置為中心裝載于測(cè)試盤(pán)20上的例子。而且,在圖中表示多個(gè)基準(zhǔn)針422裝載于外單元420上的例子。而且,圖中的線A-A’表示圖2中所說(shuō)明的通過(guò)檢出部260而檢測(cè)出的插座122的中心位置的一例。固定部510由排列于測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)基準(zhǔn)針422固定。固定部510可以包含與基準(zhǔn)針422的形狀相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)引、槽或軌道等,由基準(zhǔn)針422固定。或者可選地,固定部510可以具有供基準(zhǔn)針422插入的基準(zhǔn)針插入部,由基準(zhǔn)針422固定。致動(dòng)器520用于調(diào)整被測(cè)器件22相對(duì)于插座122的位置。例如,當(dāng)解除了內(nèi)單元410的鎖定之后,致動(dòng)器520使內(nèi)單元410相對(duì)于外單元420進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。圖中表示相對(duì)于一個(gè)被測(cè)器件22設(shè)置有一組固定部510及致動(dòng)器520,以調(diào)整該被測(cè)器件22的位置的例子?;蛘呖蛇x地,可以針對(duì)一個(gè)固定部510設(shè)置多個(gè)致動(dòng)器520,用于分別調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22的位置。此時(shí),多個(gè)致動(dòng)器520可以對(duì)應(yīng)于在測(cè)試盤(pán)20的行方向上排列的多個(gè)被測(cè)器件22的位置,沿該行方向進(jìn)行配置。據(jù)此,在行方向上配置的多個(gè)致動(dòng)器520分別對(duì)列方向上的兩個(gè)以上被測(cè)器件22的位置依次進(jìn)行調(diào)整。或者可選地,多個(gè)致動(dòng)器520可以對(duì)應(yīng)于在測(cè)試盤(pán)20的列方向上排列的多個(gè)被測(cè)器件22的位置,沿該列方向進(jìn)行配置。此時(shí),在列方向上配置的多個(gè)致動(dòng)器520分別對(duì)行方向上的兩個(gè)以上的被測(cè)器件22的位置依次進(jìn)行調(diào)整。如上所述,當(dāng)加熱部210內(nèi)設(shè)置有多個(gè)致動(dòng)器520時(shí),可為鎖定機(jī)構(gòu)針對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22釋放內(nèi)單元410,多個(gè)致動(dòng)器520中的每一個(gè)使內(nèi)單元410相對(duì)于外單元420進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)后,再由鎖定機(jī)構(gòu)將外單元420鎖定。據(jù)此,位置調(diào)整部218可以使用多個(gè)致動(dòng)器520,針對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22調(diào)整其在測(cè)試盤(pán)20上的位置。此處,器件攝像部216針對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22的每個(gè),對(duì)內(nèi)單元410及外單元420進(jìn)行拍攝。例如,器件攝像部216對(duì)被測(cè)器件22及相應(yīng)的基準(zhǔn)針422進(jìn)行拍攝,作為被測(cè)器件22的裝載位置。檢出部260根據(jù)由攝像部拍攝的圖像檢測(cè)出內(nèi)單元410及外單元420的相對(duì)位置。例如,檢出部260根據(jù)所拍攝的圖像,提取出圖中的線d-d’所示被測(cè)器件22的中心位置、圖中的線e-e’及線f-f’所示基準(zhǔn)針422的中心位置,從而檢測(cè)出被測(cè)器件22距離基準(zhǔn)針422的相對(duì)位置。圖4表示本實(shí)施方式所述處理裝置100及測(cè)試裝置的動(dòng)作流程。首先,處理裝置100將被測(cè)器件22裝載于測(cè)試盤(pán)20上(S400)。第一裝載裝置200將多個(gè)被測(cè)器件22從用戶盤(pán)10裝載到測(cè)試盤(pán)20的內(nèi)單元410中。然后,加熱部210所具有的載入器將測(cè)試盤(pán)20載入到加熱部210(S410)。在加熱部210內(nèi),溫度控制部212從載入器收到測(cè)試盤(pán)20并進(jìn)行承載,溫度控制單元214控制測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22的溫度,使其達(dá)到與測(cè)試裝置執(zhí)行測(cè)試時(shí)的溫度條件大致相同的溫度。當(dāng)在內(nèi)單元410及外單元420上形成有通孔時(shí),溫度控制單元214可以與相應(yīng)的被測(cè)器件22直接接觸并進(jìn)行加熱或冷卻。當(dāng)內(nèi)單元410上未形成有該通孔時(shí),溫度控制單元214可以與相應(yīng)被測(cè)器件22附近的內(nèi)單元410的一部分相接觸并進(jìn)行加熱或冷卻。然后,插座攝像部228對(duì)插座板120所具有的多個(gè)插座122的安裝位置進(jìn)行拍攝,檢出部260基于由插座攝像部228拍攝的圖像,檢測(cè)出多個(gè)插座122各自的安裝位置(S420)。此處,插座攝像部228及檢出部260可以與溫度控制單元214對(duì)被測(cè)器件22進(jìn)行溫度控制同時(shí)對(duì)插座122進(jìn)行位置檢測(cè)。或者可選地,插座攝像部228及檢出部260可以在對(duì)溫度控制單元214進(jìn)行溫度控制之前預(yù)先執(zhí)行對(duì)插座122的位置檢測(cè)。例如,在測(cè)試開(kāi)始之前,插座攝像部228及檢出部260可以執(zhí)行對(duì)插座122的位置檢測(cè)?;蛘呖蛇x地,插座攝像部228及檢出部260也可以在將測(cè)試部220內(nèi)的溫度控制為與測(cè)試溫度大致相同的溫度之后再執(zhí)行插座122的位置檢測(cè)。然后,器件攝像部216分別針對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22對(duì)內(nèi)單元410及外單元420進(jìn)行拍攝,檢出部260根據(jù)拍攝到的圖像,檢測(cè)出被測(cè)器件22的中心位置與基準(zhǔn)針422之間的相對(duì)位置(S430)。此處,檢出部260可以將被測(cè)器件22的相對(duì)位置與相應(yīng)插座122的安裝位置進(jìn)行比較,從而檢測(cè)出是否要在測(cè)試盤(pán)20上進(jìn)行位置調(diào)整。例如,當(dāng)被測(cè)器件22的相對(duì)位置與相應(yīng)插座122的安裝位置之間的差值落在預(yù)定范圍之外時(shí),則檢出部260判斷需要對(duì)該被測(cè)器件22進(jìn)行調(diào)整。器件攝像部216及檢出部260可以在溫度控制單元214完成對(duì)被測(cè)器件22的溫度控制之后檢測(cè)被測(cè)器件22的位置?;蛘呖蛇x地,器件攝像部216及檢出部260也可以在溫度控制單元214對(duì)被測(cè)器件22進(jìn)行溫度控制的同時(shí)并行地對(duì)被測(cè)器件22進(jìn)行位置檢測(cè)。然后,處理裝置100將多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座122上(S440)。另外,關(guān)于將多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)插座122上的流程通過(guò)圖5進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。然后,測(cè)試裝置對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22執(zhí)行測(cè)試(S450)。測(cè)試裝置可以對(duì)多個(gè)被測(cè)器件22同時(shí)執(zhí)行測(cè)試。

      然后,處理裝置100將測(cè)試盤(pán)20從測(cè)試部220載入到除熱部(S460)。此處,驅(qū)動(dòng)部226通過(guò)驅(qū)動(dòng)器件裝設(shè)部222而使測(cè)試盤(pán)20移動(dòng),從而使多個(gè)被測(cè)器件22從相應(yīng)的插座122脫離。另外,驅(qū)動(dòng)部226驅(qū)動(dòng)器件裝設(shè)部222而將測(cè)試盤(pán)20傳遞給傳送部240。傳送部240將收到的測(cè)試盤(pán)20從測(cè)試部220傳送給除熱部230。溫度控制部280在除熱部230內(nèi)將多個(gè)被測(cè)器件22控制在預(yù)定溫度范圍內(nèi)。然后,第二裝載裝置250將多個(gè)被測(cè)器件22裝載到用戶盤(pán)10上(S470)。通過(guò)以上的動(dòng)作流程,處理裝置100使用戶盤(pán)10上裝載的多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座122上,由測(cè)試裝置執(zhí)行測(cè)試后,再次將多個(gè)被測(cè)器件22裝載到用戶盤(pán)10上。圖5表示本實(shí)施方式所述處理裝置100將被測(cè)器件裝設(shè)于插座上的動(dòng)作流程。而且,圖6 圖11分別表示動(dòng)作流程各步驟的處理裝置100的結(jié)構(gòu)例。0069首先,位置調(diào)整部218的固定部510由測(cè)試盤(pán)20上排列的多個(gè)基準(zhǔn)針422固定(S500)。此處,控制部270可以與位置調(diào)整部218所具有的可動(dòng)部連接,使位置調(diào)整部218移動(dòng)并使固定部510被基準(zhǔn)針422固定。在圖6中表示使本實(shí)施方式所述固定部510被測(cè)試盤(pán)20上的基準(zhǔn)針422固定的步驟的結(jié)構(gòu)例。圖中的線A-A’表示圖2及圖3所說(shuō)明的由檢出部260檢測(cè)出的插座122的中心位置的一例。然后,處理裝置100解除內(nèi)單元410的鎖定(S510)。此處,加熱部210可以具有用于根據(jù)控制部270的解除鎖定指令操作鎖定機(jī)構(gòu)的操作部。該操作部可以根據(jù)控制部270的指令與釋放部430接觸并使釋放部430移動(dòng),從而使鎖定解除。
      或者可選地,測(cè)試盤(pán)20可以具有操作部,用于通過(guò)溫度控制部212接收到來(lái)自于控制部270的解除鎖定信號(hào),并使釋放部430的鎖定解除。在圖7中表示由本實(shí)施方式所述測(cè)試盤(pán)20將測(cè)試盤(pán)20的內(nèi)單元410的鎖定解除的步驟。然后,致動(dòng)器520使內(nèi)單元410相對(duì)于外單元420相對(duì)移動(dòng)(S520)。致動(dòng)器520基于由檢出部260檢測(cè)出的相對(duì)位置調(diào)整內(nèi)單元410相對(duì)于外單元420的位置。據(jù)此,位置調(diào)整部218能夠?qū)Ρ粶y(cè)器件22在測(cè)試盤(pán)20上的位置進(jìn)行調(diào)整。例如,檢出部260根據(jù)從基準(zhǔn)針422的中心位置到插座122的中心位置的相對(duì)位置與從基準(zhǔn)針422到被測(cè)器件22的相對(duì)位置之間的差值,檢測(cè)出內(nèi)單元410的移動(dòng)方向和移動(dòng)距離。也就是說(shuō),檢出部260檢測(cè)出從基準(zhǔn)針422的中心位置到插座122的中心位置的相對(duì)位置與從基準(zhǔn)針422到被測(cè)器件22的相對(duì)位置是否一致,或者檢測(cè)出在預(yù)定范圍內(nèi)的移動(dòng)方向及移動(dòng)距離。此處,檢出部260可以將該預(yù)定范圍當(dāng)作致動(dòng)器520的移動(dòng)誤差的范圍程度。致動(dòng)器520根據(jù)由檢出部260檢測(cè)出的移動(dòng)方向及移動(dòng)距尚使內(nèi)單兀410移動(dòng)。在圖8中表示由本實(shí)施方式所述致動(dòng)器520使內(nèi)單元410移動(dòng)的步驟。在圖中表示由致動(dòng)器520使內(nèi)單元410沿圖中的箭頭方向移動(dòng),并使作為插座122的中心位置的線A-A’與作為被測(cè)器件22的中心位置的線d-d’相一致的例子。然后,處理裝置100將內(nèi)單元410鎖定(S530)。此處,當(dāng)加熱部210具有操作部時(shí),該操作部可以根據(jù)控制部270的指令與釋放部430相接觸,并使釋放部430移動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)鎖定。或者可選地,測(cè)試盤(pán)20可以通過(guò)溫度控制部212接收來(lái)自于控制部270的鎖定信號(hào),并使釋放部430鎖定。然后,位置調(diào)整部218解除測(cè)試盤(pán)20的基準(zhǔn)針422的固定并進(jìn)行移動(dòng)(S540)。位置調(diào)整部218可以向下一個(gè)需要調(diào)整的被測(cè)器件22移動(dòng)。處理裝置100針對(duì)各個(gè)被測(cè)器件22執(zhí)行相對(duì)位置檢測(cè)及位置調(diào)整。處理裝置100可以針對(duì)每個(gè)被測(cè)器件22執(zhí)行相對(duì)位置檢測(cè)及位置調(diào)整,或者可選地,也可以在執(zhí)行多個(gè)被測(cè)器件22的相對(duì)位置檢測(cè)后再執(zhí)行位置調(diào)整。在圖9中表示由本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218使內(nèi)單元410結(jié)束移動(dòng)并將內(nèi)單元410鎖定后從測(cè)試盤(pán)20移開(kāi)的步驟。處理裝置100在使測(cè)試盤(pán)20上需要調(diào)整的多個(gè)被測(cè)器件22完成調(diào)整后,將測(cè)試盤(pán)20傳送給測(cè)試部220 (S550)。此處,由溫度控制部212將承載的測(cè)試盤(pán)20傳遞給傳送部240,傳送部240將收到的測(cè)試盤(pán)20傳送給測(cè)試部220。傳送部240在測(cè)試部220內(nèi)將被傳送的測(cè)試盤(pán)20傳遞給器件裝設(shè)部222。在圖10中表示由本實(shí)施方式所述傳送部240將測(cè)試盤(pán)20載入到測(cè)試部220的步驟。器件裝設(shè)部222利用推壓部224從各個(gè)被測(cè)器件22與插座122相連的電極面或端子面的相對(duì)面進(jìn)行單獨(dú)地加熱或冷卻。當(dāng)內(nèi)單元410及外單元420上形成有通孔時(shí),推壓部224可以與相應(yīng)的被測(cè)器件22直接接觸并進(jìn)行加熱或冷卻。當(dāng)內(nèi)單元410上未形成有該通孔時(shí),推壓部224可以與相應(yīng)被測(cè)器件22附近的內(nèi)單元410的一部分接觸并進(jìn)行加熱或冷卻。然后,器件裝設(shè)部222將被測(cè)器件22裝設(shè)于插座122上(S560)。當(dāng)內(nèi)單元410及外單元420上形成有通孔時(shí),推壓部224可以與相應(yīng)的被測(cè)器件22直接接觸并推壓該被測(cè)器件22。當(dāng)內(nèi)單元410上未形成有該通孔時(shí),推壓部224與相應(yīng)被測(cè)器件22附近的內(nèi)單元410的一部分接觸并推壓。此處,位置調(diào)整部218以基準(zhǔn)針422為基準(zhǔn),使插座122及被測(cè)器件22的中心位置保持一致,因此,通過(guò)由推壓部224對(duì)被測(cè)器件22進(jìn)行推壓而將基準(zhǔn)針422插入基準(zhǔn)針插入部124中時(shí),便將被測(cè)器件22裝設(shè)于插座122上。S卩,被測(cè)器件22所具有的多個(gè)電極24與相應(yīng)插座122的多個(gè)電極126電連接。在圖11中表示由本實(shí)施方式所述器件裝設(shè)部222將被測(cè)器件22裝設(shè)于插座122上的步驟。根據(jù)以上的動(dòng)作流程,處理裝置100調(diào)整測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22相對(duì)于插座122的位置,并將多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座122上,從而使測(cè)試裝置能夠?qū)@些被測(cè)器件22進(jìn)行測(cè)試。而且,處理裝置100能夠根據(jù)多個(gè)被測(cè)器件22在用戶盤(pán)10上的裝載狀態(tài),在對(duì)測(cè)試裝置執(zhí)行測(cè)試后,自動(dòng)執(zhí)行將這些被測(cè)器件22再次裝載到用戶盤(pán)10上的處理。另外,位置調(diào)整部218以基準(zhǔn)針422為基準(zhǔn)依次調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22的位置,因此當(dāng)器件裝設(shè)部222推壓測(cè)試盤(pán)20時(shí),便將多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座122上。因此,即使在將數(shù)百個(gè)之多的被測(cè)器件22裝設(shè)于插座122上時(shí),處理裝置100也能夠自動(dòng)且高速地將多個(gè)被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座122上。另外,由于與被測(cè)器件22的電極尺寸及電極間距相比,處理裝置100使被測(cè)器件22、插座122和基準(zhǔn)針422的位置檢出精度以及致動(dòng)器520的移動(dòng)精度更高,因此能夠?qū)⒕哂形⑿‰姌O結(jié)構(gòu)的被測(cè)器件22裝設(shè)于相應(yīng)的插座122上。圖12將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第一變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共同表示。另外,圖13表示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第一變形例由測(cè)試盤(pán)20的外單元420的基準(zhǔn)針422固定的步驟。在本變形例的位置調(diào)整部218中,對(duì)與圖3所示的本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的動(dòng)作大致相同的部分標(biāo)注相同的符號(hào),并省略其說(shuō)明。測(cè)試盤(pán)20進(jìn)一步具有釋放針424。釋放針424設(shè)置于外單元420的框架上,當(dāng)釋放內(nèi)單元410時(shí),被位置調(diào)整部218推壓。釋放針424也可以通過(guò)具有彈性的彈簧等設(shè)置于外單元420上,在被位置調(diào)整部218推壓的期間內(nèi),將內(nèi)單元410釋放從而解除鎖定。當(dāng)釋放針424被推壓時(shí),本實(shí)施方式所述釋放部430解除對(duì)內(nèi)單元410的推壓。在圖中表示釋放針424與釋放部430 —體形成的例子。另外,本實(shí)施方式所述溫度控制部212進(jìn)一步具有定位針插入部622。定位針插入部622可以設(shè)置于與測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)基準(zhǔn)針422的相對(duì)距離和方向被預(yù)定的位置處??梢栽跍囟瓤刂撇?12承載有測(cè)試盤(pán)20的側(cè)面設(shè)置多個(gè)定位針插入部622,用于對(duì)位置調(diào)整部218進(jìn)行定位。當(dāng)位置調(diào)整部218對(duì)測(cè)試盤(pán)20在行方向或列方向上配置的多個(gè)被測(cè)器件22的位置進(jìn)行調(diào)整時(shí),定位針插入部622可以設(shè)置在每個(gè)行及列上,對(duì)位置調(diào)整部218進(jìn)行定位。本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218具有基準(zhǔn)針插入部512、推針部514和基體部610。基準(zhǔn)針插入部512中插入有基準(zhǔn)針422。當(dāng)將基準(zhǔn)針422插入到基準(zhǔn)針插入部512中時(shí),固定部510被基準(zhǔn)針422固定。推針部514可以當(dāng)位置調(diào)整部218與內(nèi)單元410或外單元420相嵌合時(shí)推壓釋放針424。從而使釋放部430解除內(nèi)單元410的鎖定。基體部610將固定部510及推針部514固定。另外,基體部610具有在XYZ及Θ方向上相對(duì)于基體部610可移動(dòng)的致動(dòng)器520。基體部610具有定位針612、彈簧部614、驅(qū)動(dòng)部710和驅(qū)動(dòng)部720。定位針612用于插入于溫度控制部212的定位針插入部622中,對(duì)測(cè)試盤(pán)20的基準(zhǔn)針422和基體部610進(jìn)行定位。即,當(dāng)將定位針612插入定位針插入部622時(shí),相應(yīng)的測(cè)試盤(pán)20的基準(zhǔn)針422插入基準(zhǔn)針插入部512,從而將固定部510固定。S卩,控制部270只要針對(duì)需要調(diào)整的被測(cè)器件22將位置調(diào)整部218的定位針612插入相應(yīng)的定位針插入部622,便能夠?qū)⒐潭ú?10固定于與該被測(cè)器件22相應(yīng)的外單元420的基準(zhǔn)針422上。彈簧部614設(shè)置于基體部610與固定部510之間,用于吸收當(dāng)固定部510與外單元420相接觸并嵌合時(shí)的沖擊等。另外,當(dāng)固定部510與外單元420相嵌合時(shí),彈簧部614調(diào)整將固定部510推入的程度。彈簧部614與釋放針424所具有的彈簧等相比,具有更小的彈性系數(shù)。驅(qū)動(dòng)部710使基體部610沿XY方向移動(dòng)。根據(jù)由驅(qū)動(dòng)部710產(chǎn)生的XY方向的移動(dòng)以及溫度控制部212的沿Z方向的移動(dòng),位置調(diào)整部218能夠調(diào)整測(cè)試盤(pán)20上的多個(gè)被測(cè)器件22的位置。另外,驅(qū)動(dòng)部710也可以使基體部610沿Θ方向和/或Z方向移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)部710可以與控制部270相連,由控制部270指示基體部610移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)部720與推針部514相連,用于使該推針部514移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)部720使推針部514朝測(cè)試盤(pán)20的方向移動(dòng),按壓釋放針424,從而解除內(nèi)單元410的鎖定。另外,驅(qū)動(dòng)部720使推針部514朝向遠(yuǎn)離測(cè)試盤(pán)20的方向移動(dòng),從而解除內(nèi)單元410的鎖定。通過(guò)以上的本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第一變形例,能夠更精確地將固定部510固定于需要調(diào)整的被測(cè)器件22所對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)針422上。圖14將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第二變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共同表示。在本變形例的位置調(diào)整部218中,對(duì)與圖3、圖12及圖13所示的本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的動(dòng)作大致相同的部分標(biāo)注相同的符號(hào),并省略其說(shuō)明。本變形例所述測(cè)試盤(pán)20單獨(dú)地設(shè)置有釋放針424和釋放部430。而且,在本變形例中表示測(cè)試盤(pán)20具有外單元的功能并將內(nèi)單元410鎖定的例子。釋放針424設(shè)置于測(cè)試盤(pán)20上,當(dāng)釋放內(nèi)單元410時(shí),被位置調(diào)整部218按壓。當(dāng)釋放部430被釋放針424按壓時(shí),解除對(duì)內(nèi)單元410的推壓。釋放部430可以通過(guò)具有彈性的彈簧等設(shè)置于測(cè)試盤(pán)20上,在釋放針424被位置調(diào)整部218按壓的期間內(nèi),將內(nèi)單元410釋放,從而解除鎖定。據(jù)此,測(cè)試盤(pán)20能夠提高釋放針424和釋放部430的設(shè)計(jì)自由度。另外,測(cè)試盤(pán)20能夠?qū)⑨尫裴?24被按壓的強(qiáng)度通過(guò)杠桿等部件傳遞給釋放部430,因此能夠提高位置調(diào)整部218按壓釋放針424時(shí)所需強(qiáng)度的設(shè)計(jì)自由度。在本變形例中說(shuō)明了測(cè)試盤(pán)20具有外單元功能的例子,或者可選地,測(cè)試盤(pán)20也可以具有外單元。圖15將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第三變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共同表示。圖16表示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第三變形例嵌合于測(cè)試盤(pán)20的外單元420的基準(zhǔn)針422上的步驟。在本變形例的位置調(diào)整部218中,對(duì)與圖3、圖12及圖13所示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的動(dòng)作大致相同的部分標(biāo)注相同的符號(hào),并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218用于移動(dòng)外單元420,以調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22相對(duì)于相應(yīng)插座122的位置。即,固定部510被固定于內(nèi)單元410上。另外,致動(dòng)器520具有基準(zhǔn)針插入部512,并用于使外單元420移動(dòng)。另外,本實(shí)施方式所述驅(qū)動(dòng)部720與致動(dòng)器520相連,并用于使該致動(dòng)器520移動(dòng)。例如,當(dāng)將定位針612插入定位針插入部622時(shí),相應(yīng)的測(cè)試盤(pán)20的基準(zhǔn)針422插入于基準(zhǔn)針插入部512中,從而使致動(dòng)器520與外單兀420相嵌合。另外,固定部510固定于內(nèi)單元410上。此處,內(nèi)單元410可以通過(guò)被測(cè)器件22被夾設(shè)固定于溫度控制單元214與固定部510之間。此處,驅(qū)動(dòng)部720使致動(dòng)器520朝測(cè)試盤(pán)20的方向移動(dòng),通過(guò)基準(zhǔn)針插入部512按壓基準(zhǔn)針422。據(jù)此,使釋放部430移動(dòng),從而將內(nèi)單元410與外單元420之間的鎖定解除。致動(dòng)器520對(duì)應(yīng)于解除鎖定的動(dòng)作,使外單元420移動(dòng)。當(dāng)致動(dòng)器520使外單元420完成移動(dòng)后,驅(qū)動(dòng)部720使致動(dòng)器520朝與測(cè)試盤(pán)20的相反方向移動(dòng),從而將內(nèi)單元410和外單元420鎖定。通過(guò)以上的本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第三變形例,測(cè)試盤(pán)20也可以不具有釋放針424,或者位置調(diào)整部218也可以不具有推針部514。S卩,位置調(diào)整部218以簡(jiǎn)單地結(jié)構(gòu)便可以調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22的位置。圖17將本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第四變形例與測(cè)試盤(pán)20及溫度控制部212共同表示。圖18表示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第四變形例與測(cè)試盤(pán)20的外單元420的基準(zhǔn)針422相嵌合的步驟。在本變形例的位置調(diào)整部218中,對(duì)與圖15及圖16所示本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的動(dòng)作大致相同的部分標(biāo)注相同的符號(hào),并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218與上述位置調(diào)整部218的第三變形例相同,也移動(dòng)外單元420,并調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22相對(duì)于相應(yīng)插座122的位置。本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218進(jìn)一步具有彈性系數(shù)大于彈簧部614的彈簧部522。另外,固定部510通過(guò)該彈簧部522的壓縮而移動(dòng),從而改變與致動(dòng)器520的相對(duì)位置。作為一例,當(dāng)彈簧部522壓縮時(shí),固定部510向遠(yuǎn)離測(cè)試盤(pán)20的方向移動(dòng)。與上述位置調(diào)整部218的第三變形例相同,當(dāng)將定位針612插入定位針插入部622中時(shí),相應(yīng)的測(cè)試盤(pán)20的基準(zhǔn)針422也被插入基準(zhǔn)針插入部512中,從而使致動(dòng)器520與外單元420相嵌合。此處,如果將定位針612往定位針插入部622中插入得更深,則彈性系數(shù)較小的彈簧部614會(huì)壓縮,從而將固定部510固定于內(nèi)單元410上。如果將定位針612往定位針插入部622中插入得進(jìn)一步更深,則會(huì)使彈簧部614的彈性力與彈簧部522的彈性力變?yōu)橥瘸潭?,由于彈簧?22也壓縮,因此與致動(dòng)器520相比,固定部510會(huì)朝遠(yuǎn)離測(cè)試盤(pán)20的方向移動(dòng)。S卩,致動(dòng)器520通過(guò)基準(zhǔn)針插入部512按壓基準(zhǔn)針422,使釋放部430移動(dòng),從而解除內(nèi)單元410與外單元420之間的鎖定。據(jù)此,致動(dòng)器520能夠使外單元420移動(dòng)。另外,當(dāng)致動(dòng)器520使外單元420完成移動(dòng)后,通過(guò)使定位針612離開(kāi)定位針插入部622,從而能夠?qū)?nèi)單元410和外單元420鎖定。通過(guò)以上的本實(shí)施方式所述位置調(diào)整部218的第四變形例,能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)部制成一體。即,位置調(diào)整部218能夠以更加簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)調(diào)整多個(gè)被測(cè)器件22的位置。
      以上,使用本發(fā)明的具體實(shí)施方式
      進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明的技術(shù)范圍不限于上述具體實(shí)施方式
      所記載的范圍。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚,在上述實(shí)施方式的基礎(chǔ)上可加以各種變更和改進(jìn)。由權(quán)利要求的記載可知,這種變更和改進(jìn)的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。應(yīng)當(dāng)注意的是,權(quán)利要求書(shū)、說(shuō)明書(shū)及附圖中所示的裝置、系統(tǒng)、程序,方法中的動(dòng)作、順序、步驟及階段等各個(gè)處理的執(zhí)行順序,只要沒(méi)有特別明示“更早”、“早于”等,或者只要前面處理的輸出并不用在后面的處理中,則可以以任意順序?qū)崿F(xiàn)。關(guān)于權(quán)利要求書(shū)、說(shuō)明書(shū)及附圖中的動(dòng)作流程,為方便而使用“首先”、“然后”等進(jìn)行了說(shuō)明,但并不意味著必須按照這樣的順序?qū)嵤?br> 權(quán)利要求
      1.一種處理裝置,用于傳送多個(gè)被測(cè)器件并將這些被測(cè)器件與設(shè)置于測(cè)試裝置的測(cè)試頭上的多個(gè)插座相連,其中包括: 位置調(diào)整部,用于在裝載有所述多個(gè)被測(cè)器件的測(cè)試盤(pán)上使各個(gè)所述被測(cè)器件移動(dòng),并調(diào)整相對(duì)于各個(gè)所述插座的位置;及 器件裝設(shè)部,用于將由所述位置調(diào)整部進(jìn)行位置調(diào)整后的所述多個(gè)被測(cè)器件裝設(shè)于所述多個(gè)插座上。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理裝置,其中包括: 加熱部,用于載入裝載有測(cè)試前的所述多個(gè)被測(cè)器件的所述測(cè)試盤(pán); 測(cè)試部,作為對(duì)所述多個(gè)被測(cè)器件進(jìn)行測(cè)試的空間,用于容納從所述加熱部傳送來(lái)的所述測(cè)試盤(pán); 所述位置調(diào)整部用于調(diào)整各個(gè)所述被測(cè)器件在所述加熱部?jī)?nèi)的位置。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理裝置,其中: 所述加熱部用于在進(jìn)行測(cè)試之前將所述被測(cè)器件的溫度控制到測(cè)試溫度; 所述位置調(diào)整部用于調(diào)整被控制到測(cè)試溫度的所述多個(gè)被測(cè)器件在所述加熱部?jī)?nèi)的各自位置。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理裝置,其中進(jìn)一步包括:多個(gè)溫度控制單元,對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)被測(cè)器件被設(shè)置為多個(gè),用于從各個(gè)所述被測(cè)器件與所述插座相連的端子面的相對(duì)面進(jìn)行單獨(dú)地加熱或冷卻。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的處理裝置,其中:所述位置調(diào)整部具有致動(dòng)器,用于對(duì)兩個(gè)以上的所述被測(cè)器件分別進(jìn)行巡檢,并調(diào)整各個(gè)所述被測(cè)器件相對(duì)于所述插座的位置。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理裝置,其中: 所述測(cè)試盤(pán)用于將所述多個(gè)被測(cè)器件沿行方向及列方向設(shè)置并裝載; 設(shè)置于行方向上的多個(gè)所述致動(dòng)器用于分別依次調(diào)整列方向的兩個(gè)以上的所述被測(cè)器件的位置。
      7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理裝置,其中,所述測(cè)試盤(pán)分別與所述多個(gè)被測(cè)器件中的每一個(gè)相對(duì)應(yīng),并包括: 內(nèi)單元,用于分別裝載所述被測(cè)器件 '及 外單元,具有鎖定機(jī)構(gòu),用于在將所述內(nèi)單元鎖定與使所述內(nèi)單元保持可移動(dòng)之間進(jìn)行機(jī)械切換; 所述位置調(diào)整部用于針對(duì)每個(gè)所述被測(cè)器件,由所述鎖定機(jī)構(gòu)釋放所述內(nèi)單元,并使所述內(nèi)單元相對(duì)于所述外單元移動(dòng)后,由所述鎖定機(jī)構(gòu)鎖定所述外單元。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理裝置,其中,所述鎖定機(jī)構(gòu)包括: 釋放針,設(shè)置于所述外單元的框架上,用于當(dāng)釋放所述內(nèi)單元時(shí)被所述位置調(diào)整部進(jìn)行按壓 '及 釋放部,用于當(dāng)所述釋放針被按壓時(shí),解除對(duì)所述內(nèi)單元的推壓; 所述位置調(diào)整部包括推針部,用于對(duì)應(yīng)于與所述內(nèi)單元或所述外單元相嵌合的動(dòng)作,按壓所述釋放針。
      9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的處理裝置,其中包括:器件攝像部,用于針對(duì)所述多個(gè)被測(cè)器件的每一個(gè),對(duì)所述內(nèi)單元及所述外單元進(jìn)行拍攝;及 檢出部,用于根據(jù)所述器件攝像部拍攝的圖像,檢測(cè)出所述內(nèi)單元與所述外單元的相對(duì)位置; 所述致動(dòng)器用于基于檢測(cè)出的相對(duì)位置,調(diào)整所述內(nèi)單元相對(duì)于所述外單元的位置。
      10.權(quán)利要求9所述的處理裝置,其中包括:插座攝像部,用于對(duì)位于所述測(cè)試頭上的多個(gè)插座上的各個(gè)安裝位置進(jìn)行拍攝; 所述檢出部用于將所述插座攝像部拍攝的圖像與所述器件攝像部拍攝的圖像進(jìn)行比較,并檢測(cè)出需要由所述位置調(diào)整部調(diào)整的被測(cè)器件以及需要調(diào)整的該被測(cè)器件的調(diào)整量。
      11.一種測(cè)試方法,是對(duì)多個(gè)被測(cè)器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法,其中包括: 進(jìn)行位置調(diào)整的步驟:在裝載有所述多個(gè)被測(cè)器件的測(cè)試盤(pán)上使各個(gè)所述被測(cè)器件移動(dòng),并調(diào)整相對(duì)于相應(yīng)插座的位置; 進(jìn)行器件裝設(shè)的步驟:將在所述位置調(diào)整步驟中進(jìn)行位置調(diào)整后的所述多個(gè)被測(cè)器件裝設(shè)于多個(gè)插座中;以及 進(jìn)行測(cè)試的步驟:對(duì)裝設(shè)于所述多個(gè)插座上的所述多個(gè)被測(cè)器件進(jìn)行測(cè)試。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種處理裝置,用于傳送多個(gè)被測(cè)器件并使其與設(shè)置于測(cè)試裝置的測(cè)試頭上的多個(gè)插座相連,其中包括位置調(diào)整部,用于在多個(gè)被測(cè)器件裝載的測(cè)試盤(pán)上使各個(gè)被測(cè)器件移動(dòng),并調(diào)整相對(duì)于各個(gè)插座的位置;以及,器件裝設(shè)部,用于將由位置調(diào)整部進(jìn)行位置調(diào)整后的多個(gè)被測(cè)器件裝設(shè)于多個(gè)插座上。所述處理裝置能夠高速且低耗電地將被測(cè)器件連接于測(cè)試裝置的插座中。
      文檔編號(hào)G01R31/00GK103207328SQ20131000491
      公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2013年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
      發(fā)明者菊池裕之, 相澤光范 申請(qǐng)人:愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社
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